JP5280242B2 - 吸着装置、検査装置および載置状態判別方法 - Google Patents

Description

本発明は、吸着対象体を吸着する吸着装置、その吸着装置を備えて吸着対象体に対する所定の検査を実行する検査装置、および吸着対象体を吸着する吸着装置への吸着対象体の載置状態を判別する載置状態判別方法に関するものである。

この種の検査装置として、特開２００２−３５０４８４号公報において出願人が開示した回路基板検査装置が知られている。この回路基板検査装置は、回路基板吸着装置、移動機構、検査用プローブおよび制御部等を備えて、回路基板吸着装置によって吸着された回路基板に対する検査を実行可能に構成されている。この場合、回路基板吸着装置は、上面が開口された箱状のケース、複数の吸入孔が形成されてケースの開口部位に装着された載置板、および載置板の上面に貼付された多孔性絶縁シートを有する基板載置台と、基板載置台の内部空間の空気を吸引するエアポンプとを備えて、エアポンプの吸引によって内部空間を負圧にすることにより、多孔性絶縁シートを挟んで載置板に載置された回路基板を吸着可能に構成されている。一方、この種の回路基板検査装置を用いて検査を行う際には、載置板における所定の載置領域内に回路基板を載置して確実に吸着させる必要がある。このため、出願人は、光センサを用いて載置領域内に回路基板が載置されている載置状態と、載置領域内に回路基板が載置されていない非載置状態とを判別する構成を上記の回路基板検査装置に採用している。この構成では、検出光を出力してその反射光を検出する光センサがケースの底面に配設されると共に、光センサから出力された検出光を通過させる検出用孔が載置板および多孔性絶縁シートに形成されている。この場合、多孔性絶縁シートを挟んで載置板の載置領域内に回路基板が載置されているときには、検出光が検出用孔を通過して回路基板によって反射され、その反射光が光センサによって検出される。また、載置領域に回路基板が載置されていないときには、検出光が反射されないため、光センサによる反射光の検出がされない状態となる。このため、この構成では、光センサによる反射光の検出の有無に基づいて回路基板の載置状態および非載置状態を判別することが可能となっている。

特開２００２−３５０４８４号公報（第３頁、第１−２図）

ところが、上記の回路基板検査装置には、解決すべき以下の課題がある。すなわち、上記の回路基板検査装置では、光センサを用いて回路基板の載置状態および非載置状態を判別している。この場合、正確に判別するためには、載置領域内に回路基板が載置された載置状態において、回路基板のいずれかの部位が光センサおよび検出用孔の上方に位置して、検出光がその部位によって反射される必要がある。このため、形状や大きさの異なる複数種類の回路基板を検査する際には、形状や大きさに応じて光センサの配設位置および検出用孔の形成位置を変更する必要がある。しかしながら、光センサの配設位置の変更が困難であることに加えて、検出光が通過するように形成位置を調整しつつ載置板および多孔性絶縁シートに検出用孔を形成し直す作業が煩雑であることに起因して、形状や大きさの異なる複数種類の回路基板への対応が困難であり、この点の改善が望まれている。

本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、形状や大きさの異なる複数種類の吸着対象体に確実かつ容易に対応し得る吸着装置、検査装置および載置状態判別方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の吸着装置は、一面に吸気口が形成された載置台と、前記一面側に配設されて前記吸気口を覆う通気性を有する被覆体と、当該被覆体を挟んで前記一面側に載置された吸着対象体を前記吸気口からの吸気によって前記載置台に吸着させる吸気機構と、前記一面側における前記吸着対象体の有無に応じて変動する物理量を検出する検出部と、当該検出部によって検出された前記物理量に基づいて前記一面側の載置領域内における前記吸着対象体の載置の有無を判別する判別処理を実行する判別部とを備えた吸着装置であって、前記載置台には、前記載置領域内に開口部を有する検出用凹部が形成され、前記被覆体には、配設状態において前記開口部に対向する対向領域に検出用孔が形成され、前記検出部は、前記検出用凹部内における気体の質量の増減に伴って変動する所定の物理量を前記物理量として検出する検出センサで構成され、前記判別部は、前記検出センサによって検出された前記所定の物理量と所定の閾値とを比較して前記判別処理を実行する。

