JP2009225563A - 静電アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 固定子基材とその表面に形成した電極とを有する固定子と、電極の電位に応じた電荷が誘起される移動子基材を有する移動子を備え、固定子基材の電極を形成した表面に対して反対側に前記移動子基材を対面して配置するようにした。また、固定子基材の電極を形成した表面に密着して形成された絶縁体を備える。
【選択図】 図1
Description
また、本発明の請求項2に係る静電アクチュエータは、請求項1に記載の静電アクチュエータにおいて、前記固定子基材の電極を形成した表面に密着して形成された絶縁体を備えるようにしたものである。
また、本発明の請求項2に係る静電アクチュエータによれば、請求項1に係る静電アクチュエータにおいて、 請求項1に記載の静電アクチュエータにおいて、請求項1に記載の静電アクチュエータにおいて、前記固定子基材の電極を形成した表面に密着して形成された絶縁体を備える。すなわち、電気的な絶縁性が得られるとともに、固定子の全体の剛性を高くすることができ変形を小さくすることができる。したがって、固定子基材が薄い場合であっても移動子基材に対面する固定子基材の表面の平滑性が確保される。
本発明の静電アクチュエータは、図1に示すように、固定子1と移動子(図において明示せず)を基本的な構成要素とする。図1においては、移動子の構成要素として移動子基材21だけが明示されているが、移動子の移動の利用形態よって様々な態様の構成要素(たとえば、案内要素、伝達要素、等)が付加される。
また、固定子1と移動子との間で発生する摩擦力を軽減するために潤滑層3を設けると、駆動の効率化、安定化、等において好適である。潤滑層3としては流動体を使用することができる。
また、当然ながら、静電アクチュエータは電力供給により動作(移動)するアクチュエータであるから電源部を必用とし、その動作を制御するときには制御部を必要とする。
固定子基材11はその表面に形成した電極12の電極形状を保持するための基材となるフィルムである。固定子基材11としては、電気的な絶縁性を有し、かつハンダ付における耐熱性を有するプラスチックフィルム、たとえばPI(PolyImide)フィルム、PET(PolyEthyleneTerephthalate)フィルム、PAI(PolyAmideImide)フィルム、等、あるいはプラスチックフィルムではない他の材料として、ガラス基板、ガラスエポキシ基板、紙フェノール基板、フッ素樹脂基板、コンポジット基板、等を使用することができる。移動子と電極12を近接させて駆動効率を高めるためには、固定子基材11は薄いほど良い。また、変形、破壊、等に対する物理的な強度においては固定子基材11は厚いほど良い。固定子基材11の厚さとしては、実用的には10〜500μmを使用でき、10〜50μmであると駆動効率において好適である。さらに、外面絶縁体13等によって補強されるときには10μm以下であっても好適に使用することができる。
また、バックライトを透過させる等のために、電極12として透明電極を必要とするときには、透明電極を形成する周知の方法によって電極12を形成することができる。たとえば、ITO(酸化インジウム・スズ)を使用しスパッタリング、蒸着、等により基材に成膜しエッチングによりパターン化する、またはITOペーストをインキとし基材にスクリーン印刷して焼成する、等により透明電極を得ることができる。
電極12の厚さは(銅箔の厚さ)は、通常は、固定子基材11の厚さと同程度のものを使用できる。本発明においては、固定子基材11における移動子に対面する表面がエッチングされるわけではないから、電極12を厚くしても、その表面にはエッチングによって銅箔が除去されたことによる凹凸が生じない。したがって、電極12を厚くし(たとえば100μmとし)電極12の抵抗値を下げて電力の供給効率を向上させることができる。
電極12は、固定子基材11において、その表面に沿う方向に複数本が互いに平行となるように配列している。そして、その複数本の電極はその配列の順序にしたがって3系統に統合接続されている。電極12の配列間隔はたとえば1.5mm、電極12の幅はたとえば1.0mmである。ここで、帯線状の電極とは、その一例が、厚さ100μm、幅1.0mmの長方形の断面形状でパターンに沿って延びる電極のことである。
外面絶縁体13は電気的な絶縁性を得るためだけではなく、固定子1の全体の剛性を高くして変形を小さくし、移動子基材21に対面する固定子基材11の表面の平坦性を確保する働きを有している。外面絶縁体13の厚さは、電気的な絶縁性を得るためだけであれば薄くてよいが、物理的な強度を得るためにはそれ相応に厚くする。外面絶縁体13を厚くしても、本発明の静電アクチュエータにおける駆動効率には悪影響を及ぼさない。
移動子基材21は、電極12の電位に応じた電荷が誘起されるフィルムである。移動子基材21は、その表面に誘起された電荷と電極12の電位とによって決まる電気力(クーロン力)が作用して移動を行う。そのような作用を生じるために、移動子基材21は、電位に応じた電荷が誘起される物性と、その電荷を一定の時間だけは保持する物性を有している。この物性は移動子基材21の表面抵抗率が関係しており、表面抵抗率が約1012〜1015Ω/□程度が好適である。
