JP5307883B2 - 光学式三次元測定および色測定の装置および方法 - Google Patents

光学式三次元測定および色測定の装置および方法 Download PDF

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Description

本発明は光学式三次元測定および色測定のための装置および方法に関する。
従来技術より光学式三次元測定のための複数の装置が公知である。この装置は光学式測定方式、多色共焦点測定方式または三角測量測定方式に基づくことが多い。
さらに、色測定のための他の装置が従来技術より公知である。色測定では、測定対象物はスペクトルにおいて日光に類似する光線を照射され、反射した光線がCCDカメラまたは分光計等のカラーセンサにより取得され、スペクトルが分析される。このスペクトルから測定対象物の色調を決定することができる。歯科医療においては、歯の代替部分を隣接する自然の歯の色に合わせて調整するために色測定が使用される。
このような装置の1つの欠点は、これらの装置は三次元測定だけ、または色測定だけにしか適さないという点である。特に歯科医療においては、三次元測定の情報も色測定の情報も歯の代替部分の計画のために必要である。したがって、これらの情報はそれぞれ独立して、一方では公知の三次元測定装置により、また他方では公知の色測定装置により取得され、コストがかかる。
したがって本発明の課題は、測定対象物に対する三次元測定も色測定も可能である装置を提供することである。
この課題は本発明により解決される。
本発明によると光学式三次元測定装置はレンズを有し、この装置は、多色共焦点測定方式、三角測量測定方式または他の測定方式による光学式三次元測定のための第1のモードと、色測定のための第2のモードとの間で調整可能であり、ここで、レンズにより、第1のモードにおいて広帯域の照明光線を測定対象物表面の第1の平面に集束させることができ、第2のモードにおいては広帯域の照明光線を、レンズにより測定対象物の表面から一定の間隔dをおいて第1の平面の外部にある第2の平面に集束させることができる。
三次元測定では測定対象物の表面情報を、多色共焦点測定方式または三角測量測定方式のような異なる測定方式を使用して検知することができる。この際広帯域の照明光線が測定対象物に対して向けられ、観測光線の形状の反射した光がこれに続いて分析される。
多色共焦点測定方式では、多色照明光線が測定対象物の表面に集束する。光の屈折における屈折角は屈折した光の波長に依存し、このため短波長の光線はレンズに近い集束点に集束し、長波長の光線はレンズから遠い集束点に集束する。照明光線の狭いスペクトル領域は測定対象物表面の第1の平面に正確に集束し、その他のスペクトル領域の測定対象物に対する投影は不鮮明であり、不鮮明な円が形成される。反射した照明光線は観測光線を形成し、観測光線はビーム・スプリッタによりカラーセンサの方向へ誘導される。ビーム・スプリッタとカラーセンサとの間で焦点を共有して配置された開口部により、測定対象物に集束された観測光線のスペクトル領域が開口部を通過し、測定対象物の表面に不鮮明に投影されたスペクトル領域が除去される。集束されたスペクトル領域の波長はスペクトル解析により決定され、これにより、測定対象物の絶対位置が照明光線の方向へ逸らされる。
三角測量測定方式では、照明光線が測定対象物に投影される。反射された観測光線は例えばCCDカメラ等の画像センサにより検出される。照明光線および観測光線の位置および方向から、三角法による計算方式を使用して測定対象物までの距離を決定できる。この測定方式では観測光線はカラーセンサによりフィルタリングされずに検出されるため、焦点を共有して配置された開口部は使用されない。
白色光干渉法の測定方式は、例えば白色光等の広帯域の光線の干渉を利用している。この測定方式では測定対象物から反射した観測光線の持続時間を、例えばマイケルソン干渉計等の干渉計によって、公知の光路長を参照として照明光線の持続時間と比較する。両光線の干渉によりサンプルが得られ、これにより相対光路長が導き出される。
屈折率測定法による測定方式では、測定対象物の表面への反射により観察される。グリッド画像の変形により局所的な表面の傾斜を決定でき、これにより測定対象物の三次元情報を作成できる。この際、広帯域の光線も使用可能である。
上記の三次元測定のための光学式測定方式では、広帯域の観測光線により一定の測定面の範囲内で測定対象物がスキャンされ、これにより測定面の表面情報が作成される。広帯域の照明光線は、好ましくは400nmから800nmの可視スペクトル領域を含むスペクトルを有する。照明光線は1つ以上の点状の光線、1つ以上の光帯またはその他の光パターンを示し得る。
色測定の測定方式では、日光のスペクトルに類似のスペクトルを有し、5000Kから6000Kの色温度を有する多色照明光線が、測定対象物に対して偏向されることが多い。これに続いて、CCDカメラまたは分光計のようなカラーセンサにより、反射した観測光線のスペクトルの経路が分析される。取得したスペクトルに基づき人間の目に対する色彩効果が推定され、測定対象物に色調が割り当てられ得る。
第1のモードでは照明光線が集束し、これにより、少なくとも多色の照明光線の波長を有する光が測定対象物の表面の第1の平面において集束点を有し、したがってこれらの波長の測定対象物の表面がカラーセンサに鮮明に投影される。多色の照明光線のその他の波長を有する集束点は、測定対象物の表面の第1の平面の上部または下部のいずれかに位置し、これにより、この波長の光はカラーセンサに不鮮明に投影される。第2のモードでは照明光線が測定対象物の表面の第1の平面外にある第2の平面に集束し、これにより表面が不鮮明に投影される。このため広帯域の照明光線は1つの点ではなく一定の直径を有する拡大された不鮮明な円に集束し、かつ集束点が測定対象物表面の第1の平面の前方に位置するケースだけでなく、集束点が測定対象物表面の第1の平面の公報に位置するケースを想定して集束する。照明光線は測定対象物の表面から不鮮明な円の範囲内で観測光線として反射され、色の決定のために使用される。
第1のレンズの焦点距離は、第1のモードにおいて、1つの波長の集束点が測定対象物の表面の第1の平面に位置するように設定される。第2のモードでは、焦点距離は全ての波長の集束点が測定対象物の表面の第1の平面外に位置するように設定される。このため、第1のモードと第2のモードとの切替えのために光学システムを交換する必要がなく、焦点距離を調整するだけでよい。焦点距離の調整はレンズの調整手段を揺動させて行うことが多く、この調整手段によりレンズの内部機構を調整し、焦点距離を変更する。調整はモータ制御されてもよく、または使用者により手動でなされてもよい。多色共焦点測定方式では焦点を共有する開口部がカラーセンサの前に配置され、次いで測定対象物の表面に集束したスペクトル領域の光線が通過する。第1のモードでこの測定方式が使用される場合、第1のモードから第2のモードへの切替えの際に開口部が観測光線の光線経路から揺動され、観測光線のスペクトルを完全に分析することができる。
