JP5270046B2 - 抵抗変化素子およびその製造方法 - Google Patents
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Description
[抵抗変化素子の構成]
図1は、本発明の実施の形態1に係る抵抗変化素子100の一構成例を示した断面図である。
図2Aから図2Iは本発明の実施の形態1における抵抗変化素子100の要部の製造方法を示す断面図である。
[抵抗変化素子の構成]
図3は、本発明の実施の形態2に係る抵抗変化素子300の一構成例を示した断面図である。
図4Aから図4Hは本発明の実施の形態2における抵抗変化素子300の要部の製造方法を示す断面図である。
101、301、501、1001 基板
102、302 密着層
103 導電層
104、304 層間絶縁層
105、305、505、805、905、1005 第2の電極
106、306、506、806、906、1006 抵抗変化層
106a、306a 第2の抵抗変化層
106b、306b 第1の抵抗変化層
107、307、507、807、907、1007 第1の電極
108 ハードマスク
309 スペーサ
506a 第2の遷移金属酸化物層
506b 第1の遷移金属酸化物層
806c フィラメント
905a ナノ針
1002 酸化物層
1005a 針
1006a 第2の金属酸化物層
1006b 第1の金属酸化物層
Claims (24)
- 第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に介在して前記第1の電極と前記第2の電極とに接するように設けられており、前記第1の電極と前記第2の電極との間に与えられる電気的信号に基づいて抵抗値が可逆的に変化する抵抗変化層とを有する抵抗変化素子であって、
前記抵抗変化層は、酸素不足型の第1の遷移金属酸化物層で構成される第1の抵抗変化層と、酸素不足度が前記第1の遷移金属酸化物の酸素不足度より小さい第2の遷移金属酸化物で構成される第2の抵抗変化層とを積層して構成され、
前記第2の電極は、前記第2の抵抗変化層に向かって突出するただ1つの針状部を有し、
前記第2の抵抗変化層は、前記第1の抵抗変化層と前記第2の電極との間に介在して前記第1の抵抗変化層と前記第2の電極とに接しかつ前記第2の電極の前記針状部を覆うように設けられ、
前記第2の電極の前記針状部の高さは、前記第2の抵抗変化層の前記針状部に進入されていない部分の厚さよりも大きい、
抵抗変化素子。 - 前記第1の抵抗変化層は、前記針状部に進入される位置に凹部を有する、
請求項1に記載の抵抗変化素子。 - 前記第2の抵抗変化層は、前記針状部に進入される位置に凸部を有し、当該凸部においてのみ、前記第1の抵抗変化層と接続し、
前記抵抗変化素子は、さらに、前記第1の抵抗変化層と前記第2の抵抗変化層との間に介在し、かつ前記第2の抵抗変化層の前記凸部の側面を覆うスペーサを備える、
請求項1に記載の抵抗変化素子。 - 前記抵抗変化素子において、
半導体基板上に、前記第2の電極、前記第2の抵抗変化層、前記第1の抵抗変化層、及び前記第1の電極が、この順に積層して設けられている、
請求項1または2に記載の抵抗変化素子。 - 前記抵抗変化素子において、
半導体基板上に、前記第1の電極、前記第1の抵抗変化層、前記第2の抵抗変化層、及び前記第2の電極が、この順に積層して設けられている、
請求項1または3に記載の抵抗変化素子。 - 前記第1の遷移金属酸化物及び前記第2の遷移金属酸化物は、それぞれ、タンタル、ハフニウム、ジルコニウム、チタン、ニオブ、タングステン、ニッケル、鉄の酸化物のうちの1つで構成される、
請求項1〜5のいずれか1項に記載の抵抗変化素子。 - 前記第2の抵抗変化層の抵抗値は、前記第1の抵抗変化層の抵抗値より高い、
請求項1〜6のいずれか1項に記載の抵抗変化素子。 - 前記第2の遷移金属酸化物を構成する遷移金属の標準電極電位は、前記第1の遷移金属酸化物を構成する遷移金属の標準電極電位より低い、
請求項1〜7のいずれか1項に記載の抵抗変化素子。 - 前記第2の抵抗変化層の誘電率は、前記第1の抵抗変化層の誘電率より大きい、
請求項1〜8のいずれか1項に記載の抵抗変化素子。 - 前記第2の抵抗変化層のバンドギャップは、前記第1の抵抗変化層のバンドギャップより小さい、
