JP2010148207A - 静電アクチュエータおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】片面配線で済み、静電力が大きく、静電力が均等で、製造が容易な４相電極パターンの固定シートを有する静電アクチュエータおよびその製造方法。
【解決手段】特定の２相の電極パターンを片面に有する第１シートと、残りの２相の電極パターンを片面に有する第２シートと、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁層と、前記第１シートと前記第２シートとを接着する接着層とを備えた固定シートと、 固定シートとの間で作用する静電力により移動可能に固定シートに対面して配置された移動シートとを具備する。
【選択図】 図１

Description

本発明は静電アクチュエータの技術分野に属する。特に、固定シートがスルーホールを使用することなく配線の干渉を回避した４相電極パターンである静電アクチュエータとその製造方法に関する。

固定シートに形成された電極線に電圧を印加することによって、固定シートに重ねられた移動シートに静電力を作用させて、固定シートに対して移動シートを移動する静電アクチュエータが周知である。その固定シートには多数の電極線が互いに平行となるように配置しており、各々の電極線には配置の順番に所定の多相の電圧が印加される。多相の電極線は各相ごとに結合線によって結合され、結合線の一部分である端子部から多相の電圧が印加される。多相の電圧は多くの場合には３相であるが４相以上のこともある。特に、３相以上において、電極線と結合線の配線が各相の間において干渉しないようにするためには、スルーホールを使用して両面配線を行うことが一般的である。スルーホールを使用しないで片面だけの配線で済ませるためには、特別な工夫が必要である。

たとえば、図７（Ａ）に示すように、移動子の移動方向に延びる結合線（電極幹線）と、その結合線に直交する電極線（電極支線）からなる各相電極を、電極線が重ならないように、また所定の位相を保持するように配置して３相電極を構成した静電アクチュエータの発明が周知である（特許文献１）。しかしながら、この発明においては、電極線の延長総幅は固定シートの全幅に対して、相当に短いものとならざるを得ない。すなわち、結合線によって占められる幅だけでなく、他相電極によって囲まれた領域に電極線の開き領域が生じている。したがって、この固定シートを使用した静電アクチュエータにおいては、電極線の延長総幅が短い分だけ静電力が小さいという問題がある。
特開昭６３−１３６９７８

また、図７（Ｂ）に示すように、絶縁体内に電極線（電極）が形成されるた固定子エレメントと、それららの間に配置され絶縁体内に電極線（電極）が形成されるた移動子エレメントが多段に配置された静電アクチュエータにおいて、各々の固定子エレメントには１つの相を除いた２つの相の電極線だけが形成されており、それらが多段に配置されたときに、各々の固定子エレメントにおける電極線が互いに、所定の位相を保持するように、各々の固定子エレメントを配置して３相電極を構成した静電アクチュエータの発明が周知である（特許文献２）。しかしながら、この発明においては、多数の固定子エレメントを使用することが前提であって、使用数が少ないときには各相による静電力が均等とはならないという問題がある。また、各々の固定子エレメントには１つの相を除いた２つの相の電極線だけが形成されている。したがって、この固定シートを使用した静電アクチュエータにおいては、除かれた電極線の分だけ静電力が小さいという問題がある。
特開平７−１９４１４７

本発明は上記の問題を解決するために成されたものである。その目的は、スルーホールを使用しない片面配線で済ませることができ、電極線の延長総幅が長く静電力が大きく、各相による静電力が均等であり、しかも製造が容易な４相電極パターンの固定シートを有する静電アクチュエータおよびその製造方法を提供することにある。