また、請求項２記載の吸着装置は、請求項１記載の吸着装置において、前記検出センサは、前記検出用凹部内の気圧を前記所定の物理量として検出する圧力センサで構成されている。

また、請求項３記載の吸着装置は、請求項１記載の吸着装置において、前記検出センサは、前記検出用凹部内から吸引される前記気体の流量を前記所定の物理量として検出する流量センサで構成されている。

また、請求項４記載の吸着装置は、請求項１から３のいずれかに記載の吸着装置において、前記被覆体は、多孔質シートおよび紙で構成されている。

また、請求項５記載の検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載の吸着装置と、当該吸着装置によって吸着されている吸着対象体に対する所定の検査処理を実行する検査部とを備えた検査装置であって、前記検査部は、前記載置領域内における前記吸着対象体の載置状態が前記判別処理において判別されたときに前記検査処理を実行し、前記載置領域内における前記吸着対象体の非載置状態が前記判別処理において判別されたときに前記検査処理を停止する。

また、請求項６記載の載置状態判別方法は、一面に吸気口が形成された載置台と、前記一面側に配設されて前記吸気口を覆う通気性を有する被覆体と、当該被覆体を挟んで前記一面側に載置された吸着対象体を前記吸気口からの吸気によって前記載置台に吸着させる吸気機構とを備えた吸着装置を用いて前記吸着対象体を吸着させる際に、前記一面側における前記吸着対象体の有無に応じて変動する物理量を検出し、当該検出した物理量に基づいて前記一面側の載置領域内における前記吸着対象体の載置の有無を判別する判別処理を実行する載置状態判別方法であって、前記載置領域内に開口部を有する検出用凹部が形成された前記載置台、および配設状態において前記開口部に対向する対向領域に検出用孔が形成された前記被覆体を用いると共に、前記検出用凹部内における気体の質量の増減に伴って変動する所定の物理量を前記物理量として検出して、当該検出した所定の物理量と所定の閾値とを比較して前記判別処理を実行する。

請求項１記載の吸着装置、および請求項６記載の載置状態判別方法では、載置領域内に開口部を有する検出用凹部が形成された載置台、および配設状態において開口部に対向する対向領域に検出用孔が形成された被覆体を用いると共に、検出用凹部内における気体の質量の増減に伴って変動する所定の物理量を検出して、その所定の物理量と所定の閾値とを比較して載置台の載置領域内における吸着対象体の載置の有無を判別する判別処理を実行する。この場合、この種の所定の物理量を検出する検出センサは、その配設位置に拘わらずその所定の物理量を正確に検出することができる。このため、この吸着装置および載置状態判別方法によれば、吸着対象体の形状や大きさに応じて光センサの配設位置を変更する必要のある従来の回路基板検査装置とは異なり、形状や大きさの異なる吸着対象体を吸着する際における検出センサの配設位置の変更作業を不要とすることができる。また、この吸着装置および載置状態判別方法によれば、光センサを用いる従来の回路基板検査装置とは異なり、検出光が通過するように検出用孔の形成位置を調整する作業を不要とすることができる。したがって、この吸着装置および載置状態判別方法によれば、形状や大きさの異なる複数種類の吸着対象体に確実かつ容易に対応することができる。

また、請求項２記載の吸着装置によれば、検出用凹部内の気圧を所定の物理量として検出する圧力センサで検出センサを構成したことにより、検出用凹部内のいずれの位置に配設した場合であっても検出用凹部内の気圧を正確に検出することができるため、検出用凹部の大きさや形状に応じて圧力センサの配設位置を任意に規定することができる。

また、請求項３記載の吸着装置によれば、検出用凹部内から吸引される気体の流量を所定の物理量として検出する流量センサで検出センサを構成したことにより、検出用凹部内から気体を吸引する吸気管に流量センサを接続（または配設）することができるため、例えば、検出用凹部が小さく、検出用凹部内に検出センサの配設スペースが確保できない場合であっても、何ら支障なく気体の流量を検出することができる。

また、請求項４記載の吸着装置によれば、多孔質シートおよび紙で被覆体を構成したことにより、吸着対象体の形状や大きさに応じて形成位置を変更して検出用孔を形成し直す際に、既に形成されている検出用孔を閉塞する作業や、新たな検出用孔を形成する作業を極めて容易に行うことができる。

