JPH07222464A - 静電アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 静電アクチュエータの移動子と固定子との位
置合わせを精密に行なうことができると共に、自重を大
幅に増やさずに、高出力、低電圧化を可能とする静電ア
クチュエータの提供。 【構成】 固定子１における帯状電極２５〜２７からの
取り出し電極と移動子１０における帯状電極２５′〜２
７′からの取り出し電極とがそれぞれの電気絶縁性基板
上において移動子１０の移動方向と同一方向に配線され
ると共に、固定子１における取り出し電極の配線位置と
移動子における取り出し電極の配線位置とが、その少な
くとも１組において対向し、かつその対向する電極には
同一極性の電圧が印加されるように配線されてなり、更
に、対向する固定子１及び移動子１０の取り出し電極の
組合せにおけるいずれか一方の取り出し電極が２分割さ
れると共に他方の帯状取り出し電極と等間隔をおいて対
向させられるように配線される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、静電アクチュエータに
関し、特に、その駆動に際して移動子と固定子との位置
合わせを精密に行なうことができると共に、静電アクチ
ュエータの自重を大幅に増やさず、高出力・低電圧化を
可能とする静電アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】最近、電界エネルギーを機械エネルギー
に変換する静電モーターとして、静電アクチュエータが
開発されている。静電アクチュエータは、図１にその断
面図で示すように、固定子１上に移動子１０が搭載され
ており（図では移動子１０は、固定子１と離間した状態
で図示しているが、固定子１上に接触した状態で搭載さ
れている）、固定子１には、電気絶縁基板に３相電源に
接続される帯状取り出し電極２５Ａ〜２７Ａと、駆動部
を形成する帯状電極群２５〜２７とが配線され、また移
動子１０にも、電気絶縁基板に３相電源に接続される帯
状取り出し電極２５Ａ′〜２７Ａ′と、駆動部を形成す
る帯状電極群２５′〜２７′とが配線された構造を有し
ている。

【０００３】そして、固定子１においては、Φａ電源に
接続される取り出し電極２５Ａとそれから延設される帯
状電極群２５、２５、２５・・からなる配線パターン、
Φｂ電源に接続される取り出し電極２６Ａとそれから延
設される帯状電極群２６、２６、・・からなる配線パタ
ーン、Φｃ電源に接続される取り出し電極２７Ａとそれ
から延設される帯状電極群２７からなる配線パターンの
３種類の配線パターンが組合せて配線されている。その
組合せは、図１の固定子に示すように、端部から帯状電
極２５、２７、２６、２５、２７・・・・の順に並列さ
せて配線される。

【０００４】一方、移動子１０においては、Φａ電源に
接続される取り出し電極２５Ａ′とそれから延設される
帯状電極群２５′、２５′・・からなる配線パターン、
Φｂ電源に接続される取り出し電極２６Ａ′とそれから
延設される帯状電極群２６′、２６′・・からなる配線
パターン、Φｃ電源に接続される帯状取り出し電極２７
Ａ′とそれから延設される帯状電極群２７′、２７′・
・からなる配線パターンの３種類の配線パターンが組合
せて配線されている。その組合せは、図１の移動子１０
に示すように、端部から２５′、２６′、２７′の順に
並列させて配線される。

【０００５】即ち、図１に示すように、固定子１上に移
動子１０を搭載した状態では、固定子１における帯状電
極群２７、２６、２５・・・・の配列順序は、移動子１
０における帯状電極群２５′、２６′、２７′・・・・
と、その電源への接続順を逆にしていることを特徴とし
ている。

【０００６】このように構成される静電アクチュエータ
においては、３相電源における印加電圧を、例えばΦａ
（−）：Φｂ（０）：Φｃ（＋）→Φａ（０）：Φｂ
（＋）：Φｃ（−）→Φａ（＋）：Φｂ（−）：Φｃ
（０）と順次切替えると、移動子と固定子上でそれぞれ
逆向きに進行する電位の波を生じ、これらの進行波間に
生じる静電気力により、図１における矢印で示すよう
に、移動子を浮上させる共に帯状電極の配列方向とは直
角方向に移動子を駆動させるものである。また、この３
相電源での印加電圧の位相の組合せを変化させることに
より、移動子は左右いずれの方向への移動も可能であ
り、また、３相電源をより多相化することも可能であ
る。

