JP5261889B2 - ＮＯｘセンサ - Google Patents

Description

本発明は、内燃機関の排気通路におけるＮＯ_Xトラップ触媒の下流に備えられ、排気中のＮＯ_X等の成分を検出するＮＯｘセンサに関するものである。

従来より、特に、自動車用の内燃機関（以下、エンジンとも言う）を中心に、エンジンから排出される排気中の有害成分を低減し、排気を浄化することを目的として、種々の排気浄化触媒が排気通路に搭載されている。
通常、リーン運転を行なわないＭＰＩ（Multi Point Injection）エンジン等においては、排気中のＮＯ_X，Ｏ₂を酸化剤、ＣＯ，ＨＣ，Ｈ₂を還元剤として反応させる三元触媒のみを搭載すればよいが、燃費低減に有利なリーン運転も行なう直噴リーンバーンエンジンでは、三元触媒以外にＮＯ_Xトラップ触媒を搭載することが必要になる。

ＮＯ_Xトラップ触媒の場合、エンジンのリーン運転状態においてＮＯ_XをＮＯ_Xトラップ剤（以下、単にトラップ剤ともいう）に吸蔵させ、ストイキ運転状態やリッチ運転状態となったときに、そのＮＯ_Xを還元浄化するものである。トラップ剤は酸化雰囲気でＮＯ_Xを硝酸塩の形で吸蔵（トラップ）し、排気中に未燃燃料（ＨＣ）や一酸化炭素（ＣＯ）が存在する還元雰囲気でＨＣやＣＯとＮＯｘとを化学的に反応させ、還元浄化し放出する。

トラップ剤としては、例えば、プラチナ（Ｐｔ）やパラジウム（Ｐｄ）等の貴金属触媒が適用できるが、吸蔵（トラップ）能力の点で、アルカリ金属、あるいはアルカリ土類金属の中の一もしくは複数の金属を担持したＮＯ_Xトラップ剤がより優れており、ＮＯ_Xの浄化効率を向上させうることが知られている。
ところで、排気浄化触媒は使用環境下で劣化するため、触媒の劣化を検出して管理することが必要になる。排気通路に三元触媒のみを搭載したＭＰＩエンジンでは、三元触媒前後に装着するＯ₂センサにより排気の空燃比をモニタして劣化検出を行うが、排気通路にＮＯ_Xトラップ触媒を更に備えた直噴リーンバーンエンジンでは、ＮＯ_Xトラップ触媒下流にＮＯ_Xセンサを装着してＮＯ_X排出量をモニタして劣化検出を行う。

このＮＯ_Xセンサには、混成電位型センサや限界電流式センサなど種々のものがある。また、ＮＯ_Xを吸着する貯蔵材料によりセンサの感応性素子を形成するものも提案されている（特許文献１）。
特表２０００−５１７４２６号公報

ところで、上記トラップ剤としては、アルカリ金属、あるいはアルカリ土類金属の中でも、特に高温域でのＮＯ_Xトラップ性能に優れるカリウム（Ｋ）を使用すると、大幅なＮＯ_X浄化性能の向上が得られることが知られている。
しかしながら、カリウムは高温に晒されるとＮＯ_Xトラップ触媒から飛散しやすい特性を有しているため、ＮＯ_Xトラップ触媒から飛散したカリウムが、ＮＯ_Xトラップ触媒下流のＮＯ_Xセンサのセンサ素子に付着した場合には、センサ素子の表面が付着したカリウムにより覆われてしまい、センサ素子表面へのＮＯ_Xの接触が阻害されるため、正確なＮＯ_X排出量の検出は困難となり、ＮＯ_Xトラップ触媒の劣化診断精度の低下を招くという課題がある。