本発明の請求項１に係る静電アクチュエータは、４相電圧が印加される４相電極パターンにおける特定の２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する第１シートと、前記第１電極パターンに含まれなかった４相電極パターンにおける２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する第２シートと、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁層と、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて前記第１シートと前記第２シートとを接着する接着層とを備えた固定シートと、 前記固定シートとの間で作用する静電力により移動可能に前記固定シートに対面して配置された移動シートとを具備するようにしたものである。
また、本発明の請求項２に係る静電アクチュエータは、請求項１に係る静電アクチュエータにおいて、前記接着層は前記第１シートの前記第１電極パターンの表面に形成された第１接着層と、前記第２シートの前記第２電極パターンの表面に形成された第２接着層とからなるようにしたもあのである。
また、本発明の請求項３に係る静電アクチュエータは、請求項２に係る静電アクチュエータにおいて、前記絶縁層は前記第１接着層と前記第２接着層との間に存在する層であるようにしたものである。
また、本発明の請求項４に係る静電アクチュエータ製造方法は、４相電圧が印加される４相電極パターンにおける特定の２相の電極パターンを含む第１電極パターンを第１シートの片面に形成する第１電極パターン形成過程と、前記第１電極パターンに含まれなかった４相電極パターンにおける２相の電極パターンを含む第２電極パターンを第２シートの片面に形成する第２電極パターン形成過程と、前記第１電極パターンの面および／または前記第２電極パターンの面に接着層を形成する接着層形成過程と、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁層を形成する絶縁層形成過程と、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて前記第１シートと前記第２シートとを接着するシート接着過程とによって固定シートを形成するようにしたものである。
また、本発明の請求項５に係る静電アクチュエータ製造方法は、請求項４に係る静電アクチュエータ製造方法において、前記第１電極パターン形成過程と前記第２電極パターン形成過程とは同一の電極パターン形成過程であって、前記シート接着過程は、その電極パターン形成過程で形成された一種類の電極パターンにおける隣接する相の電極線が等間隔となるように位置合わせして前記第１シートと前記第２シートとを接着するシート接着過程であるようにしたものである。

本発明の請求項１に係る静電アクチュエータによれば、固定シートは４相電圧が印加される４相電極パターンにおける特定の２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する第１シートと、前記第１電極パターンに含まれなかった４相電極パターンにおける２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する第２シートと、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁層と、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて前記第１シートと前記第２シートとを接着する接着層とを備える。また、移動シートは前記固定シートとの間で作用する静電力により移動可能に前記固定シートに対面して配置されている。すなわち、１平面（片面）に２相の電極パターンを形成するのであれば電極線と結合線の配線が各相の間において干渉することがない。そのような電極パターンを有するシートの２つを接着しているから４相であっても干渉しない。したがって、スルーホールを使用しない片面配線で済ませることができ、電極線の延長総幅が長く静電力が大きく、各相による静電力が均等であり、しかも製造が容易な４相電極パターンの固定シートを有する静電アクチュエータが提供される。
また、本発明の請求項２に係る静電アクチュエータによれば、請求項１に係る静電アクチュエータにおいて、前記接着層は前記第１シートの前記第１電極パターンの表面に形成された第１接着層と、前記接着層は前記第２シートの前記第２電極パターンの表面に形成された第２接着層とからなる。すなわち、電極パターンは接着層によって被覆され、高い電気絶縁性を得ることが可能となる。したがって、特に同一シート内の異相電極間における放電が高電圧駆動においても起きない静電アクチュエータが提供される。
また、本発明の請求項３に係る静電アクチュエータによれば、請求項２に係る静電アクチュエータにおいて、前記絶縁層は前記第１接着層と前記第２接着層との間に存在する層であるようにしたものである。すなわち、絶縁層の両面が各接着層によって第１シートと第２シートに接着する。したがって、浮きが無く密着した固定シートを得ることができる。
また、本発明の請求項４に係る静電アクチュエータ製造方法によれば、第１電極パターン形成過程において４相電圧が印加される４相電極パターンにおける特定の２相の電極パターンを含む第１電極パターンが第１シートの片面に形成され、第２電極パターン形成過程において前記第１電極パターンに含まれなかった４相電極パターンにおける２相の電極パターンを含む第２電極パターンを第２シートの片面に形成され、接着層形成過程において前記第１電極パターンの面および／または前記第２電極パターンの面に接着層が形成され、絶縁層形成過程において前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁層が形成され、シート接着過程において前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて前記第１シートと前記第２シートとが接着されて固定シートが形成される。すなわち、１平面（片面）に２相の電極パターンを形成するのであれば電極線と結合線の配線が各相の間において干渉することがない。そのような電極パターンを有するシートの２つを接着しているから４相であっても干渉しない。したがって、スルーホールを使用しない片面配線で済ませることができ、電極線の延長総幅が長く静電力が大きく、各相による静電力が均等であり、しかも製造が容易な４相電極パターンの固定シートを有する静電アクチュエータ製造方法が提供される。
また、本発明の請求項５に係る静電アクチュエータ製造方法によれば、請求項４に係る静電アクチュエータ製造方法において、前記第１電極パターン形成過程と前記第２電極パターン形成過程とは同一の電極パターン形成過程であって、前記シート接着過程は、その電極パターン形成過程で形成された一種類の電極パターンにおける隣接する相の電極線が等間隔となるように位置合わせして前記第１シートと前記第２シートとを接着するシート接着過程である。したがって、４相電圧が印加される４相電極パターンにおける特定の２相の電極パターンを片面に有する１種類のシートだけで、４相電極パターンの固定シートを得ることができる。

