JP5271070B2 - ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、ノズル孔より液体を吐出して被記録媒体に画像や文字を記録するヘッドチップ、そのヘッドチップを有する液体噴射ヘッド、及びその液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置に関する。

現在、液体噴射装置の１つとして、予め決められた方向に搬送される記録紙等の被記録媒体に対してインク（液体）を吐出して画像や文字等の記録を行うインクジェット方式の記録装置（例えば、プリンタやファックス等）が提供されている。この記録装置は、インクタンクからインク供給管を介してインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）にインクを供給し、該インクジェットヘッドに備えられたヘッドチップのノズル孔からインクを被記録媒体に吐出することで記録を行っている。

上記したヘッドチップには、インクが充填される複数のチャネル（溝部）が間隔をあけて並列に形成されていると共にこれらのチャネルに連通するノズル孔が形成されている。上記したチャネルの側壁は圧電材料からなり、この側壁には駆動電極が形成されている。
このような構成のヘッドチップを有するインクジェットヘッドには、上記したヘッドチップの駆動を制御する制御手段が備えられている。この制御手段は、ヘッドチップを駆動させるための駆動回路が形成された駆動回路基板と、駆動回路と駆動電極とを接続する信号線が形成されたフレキシブルプリント基板と、を備えている。このような制御手段を備えるインクジェットヘッドでは、駆動回路から信号線を介して駆動電極に駆動電圧を印加することで、側壁が変形してチャネル内の圧力が高められ、チャネル内のインクがノズル孔から吐出される。

ところで、上記したインクは温度によって粘性が変化するため、インク温度によってノズル孔からのインクの吐出量が変動する。そこで、従来、ヘッドチップに、チャネル内のインクの温度を検出する温度センサを取り付ける技術がある。このような温度センサを備えるインクジェットヘッドでは、温度センサによってインク温度を検出し、その検出値を駆動回路に送信し、駆動回路において検出値に基づいて駆動電圧の大きさを決定して駆動電極に駆動電圧を印加する。これにより、インクの吐出量を一定にすることができる（例えば、下記特許文献１参照。）。
特開平２００３−１８２０５６号公報

しかしながら、上記した従来の技術では、温度センサと駆動回路とがリード線で接続されているため、インクジェットヘッドを製造する際、駆動回路基板上に実装されたリード線付き温度センサを手作業によってヘッドチップまで引き回して接着材等で固定することになり、生産効率が悪くコストアップの一因となっている。
また、上述したようにリード線を引き回して温度センサをヘッドチップに固定するため、例えばダンパ部材等の他の部材があることで、温度センサの設置位置に制約が生じる。したがって、温度センサをヘッドチップの近傍に設置することできない場合があり、この場合、ヘッドチップの温度が温度センサに伝達されにくくなり、温度検出精度が低下する問題が生じる。
さらに、揮発したインクがリード線に付着するとリード線が腐食される可能性があり、その場合、温度検出に異常をきたすおそれがある。

本発明に係る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置は、上記した従来の問題が考慮されたものであり、生産効率を向上させることでコストダウンを図ることができると共に、液体の温度検出精度を向上させることができ、さらに、温度検出の異常を生じにくくさせることを目的としている。

本発明に係るヘッドチップは、一端側に向けて延設された複数の溝部が間隔をあけて並列に形成されていると共に他端部に外部との電気的な接続をとるための実装部が形成されたアクチュエータプレートと、前記溝部の側壁に形成された駆動電極と、前記アクチュエータプレートに貼着されて前記溝部を覆うカバープレートと、前記アクチュエータプレートの一端面に貼着されていると共に前記複数の溝部にそれぞれ連通するノズル孔が複数形成されたノズルプレートと、を備えるチップ本体、及び、前記溝部内に充填された液体の温度を検出する温度センサ、を備え、前記溝部の側壁に形成された駆動電極に対して前記温度センサの検出値に基づいて決定された大きさの駆動電圧を印圧することで前記側壁を変形させて前記溝部内の圧力を高め、該溝部内の液体を前記ノズル孔から吐出させるヘッドチップにおいて、前記温度センサは、前記チップ本体の外周面に設置されていると共に、前記チップ本体に形成されて前記実装部まで延設された引回し配線を介して外部に電気的に接続されていることを特徴としている。

このような特徴により、温度センサがチップ本体に設置されているので、チップ本体の温度が温度センサに伝達されやすく、チップ本体内の液体温度が検出されやすい。
また、温度センサの引回し配線がチップ本体に形成されているので、リード線等を引き回すことなく、チップ本体の外周面に設置された温度センサが外部と電気的に接続される。
また、チップ本体に形成された引回し配線は、リード線等に比べて液体による腐食が生じにくい。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記引回し配線が、２本平行に配線されていることが好ましい。
これにより、２本一対の引回し配線が同様なルートを通って延設されるので、これらの引回し配線を形成する作業が容易となる。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記チップ本体の溝部並列方向の両側にそれぞれ配線されている構成であってもよい。
これにより、チップ本体の側部における引回し配線の配線スペースが狭い場合であっても、２本の引回し配線を形成することが可能である。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記引回し配線が、前記実装部に接合されるフレキシブルプリント基板上に形成された接続配線に電気的に接続されていることが好ましい。
これにより、チップ本体の実装部にフレキシブルプリント基板等の接続部品を接合させることで、引回し配線が接続配線に電気的に接続され、これら引回し配線及び接続配線を介して温度センサが外部と電気的に接続される。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記引回し配線と前記接続配線とが、前記チップ本体の外周面に配設された導電性ペーストからなる第一接続部を介して電気的に接続されていることが好ましい。
これにより、第一接続部を介して引回し配線と接続配線とが確実に電気的に接続される。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記温度センサが、前記溝部の長さ方向中央よりもノズルプレート側の位置に配設されていることが好ましい。
これにより、温度センサによってノズル孔近傍における液体温度が検出されるので、吐出直前の液体温度に応じてヘッドチップの駆動制御が行われる。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記アクチュエータプレートに、前記複数の溝部の並列方向の両側に該複数の溝部と並列に配列されたインク非充填溝が形成されており、該インク非充填溝の側壁に形成されたインク非充填電極によって前記引回し配線の一部が形成されていることが好ましい。
このように、駆動電極を形成する際に一緒に形成されるインク非充填電極を引回し配線の一部として利用することで、チップ本体の表面に形成する引回し配線の長さが短縮される。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記カバープレートに、前記引回し配線の一部を形成するプリント配線が形成されており、該プリント配線と前記インク非充填電極とは、前記インク非充填溝に充填される導電性ペーストからなる第二接続部を介して電気的に接続されていることが好ましい。
これにより、第二接続部を介してプリント配線とインク非充填電極とが確実に電気的に接続される。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記温度センサが、前記カバープレートの前記アクチュエータプレートに対する貼着面の反対側の面に設置されていることが好ましい。
これにより、カバープレートの温度が温度センサで検出され、その検出値に基づいて液体温度が把握される。また、温度センサはカバープレートに設置されるので、温度センサの設置時にはんだ付け等によって高温処理が施されても、アクチュエータプレートに与える熱の影響は小さい。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記温度センサが、前記アクチュエータプレートの前記カバープレートに対する貼着面の反対側の面に設置されていることが好ましい。
これにより、実装部と温度センサとを結ぶ引回し配線が、アクチュエータプレートとカバープレートとの間を跨いで形成されることがなく、引回し配線が容易に形成される。また、溝部が形成されたアクチュエータプレートに温度センサが設置されるので、溝部内の液体温度が温度センサによって検出されやすくなる。