なお、このような課題は、ＮＯ_Xトラップ剤としてのカリウム以外のアルカリ金属やアルカリ土類金属を用いた場合にも想定できる。つまり、ＮＯ_Xトラップ剤を担持したＮＯ_Xトラップ触媒からＮＯ_Xトラップ剤が飛散して下流のＮＯｘセンサに付着した場合について、広く考えられるものである。

本発明は、このような課題に鑑み案出されたもので、ＮＯ_Xトラップ剤を担持したＮＯ_Xトラップ触媒の下流にそなえられたＮＯｘセンサにおいて、ＮＯ_Xトラップ触媒からＮＯ_Xトラップ剤が飛散してＮＯｘセンサ部分に流下した場合のＮＯｘセンサの劣化を抑制し、より正確な排気検出を行なうことができるようにした、ＮＯｘセンサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の排気センサ（請求項１）は、内燃機関の排気通路にＮＯｘトラップ剤としての金属を担持したＮＯｘトラップ触媒をそなえ、該排気通路の該ＮＯｘトラップ触媒の下流に配置されるＮＯｘセンサにおいて、該排気通路に露出するセンサ素子を有し、該センサ素子の表面が、該金属を捕捉し、且つ、該排気成分が通過しうる細孔径の細孔を有する酸性物質により被覆されていることを特徴としている。

また、本発明のＮＯｘセンサ（請求項２）は、内燃機関の排気通路にＮＯｘトラップ剤としての金属を担持したＮＯｘトラップ触媒をそなえ、該排気通路の該ＮＯｘトラップ触媒の下流に配置されるＮＯｘセンサにおいて、該排気通路に露出するセンサ素子を有し、該センサ素子を覆い、且つ、該排気成分の通過を妨げない孔を有する保護部材をそなえ、該保護部材の表面が、該金属を捕捉する酸性物質により被覆されていることを特徴としている。
また、本発明の請求項１，２のＮＯｘセンサにおいて、該酸性物質は、Ｙ型ゼオライトであることが好ましい（請求項３）。
あるいは、本発明の請求項２のＮＯｘセンサにおいて、該酸性物質を、チタニアとしてもよい（請求項４）。

また、該金属はカリウム（Ｋ）であることが好ましい（請求項５）。なお、該金属はカリウムに限られるものではなく、アルカリ金属、あるいはアルカリ土類金属の中の一もしくは複数の金属としても良い。例えば、ナトリウム（Ｎａ）、リチウム（Ｌｉ）が挙げられる。
また、検出する排気成分は、ＮＯ_Xであることが好ましい（請求項６）。

本発明のＮＯｘセンサ（請求項１）によれば、排気通路の上流側のＮＯ_Xトラップ触媒からトラップ剤の金属が飛散して、下流側のＮＯｘセンサに流下してきた場合、この金属をセンサ素子の表面を被覆する酸性物質が捕捉するので、センサ素子が飛散した金属で直接覆われてしまうことを防ぎ、ＮＯｘセンサの劣化を抑制することができるようになる。
また、本発明のＮＯｘセンサ（請求項２）によれば、排気通路の上流側のＮＯ_Xトラップ触媒からトラップ剤の金属が飛散して、下流側のＮＯｘセンサに流下してきた場合、この金属を保護部材の表面を被覆する酸性物質が捕捉するので、かかる金属は保護部材の表面に吸着されて、センサ素子に到達し難くなるので、ＮＯｘセンサの劣化を抑制することができるようになる。

また、本発明のＮＯｘセンサ（請求項３）によれば、Ｙ型ゼオライトは耐熱性に優れているので、高温域となる排気通路内であっても、センサ素子あるいは保護部材の表面を被覆した状態を維持し易く、ＮＯｘセンサの劣化を長期に亘って確実に抑制することができるようになる。また、Ｙ型ゼオライトの場合、細孔を有し、しかも細孔径が比較的大きいため、センサ素子の表面をＹ型ゼオライトにより、全て被覆したとしても排気成分は細孔を通過でき、センサ素子表面への排気成分の接触を阻害することはない。さらに、Ｙ型ゼオライトがＮＯ_Xトラップ触媒から飛散した金属を捕捉すると、捕捉した金属分だけＹ型ゼオライトの細孔径が縮小することが考えられるが、Ｙ型ゼオライトの場合、金属を捕捉しても排気成分が通過しうるだけの十分な細孔径を確保できるものを選定することができ、ＮＯｘセンサの本来の性能を確保しうる。