次に、本発明の実施の形態について図を参照しながら説明する。本発明の静電アクチュエータは固定シートと移動シートを組み合わせたものである。また、その移動シートの駆動には４相駆動電源を必要とする。本発明の静電アクチュエータにおける固定シートと移動シートの一例を図１に示す。図１において、１は固定シート、２は移動シート、１１１と１１２は電極端子である。
固定シート１は、本発明の静電アクチュエータにおいては、４相電圧が印加される４相電極パターンを有する。図１においては、その４相電極パターンにおける特定の２相の電極パターンを含む第１電極パターンが示されている。電極端子１１１、１１２は、その２相の電極パターンにおける電極端子である。固定シート１は、すくなくとも、第１シートと、透明絶縁フィルムと、第２シートによって構成される（図２参照；後述する）。

第１電極パターンは第１シートに形成された電極パターンであって、図１においては太線と細線の２種類の線で示されている。電極パターンは、４相駆動電源を接続する電極端子１１１、１１２の部分と、移動シート２に対して静電力を作用させるために多数本を所定間隔で平行に配置した電極線（１１１ａ，１１１ｂ，・・・、１１２ａ，１１２ｂ，・・・）の部分と、多数本の電極線を電気的に結合するための結合線の部分を有している。その内で、電極端子１１１、１１２と結合線は、図１において、太線で示されている。また、多数本の電極線は、図１において、細線で示されている。図１においては、４相駆動の電極線の内の２相の電極線だけが示されている。４相駆動の電極線は、通常は、各相の電極線が所定の順番に等間隔となるように配置している（図３参照；後述する）。

移動シート２は固定シート１との間で作用する静電力により移動可能に固定シート１に対面して配置される。固定シート１と移動シート２との間で発生する摩擦力を軽減するために固定子と移動子とが対面する（接触する）面の間に潤滑層を設けることができる。この潤滑層により駆動の効率性、安定性、等を向上させることができる。潤滑層としては流動体を使用することができる。たとえば、シリコーンオイル、フッ素系液体（たとえば、フロリナート（商標））、等の不活性かつ電気絶縁性を有する液体を使用すると好適である。また、滑り抵抗ではなく、流動体と同様の作用効果を有する直径１０〜２０μｍ程度のビーズを使用し転がり抵抗としてもよい。

移動シート２には、図１に示す一例において、電極線は設けられていない。移動シート１は一般的には絶縁材料（誘電体）であり、たとえば、ポリエステルフィルム、ポロプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリ塩化ビニール、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、等のプラスチックフィルムを使用することができる。
また、そのような絶縁材料を固定シート１との対向面にラミネートした（貼り合せた）紙、等の複合材料を使用することができる。移動シート１の表面は、表面抵抗率が約１０¹²〜１０¹⁵Ω□程度が好適である。この場合微弱な電気が流れるため、固定シート１の電極線によって移動シート１に誘起された電荷は、電極線における電圧の瞬間的な変化に対して遅れて追従することになる。このような表面物性は材料表面の処理に大きく影響されることがあるため、使用することができる材料は上記に限定されず、コーティング処理等によって表面抵抗率を最適化してもよい。

本発明の静電アクチュエータにおける固定シート１の部品構成の一例を図２に示す。図２において、１１は第１シート、１２は第２シート、１３ａ，１３ｂ，１３ｃは透明絶縁フィルムである。
第１シート１１は４相電圧が印加される４相電極パターンにおける特定の２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する。
第２シート１２は第１電極パターンに含まれなかった４相電極パターンにおける２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する。
透明絶縁フィルム１３ａ，１３ｂ，１３ｃは、第１電極パターンの面と第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにするための絶縁層となるフィルムである。
図２には示されていないが、第１シート１１と第２シート１２を透明絶縁フィルム１３ａ，１３ｂ，１３ｃを介在させて接着するための接着剤層を有する。接着剤層としては第１シート１１と第２シート１２の接着面に塗工した接着剤、接着面によって挟まれたホットメルト接着シート、等を適用することができる。