また、本発明に係るヘッドチップは、前記温度センサと前記引回し配線との接続箇所、及び、分断された前記引回し配線の接続箇所のうちの少なくとも一方が、銀ペーストを介して接続されていることが好ましい。
これにより、はんだ付け等に比べて低温で接続が行われるので、アクチュエータプレートが高温に晒されることがなく、アクチュエータプレートの熱による破損などが防止される。

また、本発明に係る液体噴射ヘッドは、前記複数の溝部に前記液体を導入させるための導入口が形成された請求項１から７のいずれか一項に記載のヘッドチップと、前記液体を前記導入口に供給する供給手段と、前記温度センサの検出値に基づいて決定された大きさの駆動電圧を前記駆動電極に印加する制御手段と、を備えることを特徴としている。

このような特徴により、チップ本体に設置された温度センサによって溝部内の液体温度を検出する。この検出値は、引回し線を介して制御手段に伝達され、そこで前記検出値に基づいて駆動電圧の大きさが決定される。そして、その大きさの駆動電圧が制御手段によって駆動電極に印加される。これにより、駆動電圧が印加された駆動電極の側壁が変形して溝部内の圧力が高められ、その溝部内の液体がノズル孔から吐出される。

また、本発明に係る液体噴射装置は、被記録媒体を予め決められた搬送方向に搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送された被記録媒体の表面に対して前記ノズル孔が対向する向きに配置された請求項８に記載の液体噴射ヘッドと、該液体噴射ヘッドを前記搬送方向に直交する方向に前記被記録媒体に沿って往復移動させる移動手段と、を備えることを特徴としている。

このような特徴により、搬送手段によって被記録媒体を搬送するとともに、移動手段によって液体噴射ヘッドを往復移動させながらノズル孔から被記録媒体に向けて液体を吐出させることで被記録媒体に画像や文字等が記録される。このとき、温度センサによって液体温度を検出してその検出値に基づいてヘッドチップの駆動電極に印加する駆動電圧の大きさを決定するため、液体温度による液体の吐出量の変化が抑えられ、液体の吐出量が均一となる。

本発明に係るヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置によれば、温度センサがチップ本体に設置されており、チップ本体の温度が温度センサに伝達されやすいので、液体温度の検出精度を向上させることができ、液体温度に応じてヘッドチップを適正に駆動させることができる。
また、温度センサの引回し配線がチップ本体に形成されており、リード線等を引き回す必要がないため、生産効率を向上させることができ、コストダウンを図ることができる。
さらに、チップ本体に形成された引回し配線は腐食しにくいため、温度検出に異常が生じにくくなる。

以下、本発明に係る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の実施の形態について、図面に基いて説明する。
なお、本実施形態では、液体噴射装置の一例として、非導電性を有する非水性のインク（液体）Ｗを利用して記録を行うインクジェットプリンタ１を例に挙げて説明する。

［第１の実施の形態］
まず、第１の実施の形態について、図１から図５に基いて説明する。
本実施形態のインクジェットプリンタ１は、図１に示すように、インクＷを吐出する複数のインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）２と、記録紙（被記録媒体）Ｐを予め決められた矢印Ｌ１方向（搬送方向）に搬送する搬送手段３と、前記搬送方向に直交する矢印Ｌ２方向（走査方向）に複数のインクジェットヘッド２を往復移動させる移動手段４とを、備えている。

つまり、このインクジェットプリンタ１は、記録紙Ｐを搬送方向に搬送しながら、該搬送方向に直交する走査方向にインクジェットヘッド２を移動させて、記録紙Ｐに文字や画像を記録する所謂シャトルタイプのプリンタである。
なお、本実施形態では、それぞれ異なる色（例えば、ブラック、シアン、マゼンタ及びイエロー）のインクＷを吐出する４つのインクジェットヘッド２を備えている場合を例にしている。なお、これら４つのインクジェットヘッド２は、同一構成とされている。

これら４つのインクジェットヘッド２は、略直方体形状の筐体５内に組み込まれたキャリッジ６に搭載されている。
このキャリッジ６は、複数のインクジェットヘッド２を載置する平板状の基台６ａと、該基台６ａから垂直に立ち上げられた壁部６ｂと、で構成されており、上記操作方向に沿って配置されたガイドレール７によって往復移動可能に支持されている。また、キャリッジ６は、ガイドレール７に支持された状態で一対のプーリ８に巻回された搬送ベルト９に連結されている。一対のプーリ８のうち一方のプーリ８は、モータ１０の出力軸に連結されており、モータ１０からの回転駆動力を受けて回転するようになっている。これにより、キャリッジ６は、走査方向に向けて往復移動できるようになっている。
即ち、これら一対のガイドレール７、一対のプーリ８、搬送ベルト９及びモータ１０は、上記移動手段４として機能する。

また、筐体５には、一対のガイドレール７と同じ走査方向に沿って一対の搬入ローラ１５と、一対の搬送ローラ１６とが間隔を空けて並設されている。一対の搬入ローラ１５は、筐体５の背面側に設けられ、一対の搬送ローラ１６は筐体５の前面側に設けられている。そして、これら一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６は、図示しないモータによって記録紙Ｐを間に挟んだ状態で回転するようになっている。これにより、筐体５の背面側から前面側に向かう前記搬送方向に沿って記録紙Ｐを搬送することができるようになっている。
即ち、これら一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６は、上記搬送手段３として機能する。

図２に示すように、各インクジェットヘッド２は、図１に示すキャリッジ６の基台６ａに図示しないネジを介して取り付けられる矩形状の固定板２０と、該固定板２０の上面に固定されたヘッドチップ２１と、該ヘッドチップ２１の後述するインク導入口３１ａにインクＷを供給する供給手段２２と、後述する駆動電極３７に駆動電圧を印加する制御手段２３と、を主に備えている。これら各インクジェットヘッド２は、搬送手段３によって搬送された記録紙Ｐの表面に対して後述するノズル孔３３ａが対向する向きに配置されている。

図３に示すように、ヘッドチップ２１は、インクＷが充填される複数のチャネル３５（溝部）が間隔をあけて並列に形成され、これらのチャネル３５の側壁３６に駆動電極３７が形成されていると共にチャネル３５に連通するノズル孔３３ａが形成されたチップ本体３４と、チップ本体３４の外周面に設置されてチャネル３５内のインクＷの温度を検出する温度センサ５０と、チップ本体３４を支持する支持キャップ３２と、を備えている。

チップ本体３４は、アクチュエータプレート３０、カバープレート３１及びノズルプレート３３で主に構成されており、アクチュエータプレート３０に図示せぬ接着材を介してカバープレート３１が重ね合わされているとともに、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の端面に図示せぬ接着材を介してノズルプレート３３が貼着された構成からなる。

アクチュエータプレート３０は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されたプレートである。このアクチュエータプレート３０のカバープレート３１側の面（表面）には、図３に示すように、矢印Ｌ３方向（延在方向）に延びた溝状のチャネル３５が矢印Ｌ１方向（配列方向）に一定間隔をあけて並列に複数形成されている。即ち、複数のチャネル３５は、側壁３６によってそれぞれ区分けされた状態となっている。これらのチャネル３５は、インクＷが充填される断面視凹形状の吐出チャネルであり、後述するカバープレート３１のインク導入口３１ａにそれぞれ連通されている。チャネル３５の延在方向の一端（先端）は、アクチュエータプレート３０の先端面（ノズルプレート３３側の端面）において開口されている。一方、チャネル３５の延在方向の他端部（基端部）は、アクチュエータプレート３０の途中まで延びており、基端側（ノズルプレート３３側の反対側）に向かうにしたがって漸次深さが浅くなっている。