また、本発明のＮＯｘセンサ（請求項４）によれば、チタニアは細孔がないため、センサ素子の表面に直接被覆することはできないが、チタニアを保護部材の表面に被覆することで、ＮＯ_Xトラップ触媒から飛散した金属をセンサ素子の表面へ進入する前に捕捉できるため、飛散した金属のセンサ素子への到達を十分に低減させることができる。
また、本発明のＮＯｘセンサ（請求項５）によれば、カリウムは高温域でのＮＯ_Xトラップ性能に優れるので、高温となる排気通路に設けるＮＯ_Xトラップ触媒に適しているが、この反面、カリウムは高温下でＮＯ_Xトラップ触媒から飛散して下流のＮＯｘセンサに付着しては、ＮＯｘセンサの検出特性能を低下させてしまうが、飛散したカリウムをセンサ素子あるいは保護部材の表面を被覆する酸性物質が捕捉するので、ＮＯｘセンサの劣化を抑制することができるようになる。

また、ＮＯ_XセンサによりＮＯ_Xをモニタして、上流側のＮＯ_Xトラップ触媒の劣化を判定しようとする場合、ＮＯ_Xトラップ触媒からトラップ剤の金属が飛散して劣化すると、この飛散した金属によってＮＯ_Xトラップ触媒の劣化に応じてＮＯ_Xセンサ自体も異常を生じ易くなるが、本発明のＮＯｘセンサ（請求項６）によれば、このような事態が防止されて、ＮＯ_Xトラップ触媒の劣化を精度良く判定することができるようになる。

以下、図面により、本発明の実施形態について説明する。
（第１実施形態）
図１〜図４は本発明の第１実施形態に係るＮＯｘセンサを示すもので、図１はＮＯ_Xセンサの断面を模式的に示す断面図、図２はＮＯ_Xセンサが設置される排気通路の模式図、図３はＹ型ゼオライトの骨格構造図、図４はＮＯ_XセンサをＹ型ゼオライトで被覆した場合の効果を説明するグラフである。

本実施形態を、まず、ＮＯ_Xセンサ１の配設される内燃機関（エンジン）の排気系について説明する。
図２に示すように、エンジン１１には、排気通路１２が接続され、この排気通路１２の壁部１２ａには、上流側から三元触媒１３，ＮＯ_Xトラップ触媒１４がこの順で介装されている。ＮＯ_Xセンサ１は、ＮＯ_Xトラップ触媒１４の下流側にセンサ素子２を突出させて装着されて、エンジン１１から排出され触媒１３，１４を経た排気の中のＮＯ_X成分を検出するようになっている。

三元触媒１３は、例えばコーディエライト，メタル等からなるハニカム状の担体の表面に、アルミナと、プラチナ，ロジウム，パラジウム等の触媒貴金属の微粒子とを装備されており、排気中のＮＯ_X，Ｏ₂を酸化剤、ＣＯ，ＨＣ，Ｈ₂を還元剤として反応させることにより、排気中のＮＯ_XとＣＯ，ＨＣとを低減させる。
また、ＮＯ_Xトラップ触媒１４は、ＮＯ_Xトラップ剤としての金属を用いて、エンジン１１のリーン運転状態においてＮＯ_Xを吸蔵し、ストイキ運転状態やリッチ運転状態となったときに、そのＮＯ_Xを還元浄化し放出するものである。このため、トラップ剤は酸化雰囲気でＮＯ_Xを硝酸塩の形で吸蔵（トラップ）し、排気中に未燃燃料（ＨＣ）や一酸化炭素（ＣＯ）が存在する還元雰囲気でＨＣやＣＯとＮＯ_Xとを化学的に反応させ、還元浄化し放出させる性質を有している。このトラップ剤としての金属には、吸蔵能力の優れたアルカリ金属やアルカリ土類金属の中の一もしくは複数の金属を組み合わせて使用することが好ましく、本実施形態では、トラップ剤としてアルカリ金属のカリウム（Ｋ）を用いている。