本発明に基づく装置によって三次元測定と色測定の両方とも実行可能となり、有利である。この際両方のモードにおいて、広帯域の照明光線を発する同一の光源および同一のカラーセンサが使用される。したがって、特に歯科医療において歯の代替部分の計画における歯の三次元測定および色測定が単一の装置によって可能となる。
さらに、両方のモードを有する本発明の装置において色測定装置および三次元測定装置が一体化されることにより、コスト負担および必要スペースが削減されることも有利である。
第1のモードにおいて多色共焦点測定方式を使用する際、開口部は測定対象物の表面に対して焦点を共有して観測光線の光線経路内へ揺動可能であり、第2のモードにおいて観測光線の光線経路外へ揺動可能であることが有利である。
開口部は軸周りに揺動可能に配置されてもよく、このため光線経路に対して横方向に揺動される。第1のモードでは、多色共焦点測定方式を使用の際に開口部が焦点を共有して配置され、これにより、測定対象物の表面に不鮮明に投影されたスペクトル領域が除外される。三角測量測定方式では、焦点を共有して配置された開口部は使用されない。色測定のための第2のモードでは、開口部は光線経路から外に向かって揺動し、これにより観測光線の全領域がカラーセンサにより取得される。
照明光線は、少なくとも400nmから700nmの可視スペクトル領域の範囲内で、日光のスペクトルに類似のスペクトルを有することが有利である。
したがって、このような照明光線は日光の光学効果を有する。
これにより第2のモードにおける色測定は、日光のもとでの測定対象物の照明をシミュレートした照明光線で実行される。したがって色測定では、測定対象物から反射した、日光のもとでの測定対象物の光学効果に対応する観測光線が分析され、その色調が決定される。三次元測定のための第1のモードおよび第2のモードでは、5000から6000Kの色温度における日光と類似するスペクトルを有する同一の光源が使用されてもよい。
切替可能な光源により、第1のモードにおいて広帯域のスペクトルを有する照明光線が生成可能であり、また第2のモードにおいては日光と類似するスペクトルを有する照明光線が生成可能であることが有利である。
切替可能な光源では、第1のモードで広域スペクトルを有する白色光源が、また第2のモードで日光と類似するスペクトルを有する他の光源が使用されてもよい。両モード間の切替えにおいては光源が交換されるか、または光源のスペクトルが相応して変更される。例えば複数の多色のLEDは、これらのスペクトルが重なることによって日光と類似するスペクトルまたは広帯域の白色スペクトルが生成されるように作動される。多色共焦点測定方式の効果において、広帯域スペクトルの明度の波長に依存した推移はごくわずかであるため、広帯域のスペクトルは異なる波長において複数の最大値および最小値を有し得る。
揺動機構により、第1のモードにおける作動のための第1のレンズおよび第2のモードにおける作動のための第2のレンズが、照明光線の光線経路へ揺動可能であることが有利である。
第1のレンズの焦点距離は照明光線が測定対象物表面の第1の平面に集束するように測定されており、第2のレンズの焦点距離は照明光線が測定対象物表面の第1の平面外の第2の平面に集束するように測定されている。両モード間での切替えの際は、対応するレンズが揺動機構により照明光線の光線経路へ揺動される。これにより、装置のその他の光学構造はそのまま維持され、揺動機構は、例えば回転ボタンまたは制御レバー等のシャッターによって両モード間で調整可能である。調整はモータ制御により、または使用者により手動でなされてもよい。
第1のモードでの作動のために第1のレンズが、また第2のモードでの作動のために第2のレンズが、使用者により照明光線の光線経路に対して適用可能であることが有利である。
装置には例えば柔軟な伸張留め具のような固定手段を装着でき、これにより照明光線の光線経路における正確な位置決めが可能になる。これにより、使用者はレンズの交換によって装置のモードを切り替えることができる。装置のカバーでは、両モードにおいて固定焦点距離を有するそれぞれ1つのレンズだけが場所を必要とするため、装置の規模を小さく構成できることが有利である。
装置は光ファイバにより互いに接続されている本体およびハンドピースから構成されることが有利であり、本体は、光源、ビーム・スプリッタおよびカラーセンサを有し、ハンドピースはレンズを有する。
装置の本体は固定して取り付けられている。本体の光源は、日光のスペクトルに相応するか、またはこれに可能な限り類似する、多色のスペクトルを有する照明光線を発する。照明光線はビーム・スプリッタを通過し、光ファイバを通ってハンドピースに向けられる。ハンドピースでは、照明光線がレンズにより第1のモードにおいて測定対象物表面の第1の平面に収束し、第2のモードにおいて測定対象物表面の第1の平面外にある第2の平面に集束する。測定対象物から反射した観測光線は光ファイバを通って本体に戻され、ビーム・スプリッタによりカラーセンサに偏向される。次いでカラーセンサの画像データが、画像分析のために画像分析ユニットへデータケーブルまたは無線機により伝送される。
これによりハンドピースを本体から独立して動かすことができるため、操作がより快適になる。さらに、ハンドピースはレンズを有し、また場合によっては偏向ミラーのみを含み、光源、ビーム・スプリッタおよびカラーセンサのようなその他の光学部品は本体に組み込まれているため、ハンドピースのサイズをスリムに構成することができる。特に歯科医療の目的で装置を使用する場合、患者の口腔内の歯等の測定対象物に到達しやすくなる。
第1のモードにおける作動のために第1のレンズを有する第1のハンドピースが、また第2のモードにおける作動のために第2のレンズを有する第2のハンドピースが、使用者により本体と接続可能であることが有利である。
ハンドピースの交換により装置のモードが切り替わる。第2のモードでは照明光線のハンドピースに対する位置は変化せずに維持され、第1のモードでは、照明光線は測定フィールドの光学スキャンのための振動スキャン動作を実行する。このスキャン動作は例えば相応して揺動される回転ミラーにより生成され得る。第1のモードでは回転ミラーのようにスキャン動作を生成するための機構が不要であるため、第2のハンドピースは第1のハンドピースより小型に構成することができる。