また、アクチュエータプレート３０には、チャネル３５の基端からアクチュエータプレート３０の基端面（ノズルプレート３３側反対側の端面）まで延びた浅溝部３８が形成されている。この浅溝部３８はチャネル３５の延長線上に形成されており、その一端はチャネル３５の内側に向けて開口され、その他端はアクチュエータプレート３０の基端面（ノズルプレート３３側の反対側の端面）において開口され、図示しない封止手段によって封止されている。なお、上記した浅溝部３８が形成されたアクチュエータプレート３０の基端部は、後述するフレキシブル基板２７を介して後述する駆動回路基板２６に電気的に接続される実装部３０ａとなっている。

図４に示すように、上記した複数のチャネル３５の側壁３６には、長さ方向に亘って駆動電極３７が蒸着等によりそれぞれ形成されている。そして、チャネル３５の両側面に形成された駆動電極３７は、実装部３０ａに形成された接続電極３９を介して後述するフレキシブル基板２７の信号線２８に電気的に接続されている。
そして、駆動電極３７は、駆動電圧が印加されたときに、側壁３６を圧電厚み滑り効果により変形させることでチャネル３５内の圧力を高め、充填されたインクＷをチャネル３５内から吐出させる働きをしている。

また、アクチュエータプレート３０の両側端部には、上記したチャネル３５と同様の形状のインク非充填溝５５がそれぞれ形成されている。このインク非充填溝５５は、チャネル３５と並列に配列された溝部であり、複数のチャネル３５の並列方向の両側にそれぞれ複数列ずつ配列されている。このインク非充填溝５５の実装部３０ａ側（基端側）には、チャネル３５と同様に浅溝部５８がそれぞれ形成されている。また、複数のインク非充填溝５５の側壁５６には、駆動電極３７と同様のインク非充填電極５７がそれぞれ形成されている。

カバープレート３１は、例えばセラミックス等で形成されたプレートであり、複数の浅溝部３８の基端側部分を露出させた状態で、アクチュエータプレート３０の表面に接着材を介して重ね合わせて貼着されている。また、カバープレート３１には、ダンパ部材２２からインクＷが供給されてくるインク導入口３１ａ（液体導入口）が形成されている。このインク導入口３１ａは、長方形の開口であり、チャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）に延在されている。

ノズルプレート３３は、厚みが５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなるシート状のプレートであり、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と、支持キャップ３２の先端側の表面と、に接着材を介して貼着されている。つまり、ノズルプレート３３の一方の面は、図１に示す記録紙Ｐに対向する対向面となっており、ノズルプレート３３の他方の面は、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と、支持キャップ３２の先端側の表面と、に接着される接着面となっている。なお、ノズルプレート３３の対向面には、インクＷの付着等を防止するための撥水性を有する撥水膜がコーティングされている。

また、このノズルプレート３３には、チャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）に所定の間隔を空けて複数のノズル孔３３ａが形成されている。これら複数のノズル孔３３ａは、チャネル３５に対向する位置にそれぞれ形成されており、該チャネル３５に連通するようになっている。各ノズル孔３３ａは、外形輪郭線が円形を描くように円状に形成されている。しかも、ノズル孔３３ａは、接着面側から対向面側に向かうに従い漸次縮径されたテーパ孔であり、接着面側の入口径（ノズル孔３３ａの外形輪郭線の直径）が対向面側の出口径よりも大きくなっている。なお、ノズル孔３３ａは、エキシマレーザ装置等を用いて形成されている。

一方、図４に示すように、温度センサ５０は、チップ本体３４の温度を検出することによってチップ本体３４内のインクＷの温度を検出するものである。詳しく説明すると、温度センサ５０は、サーミスタからなる温度センサである。サーミスタは、温度変化に対して電気抵抗が変化する抵抗体の両端に電極がそれぞれ形成された構成からなる。前記した抵抗体としては例えば金属酸化物や半導体、セラミックスなどからなり、使用温度は例えばマイナス数十度〜プラス百数十度程度である。

上記した温度センサ５０は、カバープレート３１のアクチュエータプレート３０に対する貼着面３１ｂの反対側の面（表面３１ｃ）に設置されている。詳しく説明すると、温度センサ５０は、カバープレート３１の表面３１ｃの先端側（ノズルプレート３３側）に寄せて配設されていると共に、チップ本体３４の長手方向（矢印Ｌ１方向）の中央部分の位置に配設されている。また、温度センサ５０は、その両端の電極が、カバープレート３１の表面３１ｃに形成された後述するランド５４上に載置されて銀ペーストやはんだ等で接合されることで、カバープレート３１に固着されている。

上記した温度センサ５０は、チップ本体３４に形成された引回し配線５１を介して外部の制御手段２３に電気的に接続されている。上記した引回し配線５１は、温度センサ５０が配設されたチップ本体３４（カバープレート３１）の先端部からアクチュエータプレート３０の実装部３０ａまで延設されており、この引回し配線５１の実装部３０ａ側の端部は、後述するフレキシブルプリント基板２７上の接続配線２９に図示せぬ接続部を介して電気的に接続されている。この接続部は、例えば銀ペースト等の導電性ペーストからなる導電部であり、チップ本体３４の外周面に配設されている。

詳しく説明すると、引回し配線５１は、カバープレート３１に金属蒸着等によって形成された２本のプリント配線５２と、複数のインク非充填溝５５のうちの並列方向の一方端から２列のインク非充填溝５５Ａに形成されたインク非充填電極５７Ａと、それらのインク非充填電極５７Ａの一端とプリント配線５２とを電気的に接続する接続部５３と、インク非充填電極５７Ａの他端に接続された接続電極５９Ａと、からなる。

プリント配線５２は、カバープレート３１の貼着面３１ｂから先端面３１ｄ（ノズルプレート３３に貼着される面）を通って表面３１ｃに延び、さらに表面３１ｃ上を通ってカバープレート３１におけるチャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）の中央部分まで延在されている。２本のプリント配線５２の一端（カバープレート３１の表面３１ｃの中央部分に配置された端部）には、温度センサ５０を実装させるためのランド５４がそれぞれ形成されている。詳しく説明すると、ランド５４は、温度センサ５０をマウントさせるための金属箔（例えば銅箔）であり、２本のプリント配線５２のランド５４は、チャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）に互いに間隔をあけて並べて配設されている。これら一対のランド５４のうちの一方には、温度センサ５０の一方の電極がはんだや銀ペースト等で固着され、他方には温度センサ５０の他方の電極がはんだや銀ペースト等で固着されており、これにより、カバープレート３１の表面３１ｃに温度センサ５０が実装されている。一方、２本のプリント配線５２の他端（カバープレート３１の貼着面３１ｂに配置された端部）は、並列方向の一方端から２列のインク非充填溝５５Ａの内側にそれぞれ配設されている。

