JP5283096B2 - 極低温冷却装置 - Google Patents
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Images
Description
10…冷凍機
12…圧縮機
14…高圧ガスライン
16…低圧ガスライン
18…コールドヘッド
20…バルブユニット
21、22…冷却ステージ
24…フレキシブル管
30…クライオスタット
31、51…トップフランジ
41、42…低振動ステージ
50…サポートステージ
54…除振機構
60、66…クランプ
62…バルブ固定台
64…リジッド管
68…連結管固定台
70…ベローズ
72…緩衝材
81、82…ヒートリンク
Claims (3)
- 2段式の冷凍機を用いて冷却されるクライオスタットを備えた極低温冷却装置において、
前記冷凍機のコールドヘッドが固定され、その荷重を支持するサポートステージと、
地面に支持されるとともに、該サポートステージに自身がべローズで連結され、被冷却体と前記コールドヘッドの1段冷却ステージ及び2段冷却ステージとを収納する前記クライオスタットと、
該クライオスタットに支持部材を介して支持され、該被冷却体の荷重を支持する低振動ステージと、
前記クライオスタットの内側に配置され且つ該クライオスタットに自身の荷重が支持されるとともに、前記1段冷却ステージに接続され、且つ前記被冷却体と前記2段冷却ステージと前記低振動ステージとを収納する熱シールドと、
を備えることを特徴とする極低温冷却装置。 - 前記熱シールドを支持するとともに前記クライオスタットに支持される1段低振動ステージを更に備え、
該1段低振動ステージは前記1段冷却ステージと可撓的な第1ヒートリンクを介して接続され、且つ、
前記低振動ステージは前記2段冷却ステージと可撓的な第2ヒートリンクを介して接続されることを特徴とする請求項1に記載の極低温冷却装置。 - 前記第1、第2ヒートリンクに、銅又はアルミニウムの編素線又は薄板を使用することを特徴とする請求項2に記載の極低温冷却装置。
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