【０００７】このような静電アクチュエータは、固定子
と移動子とに同一の電圧が常に印加されるので、高出力
が得られ、駆動時に移動子・固定子間に反撥力が発生す
るので摩擦力が小さく、また停止時には吸引力が働くの
で、大きな保持力が得られるものであり、また、製作に
高精度が要求されない、薄型化、大面積化、積層化が容
易で、高出力、低電圧駆動化が容易であるという長所を
有するものである。

【０００８】しかしながら、この静電アクチュエータに
おいては、移動子を駆動させるに伴い、固定子への搭載
位置が駆動方向とは直角方向に位置ずれを生じるという
問題があり、移動子と固定子の位置合わせが必要とな
る。そのため、従来は、固定子に位置合わせガイドを設
け、移動子が駆動方向と直角方向での位置ずれが生じな
いようにしているが、ガイドの作製は、固定子と移動子
における取り出し電極の線巾に合わせた精度が要求され
る。しかも、静電アクチュエータとして高出力、低電圧
化を図る場合、その電極巾は更に細くなる傾向があり、
ガイドの作製は益々困難となるという問題がある。更
に、このような位置合わせガイドを設けると、静電アク
チュエータ自体の自重も増加するので、高出力、低電圧
化が得られないという問題もある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、静電アクチ
ュエータの移動子と固定子との位置合わせを精密に行な
うことができると共に、静電アクチュエータの自重を大
幅に増やさずに、高出力、低電圧化を可能とする静電ア
クチュエータの提供を課題とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の静電アクチュエ
ータは、電気絶縁性基板上に駆動部を形成する複数の帯
状電極が配線された固定子と、該固定子上に搭載され、
電気絶縁性基板上に駆動部を形成する複数の帯状電極が
配線される移動子とからなり、固定子と移動子における
それぞれの帯状電極への印加電圧の位相の切替えによ
り、移動子を浮上させ、駆動させる静電アクチュエータ
において、固定子における帯状電極からの取り出し電極
と移動子における帯状電極からの取り出し電極とがそれ
ぞれの電気絶縁性基板上において移動子の移動方向と同
一方向に配線されると共に、固定子における取り出し電
極の配線位置と移動子における取り出し電極の配線位置
とが、その少なくとも１組において対向し、かつその対
向する電極には同一極性の電圧が印加されるように配線
されてなり、更に、対向する固定子及び移動子の取り出
し電極の組合せにおけるいずれか一方の取り出し電極が
２分割されると共に他方の帯状取り出し電極と等間隔を
おいて対向させられるように配線されたことを特徴とす
る。

【００１１】本発明の静電アクチュエータについて説明
する。図２は、本発明の静電アクチュエータの斜視図で
あり、図３はそのＡ−Ａ面での断面図、また、そのＢ−
Ｂ面での断面は、駆動部断面を示すが、上述した図１に
示すものと同様であり、後述する作製方法で詳述する。

【００１２】本発明の静電アクチュエータの動作原理
は、図１を使用して説明した従来の静電アクチュエータ
と同一であるが、本発明は、図２に示すように、固定子
１における取り出し電極２５Ａ〜２７Ａ、移動子１０に
おける取り出し電極２５Ａ′〜２７Ａ′を、それぞれの
電気絶縁性基板上に移動子の移動方向と同一方向（即
ち、駆動部を形成する帯状電極方向とは直交する方向）
として配線され、その配線位置は、駆動部の両側部にそ
れぞれ配置される。その配線にあたっては、図３に示す
ように、移動子１０を固定子１上に搭載した際に、同一
電源から配線され、同一極性の電圧が印加される移動子
における取り出し電極と固定子における取り出し電極と
が、電界方向において対向するように、それぞれが固定
子内、移動子内において配線される。