光源、ビーム・スプリッタ、カラーセンサおよびレンズを含む一体型装置はカバーで覆われ得ることが有利である。
装置は、全ての部品がカバーに装着されることによって一体型に構成されてもよい。次いでデータケーブルは装置と画像分析ユニットとを接続し、これによりカラーセンサのデータを分析する。ハンドピースと本体から構成される2部型の実施形態と比較して、柔軟な光ファイバが割愛される。
第2のモードでは色測定のために、照明光線が測定対象物の表面の第1の平面外の第2の平面に集束するように、また照明光線が均一な明度を有する不鮮明な円の形式の測定フィールドとして測定対象物の表面に不鮮明に投影されるように、レンズの焦点距離が選択され得ることが有利である。
これにより、色測定に必要となる均一な明度および日光に類似するスペクトルを有する測定フィールドがもたらされる。
照明光線は、1つの平面上で互いに平行に発せられる複数の部分光線から構成され得ることが有利である。
複数の部分光線では複数のレンズが使用され、このため部分光線が所望の態様で集束する。
これにより、部分光線によりスキャン動作と同時に測定対象物の表面が検知されるため、第1のモードでは三次元測定の所要時間が大幅に短縮され得る。第2のモードでは、個々の部分光線により、帯状の測定フィールドへと積層する測定対象物の表面に複数の不鮮明な円を投影する。この測定フィールドは日光と類似するスペクトルおよび均一に配分された明度を有するため、色測定に適している。
複数の部分レンズを含むレンズにより、個々の部分光線が、第1のモードにおいて測定対象物の表面の第1の平面に一列に配置された集束点に集束し得ることが有利である。第2のモードでは、個々の部分光線が第1の平面外にある第2の平面に配置された集束点に集束してもよく、これにより、部分光線が不鮮明な円の形で測定対象物の表面に不鮮明に投影され、重なって測定フィールドとなる。
第1のレンズは個々の部分光線のための複数の部分レンズを含み、これらの焦点距離の制御は連結機構により互いに連結されているため、全ての部分レンズの焦点距離が同期して調節される。これにより、この部分光線の集束点は使用者により所望の態様で同時に移動され得る。
装置は、照明光線を測定対象物に対して偏向させる偏向ミラーを有し得ることが有利である。
照明光線は例えば直角に測定対象物に対して偏向されてもよい。これにより特に患者の口腔内において歯の測定が容易になる。
多色共焦点測定方式を使用する場合、装置はレンズとカラーセンサとの間に開口部を有し、これにより、測定対象物の表面の第1の平面に集束するカラーセンサに対して、対象物から反射した観測光線のスペクトル領域だけが通過し得ることが有利である。
焦点を共有して配置された開口部は、多色共焦点測定方式の重要な要素である。次いで、除去されたスペクトル領域の波長から、測定対象物の表面の絶対位置が照明光線の方向へ決定される。照明光線に対して垂直方向であるその他の位置の両座標は、カラーセンサの画像データにより決定される。
第1のモードにおける多色共焦点測定方式による三次元測定のための開口部の直径は、色測定のための第2のモードの開口部の直径より大きく、このため第1のモードの焦点深度は第2のモードの焦点深度より浅いことが有利である。
第1のモードでは開口部の直径はより大きく、これに伴い焦点深度は浅くなるため、観測光線が鮮明にカラーセンサに投影され、多色共焦点測定方式により鮮明に集束した波長から測定深度が計算され得る。第2のモードでは開口部の直径はより小さく、これに伴い焦点深度は深くなるため、全ての波長がほぼ鮮明に投影されて白色光フィールドに積層し、これらの波長はいずれも支配しない。この白色光フィールドはカラーセンサにより検出され、画像データは色測定に使用される。
開口部が制御可能であり、開口部の直径が調整可能であることが有利である。
開口部は、直径が虹彩開口部の外側リングの回転により調整可能な虹彩開口部であってもよい。
第1のモードにおいてより大きな直径を有する開口部は、第2のモードでより小さな直径を有する開口部と交換されてもよい。
第1のモードにおいてより大きな直径を有する開口部は、機械的手段を使用して第2のモードでより小さな直径を有する開口部と交換可能であることが有利である。
第1のモードにおける装置の焦点深度は0.1mmから1mmであり、第2のモードにおける装置の焦点深度は5mmから30mmであることが有利である。
第1のモードにおける0.1mmから1mmの焦点深度範囲は、特に測定対象物の表面の座標を多色共焦点測定方式により得るために適している。例えば20mmの高さを有する歯のような対象物に投影された光フィールドは均一に明度が配分され、および白色の、有利には日光と類似するスペクトルを有する必要があるため、第2のモードにおける5mmから30mmの焦点深度範囲は特に色測定に適している。焦点深度範囲外においては鮮明に投影された波長が支配する。
第2のモードにおいて、小さい開口部の直径に基づく光量の低下が光源の明度の増加により補償されることによって色測定が可能になるように、光源の明度が調整可能であることが有利である。
色測定のためには検出された観測光線の所定の明度が必要である。小さい開口部の直径に基づく少ない光量を補償するために、また必要な光フィールドの明度を達成するために、光源の明度が増加される。
レンズと測定対象物との間に多色レンズが配置され得ることが有利であり、第1のモードにおける多色レンズは光学式三次元測定のために多色共焦点測定方式によって照明光線の光線経路へもたらされ、第2のモードでは色測定のために照明光線の光線経路外へ揺動される。
多色レンズによって色収差の効果が高まり、これにより、異なる波長の集束点が明確に引き離される。これにより、観測光線においては、集束点が測定対象物の表面16に正確に位置する波長18がそれぞれ支配する。400nmの波長および、日光と類似するスペクトルの800nmの波長の集束点は互いに30mm離れて位置し得る。このため、例えば歯のような対象物の高さがカバーされる。第2のモードでは多色レンズが揺動軸周りに照明光線から外側へ揺動され、これにより異なる波長の集束点が近付き、ほぼ重なる。重なった波長は日光に類似するスペクトルを有する均一な白色光フィールドを形成する。
多色レンズはレンズの構成要素であることが有利である。
多色レンズは、レンズとともに共通の光学ユニットとしてカバーの中に配置されてもよい。
多色レンズは揺動軸周りに観測光線の光線経路から外側に揺動され得ることが有利である。