本発明の静電アクチュエータにおける固定シート１の構成の一例を図３に示す。図３（Ａ）は固定シートの全体図、図３（Ｂ）は固定シートにおける結合線（バスライン）の部分の断面図、図３（Ｃ）は固定シートにおける電極線（細線）の部分の断面図である。
図３（Ａ）において、第１シート１１に形成されている第１電極パターンと、第２シート１２に形成されている第２電極パターンとは同一の電極パターンであって、互いに裏返しの関係にある。すなわち、固定シート１は、第１シート１１と第２シート１２とを電極パターンが形成された側の表面を互いに向かい合わせて接着した構成を有する。ただし、この接着において、第１シート１１と第２シート１２とを４相電圧の半周期分の位相距離（電極線の配置距離）だけずれるように位置合わせして接着する。図１〜図４に示す電極パターンの一例においては半周期分であるが、電極パターンによっては四半周期分となる。このようにずらす理由は、図３（Ａ）に一例を示すように、電極端子１１１、１１２、１２１，１２２から電圧印加が行われる各相の電極線を等間隔に配置するためである。

上述の接着は、第１シート１１と第２シート１２とを電極パターンが形成された側の表面を互いに向かい合わせて接着するのであるから、異なる相の電極パターンが短絡しないようにする必要性がある。たとえば、図３（Ｂ）に示すように、第１シートの結合線（電極端子１１２から延長した結合線）と第２シートの結合線（電極端子１２２から延長した結合線）が対向しているから、透明絶縁フィルム１３ｂを絶縁層として介在させることによりそれらが短絡しないようにする。図１〜図３に示した電極パターンの一例においては、その他に、電極端子１１１から延長した結合線と電極端子１２１から延長した結合線の対向する部位に透明絶縁フィルム１３ａを絶縁層として介在させ、電極端子１１２から延長した結合線と電極端子１２２から延長した結合線の対向する部位に透明絶縁フィルム１３ｃを絶縁層として介在させることによりそれらが短絡しないようにする。
一方、電極パターンであっても固定シートにおける電極線（細線）の部分は、その断面を図３（Ｃ）に示すように、異なる相の電極線は互いに向かい合わせの状態とはならないから短絡しない。したがって、透明絶縁フィルムを絶縁層として介在させる必要性がない。

第１シート１１と第２シート１２とを接着するための接着層は、図３（Ｂ）、図３（Ｃ）に示す一例においては、第１シート１１の接着する表面と第２シート１２の接着する表面の両表面に接着剤の塗工により設けたものである。両表面に設けた２つの接着層は、図３（Ｂ）、図３（Ｃ）に示すように、第１シート１１と第２シート１２とを透明絶縁フィルム１３ａ，１３ｂ，１３ｃを絶縁層として介在させて接着することにより一体化し１つの接着層となる。
接着層を第１シート１１と第２シート１２の一方だけに設けて接着することも可能である。このとき、接着層を設けたシートにおいては電極パターンの表面が電気絶縁体である接着層により被覆されているため電気的な絶縁性が向上している。これに対して、接着層を設けなかったシートにおいては、接着を行った後の電極パターンの表面が接着層により被覆されているとは限らない。接着の方法によっては空気を抱き込むことがあるからである。また、透明絶縁フィルムを介在させることにより空気を抱き込んだ状態となる。したがって、接着層を設けなかったシートの電気絶縁性は相対的に良くない。高電圧を印加する静電アクチュエータにおいては異なる相の電極パターン間の電気絶縁性が重要課題となることが多い。

第１シート１１と第２シート１２の基材および絶縁層（透明絶縁フィルム）には、プラスチックフィルム等の絶縁性材料を使用することができる。プラスチックフィルムとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、等を使用することができる。また、これらのフィルムを含む多層フィルム、これらのフィルムとの複合材料、等を使用することができる。特に、ポリエチレンテレフタレートフィルムは好適である。
また、接着層には選択した基材の接着に適合するとともに、絶縁性、透明性、耐候性、等の諸特性を満たす周知の接着剤を使用することができる。接着剤に代わるホットメルト接着シート、等を接着層に適用することもできる。

また、第１電極パターンと第２電極パターンの導電部分は、金属箔等の導電性材料を使用することができる。銅貼フィルムの銅箔面にエッチングレジストのパターンを形成してエッチングすることにより銅箔をパターン化することができる。また、バックライトを透過させる等のために、透明電極を必要とするときには、透明電極を形成する周知の方法によって電極を形成することができる。たとえば、ＩＴＯ（酸化インジウム・スズ）を使用しスパッタリング、蒸着、等により基材に成膜しエッチングによりパターン化する、またはＩＴＯペーストをインキとし基材にスクリーン印刷して焼成する、等により透明電極を得ることができる。

