JP5305987B2 - 放熱ユニット及び露光装置 - Google Patents
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Description
また、本発明の他の側面としての放熱ユニットは、光源からの光から発生する熱を放熱するヒートシンクと、前記ヒートシンクよりも光源側に配置され、前記光を受光する受光面の面内方向において複数の部分に分割されている放熱板と、前記放熱板を前記ヒートシンクに支持する支持部材と、を有し、前記放熱板は、アルミニウムよりも融点が高く熱伝導率が低い材料から構成されることを特徴とする。
また、本発明の他の側面としての放熱ユニットは、光源からの光から発生する熱を放熱する、アルミウムから構成されているヒートシンクと、前記ヒートシンクよりも光源側に配置され、前記光を受光する受光面の面内方向において複数の部分に分割されている放熱板と、前記放熱板を前記ヒートシンクに支持する支持部材と、を有し、前記放熱板は、アルミニウムよりも融点が高く熱伝導率が低い材料から構成されることを特徴とする。
また、本発明の他の側面としての放熱ユニットは、光源からの光から発生する熱を放熱するヒートシンクと、前記ヒートシンクよりも光源側に配置され、前記光を受光する受光面の面内方向において複数の部分に分割されている放熱板と、前記放熱板を前記ヒートシンクに支持する支持部材と、を有し、前記放熱板は、セラミック、石、シリコンのいずれかを含むことを特徴とする。
32 ヒートシンク
34A、34B、34C 放熱板
34q1 上面
34q2 受光面(底面)
35 平行平板
Claims (10)
- 光源からの光から発生する熱を放熱するヒートシンクと、
前記ヒートシンクよりも光源側に配置され、前記光を受光する受光面の面内方向において複数の部分に分割され、セラミックスから構成されている放熱板と、
前記放熱板を前記ヒートシンクに支持する支持部材と、
を有することを特徴とする放熱ユニット。 - 前記放熱板よりも前記光源側に配置されて前記放熱板の前記受光面を支持し、前記光を受光及び透過する平行平板を更に有することを特徴とする請求項1に記載の放熱ユニット。
- 前記ヒートシンクは前記放熱板から離れて配置されていることを特徴とする請求項1に記載の放熱ユニット。
- 前記複数の部分は、互いの端部が重なっている隣り合う2つの部分を含むことを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか一項に記載の放熱ユニット。
- 前記複数の部分は、同心円状に形成された複数の境界線と径方向に延びる複数の境界線によって分割されていることを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか一項に記載の放熱ユニット。
- 光源からの光から発生する熱を放熱するヒートシンクと、
前記ヒートシンクよりも光源側に配置され、前記光を受光する受光面の面内方向において複数の部分に分割されている放熱板と、
前記放熱板を前記ヒートシンクに支持する支持部材と、
を有し、
前記放熱板は、アルミニウムよりも融点が高く熱伝導率が低い材料から構成されることを特徴とする放熱ユニット。 - 光源からの光から発生する熱を放熱する、アルミウムから構成されているヒートシンクと、
前記ヒートシンクよりも光源側に配置され、前記光を受光する受光面の面内方向において複数の部分に分割されている放熱板と、
前記放熱板を前記ヒートシンクに支持する支持部材と、
を有し、
前記放熱板は、アルミニウムよりも融点が高く熱伝導率が低い材料から構成されることを特徴とする放熱ユニット。 - 光源からの光から発生する熱を放熱するヒートシンクと、
前記ヒートシンクよりも光源側に配置され、前記光を受光する受光面の面内方向において複数の部分に分割されている放熱板と、
前記放熱板を前記ヒートシンクに支持する支持部材と、
を有し、
前記放熱板は、セラミック、石、シリコンのいずれかを含むことを特徴とする放熱ユニット。 - 請求項1〜8のうちいずれか一項に記載の放熱ユニットを有することを特徴とする露光装置。
- 請求項9に記載の露光装置を使用して基板を露光するステップと、
露光された前記基板を現像するステップと、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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