多色レンズはレンズから分離して揺動軸周りに揺動可能に配置されてもよい。揺動は電気的に作動される揺動手段によって機械的に生成されてもよい。
患者の口腔内の歯の三次元測定および歯表面の色測定が可能になるように、装置は細くかつ弓形に形成されていることが有利である。
本発明の装置は、特に歯の三次元測定および色測定のための歯科医療装置として使用可能である。歯表面および歯茎の三次元データ、ならびに歯表面の色調のような測定結果は、引き続き歯の代替部分の計画に使用され得る。
本発明の他の対象は光学式三次元測定および色測定のための方法であり、装置が、多色共焦点測定方式、三角測量測定方式または他の測定方式光学式による三次元測定のための第1のモードと、色測定のための第2のモードとの間で調整される。第1のモードでは広帯域の照明光線が測定対象物の表面の第1の平面に集束し、第2のモードでは広帯域の照明光線が第1の平面外にある第2の平面に、測定対象物の表面から一定の間隔dをおいて集束する。
第2のモードでは照明光線が測定対象物の表面に不鮮明に投影され、これにより色測定に適する不鮮明な円が生成される。
照明光線の集束のための光学システムとしてレンズを使用してもよい。レンズの焦点距離は、観測光線が第1のモードでは測定対象物の表面の第1の平面に集束し、第2のモードでは第2の平面に集束するように調整される。
本発明の方法の1つの利点は、両方のモードに対して同一の照明光線が使用され、両モード間の切替えが、例えばレンズ等の光学システムの焦点距離の調整により集束点まで達成されることである。
開口部が第1のモードにおいて多色共焦点測定方式を使用する場合、測定対象物の表面に対して焦点を共有して観測光線の光線経路の中へ揺動可能であり、第2のモードでは観測光線の光線経路外へ揺動可能であることが有利である。
第1のモードでは、焦点を共有して配置された開口部は多色共焦点測定方式を使用するための必要条件である。第2のモードでは開口部は外側へ揺動する。これは、外側へ揺動しないと観測光線を不必要に狭めることになるからである。
切替可能な光源により、第1のモードにおいて広帯域のスペクトルを有する照明光線が生成され、第2のモードにおいはて日光に類似のスペクトルを有する照明光線が生成され得ることが有利である。
これにより、光源を切り替える際にスペクトルをモードに相応して変更できる。三次元測定のためのスペクトルは、400nmから700nmの異なる波長を有する複数の個々のスペクトル領域から構成され得る。
装置の第1のモードから第2のモードへの調整の際に、揺動機構によって第1のレンズが照明光線の光線経路から外側に揺動可能であり、第2のレンズが照明光線の光線経路内へ揺動可能であることが有利である。
これにより、第1のモードから第2のモードへの切替えが第1のレンズを第2のレンズと交換することにより達成され、この際両方のレンズが装置のカバー内の揺動機構に取り付けられている。
装置の第2のモードから第1のモードへの調整の際に、揺動機構によって第2のレンズが照明光線の光線経路から外側に揺動可能であり、第1のレンズが照明光線の光線経路内へ揺動可能であることが有利である。
これにより、第2のモードから第1のモードへの切替えが、揺動機構によって第2のレンズを第1のレンズと交換することにより達成される。
装置の第1のモードから第2のモードへの調整の際に、使用者により第1のレンズが照明光線の光線経路から取り出され、第2のレンズが照明光線の光線経路へ適用されることが有利である。
これにより、第1のモードから第2のモードへの切替えが、第1のレンズを第2のレンズと交換することにより使用者によって手動で達成される。光線経路におけるレンズの正確な固定のために、クランプ留め具のようなクランプ装置が必要である。
第2のモードから第1のモードへの調整の際に、使用者により第2のレンズが照明光線の光線経路から取り出され、第1のレンズが照明光線の光線経路へ適用されることが有利である。
これにより、第2のモードから第1のモードへの切替えが、使用者によって手動で第2のレンズを第1のレンズと交換することにより達成される。
装置が本体とハンドピースとから構成される場合、第1のモードでは第1のレンズを有する第1のハンドピースを、また第2のモードでの作動のために第2のレンズを有する第2のハンドピースを、使用者により本体と接続可能であることが有利である。
これにより、第1または第2のハンドピースと、相応する焦点距離を有する第1または第2のレンズを接続することにより、両モード間の切替えが達成される。
第2のモードでは色測定のために、照明光線が測定対象物の表面の第1の平面外にある第2の平面に集束可能であり、これにより照明光線が、均一な明度および日光に類似のスペクトルを有する不鮮明な円の形状の測定フィールドとして測定対象物の表面に投影され得ることが有利である。
照明光線の測定対象物の表面への不鮮明な投影により生成される、均一な明度および日光に類似のスペクトルを有する不鮮明な円が、色測定のための測定フィールドとして特に適している。
照明光線が複数部分光線から構成される場合、個々の部分光線は、第1のモードでは測定対象物の表面の第1の平面に一列で配置されている集束点に集束可能であり、第2のモードでは測定対象物の表面の第1の平面外にある第2の平面に集束可能であり、これにより部分光線が測定対象物の表面に不鮮明に投影され、測定フィールドにほぼ均一な明度で重なることが有利である。
多色共焦点測定方式を使用する場合、レンズとカラーセンサとの間の開口部により、対象物から測定対象物の表面の第1の平面に集束するカラーセンサに対して反射した観測光線のスペクトル部分のみが通過し得ることが有利である。
第1のモードにおける多色共焦点測定方式による三次元測定のために、開口部の直径は、第2のモードにおける色測定のための開口部の直径よりも開口部手段により大きくされ、これにより第1のモードの焦点深度が第2のモードの焦点深度よりも浅くなり得ることが有利である。開口部は電気的に制御され、開口部の直径が調整され得ることが有利である。
より大きい直径を有する第1のモードの開口部と、より小さい直径を有する第2のモードの開口部とが交換可能であることが有利である。
第1のモードの焦点深度が0.1mmから1mmの範囲で設定され、第2のモードの焦点深度が5mmから30mmの範囲で設定され得ることが有利である。
第2のモードにおける小さい開口部の直径に基づく光量の低下が、光源の明度の増加により補償されることによって色測定が可能になるように、光源の明度が調整され得ることが有利である。
レンズと測定対象物との間に多色レンズが配置可能であり、多色レンズが、第1のモードにおいて多色共焦点測定方式による光学式三次元測定のために照明光線の光線経路に適用され、第2のモードにおいて色測定のために照明光線の光線経路外へ揺動されることが有利である。