【００１３】対向する取り出し電極２５Ａ、２５Ａ′を
例として説明すると、移動子における取り出し電極２５
Ａ′は、図２に示すように、その端部で接続して２分割
されている。更に、図３に示すように、その２分割され
た移動子における取り出し電極２５Ａ′は、固定子にお
ける取り出し電極２５Ａとそれぞれ等間隔で対向する位
置となるように、移動子内において配線させておく。

【００１４】また、図３においては、同時に固定子にお
ける帯状取り出し電極２６Ａを２分割して移動子におけ
る帯状取り出し電極２６Ａ′と対向させているが、これ
は、駆動に際して３相電源を使用する場合、対向する取
り出し電極同士が０Ｖとなる場合があるからである。０
Ｖ電源を使用しない場合には、少なくとも１組の取り出
し電極において一方を分割して対向させておけばよい。

【００１５】図４は、図３で示される取り出し電極の作
用を、３相電源での各電源による位相の変化との関係で
説明するための図であり、（ａ）は、Φａ（−）：Φｂ
（０）：Φｃ（＋）とした場合、（ｂ）はΦａ（０）：
Φｂ（＋）：Φｃ（−）と変化させた場合、（ｃ）はΦ
ａ（＋）：Φｂ（−）：Φｃ（０）と変化させた場合て
ある。

【００１６】このようにして、固定子及び移動子におけ
る取り出し電極では、常に、同一波形がかかり、対向す
る３本の取り出し電極間で静電気力による反撥が生じ、
例えば（ａ）では固定子における取り出し電極２５Ａ
が、２本ある移動子における取り出し電極２５Ａ′の間
に位置するようになり、また、同様なことが（ｂ）、
（ｃ）でも生じるので、移動子が駆動する際に、移動子
が駆動方向とは直角な方向で位置ずれを生じることを防
止することが可能となる。

【００１７】図５〜図１１は、このような３相電源を使
用する場合における移動子と固定子における取り出し電
極の組合せの例示であるが、本発明はこれに限定される
ものではない。

【００１８】次に、３相電源を使用する場合における静
電アクチュエータの作製方法について説明する。図１２
は、図２に示す本発明の静電アクチュエータのＢ−Ｂ面
での断面図であり、図中、１は固定子、１０は移動子で
あり、２は電気絶縁性基板、３は電気絶縁性フイルム、
２５〜２７、２５′〜２７′は帯状電極である。

【００１９】図１２に示すように、固定子と移動子と
は、電極配線を除いては、同一構造を有するものであ
り、以下、固定子を例にして説明する。

【００２０】本発明における電極配線においては、図２
に示すように、帯状電極２７と、取り出し電極２６Ａと
が重ならざるを得ないという問題がある。そのため、基
板にスルーホールを穿設し、帯状電極２７をスルホール
を通して基板裏面に延設し、その取り出し電極２７Ａを
基板裏面に配線しても、移動子の駆動に伴う位置ずれを
防止することができる。しかしながら、この種の静電ア
クチュエータにおいては、その駆動電圧は２００Ｖ〜１
０００Ｖであり、絶縁破壊を防止するために基板膜厚と
しては１μｍ以上必要であり、静電アクチュエータを積
層してアクチュエータとする場合に、全体の容量が大き
くなるという問題がある。またスルホールを治具を使用
して穿設すると孔の直径が３００μｍ以下のものとはで
きず、また、エッチングにより穿設する場合にも直径５
０μｍが限度であり、固定子における帯状電極層の密度
が限定され、静電アクチュエータの高出力、低電圧駆動
化が得られなく、また作業工程も複雑であるという問題
がある。