また、請求項５記載の検査装置では、検査部が、載置領域内における吸着対象体の載置状態が判別処理において判別されたときに検査処理を実行し、載置領域内における吸着対象体の非載置状態が判別処理において判別されたときに検査処理を停止する。このため、この基板検査装置によれば、載置領域内に吸着対象体が載置された載置状態においてのみ検査処理が行われ、吸着対象体が載置領域から外れた状態での検査処理の実行が防止される。このため、この基板検査装置では、例えば、検査用プローブをプロービングさせて行う検査処理において、吸着対象体における所定のプロービングポイントに検査用プローブを確実にプロービングさせて、検査を正確に行うことができる。また、例えば、カメラで吸着対象体の各部を撮像してその外観を検査する検査処理において、予め規定された所定位置に各部が位置している状態で撮像を行うことができるため、検査を正確に行うことができる。

基板検査装置１の構成を示す構成図である。 基板吸着装置２の構成を示す構成図である。 載置台１１、有孔板１２、多孔質シート１３および吸着紙１４の構成を示す斜視図である。 基板吸着装置２の平面図である。 図４におけるＸ−Ｘ線断面図である。 基板吸着装置２を用いて回路基板１００ａを吸着させる方法を説明する説明図である。 基板吸着装置２を用いて回路基板１００ｂを吸着させる方法を説明する説明図である。 基板検査装置１の他の構成を示す斜視図である。

以下、本発明に係る吸着装置、検査装置および載置状態判別方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、図１に示す基板検査装置１の構成について説明する。基板検査装置１は、本発明に係る検査装置の一例であって、同図に示すように、基板吸着装置２、検査部３および基板供給装置４を備えて、本発明における吸着対象体の一例としての回路基板（図４に示す回路基板１００ａ、および図７に示す回路基板１００ｂ：以下、区別しないときには「回路基板１００」ともいう）に対する所定の電気的検査を実行可能に構成されている。

基板吸着装置２は、本発明に係る吸着装置の一例であって、図２に示すように、載置台１１、有孔板１２、多孔質シート１３、吸着紙１４、吸気ポンプ１５、圧力センサ１６（本発明における検出部および検出センサの一例）および判別部１７を備えて構成されている。この基板吸着装置２は、回路基板１００を吸着すると共に、本発明に係る載置状態判別方法に従って載置台１１の上面１１ａ（本発明における一面：図３参照）における所定の載置領域Ａ１（図４参照）内に回路基板１００が載置された状態（本発明における載置状態）、および載置領域Ａ１内に回路基板１００が載置されていない状態（本発明における非載置状態）のいずれかであるか、つまり載置領域Ａ１内における回路基板１００の載置の有無を判別する。

載置台１１は、図３に示すように、板状に形成されている。また、載置台１１には、上面１１ａ側に開口部２１ａ（本発明における吸気口に相当する）を有する複数（例えば３つ）の凹部２１が形成されている。また、各凹部２１の底面には、吸気孔２１ｂが形成されている。この場合、吸気孔２１ｂに接続される吸気管１５ａを介して吸気ポンプ１５によって凹部２１内の空気（本発明における気体の一例）が吸引されることで、凹部２１内が負圧となり、これによって凹部２１の開口部２１ａから吸気が行われる。また、載置台１１には、載置される回路基板１００側に向けて開口する開口部２２ａ（本発明における開口部）を載置領域Ａ１内に有する検出用凹部２２が形成されている。この場合、検出用凹部２２の底面に形成されている吸気孔２２ｂに接続される吸気管１５ａを介して吸気ポンプ１５によって検出用凹部２２内の空気が吸引される。また、載置台１１には、図４に示すように、多孔質シート１３および吸着紙１４を固定するための固定部材１１ｂが配設されている。

有孔板１２は、図３に示すように、板状に形成されると共に、載置台１１の上面１１ａに配設されて、載置台１１に固定される（図４参照）。また、有孔板１２には、載置状態において載置領域Ａ１に対向する対向領域Ａ２（同図参照）に、多数の貫通孔１２ａが形成されている（図３参照）。多孔質シート１３は、多数の微細な孔（図示せず）を有してその微細な孔を通して空気を流通可能な（通気性を有する）シート状材料で構成されて、図３に示すように、有孔板１２の上（つまり、載置台１１の上面１１ａ側）に配設される。また、多孔質シート１３には、図４に示すように、配設状態において検出用凹部２２の開口部２２ａに対向する対向領域Ｂ１内における任意の位置に、小径（一例として、直径が３ｍｍ程度）の検出用孔５１ａが形成されている。