請求項1〜8のいずれか1項に記載の抵抗変化素子。 - 前記第2の電極の標準電極電位は、前記第2の遷移金属酸化物を構成する遷移金属の標準電極電位より大きく、かつ前記第1の電極の標準電極電位より大きい、
請求項1〜10のいずれか1項に記載の抵抗変化素子。 - 半導体基板上に、上方へ突出するただ1つの針状部を有する第2の電極を形成する工程と、
前記第2の電極の前記針状部を被覆して、第2の遷移金属酸化物で構成される第2の抵抗変化層を形成する工程と、
前記第2の抵抗変化層上に、酸素不足度が前記第2の遷移金属酸化物の酸素不足度より大きい第1の遷移金属酸化物で構成される第1の抵抗変化層を形成する工程と、
前記第1の抵抗変化層上に第1の電極を形成する工程と、
を含み、
前記第2の抵抗変化層を形成する工程において、前記第2の抵抗変化層の膜厚は、電極の前記針状部の高さよりも小さい、
抵抗変化素子の製造方法。 - 半導体基板上に、第1の電極を形成する工程と、
前記第1の電極を被覆して、第1の遷移金属酸化物で構成される第1の抵抗変化層を形成する工程と、
内部に前記第1の抵抗変化層の上面が露出するコンタクトホールを有する絶縁層を形成する工程と、
前記第1の抵抗変化層及び前記絶縁層上に、酸素不足度が前記第1の遷移金属酸化物の酸素不足度より小さい第2の遷移金属酸化物で構成される第2の抵抗変化層を形成する工程と、
前記第2の抵抗変化層上に、前記第2の抵抗変化層へ向かって下主面から突出するただ1つの針状部を有する第2の電極を形成する工程と、
を含み、
前記第2の電極を形成する工程において、
前記針状部の高さが、前記第2の抵抗変化層の前記針状部に進入されていない部分の厚さよりも大きくなるように前記第2電極が形成される、
抵抗変化素子の製造方法。 - 前記第1の遷移金属酸化物及び前記第2の遷移金属酸化物は、それぞれタンタル、ハフニウム、ジルコニウム、チタン、ニオブ、タングステン、ニッケル、鉄の酸化物のうちの1つを用いて形成される、
請求項12または請求項13に記載の抵抗変化素子の製造方法。 - 前記第2の抵抗変化層は、抵抗値が前記第1の抵抗変化層の抵抗値より高い材料を用いて形成される、
請求項12〜14のいずれか1項に記載の抵抗変化素子の製造方法。 - 前記第2の遷移金属酸化物は、当該第2の遷移金属酸化物を構成する遷移金属の標準電極電位が前記第1の遷移金属酸化物を構成する遷移金属の標準電極電位より低い材料を用いて形成される、
請求項12〜15のいずれか1項に記載の抵抗変化素子の製造方法。 - 前記第2の抵抗変化層は、誘電率が前記第1の抵抗変化層の誘電率より大きい材料を用いて形成される、
請求項12〜16のいずれか1項に記載の抵抗変化素子の製造方法。 - 前記第2の抵抗変化層は、バンドギャップが前記第1の抵抗変化層のバンドギャップより小さい材料を用いて形成される、
請求項12〜16のいずれか1項に記載の抵抗変化素子の製造方法。 - 前記第2の電極は、標準電極電位が、前記第2の遷移金属酸化物を構成する遷移金属の標準電極電位より大きく、かつ前記第1の電極の標準電極電位より大きい材料を用いて形成される、
請求項12〜18のいずれか1項に記載の抵抗変化素子の製造方法。 - 前記第2の抵抗変化層の膜厚のうち、前記第2の電極の前記針状部の先端部分における膜厚が、前記第2の電極の前記先端部分以外の部分における膜厚よりも薄い、
請求項1〜11のいずれか1項に記載の抵抗変化素子。 - 前記第1の抵抗変化層の前記第1の電極に対向する面には、前記第2の電極の前記針状部の形状が転写されていない、
請求項1、2、6〜11、20のいずれか1項に記載の抵抗変化素子。 - 前記第1の抵抗変化層の前記第1の電極に対向する面は、全面にわたって平坦である、
請求項21に記載の抵抗変化素子。 - 前記第2の抵抗変化層を形成する工程において、
前記第2の抵抗変化層の膜厚のうち、前記第2の電極の前記針状部の先端部分における膜厚が、前記第2の電極の前記先端部分以外における膜厚よりも薄く形成される、
請求項12〜19のいずれか1項に記載の抵抗変化素子の製造方法。 - 前記第1の抵抗変化層を形成する工程の後であって、前記第1の電極を形成する工程の前に、
前記第1の抵抗変化層の上面を平坦化する工程を含む、
請求項12、14〜19、23のいずれか1項に記載の抵抗変化素子の製造方法。
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