【００２１】そのため、本発明における固定子及び移動
子の作製方法としては、例えば、（１）第１転写基板に
部分的に絶縁処理してマスクを形成する工程と、（２）
前記転写基板のマスク以外の部分にメッキ法により第１
帯状電極層を形成する工程と、（３）該第１帯状電極層
を、粘着層を有する電気絶縁性基板上に転写する工程
と、（４）電気絶縁性基板上の第１帯状電極層における
取り出し電極層上に粘着性を有する電気絶縁層を積層す
る工程と、（５）第２の転写基板に第２帯状電極層を、
前記第１帯状電極層の形成と同様にして形成する工程
と、（６）該第２帯状電極層を前記第１帯状電極層を形
成した電気絶縁性基板上に、該第１帯状電極層における
取り出し電極上に、粘着性を有する電気絶縁層を介して
転写して多層化させる工程、により製造するのが好まし
い。

【００２２】固定子における多層電極配線板について、
図１３により説明する。同図（ａ）は、帯状電極と取り
出し電極との配置関係を示す斜視図、同図（ｂ）はその
断面図であり、図中、２０は電気絶縁性基板、２１は粘
着層、２２は粘着層２３を有する電気絶縁層、２５は第
１電極群、２６は第２電極群、２７は第３の電極群、２
５Ａ〜２７Ａは各電極群の取り出し電極である。

【００２３】同図（ａ）（ｂ）に示すように、多層電極
配線板は、電気絶縁性基板２０上に粘着層２１を介し
て、第１電極群２５、第２電極群２６が配置され、次い
で第２電極群２６における取り出し電極２６Ａ上に粘着
層２３を有する絶縁層２２が被覆され、更に、第３の電
極群２７を電気絶縁性基板２０上及び粘着層２３を有す
る絶縁層２２上に積層される。

【００２４】図１３に示す多層電極板の製造方法を、図
１４〜図１７により説明する。図１４（ａ）は転写板の
平面図、同図（ｂ）はその断面図であり、３０は転写基
板、３１は絶縁層、３３電極層であり、次の２工程によ
り製造することができる。

【００２５】（１）まず、ステンレス等の金属板からな
る転写基板３０上に、第１電極群と第２電極群とからな
る第１帯状電極層が配線される部分以外にセラミックス
或いは樹脂等の絶縁性を有する材料を用い、フォトリソ
等のパターニングにより形成する、簡易的にはフォトレ
ジストを用い、直接パターニングを行なう、或いはスク
リーン印刷によってパターニングを行なって、絶縁層３
１を形成する。絶縁層３１の膜厚は、０．５μｍ〜４０
μｍの膜厚とするとよい。また、回路となる部分におい
ては、第３電極群における帯状電極の配線箇所を残し
て、第１帯状電極層を形成させる。

【００２６】（２）次いで、絶縁層３１により被覆され
ていない転写基板３０上に電気メッキにより金属電極層
３３（第１帯状電極層）を積層する。電極層としては、
銅、はんだ、ニッケル等により形成するか、または順次
相違する金属層を積層して形成するとよく、その膜厚
は、上記絶縁層の膜厚と同程度に形成するとよい。

【００２７】このようにして形成された転写板を使用し
て、本発明における多層電極板は、次の（３）〜（６）
で示す工程により製造される。

【００２８】（３）図１５（ａ）にその斜視図、同図
（ｂ）にその断面図を示すように、電気絶縁性基板２０
上における電極配線部に粘着層２１が適宜塗布形成され
る。電気絶縁性基板としてはポリエチレンテレフタレー
ト、ポリイミド、エポキシ樹脂等のプラスチック、また
ガラス等からなり、膜厚に特に制限はないが、好ましく
は１μｍ〜５０μｍとするとよい。また、粘着剤として
は特に制限はないが、一般にゴム系、アクリル系樹脂等
の粘着剤を使用でき、性状として溶剤系、水系（エマル
ジョン型）ホットメルト系、無溶剤系（液状硬化型）等
の粘着剤を使用することができる。

【００２９】（４）このように形成した電気絶縁性基板
に、上記（１）（２）で作製した転写板を重ね合わせ、
転写板における電極配線を電気絶縁性基板上に転写す
る。電極配線が転写された状態を、図１６（ａ）にその
斜視図で、同図（ｂ）にその断面図を示す。図中、２０
は電気絶縁性基板であり、２５は第１電極群、２６は第
２電極群、２５Ａは第１電極群の取り出し電極、２６Ａ
は第１電極群の取り出し電極であり、図１５と同一符号
は同一内容を示す。