多色レンズは、第2のモードにおいて観測光線の光線経路外へ揺動可能であることが有利である。
本発明の実施例を図に示す。
光ファイバによって接続された本体とハンドピースとから構成される、光学式三次元測定および色測定のための装置を示す。 色測定のための第2のモードにおける図1の装置を示す。 揺動機構を有する第1のモードにおける図1の装置を示す。 色測定のための交換可能なレンズを有する第2のモードにおける図1の装置を示す。 一体型の実施形態における、三次元測定のための第1のモードにおける図1の装置を示す。 図1の装置の別の実施形態の要素としての、色測定のための第2のハンドピースを示す。 3つの部分光線から構成される照明光線を有する図1の装置を示す。 多色共焦点測定方式の概略図を示す。
図1は光ファイバ4によって接続されている本体2およびハンドピース3から構成される、光学式三次元測定および色測定のための本発明の装置1を示す。本体2は光源5、ビーム・スプリッタ6、開口部7およびカラーセンサ8を含む。開口部7は軸9の周りで回転可能に配置され、横方向に揺動され得る。ハンドピース3は固定的に組み付けられた第1の偏向ミラー10、回転ミラー11、レンズ12および第3の偏向ミラー13を含む。光源5は部分的に透明なビーム・スプリッタ6を通過する照明光線14を発し、光ファイバ4によりハンドピース3へ偏向され、そこで第1の偏向ミラー10により回転ミラー11へ偏向され、回転ミラー11により第3の回転ミラー13の方向へ逸らされ、レンズ12により測定対象物表面16の第1の平面15に集束し、第3の偏向ミラー13により測定対象物17の方へ逸らされる。この場合、測定対象物17および測定対象物の表面16は、患者の口腔内の歯および測定される歯の表面16である。照明光線14は歯の表面16から観測光線18として反射される。照明光線14は日光と類似するスペクトルを有し、明度の配分は照明光線14の断面により均一になる。観測光線は第3の偏向ミラー13により回転ミラー11の方向へ逸らされ、レンズ12により拡大され、回転ミラー11により第1の偏向ミラー10へ逸らされ、光ファイバにより本体2へ再び案内され、そこでビーム・スプリッタ6によりカラーセンサ8の方向へ偏向される。光学式三次元測定のための第1のモードにおける装置1が示される。本実施例では、光学式三次元測定の測定方式として多色共焦点測定方式が使用される。多色共焦点測定方式では照明光線14が測定対象物の表面16の第1の平面15に集束し、観測光線18がビーム・スプリッタ6とカラーセンサ8の間で開口部7を通過する。開口部7は集束点19と焦点を共有して配置される。光学屈折では、屈折角は屈折した光の波長に依存する。このため、より短い波長の照明光線14のスペクトル領域は偏向ミラー13近くの集束点20に集束し、長波長の照明光線14のスペクトル領域は偏向ミラー13から遠く離れた集束点21に集束する。集束点20と集束点21との間に集束点19が位置し、集束点19に照明光線14の狭いスペクトル領域が集束する。この狭いスペクトル領域だけが測定対象物の表面16に正確に集束し、観測光線18のスペクトル領域として開口部7を通過する。観測光線18のその他のスペクトル領域は測定対象物の表面16に不鮮明に投影されるため、開口部7により除外される。狭いスペクトル領域の波長からカラーセンサ8が検出され、測定対象物の表面16の絶対位置が照明光線14の方向に決定可能である。照明光線14に対して垂直方向の他の両座標の方向における測定対象物の情報は、カラーセンサ8の画像データから直接決定され得る。照明光線14は振動によるスキャン動作22を測定フィールド23の限度範囲内で実行し、これにより、集束点19および集束点19’の位置が与えられる。スキャン動作22は回転ミラー11の軸25周りにおける揺動運動24により生成される。集束点の位置に依存して、測定フィールド22の限度19および19’の範囲において異なる波長の狭帯域のスペクトル領域がそれぞれ歯表面16に集束し、開口部7によって除去され、カラーセンサ8によって測定されることにより、歯の表面16の絶対位置が決定される。異なる測定点における各スペクトル領域の波長の差異により、照明光線14の方向の絶対位置が推測され得る。揺動運動24の後の位置11’における、レンズ12により集束した照明光線14を集束点19’に偏向させる回転ミラー11を破線で示す。焦点を共有して配置された開口部7は多色共焦点測定方式のためだけに使用され、軸9の周りで開口部を回転させることにより、色測定のための第2のモードでは観測光線18の光線経路外へ揺動され得る。
図2は、第2のモードにおける色測定のための図1の装置1を示す。本体2は図1と比較して相違ないため図示されず、開口部7は観測光線18の光線経路外へ揺動される。ハンドピース3は光ファイバ4により本体2と接続されている。図1のハンドピース3は第2のモードに切り替えられ、この際レンズ12の焦点距離は照明光線14が第2の平面30に集束するように偏向される。第2の平面30は測定対象物の表面16の第1の平面15に平行に配置され、これに対して一定の間隔dをおく。照明光線14はこのため測定対象物の表面に不鮮明に投影され、不鮮明な円31の形状の測定フィールドを生成する。この不鮮明な円は均一な明度および日光と類似するスペクトルを有し、このため色測定のための測定フィールドとして特に適している。反射した観測光線18は図1の本体2のカラーセンサ8に偏向され、そのスペクトルが分析される。観測光線18のスペクトルに基づき、この場合歯の表面である測定対象物の表面16の色調が決定される。歯の表面の色測定は、特に歯の代替部分の計画において実行され、これにより色の代替部分の周囲の歯に対する色等価性が得られる。図1および図2の装置の1つの利点は、レンズ12の焦点距離の調整だけによって両モード間の切替えがなされる点である。レンズ12の焦点距離の調整はモータ制御または手動で、調整機構により、例えばレンズの一部の回転等によって達成される。色測定のために図1のスキャン動作22が必要とされないため、回転ミラー11は第2のモードでは揺動されない。照明光線14は、1つの平面状で平行に相互に延びる複数の部分光線からも構成される。この場合、図1の光源5は部分光線を発する複数の部分光源から構成される。レンズ12は個々の部分光線を集束点に集束する複数の部分レンズから構成され、これらの集束点は第1のモードでは第1の平面15上に、また第2のモードでは第2の平面30上に一列に配置されている。複数の部分光線を有する三次元測定では、三次元測定の所要時間が格段に短縮される利点がある。