接続部５３は、インク非充填溝５５Ａの一端部（ノズルプレート３３側の端部）の内側に充填された導電性を有するペーストからなる。この導電性ペーストとしては、溶融温度がアクチュエータプレート３０の耐熱温度以下である金属材料からなり、具体的には銀ペーストが用いられる。この接続部５３は、インク非充填溝５５Ａに形成されたインク非充填電極５７Ａに接しており、インク非充填電極５７Ａに電気的に接続されている。また、接続部５３は、プリント配線５２の他端部に接しており、プリント配線５２に電気的に接続されている。

一方、支持キャップ３２は、図３に示すように、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１を支持していると共に、ノズルプレート３３を支持している。支持キャップ３２には、チャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）に延在する嵌合孔３２ａが形成されており、重ね合わされたアクチュエータプレート３０及びカバープレート３１をこの嵌合孔３２ａ内に嵌め込んだ状態で両プレート３０、３１を支持している。この際、支持キャップ３２の先端側の表面は、アクチュエータプレート３０及びカバープレート３１の先端側の端面と面一となっている。

また、図３、図５に示すように、カバープレート３１の表面に接する上記嵌合孔３２ａの内周面には、温度センサ５０が嵌め込まれる凹部３２ｂが形成されている。この凹部３２ｂは、チャネル３５の長さ方向（矢印Ｌ３方向）に延在する溝部であり、嵌合孔３２ａのチャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）の中央部分に配設されている。凹部３２ｂは、その長さ方向の一端側（ノズルプレート３３側）が閉塞されて他端側が開放されている。また、凹部３２ｂの内側には、温度センサ５０が収容されていると共に、樹脂やシリコーン等からなる熱伝導性を有する充填材６０が充填されている。

上記した構成のヘッドチップ２１は、図２に示すように、上述したように固定板２０の上面に固定されている。この固定板２０の上面には、アルミニウム等で形成された矩形状のベースプレート２４が垂直に立ち上がった状態で固定されていると共に、ヘッドチップ２１のインク導入口３１ａにインクＷを供給する流路部材２２ａが固定されている。この流路部材２２ａの上方には、インクＷを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器（ダンパ）２２ｂがベースプレート２４に支持された状態で配置されている。この圧力緩衝器２２ｂと流路部材２２ａとは、インク連結管２２ｃを介して連結されている。また、圧力緩衝器２２ｂの上部には、インクＷが供給されてくる供給チューブ４０が取り付けられている。
このように構成されているので、供給チューブ４０を介して圧力緩衝器２２ｂにインクＷが供給されると、該インクＷは圧力緩衝器２２ｂ内の貯留室に一旦貯留される。そして、圧力緩衝器２２ｂは、貯留されたインクＷのうち、所定量のインクＷをインク連結管２２ｃ及び流路部材２２ａを介してヘッドチップ２１のインク導入口３１ａに供給するようになっている。
即ち、流路部材２２ａ、圧力緩衝器２２ｂ及びインク連結管２２ｃは、上記供給手段２２として機能する。

なお、供給チューブ４０は、図１に示すように、筐体５内に組み込まれたインクタンク４１に連結されている。これにより、インクタンク４１に貯留されている色の異なるインクＷが、４つのインクジェットヘッド２にそれぞれ供給されるようになっている。

また、図２に示すように、上記したヘッドチップ２１の上方には、ヘッドチップ２１の駆動を制御する制御手段２３が設けられている。この制御手段２３は、上記した温度センサ５０の検出値に基づいて決定された大きさの駆動電圧を上記した駆動電極３７に印加するものである。具体的に説明すると、制御手段２３は、駆動回路基板２６と、その駆動回路基板２６とヘッドチップ２１との間に介装されたフレキシブルプリント基板２７と、を備えている。

駆動回路基板２６は、上記したベースプレート２４のヘッドチップ２１側の面（圧力緩衝器２２ｂに対向する面）に重ね合わせてビス等で取り付けられている。この駆動回路基板２６には、ヘッドチップ２１を駆動させるための集積回路等の駆動回路２５が実装されていると共に、その駆動回路２５に電気的に接続された図示せぬ配線パターンが形成されている。駆動回路２５は、温度センサ５０の検出値に基づいて駆動電圧の大きさを決定する駆動電圧値設定手段を内蔵している。具体的に説明すると、駆動回路２５は、温度センサ５０によって検出された検出値と駆動電極３７に印加する電圧値（駆動電圧）との対応関係を示す駆動電圧テーブルを有しており、温度センサ５０によって検出されたインクＷの温度に対応する大きさの駆動電圧を駆動電極３７に印加するものである。

フレキシブルプリント基板２７は、柔軟性があって大きく変形可能な薄膜状のプリント基板であり、その一端が駆動回路基板２６に固定され、その他端がアクチュエータプレート３０の基端部（ノズルプレート３３側の反対側の端部）に固定されている。このフレキシブルプリント基板２７の一方の面（ベースプレート２４側の面）には、駆動回路２５と複数の駆動電極３７とをそれぞれ電気的に接続する複数の信号線２８が形成されている。この信号線２８は、図４に示すように、ヘッドチップ２１側から駆動回路基板２６側に向かって延びた帯状の配線パターンであり、フレキシブルプリント基板２７の一方の面にプリント配線されている。この信号線２８の一端は、駆動回路基板２６に形成された図示せぬ配線パターンに電気的に接続されている。一方、信号線２８の他端は、カバープレート３１の基端側に露出されたアクチュエータプレート３０の浅溝部３８の基端側部分に嵌合されており、それにより、接続電極３９に接触して電気的に接続されている。これにより、信号線２８の他端は、接続電極３９を介して駆動電極３７に電気的に接続されている。

また、フレキシブルプリント基板２７には、上記した温度センサ５０と駆動回路２５とを電気的に接続する２本の接続配線２９が形成されている。詳しく説明すると、接続配線２９は、フレキシブルプリント基板２７の一方の面に形成された帯状のプリント配線であり、２本平行に配列されている。また、接続配線２９は、複数の信号線２８の側方、つまりフレキシブルプリント基板２７の側端部に配列されており、信号線２８と平行に延設されている。これら２本の接続配線２９のヘッドチップ２１側の端部は、並列方向の一方端から２列のインク非充填溝５５Ａに形成されたインク非充填電極５７Ａにそれぞれ電気的に接続されている。また、接続配線２９の駆動回路基板２６側の端部は、駆動回路基板２６の図示せぬ配線パターンにそれぞれ電気的に接続されており、この配線パターンを介して駆動回路２５にそれぞれ電気的に接続されている。

ここで、上記した構成のヘッドチップ２１の製造方法について説明する。
まず、カバープレート３１に金属蒸着等によってプリント配線５２を形成する。このとき、インク非充填溝５５Ａの側壁５６Ａに形成されたインク非充填電極５７Ａや接続電極５９Ａが引回し配線５１の一部を構成するので、プリント配線５２をアクチュエータプレート３０の実装部３０ａまで延設させる必要がなく、プリント配線５２の長さが短縮される。

続いて、プリント配線５２のランド５４上に温度センサ５０の電極を載せてはんだや銀ペースト等で固着させ、カバープレート３１に温度センサ５０を設置する。このように、温度センサ５０をカバープレート３１に設置するので、はんだ付け等によって高温処理が施されても、アクチュエータプレート３０に与える影響は少なく、熱によるアクチュエータプレート３０の破損などが抑制される。また、温度センサ５０の固定に銀ペーストを用いることで、はんだ付け等に比べて低温で作業することができるので、アクチュエータプレート３０に与える熱の影響が更に低減される。