なお、トラップ剤のＮＯ_X吸蔵及び還元浄化能力は、一般には、担持層に担持されているトラップ剤の担持量に応じたものとなり、トラップ剤の担持量が減少すればそれだけＮＯ_X吸蔵及び還元浄化能力が低くなる。特に、カリウムの場合、高温域でのＮＯ_Xトラップ性能に優れるので、高温となる排気通路に設けるＮＯ_Xトラップ触媒に適しているが、この反面、カリウムは高温下でＮＯ_Xトラップ触媒から飛散してしまう特性がある。

次に、本実施形態のＮＯ_Xセンサ１について説明する。図１に示すように、ＮＯ_Xセンサ１は、センサ素子２と、このセンサ素子２に対して一定の間隔をおいて配置されてセンサ素子２を覆うさや３（保護部材）とをそなえており、センサ素子２には、出力の引き出しや電圧の印加等を行うためのリード線５が接続されている。また、さや３は、センサ素子２を保護するために設けられているものであり、さや３の表面には排気の通過を妨げない孔４があいている。なお、図１の孔４は、実際には微小なものであるが便宜上、実際の大きさより大幅に拡大して模式的に描いている。つまり、ＮＯ_Xセンサ１のセンサ素子２は、周囲をさや３により覆われてはいるが、排気中のＮＯ_X成分の検出が可能なように排気流の中に露出させて装着される。

そして、センサ素子２の表面には酸性物質６が被覆されている。本実施形態では、酸性物質としてＹ型ゼオライト６Ａを用いている。
次に、Ｙ型ゼオライトの特性について説明する。Ｙ型ゼオライトは、図３に示すような骨格構造をなしており、分子を構成する原子間に細孔を有している。ゼオライトには、Ｙ型の他にＡ型，Ｘ型等があり、Ｙ型ゼオライトに限らず、ゼオライトの骨格は通常、規則的な細孔をそなえた網目構造を構成している。ゼオライトの細孔径の大きさは、その構成要素の比であるＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃比に依存することが知られており、Ｙ型ゼオライトは、Ａ型，Ｘ型ゼオライトといった他の各種ゼオライトと比べて、ＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃比が高く、これによりＹ型ゼオライトは、比較的細孔径が大きいという特性がある。また、一般に、細孔径が大きい程、比表面積も大きくなるため、Ｙ型ゼオライトは、Ａ型，Ｘ型ゼオライト等と比べて比表面積が大きいという特性も有し、カリウムを捕捉する上で効率が良い。また、Ｙ型ゼオライトは高い耐熱性を有しており、この耐熱性の面からも車両の排気通路１２に設置されるＮＯ_Xセンサのセンサ素子２に被覆する材料としては好適なものである。

ここで、ＮＯ_Xセンサのセンサ端子をＹ型ゼオライトで被覆する効果を検証するための実験結果について、図４（ａ），（ｂ）を参照して説明する。
この実験は、排気通路において、カリウムを担持したＮＯ_Xトラップ触媒の下流側に、三元触媒層の表層にＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃比の異なるゼオライトを塗布した三元触媒を配置し、摂氏８００℃の状況下で、リーン運転状態及びリッチ運転状態を交互に周期的に切替え、４０時間の未燃燃料（ＨＣ）浄化実験を実施して、ＨＣ浄化効率の変化からＹ型ゼオライトのＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃比の影響を調べた。