【００３０】なお、粘着層２１を介して電極層を転写し
たが、上記（２）で転写基板３０上に電極層を形成した
後、電着粘着剤液中で、電着を行ない、電極層上にのみ
電着粘着層を形成（膜厚は０．５μｍ〜５０μｍ）した
後、電気絶縁性基板２０上に電着粘着層を介して電極を
転写してもよい。このような電着粘着剤としては、例え
ばエポキシ樹脂にアミン付加したカチオン系樹脂とエポ
キシ系樹脂と硬化剤とを混合して微粉化した微粉末とを
水媒体中に分散させた分散液を使用するとよく、この電
着粘着剤は電極層上に電着させた後、加熱、加圧条件を
コントロールすることにより、接着性（硬化度）を調整
することが可能なものである。このような電着粘着剤と
しては他にもアニオン系樹脂を使用することができる。

【００３１】（５）次に、電気絶縁性基板上の第２電極
群２６における取り出し電極部２６Ａ部分を被覆するよ
うに粘着層２３を有する電気絶縁層２２を被覆する。図
１７（ａ）に絶縁層を被覆した状態の斜視図を示し、同
図（ｂ）にその断面図を示す。

【００３２】粘着層２３を有する電気絶縁層２２は、体
積抵抗１０¹⁴Ω・ｃｍ以上を有するポリエチレンテレフ
タレート、ポリイミド等のプラスチックフイルムの両面
に、上述した粘着剤を塗布したもの、或いは粘着性をそ
れ自体有する樹脂フイルムを使用してもよく、膜厚は１
μｍ〜５０μｍとするとよく、好ましくは１０μｍ〜２
５μｍとするとよい。膜厚が薄いと第２電極群と第３電
極群との印加電圧により絶縁破壊が生じるので好ましく
なく、またこの膜厚が厚すぎると、第３電極群を積層す
るに際して断線等の問題が生じるので好ましくない。

【００３３】（６）次に、上記（１）〜（２）で説明し
たと同様に、別の転写基板上に第３電極群（第２帯状電
極層）を形成して、転写板を作製し、図１７に示す粘着
層２３を有する電気絶縁層２２を形成した電気絶縁性基
板と重ね合わせ、第２電極群における取り出し電極上
に、粘着層２３を有する電気絶縁層２２を介して、第３
電極群を転写し、図１３に示される多層電極配線板が作
製される。

【００３４】なお、上記では電気絶縁性基板上にまず、
第１帯状電極層を形成し、次いで第２帯状電極層を絶縁
層を一部介して積層したが、これとは逆に、電気絶縁性
基板上にまず、第２帯状電極層を形成し、次いで第１帯
状電極層を絶縁層を介して積層してもよい。

【００３５】図１３で示される多層電極板上には、オー
バーコート層として、２５μｍ厚のポリエチレンテレフ
タレートフイルム、ポリイミドフイルム等の電気絶縁性
フイルムを積層するか、またはエポキシ樹脂等を塗布し
た後、２５μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフイル
ム、ポリイミドフイルム等の電気絶縁性フイルムを積層
することにより、例えば、図２に示される静電アクチュ
エータにおける固定子が作製される。

【００３６】また、本発明の静電アクチュエータは、図
２に示すような、固定子及び移動子が四角形状を有する
場合の他に、図１８に示すように、固定子及び移動子が
ドーナツ板状の電気絶縁性基板２上にその円中心から放
射状に延びるように帯状電極層、また、同心円状に取り
出し電極を配置した構造としてもよい。

【００３７】

【作用及び発明の効果】本発明の静電アクチュエータに
おいては、固定子及び移動子における取り出し電極で
は、常に、同一波形がかかり、対向する３本の取り出し
電極間で静電気力による反撥が生じ、一方の取り出し電
極が、他方の２本ある取り出し電極の間に位置するよう
になり、移動子が駆動する際に、移動子が駆動方向とは
直角な方向で位置ずれを生じることを防止することが可
能となる。