吸着紙１４は、図４に示すように、繊維の間の微細な隙間を通して空気を流通可能な（通気性を有する）紙で構成されて、多孔質シート１３の上（つまり、載置台１１の上面１１ａ側）に配設される。また、吸着紙１４には、図４に示すように、配設状態において多孔質シート１３の検出用孔５１ａと連通する位置に、直径が検出用孔５１ａと同程度の検出用孔５２ａが形成されている。なお、多孔質シート１３および吸着紙１４によって本発明における被覆体が構成される。この場合、多孔質シート１３および吸着紙１４は、載置台１１における凹部２１の開口部２１ａからの吸気量を適度に制限する機能を有している。

吸気ポンプ１５は、本発明における吸気機構に相当し、載置台１１における各凹部２１の底面に形成されている吸気孔２１ｂに吸気管１５ａを介して接続されて、吸気管１５ａを介して凹部２１内の空気を吸引する。この場合、吸気ポンプ１５の吸引によって凹部２１内が負圧となり、これによって開口部２１ａから吸気が行われることにより、有孔板１２、多孔質シート１３および吸着紙１４を挟んで載置台１１の上面１１ａ側に載置された回路基板１００が載置台１１に吸着される。

圧力センサ１６は、図３，５に示すように、載置台１１における検出用凹部２２の底面に配設されて、載置台１１の上面１１ａ側における回路基板１００の有無に応じて変動する検出用凹部２２内の気圧Ｐｍ（検出用凹部２２内における空気（気体）の質量の増減に伴って変動する所定の物理量の一例）を検出する。判別部１７は、圧力センサ１６によって検出された凹部２１内の気圧Ｐｍと閾値Ｐｓとを比較して、上面１１ａ側の載置領域Ａ１内に回路基板１００が載置されているか否か、つまり載置領域Ａ１内における回路基板１００の載置の有無（載置状態および非載置状態）を判別する判別処理を実行して、判別結果を示す判別信号Ｓｊを検査部３に出力する。この場合、判別部１７は、圧力センサ１６によって検出された検出用凹部２２内の気圧Ｐｍが所定の閾値Ｐｓ以下のときに載置状態と判別し、気圧Ｐｍが閾値Ｐｓを超えているときに非載置状態と判別する。

検査部３は、図１に示すように、プロービング機構３１および制御部３２を備えて構成されている。プロービング機構３１は、制御部３２の制御に従い、基板吸着装置２によって吸着されている回路基板１００の所定のプロービングポイントに検査用プローブ４１をプロービングさせる。制御部３２は、プロービング機構３１および基板供給装置４を制御する。また、制御部３２は、検査用プローブ４１を介して入力した電気信号に基づいて所定の物理量を測定すると共に、その物理量に基づいて回路基板１００の良否を検査する検査処理を実行する。この場合、制御部３２は、基板吸着装置２の判別部１７から非載置状態を示す判別信号Ｓｊが出力されたとき（出力されているとき）に検査処理を停止（中断）し、判別部１７から載置状態を示す判別信号Ｓｊが出力されたとき（出力されているとき）に検査処理を実行する。

基板供給装置４は、検査部３における制御部３２の制御に従い、基板吸着装置２における載置台１１の上面１１ａ側（吸着紙１４の上）に回路基板１００を供給（載置）する。

次に、基板検査装置１（基板吸着装置２）を用いて、図４に示す回路基板１００ａを吸着すると共に回路基板１００ａの載置状態および非載置状態を本発明に係る載置状態判別方法に従って判別する方法、およびその回路基板１００ａを検査する方法について、添付図面を参照して説明する。なお、図４に示すように、上記した検出用孔５１ａ，５２ａが、多孔質シート１３および吸着紙１４における対向領域Ｂ１の中心部に形成されて、回路基板１００ａが載置領域Ａ１内に載置された状態（載置状態）では、回路基板１００ａによって検出用孔５１ａ，５２ａが閉塞される（覆われる）ものとする。