一方、アクチュエータプレート３０のチャネル３５やインク非充填溝５５、実装部３０ａに斜め蒸着などによって駆動電極３７、インク非充填電極５７及び接続電極３９，５９をそれぞれ形成する。その後、並列方向の一方端から２列のインク非充填溝５５Ａの先端部（ノズルプレート側３３の端部）の内側に導電性ペーストを充填して接続部５３を形成する。このとき、導電性ペースト（接続部５３）がアクチュエータプレート３０の上面（カバープレート３１に対する貼着面）側に若干盛り上がるように導電性ペーストを充填する。このとき、接続部５３の材料（導電性ペースト）として銀ペーストを用いることで、はんだ付け等に比べて低温で作業することができるので、アクチュエータプレート３０に与える熱の影響が低減される。

次に、上記したカバープレート３１とアクチュエータプレート３０とを接着材を介して貼り合わせる。カバープレート３１の貼着面３１ｂ側に配設されたプリント配線５２の端部と接続部５３とが密接し、プリント配線５２が接続部５３を介してインク非充填電極５７に電気的に接続される。

次に、重ね合わされたカバープレート３１及びアクチュエータプレート３０の先端部を支持キャップ３２の嵌合孔３２ａ内にヘッドチップ２１の基端側（ノズルプレート３３側の反対側）から嵌入する。このとき、カバープレート３１やアクチュエータプレート３０の先端部の外周面と嵌合孔３２ａの内周面とのうちの少なくとも一方に接着材を塗布しておき、この接着材によってカバープレート３１及びアクチュエータプレート３０の先端部を支持キャップ３２の嵌合孔３２ａ内に固着させる。また、カバープレート３１及びアクチュエータプレート３０の先端部を支持キャップ３２の嵌合孔３２ａ内に嵌入させる際、カバープレート３１上の温度センサ５０は、支持キャップ３２の凹部３２ｂの内側に挿入される。

次に、カバープレート３１やアクチュエータプレート３０、支持キャップ３２の先端面とノズルプレート３３とを接着材を介して貼着させる。
また、支持キャップ３２の凹部３２ｂの開放端側（ノズルプレート３３側の反対側）からその凹部３２ｂの内側に熱伝導性を有する充填材６０を充填する。このとき、凹部３２ｂのノズルプレート３３側の端部が閉塞されているので、充填材６０の充填圧力が薄膜状のノズルプレート３３に作用せず、充填材６０の充填圧力によるノズルプレート３３の変形が防止される。
以上により、ヘッドチップ２１が完成する。

上記したヘッドチップ２１では、アクチュエータプレート３０の実装部３０ａと駆動回路基板２６との間にフレキシブルプリント基板２７を介装させることで、駆動電極３７が信号線２８を介して制御手段（駆動回路２５）に電気的に接続されると共に、引回し配線５１が接続配線２９に電気的に接続され、温度センサ５０が引回し配線５１及び接続配線２９を介して制御手段（駆動回路２５）に電気的に接続される。したがって、温度センサ５０の電気的接続をとるためにリード線等を引き回す必要がなく、ヘッドチップ２１と駆動回路基板２６との間にフレキシブルプリント基板２７を介装させるだけで温度センサ５０が制御手段２３に電気的に接続される。
また、チップ本体３４上に蒸着された引回し配線５１は、リード線等に比べて、揮発したインクＷによる腐食が生じにくい。

次に、上述したように構成されたインクジェットプリンタ１を利用して、記録紙Ｐに文字や図形等を記録する場合について以下に説明する。
なお、初期状態として、４つのインクタンク４１にはそれぞれ異なる色のインクＷが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４１内のインクＷが供給チューブ４０を介して圧力緩衝器２２ｂに供給された状態となっている。そのため、所定量のインクＷが、インク連結管２２ｃ及び流路部材２２ａを介してヘッドチップ２１のインク導入口３１ａに供給され、インク導入口３１ａからチャネル３５内に充填された状態となっている。

このような初期状態のもと、インクジェットプリンタ１を作動させると、一対の搬入ローラ１５及び一対の搬送ローラ１６が回転して記録紙Ｐを搬送方向（矢印Ｌ１方向）に向けて搬送する。また、これと同時にモータ１０がプーリ８を回転させて搬送ベルト９を動かす。これにより、キャリッジ６がガイドレール７でガイドされながら走査方向（矢印Ｌ２方向）に往復移動する。
そしてこの間に、各インクジェットヘッド２のヘッドチップ２１より４色のインクＷを記録紙Ｐに適宜吐出させることで、文字や画像等の記録を行うことができる。特に、シャトル方式であるので、記録紙Ｐの所望する範囲に対して正確に記録を行うことができる。

ここで、各インクジェットヘッド２の動きについて、以下に詳細に説明する。

まず、温度センサ５０によってチャネル３５内のインクＷの温度が検出され、その検出値が引回し配線５１及び接続配線２９を介して駆動回路２５に伝達される。詳しく説明すると、サーミスタからなる温度センサ５０は温度に応じて電気抵抗が変化するため、例えば温度センサ５０と駆動回路２５との間に流れる電流値の大きさによって、チップ本体３４の温度が検出され、さらにはチップ本体３４内のインクＷの温度が検出される。このとき、温度センサ５０がチップ本体３４に設置されているので、チップ本体３４の温度が温度センサ５０に伝達されやすく、チップ本体３４内のインクＷの温度が検出されやすい。また、温度センサ５０が、チャネル３５の長さ方向中央よりもノズルプレート３３側の位置に配設されているので、温度センサ５０によってノズル孔３３ａ近傍におけるインクＷの温度が検出され、吐出直前のインクＷの温度に応じてヘッドチップ２１の駆動制御が行われる。

一方、キャリッジ６によって往復移動が開始されると、駆動回路２５は、フレキシブル基板２７の信号線２８を介して駆動電極３７に駆動電圧を印加する。より詳しくは、インクＷを吐出するチャネル３５の両側の２つの側壁３６にそれぞれ設けられている駆動電極３７に駆動電圧を印加し、この２つの側壁３６を、インクＷを吐出させるチャネル３５に隣接しているチャネル３５側へ突出するように変形させる。即ち、吐出するチャネル３５があたかも膨らむように変形させる。また、このとき、駆動回路２５は、上記した駆動電圧テーブルによって温度センサ５０の検出値に応じた大きさの駆動電圧を決定し、その大きさの駆動電圧を駆動電極３７に印加する。このため、上記した２つの側壁３６の変形量は、インクＷの温度（粘性）に対応した大きさとなる。

上記した２つの側壁３６の圧電厚み滑り効果による変形によって、吐出するチャネル３５の容積が増大する。そして、チャネル３５の容積が増大したことにより、インクＷがインク導入口３１ａからチャネル３５に誘導される。そして、チャネル３５の内部に誘導されたインクＷは圧力波となってチャネル３５の内部を通過し、この圧力波がノズル３３ａに到達したタイミングで、駆動電極３７に印加した駆動電圧をゼロにする。これにより、側壁３６の変形が元に戻り、一旦増大したチャネル３５の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出するチャネル３５の内部の圧力が増加し、インクＷが加圧される。その結果、インクＷがチャネル３５内から吐出される。