以上、構成について説明した。次に、本発明の静電アクチュエータにおける固定シートの製造方法について説明する。本発明の静電アクチュエータにおける固定シートの製造過程の一例を図４に示す。
まず、図４のステップＳ１において、第１シート１１と第２シート１２に接着剤を塗工して乾燥させる（接着層形成）。このとき、電極端子１１１、１１２、１２１，１２２の部分には接着剤を塗工しない。
次に、ステップＳ２において、透明絶縁フィルム１３ａ，１３ｂ，１３ｃを第１シート１１または第２シート１２における前述した所定の場所に貼り付ける（絶縁層形成）。
次に、ステップＳ３において、第１シート１１と第２シート１２における接着剤を塗工した表面に離型フィルムを貼り付ける（離型フィルム貼付）。

次に、ステップＳ４において、離型フィルムが貼られている第１シート１１と第２シート１２の位置合わせを行う（位置合わせ）。離型フィルムにより滑りが良く、容易かつ正確に位置合わせを行うことができる。
次に、ステップＳ５において、離型フィルムを剥がして、ロールにより第１シート１１と第２シート１２を挟み込んで圧着し、そのままロールを移動することにより圧着位置を移動し、空気の抱き込みを防止して貼り合わせる（接着）。電極端子１１１、１１２、１２１，１２２の部分は貼り合わされていないから、その部分においてリード線を介して４相駆動電源に接続することができる。

以上、製造方法について説明した。次に、本発明の静電アクチュエータにおける４相駆動電源について説明する。本発明の静電アクチュエータにおける４相駆動電源における構成の一例をブロック図として図５に示す。図５において、２００はコントロールボックス、３００は４相駆動電源の本体である。
コントロールボックス２００は静電アクチュエータにおける移動シート２の移動を制御するコントローラである。コントロールボックス２００にはオペレータによる操作が可能なように押ボタンスイッチ、切替スイッチ、十字スイッチ、ジョイスティック、等の内の１つまたは複数が設けられている。オペレータがそれらを操作すると、コントロールボックス２００は操作信号を出力し、本体３００はインタフェース（Ｉ／Ｆ）からデータ処理部（ＣＰＵ）に操作信号を入力する。

操作信号には、たとえば、ＵＰ、ＤＯＷＮ、ＳＴＡＲＴ、ＳＴＯＰ、ＳＰＥＥＤ、等が存在する。ＵＰは移動シート１を上昇移行（正方移行）させる指令信号であり、ＤＯＷＮは移動シート１を下降移行（逆方移行）させる指令信号である。また、ＳＴＡＲＴは高電圧電源の電力供給を開始する指令信号であり、ＳＴＯＰは高電圧電源の電力供給を停止する指令信号である。また、ＳＰＥＥＤは４相交流における周波数を決定する指令信号である。
それらの操作信号は駆動方向（正逆を含む移行方向）ごとに分別可能な信号となっている。駆動方向としては、図５に示す一例においては、Ｙ軸方向に移動シート２を駆動するＹ駆動、Ｘ軸方向に移動シート２を駆動するＸ駆動Ａ、Ｘ軸方向に移動シート２を駆動するＸ駆動Ｂの３つとなっている。Ｘ駆動ＡとＸ駆動Ｂは固定シートに占める領域が異なっている。たとえば、Ｘ駆動Ａの領域とＸ駆動Ｂの領域の中間に移動シート２を配置したときに、Ｘ駆動ＡとＸ駆動Ｂの駆動方向を逆方向とすることにより移動シート２の回転駆動を行うことが可能である。

４相駆動電源の本体３００は、ＡＣアダプタまたは電池から供給された電力に基づいて動作する。その電力により＋高電圧発生回路はプラスの高電圧を発生し、−高電圧発生回路はマイナスの高電圧を発生する。それら＋高電圧発生回路と−高電圧発生回路が発生する高電圧の値はデータ処理部（ＣＰＵ）によって操作される電圧デコーダによって決定される。＋高電圧発生回路と−高電圧発生回路が発生した高電圧は３つの高圧４線ＳＷ回路の各々に供給される。
一方、４相駆動電源の本体３００は、コントロールボックス２００から操作信号を入力すると本体３００のデータ処理部（ＣＰＵ）は必用なデータ変換等の処理を行う。その処理データはデコーダを経て正・逆／停止パターン回路が入力し、スイッチ操作信号（ＳＷ操作信号）が生成される。そのＳＷ操作信号を高圧４線ＳＷ回路が入力し、＋高電圧発生回路と−高電圧発生回路から供給された高電圧に変調を掛ける。これにより、３つの高圧４線ＳＷ回路の各々は、時系列で変化する高電圧としてＹ駆動、Ｘ駆動Ａ、Ｘ駆動Ｂの各駆動電圧を出力する。