この基板検査装置１では、検査の開始が指示されたときに、基板吸着装置２の吸気ポンプ１５が作動して吸引を開始する。この際に、凹部２１内の空気が吸気管１５ａを介して吸引されて、凹部２１内が負圧となる。これに伴い、吸着紙１４の外部（上方）の空気が、吸着紙１４における繊維の間の微細な隙間、多孔質シート１３の微細な孔、および有孔板１２の貫通孔１２ａを通って、開口部２１ａから吸引される（開口部２１ａからの吸気が行われる）。また、吸気ポンプ１５の作動に伴って検出用凹部２２内の空気が吸引されて、検出用凹部２２内が負圧となり、これに伴って開口部２２ａからの吸気が行われる。

また、検査開始の指示に応じて、圧力センサ１６が、検出用凹部２２内の気圧Ｐｍの検出を開始し、判別部１７が、圧力センサ１６によって検出された凹部２１内の気圧Ｐｍに基づいて回路基板１００ａの載置状態および非載置状態を判別する判別処理を実行する。この場合、載置台１１の上面１１ａ側における載置領域Ａ１内に回路基板１００ａが載置されていない状態（非載置状態）では、多孔質シート１３の検出用孔５１ａおよび吸着紙１４の検出用孔５２ａが開放されている（閉塞されていない）。この状態では、両検出用孔５１ａ，５２ａを通って検出用凹部２２内に空気が流入するため、検出用凹部２２内の気圧（圧力センサ１６によって検出される気圧Ｐｍ）が低圧となることなく、大気圧に近い気圧（閾値Ｐｓを超える気圧Ｐｍ）に維持される。このため、判別部１７は、判別処理において非載置状態と判別して、その旨を示す判別信号Ｓｊを検査部３の制御部３２に出力し、制御部３２が、検査処理を開始することなく待機する（検査処理を停止した状態を維持する）。

次いで、制御部３２は、基板供給装置４を制御して、載置台１１の上面１１ａ側（吸着紙１４の上）に回路基板１００ａを載置させる。この際に、載置された回路基板１００ａは、開口部２１ａからの吸気に伴い、有孔板１２、多孔質シート１３および吸着紙１４を挟んで載置台１１に吸着される。

この場合、図４に示すように、回路基板１００ａが載置領域Ａ１内に載置された状態（載置状態）では、対向領域Ｂ１の中心部に形成されている検出用孔５１ａ，５２ａが回路基板１００ａによって閉塞されているため、吸気ポンプ１５による吸引に伴って検出用凹部２２内の気圧（圧力センサ１６によって検出される気圧Ｐｍ）が低圧（閾値Ｐｓ以下の気圧Ｐｍ）となる。この際には、判別部１７は、判別処理において、圧力センサ１６によって検出された気圧Ｐｍが閾値Ｐｓ以下のため、載置状態と判別して、その旨を示す判別信号Ｓｊを検査部３の制御部３２に出力する。

続いて、制御部３２は、判別部１７から出力された載置状態を示す判別信号Ｓｊに応じて、検査処理を実行する。この検査処理では、制御部３２は、プロービング機構３１を制御して、回路基板１００ａの所定のプロービングポイントに対して検査用プローブ４１をプロービングさせる。次いで、制御部３２は、検査用プローブ４１を介して入力した電気信号に基づいて所定の物理量を測定すると共に、その物理量に基づいて回路基板１００ａの良否を検査する。

一方、図６に示すように、例えば、基板供給装置４によって載置された回路基板１００ａが載置領域Ａ１から外れて、回路基板１００ａによって検出用孔５１ａ，５２ａが閉塞されていない（検出用孔５１ａ，５２ａが開放されている）状態では、上記したように圧力センサ１６によって検出される気圧Ｐｍが閾値Ｐｓを超えるため、判別部１７が判別処理において非載置状態と判別して、その旨を示す判別信号Ｓｊを検査部３の制御部３２に出力する。この際には、制御部３２は、検査処理を停止した状態で（検査処理を開始することなく）待機する。また、例えば、検査処理の開始後（実行中）に非載置状態を示す判別信号Ｓｊが判別部１７から出力されたときには、制御部３２は、実行中の検査処理を中断する。