【００３８】また、固定子又は移動子の作製方法におい
て、電気絶縁性基板上に３種類の電極群を積層するにあ
たり、絶縁層を介して各電極を多層化することにより、
電極ピッチを１０μｍ程度まで微細化することが可能で
あり、固定子における帯状電極配置密度を高くでき、静
電アクチュエータの高出力、低電圧駆動化が達成され
る。また、電気絶縁性基板の膜厚を薄くすることがで
き、静電アクチュエータを積層してアクチュエータとす
る場合に全体の容量を小さくすることができる。

【００３９】また、転写で電極層を積層することによ
り、絶縁層を介して他の電極層上に積層しても、或いは
絶縁層による段差があっても、電極層の断線等を生じに
くくでき、リソグラフィー等では不可能な電極層の多層
化を行うことができ、また、作業工程も簡素化できる。

【００４０】更に、従来のスルーホールを形成する場合
には、電極ピッチが細かくなるにつれて、スルーホール
の径に影響されて電極ピッチの微細化には限界があり、
しかも、スルーホールを近接して穿設する必要があるこ
とから、基材の材質として剛性の高いガラス等は使用で
きないという問題があるが、電極ピッチが細かくなって
も、取り出し電極部の大きさは変わらないので、同一面
積の基板においては、有効な配線部分の面積を広くと
れ、またガラス等の基材を有効に使用できる。

【００４１】また、電気絶縁性基板上には全面に粘着層
が形成されているので、オーバーコート層を積層する
際、再度接着剤を塗布する必要がなく、作業工程が簡便
となる。以下、実施例により、本発明を詳細に説明す
る。

【００４２】

【実施例】

（固定子の作製）ステンレス製の転写基板上に、図１４
（ａ）に示す第１帯状電極層配線部（第１電極群と第２
電極群とからなる）以外を、ポリイミド系樹脂インクを
スクリーン印刷により積層し、１μｍの膜厚の絶縁層３
１を形成した。

【００４３】次いで、絶縁層が形成されていない転写基
板上に銅電極層３３を電気メッキにより１μｍの膜厚で
積層し、図１４に示す転写板を作製した。

【００４４】一方、膜厚２５μｍのポリイミド基板上
に、アクリル系粘着剤（日本カーバイト（株）製、ＰＥ
−１１８）を塗布し、膜厚２μｍの粘着層２１を形成し
た後、上記で作製した転写板とを重ね合わせ、圧着する
ことにより、転写板における電極パターン（第１帯状電
極層）をポリイミド基板上に転写した（図１６）。

【００４５】次いで、図１７に示すように、第２電極群
における取り出し電極部上に、膜厚２５μｍの両面に粘
着剤を塗布したポリイミドフイルムを貼付し、絶縁層２
２を被覆した。

【００４６】次に、別のステンレス製の転写基板に、第
３電極群からなる第２帯状電極層配線部以外を、上記同
様にして絶縁層を形成し、更に銅電極層を形成して転写
板を作製した後、上記で作製した第１帯状電極層を有す
るポリイミド基板とを、各電極群を位置合わせして重ね
合わせ、上記同様にローラー圧着し、第２帯状電極層を
転写し、各帯状電極ピッチ３２０μｍで、図１３に示さ
れる多層電極配線板を作製できた。更に、この多層電極
配線板上にエポキシ樹脂を２μｍの膜厚で塗布した後、
２５μｍの膜厚のポリイミドフイルムを接着剤を使用し
て積層し、全体の膜厚が５５μｍの固定子を得た。