レンズ12とカラーセンサ8との間に照明フィールド開口部32が配置されている。照明フィールド開口部32は調整可能な開口部であり、測定対象物17の照らされた領域が第2の照明モードにおいて設定され、また測定フィールド23のサイズが第1のモードにおいて設定される。レンズ12と測定対象物17との間に多色レンズ33が配置されている。多色レンズ33は、第1のモードでは光学式三次元測定のために多色共焦点測定方式によって照明光線14の光線経路へ使用され、第2のモードでは色測定のために照明光線14の光線経路外へ揺動される。多色レンズ33は色収差効果を高め、このため異なる波長の集束点が明確に引き離される。これにより観測光線18では、集束点が正確に測定対象物の表面16に存在する波長がそれぞれ支配する。本実施形態では、400nmの波長を有する集束点と、日光と類似するスペクトルにおける800nmの波長を有する集束点は互いに30mm離れている。このため、歯17の測定深さがカバーされる。第2のモードでは多色レンズ33は揺動軸34の周りに照明光線14から外側へ揺動され、このため異なる波長の集束点が近付き、互いにほぼ重なる。重なった波長は、このため日光に類似するスペクトルを有する均一な白色光フィールドを生成する。
図3は図1の装置の他の実施形態を示し、本体2は変更なく維持され、ハンドピース3は自由に可動する。ハンドピース3は第1のレンズ40および第2のレンズ41を含み、両レンズ40、41は揺動機構42により軸43の周りで照明光線14の光線経路へ揺動可能である。レンズ40の焦点距離第1は、照明光線14が測定対象物の表面16の第1の平面15、すなわち歯表面に集束するように測定され、第2のレンズ41の焦点距離は、照明光線14が第2の平面30に集束するように測定されている。両モード間での切替えの際は、相応するレンズ40、41が揺動運動44の揺動機構42により照明光線14の光線経路内に揺動される。揺動機構42は回転ボタン45の形状のシャッターにより、シャフト46を通して揺動機構と接続されている。両モード間の切替えは、使用者が回転ボタン45を手動で回転して行う。揺動機構42の調整はモータ制御によりなされてもよい。第1のレンズ40は照明光線14の光線経路に配置されている多色レンズ33を含み、このため第1のレンズ40が外側に揺動されると多色レンズ33も照明光線14の光線経路から外側に揺動される。
図4は装置1の第2のモードにおける他の実施形態を示し、図1の本体は変更なく維持され、ハンドピース3は代替実施形態を示す。両モード間での切替えの際は、第1のレンズ40が第1のモードにおける作動のために、また第2のレンズ41が第2のモードにおける作動のために使用者により手動で照明光線14の光線経路へ適用される。この場合、第2のレンズ42が使用され、照明光線14が第2の平面30に集束し、このため不鮮明な円31が第2のモードにおける色測定のために測定対象物の表面16に投影される。ハンドピース3は柔軟な伸張留め具の形状の固定手段50を含み、これによりレンズ40または41の照明光線14の光線経路における正確な位置決めが可能になる。レンズ40と図示されていないカラーセンサ8との間に照明フィールド開口部32が配置されている。
図5は一体型に構成された装置1の他の実施形態を示す。本実施形態では装置1の全ての部品がカバー60に取り付けられている。部品には、光源5、ビーム・スプリッタ6、開口部7、カラーセンサ8、第1の偏向ミラー10、回転ミラー11、レンズ12および第3の偏向ミラー13が含まれる。データケーブル61は装置と図示されていない画像分析ユニットとを接続し、カラーセンサ8のデータを画像分析のために伝送する。本実施形態では、両モード間の切替えは図1および図2に示すようにレンズ12の焦点距離の調整によってなされる。装置1の一体型の構成は図3および図4に示す実施形態においても可能であり得る。装置1の一体型の構成の1つの利点は、柔軟な光ファイバ4を使用しなくてもよい点である。レンズ12とカラーセンサ8との間に照明フィールド開口部32が配置されている。
図6は、図1の装置1の他の実施形態における構成要素としての、第2のハンドピース70を示す。本実施形態では第1のモードから第2のモードへの切替えの際、図1の第1のハンドピース3が光ファイバ4から分離され、第2のハンドピース70が光ファイバ4に接続されている。この際第1のハンドピース3はレンズ12を有し、このレンズ12の焦点距離は変更不可であり、常に第1のモード焦点距離に設定されている。第2のハンドピース70は第2のレンズ41を含み、照明光線14が第2の平面30上の集束点71に集束し、これにより不鮮明な円31が色測定のために測定対象物の表面16に投影される。第1のハンドピースと第2のハンドピース70との交換は使用者により手動でなされる。スキャン動作22の生成のための回転ミラー11が割愛されるため、第2のハンドピース70は第1のハンドピース3よりも小型に構成されている。第2のモードにおける色測定のための第2のハンドピースは第2のレンズ41を除いて構成することもでき、このため照明光線14は集束せず直接測定対象物の表面16に偏向ミラー13によって偏向される。このために、照明光線14は均一な明度の配分、および日光と類似するスペクトルを必要とする。レンズ12と偏向ミラー13との間に多色レンズ33が照明光線14の光線経路に配置されており、多色レンズ33が揺動軸34の周りで第2のモードにおいて照明光線14から外側へ揺動される。
図7は、3つの部分光線14.1、14.2および14.3から構成される照明光線14を有する図1の装置の他の実施形態を示す。照明光線14の部分光線14.1、14.2および14.3は、互いに隣接する一列に配置された3つの光源5.1、5.2および5.3から発せられ、ビーム・スプリッタ6を通過し、光ファイバ4によりハンドピース3へ導かれ、ここで第1の偏向ミラー10により回転ミラー11へ逸らされ、回転ミラー11により第3の偏向ミラー13の方向へ逸らされ、第3の偏向ミラー13により歯の形状の測定対象物17へ逸らされる。回転ミラー11と第3の偏向ミラー13との間には3つのレンズ12.1、12.2および12.3が配置されており、これらによって、個々の部分光線14.1、14.2および14.3が第1のモードにおいて第1の平面15集束点19.1、19.2および19.3に集束し、第2のモードにおいては第2の平面30の集束点21.1、21.2および21.3に集束する。第1のモードにおける照明光線14の部分光線14.1、14.2および14.3が実線で示されている。第2のモードにおける照明光線14の部分光線14.1’、14.2’および14.3’は破線で示されている。