図４（ａ），（ｂ）では、横軸をＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃比、縦軸をＨＣ浄化効率とする。Ｙ型ゼオライトには、種々のＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃比のものがあるが、図４（ａ）に示すように、Ｙ型ゼオライトのＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃比の増加に伴い、ＨＣ浄化効率が上昇することがわかる。また、図４（ａ）の特性から得られた図４（ｂ）に示すように、ＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃比が２００付近まで増加するとＨＣ浄化効率が急上昇し、４００付近からはＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃比の増大に応じて次第にＨＣ浄化効率が低下する傾向が確認された。

この結果から、一定以上の浄化効率を得るためには、ＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃比は２００〜６００の範囲であることが好まく、より好ましくはＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃比は３００〜５００の範囲であることが好ましい。

本発明の第１実施形態に係るＮＯ_Xセンサは上述のように構成されているので、排気通路１２の上流側のＮＯ_Xトラップ触媒１４からトラップ剤のカリウムが飛散して、下流側のＮＯ_Xセンサ１に流下してきた場合、このカリウムをセンサ素子２の表面を被覆する酸性物質６であるＹ型ゼオライト６Ａが捕捉するので、センサ素子２が飛散したカリウムで直接覆われてしまうことを防ぎ、ＮＯ_Xセンサ１の劣化を抑制することができる。

また、Ｙ型ゼオライト６Ａは耐熱性に優れているので、高温域となる排気通路内であっても、センサ素子２の表面を被覆した状態を維持し易く、ＮＯ_Xセンサ１の劣化を長期に亘って確実に抑制することができるようになる。また、Ｙ型ゼオライト６Ａの場合、細孔径が比較的大きいため、センサ素子２の表面をＹ型ゼオライト６Ａにより全て被覆したとしても排気成分は細孔を通過でき、センサ素子２表面への排気成分の接触を妨げることはない。

さらに、Ｙ型ゼオライト６ＡがＮＯ_Xトラップ触媒１４から飛散したカリウムを捕捉すると、捕捉したカリウム分だけ細孔径が縮小することが考えられるが、Ｙ型ゼオライト６Ａの場合、上述のように細孔径が比較的大きく、このような場合にも排気成分が通過しうるように、細孔径に余裕のあるものを選定することができ、ＮＯ_Xセンサ１の本来の性能を確保しうるものと考えられる。
また、カリウムは高温域でのＮＯ_Xトラップ性能に優れるので、高温となる排気通路１２に設けるＮＯ_Xトラップ触媒１４に適しているが、この反面、カリウムは高温下でＮＯ_Xトラップ触媒１４から飛散して下流のＮＯ_Xセンサ１に付着しては、ＮＯ_Xセンサ１の検出特性能を低下させてしまうが、飛散したカリウムをＹ型ゼオライト６Ａが捕捉するので、ＮＯ_Xセンサ１の劣化を抑制することができるようになる利点がある。

また、ＮＯ_Xセンサ１によりＮＯ_Xをモニタして、上流側のＮＯ_Xトラップ触媒１４の劣化を判定しようとする場合、ＮＯ_Xトラップ触媒１４からトラップ剤のカリウムが飛散して劣化すると、この飛散したカリウムによってＮＯ_Xトラップ触媒１４の劣化に応じてＮＯ_Xセンサ１自体も異常を生じ易くなるが、本実施形態では、このような事態が防止されて、ＮＯ_Xトラップ触媒１４の劣化を精度良く判定することができるようになる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明すると、図５は、本発明の第２実施形態に係るＮＯ_Xセンサの断面を模式的に示す断面図である。本実施形態のＮＯ_Xセンサは、第１実施形態に対して、ＮＯ_Xトラップ触媒から飛散するカリウムを捕捉する酸性物質６が被覆する箇所が異なるもので、この酸性物質６の被覆箇所を除いて第１実施形態と同様に構成される。なお、図５において、図１と同一の構成要素については同一の符号を用いており、これらのものについては説明を省略又は簡略化する。