移動子基材21は、図2に示す一例において、絶縁材料(誘電体)であり表面抵抗率が約1012〜1015Ω/□程度である。この場合微弱な電気が流れるため、固定子基材11に形成された電極12によって移動子基材21に誘起された電荷は、電極12における電圧の瞬間的な変化に対して遅れて追従することになる。
次に、図2(2)に示すステップにおいて、電圧が印加された電極線による電界によって移動子基材には電荷が誘起され帯電する。端子Uに接続する電極線は+であるから、移動子基材21のその部位には−の電荷が誘起され、端子Vに接続する電極線は−であるから、移動子基材21のその部位には+の電荷が誘起され、端子Wに接続する電極線は0であるから、移動子基材21のその部位には電荷が誘起されない。このとき、移動子基材21と固定子基材11との間には対向面に対して直角方向の引力が作用する。
次に、図2(4)に示すステップおいて、移動子基材21は固定子基材11に対して電極線の1間隔程度だけ右方向に移動して安定する。
本発明の静電アクチュエータにおいては、図1、図3に示すように、固定子基材11の電極12を形成した表面に対して反対側に移動子基材21が対面して配置されている。一方、比較例においては、図4に示すように、固定子基材11の電極12を形成した表面を被覆する内面絶縁体13’の側に移動子基材21が対面して配置されている。
その理由(1)としては、固定子基材11の平面性によって規制されるため、電極12の作用面(電極12と固定子基材11の接着面)は常に平面となっている。これにより、電気力線は垂直に移動子基材21へ入り込み、有効な電気力線の割合が大きくなる。
また、その理由(2)としては、固定子1と移動子基材21との摩擦面が平滑であるため摩擦力は一定で安定しており、またその特性を向上させる潤滑層3、ハードコート層14、等のコーティングを適正に行うことができる。
また、その理由(3)としては、固定子基材11の厚さは、物理的強度が高いフィルムを容易に選択可能であることから極めて薄くすることができる。電極12と移動子基材21との間隔を小さくすることが可能となるため高い駆動力が得られる。
また、その理由(4)としては、移動子基材21に対して背面側(裏側)は性能に与える影響が小さく、寸法形状における制約も小さい。したがって、背面側において耐久性、剛性、等を高める構成の付与が容易である。
その理由(1)としては、電極12の作用面(電極12の移動子基材の側の表面)はエッチングにより形成されるため肩が垂れて複雑曲面形状となっている。そのため、電気力線は分散されて移動子基材21へ入り込み、有効となる電気力線の割合が小さくなる。
また、その理由(2)としては、電極12は固定子基材11の表面から突出しているため本質的に凸凹であり、内面絶縁体13’を形成しても良好な平面性を得ることが困難である。そのため、固定子1と移動子基材21との摩擦面が凸凹であるため摩擦力は大きく不安定であり、またその特性を向上させる潤滑層3、ハードコート層14、等のコーティングを適正に行うことができない。
また、その理由(3)としては、電解強度を上げるためには内面絶縁体13’を薄くした方が良いが、移動子基材21との摩擦面の強度の低下、凸凹の顕在化により薄くすることが困難である。
11 固定子基材
12,12a,12b,12c,12d,12e,12f,・・・ 電極
13 外面絶縁体
13’ 内面絶縁体
14 ハードコート層
21 移動子基材
3 潤滑層
Claims (2)
- 固定子基材とその表面に形成した帯線状の電極とを有する固定子と、前記電極の電位に応じた電荷が誘起される移動子基材を有する移動子を備え、前記固定子基材の電極を形成した表面に対して反対側に前記移動子基材を対面して配置することを特徴とする静電アクチュエータ。
- 請求項1に記載の静電アクチュエータにおいて、前記固定子基材の電極を形成した表面に密着して形成された絶縁体を備えることを特徴とする静電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008067332A JP2009225563A (ja) | 2008-03-17 | 2008-03-17 | 静電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008067332A JP2009225563A (ja) | 2008-03-17 | 2008-03-17 | 静電アクチュエータ |
Publications (1)
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2008
- 2008-03-17 JP JP2008067332A patent/JP2009225563A/ja active Pending
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