なお、ここで述べている駆動電極３７は、それぞれ隣接するチャネル３５から選択的にインクＷを吐出させるための電極として、別々に機能するように形成されている。また、インクＷを安定して吐出するために、さらなるインクＷの加圧が必要な場合には、側壁３６を吐出するチャネル３５側へ突出するように変形させる。この動作によって、吐出するチャネル３５の内部の圧力がさらに増加するので、インクＷをより加圧することができる。但し、この動作は上述したとおり、インクＷを安定して吐出させることを目的とするものであるので、必須な動作ではなく必要に応じて適宜使用すれば良い。
また、本実施形態では、非水性のインクＷを使用しているので、上述した各動作を必要に応じて組み合わせて実行することにより、最適なインクＷの吐出を実現することができる。

吐出されたインクＷは、ノズル孔３３ａを通って外部に吐出される。しかもノズル孔３３ａを通過する際に、インクＷは液滴状、即ちインク滴となって吐出される。その結果、上述したように、記録紙Ｐに文字や画像等を記録することができる。
特に、本実施形態のノズル孔３３ａは、断面テーパ状であるので、インク滴を速い速度で真っ直ぐに直進性良く吐出することができる。よって、高画質に記録を行うことができる。

上記した構成のインクジェットヘッド２及びインクジェットプリンタ１によれば、温度センサ５０によってインクＷの温度を検出し、その検出値に基づいて決定された大きさの駆動電圧を駆動電極３７に印加するため、インクＷの吐出量を一定にすることができる。
特に、上記した構成のヘッドチップ２１では、温度センサ５０がチップ本体３４に設置されており、チップ本体３４の温度が温度センサ５０に伝達されやすいので、インクＷの温度の検出精度を向上させることができ、インクＷの温度に応じてヘッドチップ２１を適正に駆動させることができる。
また、上記したヘッドチップ２１では、温度センサ５０が収容される支持キャップ３２の凹部３２ｂの内側に熱伝導性を有する充填材６０が充填されているので、充填材６０を介してカバープレート３１の熱が温度センサ５０に効率的に伝達され、チャネル３５内のインクＷの温度を正確に検出することができる。これにより、インクＷの温度に応じてヘッドチップ２１を適正に駆動させることができる。

また、温度センサ５０の引回し配線５１がチップ本体３４に蒸着等で形成されており、温度センサ５０の電気的な接続をとる際にリード線等を引き回す必要がないため、生産効率を向上させることができ、その結果、コストダウンを図ることができる。
特に、アクチュエータプレート３０の実装部３０ａと駆動回路基板２６との間にフレキシブルプリント基板２７を介装させることで、引回し配線５１及び接続配線２９を介して温度センサ５０が制御手段２３と電気的に接続されるので、生産効率を向上させることができ、コストダウンを図ることができる。
さらに、チップ本体３４に形成された引回し配線５１はリード線等に比べて腐食しにくいため、温度検出に異常が生じにくくなる。

また、引回し配線５１が２本平行に配線されており、２本一対の引回し配線５１が同様なルートを通って延設されるので、これらの引回し配線５１を形成する作業が容易となる。したがって、ヘッドチップ２１の生産効率を向上させることができる。
また、インク非充填溝５５Ａ内に充填された接続部５３を介してプリント配線５２とインク非充填電極５７Ａとが電気的に接続されているので、プリント配線５２とインク非充填電極５７Ａとが確実に接続され、引回し配線５１が電気的に切断されることを防止することができる。
また、引回し配線５１の実装部３０ａ側の端部とフレキシブルプリント基板２７上の接続配線２９とが、図示せぬ接続部を介して電気的に接続されているので、引回し配線５１と接続配線２９とが確実に接続され、引回し配線５１が電気的に切断されることを防止することができる。

また、温度センサ５０がカバープレート３１に設置されており、高温をかけて温度センサ５０を固着させてもアクチュエータプレート３０に与える熱の影響は小さいので、アクチュエータプレート３０の破損を防止することができる。
特に、温度センサ５０と引回し配線５１（ランド５４）との接続箇所に銀ペーストを用いることで、アクチュエータプレート３０に与える熱の影響はさらに小さくなるので、アクチュエータプレート３０の破損を確実に防止することができる。
また、引回し配線５１の分断箇所の接続部５３、つまり、プリント配線５１とインク非充填電極５７との接続部５３を銀ペーストで形成することで、アクチュエータプレート３０に与える熱の影響が小さくなるので、アクチュエータプレート３０の破損を防止することができる。

［第２の実施の形態］
次に、第２の実施の形態について図６に基いて説明する。
なお、本実施の形態は、温度センサ５０の設置位置、及び、引回し配線１５１の構成が第１の実施の形態と異なり、他の構成は第１の実施の形態の構成と同様である。したがって、本実施の形態においては、温度センサ５０の設置位置、及び、引回し配線１５１についてのみ説明し、第１の実施の形態の構成と同様の構成については説明を省略する。

本実施の形態では、図６に示すように、温度センサ５０が、アクチュエータプレート３０のカバープレート３１に対する貼着面３０ｂの反対側の面（表面３０ｃ）に設置されている。この温度センサ５０の電極は、銀ペーストによって後述する引回し配線１５１のランド５４に固着されている。

また、引回し配線１５１は、アクチュエータプレート３０に金属蒸着等によって形成された２本のプリント配線１５２と、複数のインク非充填溝５５のうちの並列方向の一方端から２列のインク非充填溝５５Ａに形成されたインク非充填電極５７Ａと、インク非充填電極５７Ａの他端に接続された接続電極５９Ａと、からなる。プリント配線１５２は、インク非充填溝５５Ａの内周面からアクチュエータプレート３０の先端面３０ｄ（ノズルプレート３３に貼着される面）を通って表面３０ｃに延び、さらに表面３０ｃ上を通ってアクチュエータプレート３０におけるチャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）の中央部分まで延在されている。２本のプリント配線１５２の一端（アクチュエータプレート３０の表面３０ｃの中央部分に配置された端部）には、温度センサ５０を実装させるためのランド５４がそれぞれ形成されている。一方、２本のプリント配線１５２の他端（インク非充填溝５５Ａの内周面に配置された端部）は、インク非充填溝５５Ａの底面及び側壁５６Ａにそれぞれ形成されており、インク非充填電極５７Ａの一端部（ノズルプレート３３側の端部）に連結されている。

上記した構成のヘッドチップ２１によれば、アクチュエータプレート３０の実装部３０ａと温度センサ５０とを結ぶ引回し配線１５１が、アクチュエータプレート３０とカバープレート３１との間を跨いで形成されることがなく、第１の実施の形態における接続部５３が不要となり、引回し配線１５１が容易に形成される。これにより、生産効率を向上させることができ、その結果、コストダウンを図ることができる。

また、チャネル３５が形成されたアクチュエータプレート３０に温度センサ５０が設置されるので、チャネル３５内のインクＷの温度が温度センサ５０に伝達されやすい。これにより、インクＷの温度の検出精度を向上させることができ、インクＷの温度に応じてヘッドチップ２１を適正に駆動させることができる。

また、温度センサ５０と引回し配線１５１（ランド５４）との接続箇所を銀ペーストで固着させているので、アクチュエータプレート３０に与える熱の影響が抑えられ、アクチュエータプレート３０の破損を防止することができる。

以上、本発明の第１から第３の実施の形態について説明したが、本発明は上記した各実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、上記した各実施の形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。