【００４７】この固定子上に、取り出し電極の配線位置
を図３に示すように調整した以外は上記と同様にして作
製した移動子を図２に示すように配置し、取り出し電極
２５Ａと２５Ａ′を３相電源におけるΦａに、取り出し
電極２６Ａと２６Ａ′を３相電源におけるΦｂに、取り
出し電極２７Ａと２７Ａ′を３相電源におけるΦｃに接
続し、±５００Ｖの電圧で、Φａ（−）：Φｂ（０）：
Φｃ（＋）→Φａ（０）：Φｂ（＋）：Φｃ（−）→Φ
ａ（＋）：Φｂ（−）：Φｃ（０）の順に電圧を印加
し、評価したところ、位置ずれが起こらず、良好な駆動
を示した。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、静電アクチュエータの断面図である。

【図２】図２は、本発明の静電アクチュエータの斜視図
である。

【図３】図３は、図２のＡ−Ａ面での断面図で、移動子
と固定子の位置関係を説明するための図である。

【図４】図４は、図３における取り出し電極への電圧印
加順序の説明図である。

【図５】図５は、３相電源を使用する場合における移動
子と固定子における取り出し電極の組合せの一例であ
る。

【図６】図６は、３相電源を使用する場合における移動
子と固定子における取り出し電極の組合せのの一例であ
る。

【図７】図７は、３相電源を使用する場合における移動
子と固定子における取り出し電極の組合せの一例であ
る。

【図８】図８は、３相電源を使用する場合における移動
子と固定子における取り出し電極の組合せのの一例であ
る。

【図９】図９は、３相電源を使用する場合における移動
子と固定子における取り出し電極の組合せの一例であ
る。

【図１０】図１０は、３相電源を使用する場合における
移動子と固定子における取り出し電極の組合せのの一例
である。

【図１１】図１１は、３相電源を使用する場合における
移動子と固定子における取り出し電極の組合せの一例で
ある。

【図１２】図１２は、本発明の静電アクチュエータの断
面図で、作製方法を説明するための図である。

【図１３】図１３は、本発明の静電アクチュエータの移
動子又は固定子における多層電極配線板を示す図で、
（ａ）はその斜視図、（ｂ）は断面図である。

【図１４】図１４は、図１３の多層電極配線板を作製す
るために使用する転写板を示す図で、（ａ）は平面図、
（ｂ）は断面図である。

【図１５】図１５は、図１３の多層電極配線板を作製す
るにあたり、電気絶縁性基板上に粘着層を形成した状態
を示す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。

【図１６】図１６は、図１３の多層電極配線板を作製す
るにあたり、第１帯状電極層を電気絶縁性基板に転写し
た状態を示す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図で
ある。

【図１７】図１７は、図１３の多層電極配線板を作製す
るにあたり、第１帯状電極層上に絶縁層を積層した状態
を示す図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。

【図１８】図１８は、本発明における他の静電アクチュ
エータを示す図である。

【符号の説明】

１は固定子、２は電気絶縁性基板、３は電気絶縁性フイ
ルム、１０は移動子、２５〜２７は、固定子における帯
状電極、２５′〜２７′は移動子における帯状電極、２
５Ａ〜２７Ａは、固定子における取り出し電極、２５
Ａ′〜２７Ａ′は、移動子における取り出し電極であ
る。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気絶縁性基板上に駆動部を形成する複
   数の帯状電極が配線された固定子と、該固定子上に搭載
   され、電気絶縁性基板上に駆動部を形成する複数の帯状
   電極が配線される移動子とからなり、固定子と移動子に
   おけるそれぞれの帯状電極への印加電圧の位相の切替え
   により、移動子を浮上させ、駆動させる静電アクチュエ
   ータにおいて、固定子における帯状電極からの取り出し
   電極と移動子における帯状電極からの取り出し電極とが
   それぞれの電気絶縁性基板上において移動子の移動方向
   と同一方向に配線されると共に、固定子における取り出
   し電極の配線位置と移動子における取り出し電極の配線
   位置とが、その少なくとも１組において対向し、かつそ
   の対向する電極には同一極性の電圧が印加されるように
   配線されてなり、更に、対向する固定子及び移動子の取
   り出し電極の組合せにおけるいずれか一方の取り出し電
   極が２分割されると共に他方の帯状取り出し電極と等間
   隔をおいて対向させられるように配線されたことを特徴
   とする静電アクチュエータ。