この場合、この基板検査装置１では、上記したように、載置領域Ａ１内に回路基板１００ａが載置された載置状態においてのみ検査処理が行われ、非載置状態での検査処理、つまり回路基板１００ａが載置領域Ａ１から外れた状態での検査処理の実行が防止される。このため、この基板検査装置１では、検査用プローブ４１を所定のプロービングポイントに確実にプロービングさせて、検査を正確に行うことが可能となっている。

次に、基板検査装置１を用いて回路基板１００ａとは異なる形状の回路基板１００ｂ（図７参照）を検査する方法について説明する。この場合、回路基板１００ｂには、同図に示すように、載置状態において検出用孔５１ａ，５２ａに対向する部位に切り欠きが形成されている。このため、この回路基板１００ｂが載置領域Ａ１内に載置されたとしても、検出用孔５１ａ，５２ａが閉塞されずに検出用凹部２２内の気圧Ｐｍが閾値Ｐｓを超えた状態に維持されて、載置状態の判別が困難となる。このため、この回路基板１００ｂを検査する際には、検査に先立ち、載置状態の回路基板１００ｂによって閉塞される検出用孔５１ｂ（以下、検出用孔５１ａ，５１ｂを区別しないときには「検出用孔５１」ともいう）および検出用孔５２ｂ（以下、検出用孔５２ａ，５２ｂを区別しないときには「検出用孔５２」ともいう）を多孔質シート１３および吸着紙１４の対向領域Ｂ１に形成し直す。具体的には、例えば、通気性を有する粘着テープ等を用いて、既に形成されている検出用孔５１ａおよび検出用孔５２ａを閉塞する。続いて、同図に示すように、載置状態における回路基板１００ｂのいずれかの部位が位置する対向領域Ｂ１内の任意の位置に検出用孔５１ｂ，５２ｂを形成する。

この場合、圧力センサ１６は、検出用凹部２２内に配設されている限り、その配設位置に拘わらず検出用凹部２２内の気圧Ｐｍを正確に検出することができる。このため、この基板検査装置１および基板吸着装置２では、回路基板１００の形状や大きさに応じて光センサの配設位置を変更する必要のある従来の回路基板検査装置とは異なり、圧力センサ１６の配設位置を変更する作業が不要となっている。また、光センサを用いる従来の回路基板検査装置とは異なり、検出光が通過するように検出用孔の形成位置を調整する作業も不要となっている。

次いで、検査開始を指示する。この際に、各部が上記した制御および処理を実行することによって検査が行われる。この場合においても、上記した回路基板１００ａに対する検査と同様にして、載置領域Ａ１内に回路基板１００ｂが載置された載置状態においてのみ検査処理が行われるため、検査用プローブ４１を所定のプロービングポイントに確実にプロービングさせて、検査を正確に行うことが可能となっている。

また、上記した回路基板１００ａや回路基板１００ｂとは異なる形状の回路基板１００を検査（載置）する場合においても、載置状態においてその回路基板１００のいずれかの部位が対向領域Ｂ１（開口部２２ａ）の上に位置する限り、上記した手順で検出用孔５１，５２を形成し直す（検出用孔５１，５２の市を変更する）ことで、その回路基板１００の載置状態および非載置状態を正確に判別することができる。

このように、この基板吸着装置２、基板検査装置１および載置状態判別方法では、載置領域Ａ１内に開口部２２ａを有する検出用凹部２２が載置台１１に形成され、多孔質シート１３および吸着紙１４における対向領域Ｂ１に検出用孔５１，５２が形成され、判別部１７が、圧力センサ１６によって検出された検出用凹部２２内の気圧Ｐｍと閾値Ｐｓとを比較して載置領域Ａ１内における回路基板１００の載置の有無を判別する判別処理を実行する。この場合、圧力センサ１６は、配設位置に拘わらず検出用凹部２２内の気圧Ｐｍを正確に検出することができる。このため、この基板吸着装置２、基板検査装置１および載置状態判別方法によれば、回路基板１００の形状や大きさに応じて光センサの配設位置を変更する必要のある従来の回路基板検査装置とは異なり、形状や大きさの異なる回路基板１００を吸着する際における圧力センサ１６の配設位置の変更作業を不要とすることができる。また、この基板吸着装置２、基板検査装置１および載置状態判別方法によれば、光センサを用いる従来の回路基板検査装置とは異なり、検出光が通過するように検出用孔の形成位置を調整する作業を不要とすることができる。したがって、この基板吸着装置２、基板検査装置１および載置状態判別方法によれば、形状や大きさの異なる複数種類の回路基板１００に確実かつ容易に対応することができる。