また、上記した実施の形態では、インク非充填溝５５の側壁５６に形成されたインク非充填電極５７を引回し配線５１，１５１の一部として利用しているが、本発明は、インク非充填電極５７を利用しない構成であってもよい。
詳しく説明すると、図７に示すように、引回し配線２５１が、カバープレート３１に蒸着されたプリント配線２５２と、アクチュエータプレート３０の実装部３０ａに形成された接続電極２５９と、から構成されていてもよい。前記したプリント配線２５２は、カバープレート３１の基端面３１ｅ（ノズルプレート３３側の反対側の端面）からカバープレート３１の表面３１ｃの側端部を通ってノズルプレート３３側に延びて、さらに表面３１ｃの先端部を通ってカバープレート３１におけるチャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）の中央部分まで延在されている。接続電極２５９は、アクチュエータプレート３０の実装部３０ａの側端部に形成されている。上記したプリント配線２５２と接続電極２５９とは、アクチュエータプレート３０とカバープレート３１との貼り合せ後に、カバープレート３１の基端面３１ｅに形成されたプリント配線２５２の端部と接続電極２５９との間に銀ペースト等の導電性ペーストからなる図示せぬ接続部を形成することで、電気的に接続される。これにより、図示せぬ接続部を介してプリント配線２５２と接続電極２５９とが確実に電気的に接続され、引回し配線２５１が電気的に切断されることが防止される。
また、図８に示すように、引回し配線３５１が、アクチュエータプレート３０に蒸着されたプリント配線３５２によって形成されていてもよい。このプリント配線３５２（引回し配線３５１）は、アクチュエータプレート３０の貼着面３０ｂの側端部からアクチュエータプレート３０の側面３０ｅに延び、側面３０ｅを通って表面３０ｃまで延び、さらに表面３０ｃの基端部（ノズルプレート３３側の反対側の端部）をチャネル３５の配列方向（矢印Ｌ１方向）の中央側に向かって延び、中央部分からノズルプレート３３側に延びてアクチュエータプレート３０の先端部まで延設されている。

また、上記した各実施の形態では、複数のノズル孔３３ａが配列方向に直線状に一列に配列されているが、本発明は、複数のノズル孔３３ａが直線状に配列されてなく、縦方向（矢印Ｌ２方向）にずらして配列されていてもよい。例えば、複数のノズル孔３３ａが斜めに配列されていてもよく、或いは、千鳥状に配列されていてもよい。
また、ノズル孔３３ａの形状に関しても、円形に限定されるものではない。例えば、三角等の多角形状や、楕円形状や星型形状でも構わない。

また、上記した実施の形態では、カバープレート３１にインク導入口３１ａが形成されているが、本発明は、アクチュエータプレートにインク導入口が形成されていてもよい。例えば、アクチュエータプレートの裏面（チャネルが形成された表面の反対側の面）に配列方向に延びた断面凹状のインク導入口が形成され、このインク導入口の底面に、チャネルに連通するスリットが形成された構成であってもよい。なお、この場合、ＩＣ基板２６が固定されたベースプレート２０とダンパ部材２２との位置を入れ換えて、ダンパ部材２２をアクチュエータプレートに重ね合わせるように配設すると共に、ベースプレート２０をカバープレート３１に重ね合わせるように配置すればよい。

また、上記した実施の形態では、非水性のインクＷを利用した場合を説明したが、例えば、導電性の水性インク、ソルベントインク、オイルインクやＵＶインク等を用いても構わない。
なお、水性インクを用いる場合には、ヘッドチップは次にように構成すれば良い。
即ち、アクチュエータプレートには、インクが充填される吐出チャネルとして機能する吐出チャネルと、インクが充填されないダミーチャネルとして機能するダミーチャネルと、が配列方向に交互に形成される。そして、インク導入口の底面には、吐出チャネルに対向する位置にスリットを形成する。これにより、インク導入口からスリットを通って吐出チャネルにだけインクが充填される。そして、ノズルプレートには、吐出チャネルに対向する位置にノズル孔が形成される。
このようにヘッドチップ２１を構成することで、水性のインクであっても、吐出チャネルに設けられた駆動電極と、ダミーチャネルに設けられた駆動電極とをインクを介して導通させることなく、電気的に切り離した状態で使い分けることができる。従って、水性のインクを利用して記録を行うことができる。
特に、導電性を有するインクであっても問題なく利用できるので、インクジェットプリンタの付加価値を高めることができる。なお、その他は同様の作用効果を奏することができる。

また、上記した実施の形態では、温度センサ５０としてサーミスタが用いられているが、本発明は、他の温度センサを用いることも可能である。例えば、温度センサとして熱電対などを用いることも可能である。

また、上記した実施の形態では、分断された引回し配線５１，２５１の接続箇所を銀ペーストによって接続しているが、本発明は他の接続方法を採用することも可能である。例えば、アクチュエータプレート３０の耐熱性が高い場合には、はんだ付けで接続することも可能である。また、アクチュエータプレート３０に温度センサ５０を設置する場合であっても、アクチュエータプレート３０の耐熱性が高い場合には、温度センサ５０を引回し配線１５１，３５１にはんだ付けで固着させてもよい。

また、上記した実施の形態では、温度センサ５０はチップ本体３４の先端側（ノズルプレート３３側）の部分に配設されており、支持キャップ３２には、温度センサ５０が収容される凹部３２ｂが形成されているが、本発明は、温度センサ５０が先端側に配設されていなくてもよく、例えば、支持キャップ３２の基端側に配設されていてもよい。これにより、支持キャップ３２の凹部３２ｂを省略することができる。

また、上記した実施の形態では、駆動回路２５に駆動電圧値設定手段が内蔵され、温度センサ５０と駆動回路２５とが接続配線２９を介して直接電気的に接続された構成となっており、温度センサ５０から駆動回路２５に検出値が伝達され、駆動回路２５において検出値及び駆動電圧テーブルによって駆動電圧の大きさが決定されているが、本発明は、上記構成に限定されるものではない。例えば、インクジェットプリンタ１の図示せぬ制御部に駆動電圧値設定手段が内蔵されていてもよい。すなわち、温度センサ５０と上記制御部とが接続配線を介して電気的に接続されていると共に上記制御部と駆動回路２５とが接続配線を介して電気的に接続された構成であってもよい。この場合、温度センサ５０から制御部に接続配線を介して検出値が伝達され、制御部において検出値及び駆動電圧テーブルによって駆動電圧の大きさが決定され、決定された大きさの駆動電圧が接続配線を介して制御部から駆動回路２５に伝達され、駆動回路２５から信号線２８を介して駆動電極３７に駆動電圧が印加される。

また、上記した実施の形態では、引回し配線５１，１５１が２本平行に配設されているが、本発明はこの構成に限定されるものではない。例えば、引回し配線５１，１５１がチップ本体３４の両側端部（溝部並列方向の両側）にそれぞれ１本ずつ配設されていてもよい。これにより、チップ本体３４の側部における引回し配線５１，１５１の配線スペースが狭い場合であっても、２本の引回し配線５１５１，１５１を形成することが可能であり、ヘッドチップ２１の小型化を図ることができる。
また、上記した実施の形態では、引回し配線５１，１５１のランド５４が銅箔にて形成されているが、本発明は、銅箔に限定されず、チップ本体３４と温度センサ５０間の熱結合（熱伝導）をとり、チップ本体３４で発生した温度を取得することができれば、いかなる金属であってもよい。