部分光線14.1、14.2および14.3は、測定対象物の表面16から観測光線18の部分光線18.1、18.2および18.3から反射される。第2のモードでは部分光線18.1’、18.2’および18.3’が破線で示されている。三次元測定のために多色共焦点測定方式が使用される第1のモードでは、観測光線18の部分光線18.1、18.2および18.3が個々の開口部7.1、7.2および7.3を通過し、図1で述べたように、測定対象物の表面16に正確に集束する狭帯域のスペクトル領域だけが除去される。これらの狭帯域のスペクトル領域はカラーセンサ8により個々に検出され、これらの狭帯域のスペクトル領域波長に基づいて測定対象物の表面16の絶対位置が、照明光線14部分光線14.1、14.2および14.3の方向に決定される。回転ミラー11の回転運動24により、既に図1で述べたように、個々の照明光線14.1、14.2および14.3が同時にスキャン動作を行う。照明光線14の部分光線14.1、14.2および14.3が同時のスキャン動作により測定対象物の表面16を検知できるため、図1の装置1と比較して、同一面の測定フィールドの三次元測定に必要な時間が格段に短縮される。集束点19.1、19.2および19.3は互いに隣接して一列に第1の平面15に配置されている。
第2のモードでは、部分開口部7.1、7.2および7.3を有する開口部7が、個々の観測光線の部分光線18.1、18.2および18.3の光線経路から外側に揺動されるため、スペクトル全域がカラーセンサ8により検出される。第1のモードから第2のモードへの装置1の切替えの際、個々の部分レンズ12.1、12.2および12.3の焦点距離が同時に変更され、このため集束点19.1、19.2および19.3が集束点21.1、21.2および21.3の方へずらされる。個々の部分レンズ12.1、12.2および12.3の焦点距離の制御は連結機構により互いに連結される。焦点距離は使用者により手動で制御されても、またはモータ制御されてもよい。複数の部分光線から構成される照明光線は図3〜6の装置でも使用される。部分光線14.1’、14.2’および14.3’は測定対象物の表面16に不鮮明に投影され、均一な明度および日光と類似するスペクトルを有する不鮮明な円31.1、31.2および31.3が生成される。図7では、不鮮明な円31.1、31.2および31.3が破線で示され、これらの円は互いに重ならないため不鮮明な円の範囲内のみで色測定がなされる。焦点距離が大幅に変更されるか、または個々の平行な部分光線14.1、14.2および14.3が互いにより近付くように配置される場合、個々の不鮮明な円31.1、31.2および31.3が重なり得る。不鮮明な円が重なる場合、色測定に適した帯状の測定フィールドが生成される。第2のモードでは回転ミラー11は、既に図2で述べたように固定されたままである。
図8は多色共焦点測定方式の概略図である。光源5は、日光と類似するスペクトルを有するとともに短波長の青色の光、中波長の緑色の光および長波長の赤色の光を含む多色の照明光線14を生成する。照明光線14はビーム・スプリッタ6を通過し、レンズ12により集束する。光学屈折において屈折角は屈折した光の波長に依存するため、照明光線14の中波長14’の緑色のスペクトル領域は、測定対象物17の測定対象物の表面16に集束し、照明光線14の短波長14’’の青色のスペクトル領域は測定対象物の表面16上側の集束点20に集束し、短波長14’’’の赤色のスペクトル領域は測定対象物の表面16下側の集束点21に集束する。これにより、中波長14’の緑色のスペクトル領域だけが測定対象物の表面16に鮮明に投影され、青色のスペクトル領域14’’および赤色のスペクトル領域14’’’は測定対象物の表面16に不鮮明な円31の形状で不鮮明に投影される。照明光線14は測定対象物の表面16から観測光線18として反射され、ビーム・スプリッタ6によりカラーセンサ8の方向へ偏向される。ビーム・スプリッタ6とカラーセンサ8との間に、開口部7が集束点19と焦点を共有して測定対象物の表面16に配置されている。したがって、中波長の緑色のスペクトル領域18’のみが開口部7を通過し、観測光線18の青色のスペクトル領域18’’および赤色のスペクトル領域18’’’は除去される。カラーセンサ8の画像データのスペクトルが分析され、緑色のスペクトル領域18’の波長λiが決定される。この波長λiから、測定対象物の表面16の絶対位置が照明光線14の方向へ決定される。この装置の測定範囲ΔZは、外側のスペクトル領域の照明光14’’および14’’’の20と集束点21との間に位置し、この範囲内で測定対象物の表面16の絶対位置が決定され得る。したがって測定範囲ΔZは照明光線14のスペクトル幅とともに増加する。多色共焦点測定方式の単色共焦点測定方式に対する利点は、焦点を光線方向に沿って移動させるためにレンズ12の焦点距離を偏向する必要が無い点である。レンズ12と対象物12との間に多色レンズ33が照明光線14の光線経路に配置されており、これにより集束点20、21が測定範囲ΔZにおいて互いに引き離される。測定範囲ΔZは30mmである。
1 装置
2 本体
3 ハンドピース
4 光ファイバ
5 光源
6 ビーム・スプリッタ
7 開口部
8 カラーセンサ
9 軸
10 偏向ミラー
11 回転ミラー
12 レンズ
13 偏向ミラー
14 照明光線
15 第1の平面
16 測定対象物表面
17 測定対象物
18 観測光線
19 集束点
20 短波長のスペクトル領域の集束点
21 長波長のスペクトル領域の集束点
22 スキャン動作
23 測定フィールド
24 揺動運動
25 軸
30 第2の平面
31 不鮮明な円
40 第1のレンズ
41 第2のレンズ
42 揺動機構
43 軸
44 揺動運動
45 回転ボタン
46 シャフト
50 固定手段
60 カバー
70 第2のハンドピース
71 集束点
14.1、14.2、14.3 部分光線
5.1、5.2、5.3 部分光源
12.1、12.2、12.3 部分レンズ
19.1、19.2、19.3 集束点
21.1、21.2、21.3 集束点
14.1’、14.2’、14.3’ 部分光線
31.1、31.2、31.3 不鮮明な円
14’、14’’、14’’’ 照明光線のスペクトル領域
18’、18’’、18’’’ 観測光線のスペクトル領域
f 焦点距離
ΔZ 測定範囲

Claims (15)