また、この基板吸着装置２および基板検査装置１によれば、検出用凹部２２内における空気（気体）の質量の増減に伴って変動する所定の物理量としての検出用凹部２２内の気圧Ｐｍを検出する圧力センサ１６で検出センサを構成したことにより、検出用凹部２２内のいずれの位置に配設した場合であっても検出用凹部２２内の気圧Ｐｍを正確に検出することができるため、検出用凹部２２の大きさや形状に応じて圧力センサ１６の配設位置を任意に規定することができる。

また、この基板吸着装置２および基板検査装置１によれば、通気性を有する多孔質シート１３および吸着紙１４で被覆体を構成したことにより、回路基板１００の形状や大きさに応じて形成位置を変更して検出用孔５１，５２を形成し直す際に、既に形成されている検出用孔５１，５２を閉塞する作業や、新たな検出用孔５１，５２を形成する作業を極めて容易に行うことができる。

また、この基板検査装置１では、検査部３が、判別部１７によって載置状態と判別されたときに検査処理を実行し、判別部１７によって非載置状態と判別されたときに検査処理を停止する。このため、この基板検査装置１によれば、載置領域Ａ１内に回路基板１００が載置された載置状態においてのみ検査処理が行われ、回路基板１００が載置領域Ａ１から外れた状態での検査処理の実行が防止される。このため、この基板検査装置１では、検査用プローブ４１を所定のプロービングポイントに確実にプロービングさせて、検査を正確に行うことができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、所定の物理量の一例としての検出用凹部２２内の気圧Ｐｍを検出する圧力センサ１６を備え、圧力センサ１６によって検出された気圧Ｐｍに基づいて回路基板１００の載置状態および非載置状態を判別する構成および方法について上記したが、本発明における所定の物理量としての他の物理量を検出する構成および方法を採用することもできる。具体的には、図８に示すように、圧力センサ１６に代えて流量センサ２１６（または流量センサ３１６）を備えた構成、および流量センサ２１６（または流量センサ３１６）を用いる方法を採用することができる。

この場合、流量センサ２１６は、本発明における検出センサの他の一例であって、検出用凹部２２に接続されて検出用凹部２２内の空気を吸引する吸気管１５ａの途中に配設され、また、流量センサ３１６は、本発明における検出センサの他の一例であって、吸気管１５ａの周壁に形成された孔（図示せず）にその先端部が挿入されている。これらの流量センサ２１６，３１６は、検出用凹部２２内から吸引される空気（気体）の流量（本発明における所定の物理量の他の一例）を検出する。この構成では、判別部１７が、流量センサ２１６（または流量センサ３１６）によって検出された空気の流量が所定の閾値以下のときに載置状態と判別し、流量が閾値を超えているときに非載置状態と判別する。この構成によれば、流量センサ２１６，３１６を吸気管１５ａに接続（または配設）することができるため、例えば、検出用凹部２２が小さく、検出用凹部２２内に検出センサの配設スペースが確保できない場合であっても、何ら支障なく空気の流量を検出することができる。

また、検出用凹部２２内における空気（気体）の質量の増減に伴って変動する本発明における所定の物理量には、上記した圧力Ｐｍや流量の他に、気体の流速、気体の濃度などの各種の物理量が含まれる。したがって、これらの物理量を検出する検出センサを用いる構成および方法を採用することもできる。この場合、検出用凹部２２内における空気（気体）の質量が増加するほどその値が小さくなる物理量を検出する検出センサを用いるときには、検出された物理量が所定の閾値以上（または、その閾値を超える）ときに載置状態と判別し、その物理量がその閾値未満（または、その閾値以下）のときに非載置状態と判別する判別処理を判別部１７が実行することで、上記と同様の各効果を実現することができる。