４相駆動電源が出力する駆動電圧の一例を図６に示す。図６に示す一例において駆動電圧は矩形波となっており、第１相の電圧Ｖ１の波形に対して第２相の電圧Ｖ２の波形は９０度位相が遅れている。同様に、第２相の電圧Ｖ２の波形に対して、第３相の電圧Ｖ３の波形は９０度位相が遅れている。同様に、第３相の電圧Ｖ３の波形に対して、第４相の電圧Ｖ４はの波形９０度位相が遅れている。
波形の１周期の時間を短くすることにより移動速度を高速にすることができ、波形の１周期の時間を長くすることにより移動速度を低速にすることができる。

本発明の静電アクチュエータにおける固定シートと移動シートの一例を示す図である。 本発明の静電アクチュエータにおける固定シートの部品構成の一例を示す図である。 本発明の静電アクチュエータにおける固定シートの構成の一例を示す図である。 本発明の静電アクチュエータにおける固定シートの製造過程の一例を示す説明図である。 本発明の静電アクチュエータにおける４相駆動電源における構成の一例を示すブロック図である。 ４相駆動電源が出力する駆動電圧の一例を６示す図である。 従来の静電アクチュエータにおける電極パターンの一例を示す図である。

符号の説明

１ 固定シート
２ 移動シート
１１ 第１シート
１２ 第２シート
１３ａ，１３ｂ，１３ｃ 透明絶縁フィルム
１１１、１１２ 電極端子
１１１ａ，１１１ｂ，・・・、１１２ａ，１１２ｂ，・・・ 電極線
２００ コントロールボックス
３００ ４相駆動電源の本体

Claims (5)

1. ４相電圧が印加される４相電極パターンにおける特定の２相の電極パターンを含む第１電極パターンを片面に有する第１シートと、前記第１電極パターンに含まれなかった４相電極パターンにおける２相の電極パターンを含む第２電極パターンを片面に有する第２シートと、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁層と、前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて前記第１シートと前記第２シートとを接着する接着層とを備えた固定シートと、
   前記固定シートとの間で作用する静電力により移動可能に前記固定シートに対面して配置された移動シートと、
   を具備することを特徴とする静電アクチュエータ。
2. 請求項１に記載の静電アクチュエータにおいて、前記接着層は前記第１シートの前記第１電極パターンの表面に形成された第１接着層と、前記第２シートの前記第２電極パターンの表面に形成された第２接着層と、からなることを特徴とする静電アクチュエータ。
3. 請求項２に記載の静電アクチュエータにおいて、前記絶縁層は前記第１接着層と前記第２接着層との間に存在する層であることを特徴とする静電アクチュエータ。
4. ４相電圧が印加される４相電極パターンにおける特定の２相の電極パターンを含む第１電極パターンを第１シートの片面に形成する第１電極パターン形成過程と、
   前記第１電極パターンに含まれなかった４相電極パターンにおける２相の電極パターンを含む第２電極パターンを第２シートの片面に形成する第２電極パターン形成過程と、
   前記第１電極パターンの面および／または前記第２電極パターンの面に接着層を形成する接着層形成過程と、
   前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせたときに異なる相の電極パターンが短絡しないようにする絶縁層を形成する絶縁層形成過程と、
   前記第１電極パターンの面と前記第２電極パターンの面とを合わせて前記第１シートと前記第２シートとを接着するシート接着過程と、
   によって固定シートを形成することを特徴とする静電アクチュエータ製造方法。
5. 請求項４に記載の静電アクチュエータ製造方法において、前記第１電極パターン形成過程と前記第２電極パターン形成過程とは同一の電極パターン形成過程であって、前記シート接着過程は、その電極パターン形成過程で形成された一種類の電極パターンにおける隣接する相の電極線が等間隔となるように位置合わせして前記第１シートと前記第２シートとを接着するシート接着過程であることを特徴とする静電アクチュエータ製造方法。

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