  1. レンズ(12,40,41)を含む光学式三次元測定のための装置(1)であって、該装置は、多色共焦点測定方式による光学式三次元測定のための第1のモードと、色測定のための第2のモードとの間で調整可能であり、この際レンズ(1240)により第1のモードにおいて広帯域の照明光線(14)を測定対象物表面(16)の第1の平面(15)に集束させることができ、第2のモードにおいて広帯域の照明光線(14)を、レンズ(1241)により測定対象物の表面(16)から一定の間隔dをおいて第1の平面(15)の外部にある第2の平面(30)に集束させることができ、全ての波長の照明光線(14)の焦点が第1の平面外にあり、かつ照明光線(14)が不鮮明な円の形状を有する測定フィールドとして測定対象物表面(16)に不鮮明に投影されるように、第2のモードにおいて色測定のためにレンズ(1241)の焦点距離が選択可能であることを特徴とする装置(1)。
  2. レンズは第1のレンズ(40)と第2のレンズ(41)を含み、揺動機構(42)によって、第1のレンズ(40)が第1のモードにおける作動のために、また第2のレンズ(41)が第2のモードにおける作動のために照明光線(14)の光線経路内に揺動可能であることを特徴とする、請求項に記載の装置(1)。
  3. レンズは第1のレンズ(40)と第2のレンズ(41)を含み、第1のモードにおける作動のために第1のレンズ(40)が、また第2のモードにおける作動のために第2のレンズ(41)が使用者により照明光線(14)の光線経路に適用可能であることを特徴とする、請求項に記載の装置(1)。
  4. 請求項に記載の装置(1)であって、該装置(1)は光ファイバ(4)により互いに接続されている本体(2)およびハンドピース(3)から構成され、本体(2)は光源(5)、ビーム・スプリッタ(6)およびカラーセンサ(8)を含み、ハンドピース(3)はレンズ(12,40;41)を含み、第1のモードにおける作動のために第1のレンズ(40)を有する第1のハンドピース(3)が、また第2のモードにおける作動のために第2のレンズ(41)を有する第2のハンドピース(3)が、使用者によって本体(2)と接続可能であることを特徴とする装置。
  5. 照明光線(14)は、平面上で互いに平行に延びる複数の部分光線(14.1,14.2,14.3)から構成され、複数の部分レンズ(12.1,12.2,12.3)を含むレンズ(12)によって、個々の部分光線(14.1,14.2,14.3)が、第1のモードにおいて測定対象物の表面(16)の第1の平面(15)に一列に配置されている集束点(19.1,19.2,19.3)に集束し、第2のモードにおいて第1の平面(15)外の第2の平面(30)に一列に配置されている集束点(21.1,21.2,21.3)に集束するため、部分光線(12.1,12.2,12.3)が不鮮明な円(31.1,31.2,31.3)の形状で測定対象物の表面(16)に不鮮明に投影され、互いに重なって測定フィールドを形成することを特徴とする、請求項1からのいずれか1項に記載の装置(1)。
  6. 測定対象物表面(16)と焦点を共有して観測光線(18)の光線経路に配置されている開口部の直径(7)が、多色共焦点測定方式による三次元測定のための第1のモードにおいて、色測定のための第2のモードにおける開口部の直径(7)よりも大きく、このため第1のモードにおける焦点深度が第2のモードにおける焦点深度より浅いことを特徴とする、請求項1からのいずれか1項に記載の装置(1)。
  7. 開口部(7)は制御可能であり、開口部の直径(7)は調整可能であることを特徴とする、請求項に記載の装置(1)。
  8. 第1のモードにおけるより大きい直径の開口部(7)を、第2のモードにおけるより小さい直径の開口部と交換可能であることを特徴とする、請求項に記載の装置(1)。
  9. 装置(1)が、多色共焦点測定方式による光学式三次元測定のための第1のモードと、色測定のための第2のモードとの間で調整され、この際第1のモードにおいて広帯域の照明光線(14)が測定対象物の表面(16)の第1の平面(15)に集束し、第2のモードにおいて広帯域の照明光線(14)が、第1の平面(15)外の第2の平面(30)上に測定対象物の表面(16)から一定の間隔dをおいて集束し、第2のモードにおいて色測定のために照明光線(14)が第2の平面(30)に集束し、このため全ての波長の照明光線(14)の焦点が第1の平面(15)外にあり、かつ照明光線(14)が、日光に類似するスペクトルを有する不鮮明な円の形状の測定フィールドとして測定対象物表面(16)に投影されることを特徴とする、光学式三次元測定および色測定のための方法。
  10. 第1のモードから第2のモードへの装置(1)の調整において、揺動機構により第1のレンズが照明光線(14)の光線経路外へ揺動され、第2のレンズが照明光線(14)の光線経路内へ揺動されることを特徴とする、請求項に記載の方法。
  11. レンズが第1のレンズ(40)と第2のレンズ(41)を含み、第1のモードから第2のモードへの装置(1)の調整において、使用者により第1のレンズ(40)が照明光線(14)の光線経路から取り出され、第2のレンズが照明光線(14)の光線経路に適用されることを特徴とする、請求項に記載の方法。
  12. 装置(1)が本体(2)とハンドピース(3)とから構成される場合、第1のモードにおいて第1のレンズ(40)を有する第1のハンドピース(3)が、また第2のモードにおける作動のために第2のレンズ(41)を有する第2のハンドピース(3)が使用者により本体(2)と接続されることを特徴とする、請求項に記載の方法。
  13. 照明光線(14)が複数の部分光線から構成される場合、個々の部分光線が、第1のモードにおいて測定対象物表面(16)の第1の平面に一列に配置されている集束点に集束し、第2のモードにおいて測定対象物表面(16)の第1の平面外の第2の平面(30)に集束し、このため部分光線が測定対象物の表面(16)に不鮮明に投影され、互いに重なってほぼ均一な明度を有する測定フィールドとなることを特徴とする、請求項9から12のいずれか1項に記載の方法。
  14. 測定対象物表面(16)と焦点を共有して観測光線(18)の光線経路に配置されている開口部の直径(7)が、多色共焦点測定方式による三次元測定のための第1のモードにおいて、色測定のための第2のモードにおける開口部の直径(7)よりも開口部手段によって大きく設定され、このため第1のモードにおける焦点深度が第2のモードにおける焦点深度より浅くなることを特徴とする、請求項9から13のいずれか1項に記載の方法。
  15. 開口部(7)が電気的に制御され、開口部の直径(7)が調整されることを特徴とする、請求項14に記載の方法。

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