また、本発明における被覆体としての多孔質シート１３および吸着紙１４を備えた例について上記したが、多孔質シート１３および吸着紙１４のいずれか一方のみを備えた構成を採用することもできる。また、図４に示すように、検出用凹部２２の開口部２２ａの大きさを載置領域Ａ１の大きさよりも小さく規定した例について上記したが、開口部２２ａの大きさはこれに限定されず、載置領域Ａ１の範囲内で任意の大きさに規定することができる。この場合、例えば、開口部２２ａの大きさを載置領域Ａ１の大きさと同じ大きさに規定したときには、載置領域Ａ１と同じ広い面積の対向領域Ｂ１内における任意の位置に検出用孔５１，５２を形成することができる。また、回路基板１００以外の各種の吸着対象体を吸着することができ、この場合においても、上記と同様の効果を実現することができる。

１ 基板検査装置
２ 基板吸着装置
３ 検査部
１１ 載置台
１１ａ 上面
１３ 多孔質シート
１４ 吸着紙
１５ 吸気ポンプ
１６ 圧力センサ
１７ 判別部
２１ 凹部
２１ａ，２２ａ 開口部
２２ 検出用凹部
３２ 制御部
５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂ 検出用孔
１００ａ，１００ｂ 回路基板
２１６，３１６ 流量センサ
Ａ１ 載置領域
Ｂ１ 対向領域
Ｐｍ 気圧
Ｐｓ 閾値

Claims (6)

1. 一面に吸気口が形成された載置台と、前記一面側に配設されて前記吸気口を覆う通気性を有する被覆体と、当該被覆体を挟んで前記一面側に載置された吸着対象体を前記吸気口からの吸気によって前記載置台に吸着させる吸気機構と、前記一面側における前記吸着対象体の有無に応じて変動する物理量を検出する検出部と、当該検出部によって検出された前記物理量に基づいて前記一面側の載置領域内における前記吸着対象体の載置の有無を判別する判別処理を実行する判別部とを備えた吸着装置であって、
   前記載置台には、前記載置領域内に開口部を有する検出用凹部が形成され、
   前記被覆体には、配設状態において前記開口部に対向する対向領域に検出用孔が形成され、
   前記検出部は、前記検出用凹部内における気体の質量の増減に伴って変動する所定の物理量を前記物理量として検出する検出センサで構成され、
   前記判別部は、前記検出センサによって検出された前記所定の物理量と所定の閾値とを比較して前記判別処理を実行する吸着装置。
2. 前記検出センサは、前記検出用凹部内の気圧を前記所定の物理量として検出する圧力センサで構成されている請求項１記載の吸着装置。
3. 前記検出センサは、前記検出用凹部内から吸引される前記気体の流量を前記所定の物理量として検出する流量センサで構成されている請求項１記載の吸着装置。
4. 前記被覆体は、多孔質シートおよび紙で構成されている請求項１から３のいずれかに記載の吸着装置。
5. 請求項１から４のいずれかに記載の吸着装置と、当該吸着装置によって吸着されている吸着対象体に対する所定の検査処理を実行する検査部とを備えた検査装置であって、
   前記検査部は、前記載置領域内における前記吸着対象体の載置状態が前記判別処理において判別されたときに前記検査処理を実行し、前記載置領域内における前記吸着対象体の非載置状態が前記判別処理において判別されたときに前記検査処理を停止する検査装置。
6. 一面に吸気口が形成された載置台と、前記一面側に配設されて前記吸気口を覆う通気性を有する被覆体と、当該被覆体を挟んで前記一面側に載置された吸着対象体を前記吸気口からの吸気によって前記載置台に吸着させる吸気機構とを備えた吸着装置を用いて前記吸着対象体を吸着させる際に、前記一面側における前記吸着対象体の有無に応じて変動する物理量を検出し、当該検出した物理量に基づいて前記一面側の載置領域内における前記吸着対象体の載置の有無を判別する判別処理を実行する載置状態判別方法であって、
   前記載置領域内に開口部を有する検出用凹部が形成された前記載置台、および配設状態において前記開口部に対向する対向領域に検出用孔が形成された前記被覆体を用いると共に、
   前記検出用凹部内における気体の質量の増減に伴って変動する所定の物理量を前記物理量として検出して、当該検出した所定の物理量と所定の閾値とを比較して前記判別処理を実行する載置状態判別方法。

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