また、上記した実施の形態では、図４に示すように、インク非充填溝５５Ａの一端部（ノズルプレート３３側の端部）の内側に充填した導電性ペーストにより接続部が形成されているが、本発明は、上記した構成に限定されるものではない。例えば、図４に示す側壁５６Ａの天井部分（カバープレート３１に対する貼着面３０ｂと同一面）にインク非充填電極５７Ａを延設し、プリント配線５２を上述のインク非充填電極５７Ａ上に位置するように形成し、後にアクチュエータプレート３０とカバープレート３１とを貼り合わせる際に、プリント配線５２とインク非充填電極５７Ａを接続してもよい。さらに、プリント配線５２とインク非充填電極５７Ａの間に上述したような導電性を有するペーストを設けて、電気的な接続を確実に実施することが好ましい。

また、上記した実施の形態では、図４に示すように、接続部５３をインク非充填溝２５のうち、溝の並列方向の一方端から２列のインク非充填溝５７Ａの内側に充填しているが、本発明は、上記した実施の形態に限定されるものではない。例えば、一方端から１列のインク非充填溝５５Ａに設けるだけにしても良い。また、上述した側壁５６Ａの天井部分にインク非充填電極５７Ａを延設する形式であってもよく、接合部５３を設ける必要がない形態にすることも可能である。
なお、この形式において、インク非充填溝５５を１つ空けてインク非充填溝５５Ａに接続部５３を設けたのは、図４に示すように、最右のチャネル３５を吐出溝として動作させるために、最右のチャネル３５とインク非充填溝５５との間に位置する側壁５６が、最右チャネル３５側へもインク非充填溝側へも自由に変形することができるようにするためである。すなわち、側壁５６の図面右側に位置する溝に導電性ペーストが充填されると、側壁５６の動作を妨げることなくインクＷを噴射するため、上述の構成を採用している。

その他、本発明の主旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した変形例を適宜組み合わせてもよい。

本発明の第１の実施の形態を説明するための液体噴射装置の斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を説明するための液体噴射ヘッドの斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を説明するためのヘッドチップの部分斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を説明するためのアクチュエータプレートとカバープレートの部分斜視図である。 本発明の第１の実施の形態を説明するための支持キャップの部分斜視図である。 本発明の第２の実施の形態を説明するためのアクチュエータプレートの部分斜視図である。 本発明の第１の実施の形態の変形例を説明するためのアクチュエータプレートとカバープレートの部分斜視図である。 本発明の第２の実施の形態の変形例を説明するためのアクチュエータプレートの部分斜視図である。

符号の説明

１ インクジェットプリンタ（液体噴射装置）
２ インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
３ 搬送手段
４ 移動手段
２１ ヘッドチップ
２３ 制御手段
２７ フレキシブルプリント基板
２９ 接続配線
３０ アクチュエータプレート
３０ａ 実装部
３０ｂ 貼着面
３１ カバープレート
３１ｂ 貼着面
３３ ノズルプレート
３３ａ ノズル孔
３４ チップ本体
３５ チャネル（溝部）
３６ 側壁
３７ 駆動電極
５０ 温度センサ
５１，１５１，２５１，３５１ 引回し配線
５５Ａ インク非充填溝
５６Ａ 側壁
５７Ａ インク非充填電極
Ｐ 記録紙（被記録媒体）
Ｗ インク（液体）

Claims (12)

1. 一端側に向けて延設された複数の溝部が間隔をあけて並列に形成されていると共に他端部に外部との電気的な接続をとるための実装部が形成されたアクチュエータプレートと、
   前記アクチュエータプレートに貼着されて前記溝部を覆うカバープレートと、前記アクチュエータプレートの一端面に貼着されていると共に前記複数の溝部にそれぞれ連通するノズル孔が複数形成されたノズルプレートと、を備えるチップ本体、
   及び、前記溝部内に充填された液体の温度を検出する温度センサ、
   を備え、
   前記溝部の側壁に形成された駆動電極に対して前記温度センサの検出値に基づいて決定された大きさの駆動電圧を印圧することで前記側壁を変形させて前記溝部内の圧力を高め、
   該溝部内の液体を前記ノズル孔から吐出させるヘッドチップにおいて、
   前記温度センサは、前記チップ本体の外周面に設置されていると共に、前記チップ本体に形成されて前記実装部まで延設された引回し配線を介して外部に電気的に接続されているとともに、
   前記アクチュエータプレートには、前記複数の溝部の並列方向のいずれか一方側又は両側に該複数の溝部と並列に配列されたインク非充填溝が形成されており、
   該インク非充填溝の側壁に形成されたインク非充填電極によって前記引回し配線の一部が形成されていることを特徴とするヘッドチップ。
2. 請求項１に記載のヘッドチップにおいて、
   前記引回し配線は、２本平行に配線されていることを特徴とするヘッドチップ。
3. 請求項１に記載のヘッドチップにおいて、
   前記引回し配線は、前記チップ本体の溝部並列方向の両側にそれぞれ配線されていることを特徴とするヘッドチップ。
4. 請求項１から３のいずれか一項に記載のヘッドチップにおいて、
   前記引回し配線は、前記実装部に接合されるフレキシブルプリント基板上に形成された接続配線に電気的に接続されていることを特徴とするヘッドチップ。
5. 請求項４に記載のヘッドチップにおいて、
   前記引回し配線と前記接続配線とは、前記チップ本体の外周面に配設された導電性ペーストからなる第一接続部を介して電気的に接続されていることを特徴とするヘッドチップ。
6. 請求項１から５のいずれか一項に記載されたヘッドチップにおいて、
   前記温度センサは、前記溝部の長さ方向中央よりもノズルプレート側の位置に配設されていることを特徴とするヘッドチップ。
7. 請求項１から６のいずれか一項に記載のヘッドチップにおいて、
   前記カバープレートに、前記引回し配線の一部を形成するプリント配線が形成されており、
   該プリント配線と前記インク非充填電極とは、前記インク非充填溝に充填される導電性ペーストからなる第二接続部を介して電気的に接続されていることを特徴とするヘッドチップ。
8. 請求項１から７のいずれか一項に記載のヘッドチップにおいて、
   前記温度センサは、前記カバープレートの前記アクチュエータプレートに対する貼着面の反対側の面に設置されていることを特徴とするヘッドチップ。
9. 請求項１から８のいずれか一項に記載のヘッドチップにおいて、
   前記温度センサは、前記アクチュエータプレートの前記カバープレートに対する貼着面の反対側の面に設置されていることを特徴とするヘッドチップ。
10. 請求項１から９のいずれか一項に記載のヘッドチップにおいて、
    前記温度センサと前記引回し配線との接続箇所、及び、分断された前記引回し配線の接続箇所のうちの少なくとも一方は、銀ペーストを介して接続されていることを特徴とするヘッドチップ。
11. 前記複数の溝部に前記液体を導入させるための導入口が形成された請求項１から１０のいずれか一項に記載のヘッドチップと、
    前記液体を前記導入口に供給する供給手段と、
    前記温度センサの検出値に基づいて決定された大きさの駆動電圧を前記駆動電極に印加する制御手段と、
    を備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
12. 被記録媒体を予め決められた搬送方向に搬送する搬送手段と、
    該搬送手段によって搬送された被記録媒体の表面に対して前記ノズル孔が対向する向きに配置された請求項１１に記載の液体噴射ヘッドと、
    該液体噴射ヘッドを前記搬送方向に直交する方向に前記被記録媒体に沿って往復移動させる移動手段と、
    を備えることを特徴とする液体噴射装置。

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