図５に示すように、本実施形態のＮＯ_Xセンサは、センサ素子２を覆うさや３の表面が、酸性物質６により被覆されている。また、本実施形態では、酸性物質６として、Ｙ型ゼオライト６Ａあるいはチタニア（酸化チタン）６Ｂを用いている。本実施形態では、センサ素子２の表面を被覆する第１実施形態とは異なり、さや３の表面を被覆する酸性物質６は、Ｙ型ゼオライト６Ａのような細孔を有する多孔質の酸性物質６である必要はなく、ＮＯ_Xトラップ触媒から飛散するカリウムを捕捉することのできる酸性物質６であれば、チタニア６Ｂのような多孔質ではない酸性物質６を用いても良い。

本発明の第２実施形態に係るＮＯ_Xセンサは上述のように構成されているので、排気通路１２の上流側のＮＯ_Xトラップ触媒１４からトラップ剤のカリウムが飛散して、下流側のＮＯ_Xセンサ１に流下してきた場合、このカリウムをさや３の表面を被覆するＹ型ゼオライト６Ａあるいはチタニア６Ｂが捕捉するので、かかるカリウムはさや３の表面に吸着されて、センサ素子２に到達し難くなるので、ＮＯ_Xセンサ１の劣化を抑制することができるようになる。

また、Ｙ型ゼオライト６Ａは耐熱性に優れているので、高温域となる排気通路内であっても、さや３の表面を被覆した状態を維持し易く、ＮＯ_Xセンサ１の劣化を長期に亘って確実に抑制することができるようになる。
また、チタニア６Ｂは細孔がないため、センサ素子２の表面に直接被覆することはできないが、チタニア６Ｂをさや３の表面に被覆することで、ＮＯ_Xトラップ触媒１４から飛散したカリウムをセンサ素子２の表面へ進入する前に捕捉できるため、飛散したカリウムのセンサ素子２への到達を十分に低減させることができる。

なお、本発明は、上述のような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して適用することができる。
例えば、本発明は、第１，２実施形態以外にも、ＮＯ_Xトラップ剤としてのカリウム以外のアルカリ金属やアルカリ土類金属を用いた場合にも広く適用可能である。

また、本発明の第１，２実施形態を併用した構成も考えられる。つまり、センサ素子の表面にＹ型ゼオライトを被覆するとともに、さやの表面にもＹ型ゼオライトあるいはチタニアを被覆するＮＯｘセンサであっても良い。
また、本発明は、リーン運転状態およびリッチ運転状態を行うエンジンの排気通路に適用した例について説明したが、これに限定されることなく、排気通路にＮＯｘトラップを適用したもの、例えばディーゼルエンジンの排気通路にも適用することが出来る。

本発明の第１実施形態としてのＮＯ_Xセンサの断面を示す断面図である。 本発明の第１実施形態としてのＮＯ_Xセンサが設置される排気通路を示す模式図である。 Ｙ型ゼオライトの骨格構造図である。 ＮＯ_Xセンサのセンサ端子をＹ型ゼオライトで被覆した場合の効果を説明する実験結果を示すグラフであり、（ａ）は、未燃燃料（ＨＣ）浄化効率とＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃比との関係を表す棒グラフ、（ｂ）は未燃燃料（ＨＣ）浄化効率とＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃比との関係を表す線グラフである。 本発明の第２実施形態としてのＮＯ_Xセンサの断面を示す断面図である。

符号の説明

１ ＮＯ_Xセンサ
２ センサ素子
３ 保護部材
４ 孔
５ リード線
６ 酸性物質
６Ａ Ｙ型ゼオライト
６Ｂ チタニア
１１ エンジン
１２ 排気通路
１２ａ 排気通路１２の壁部
１３ 三元触媒
１４ ＮＯ_Xトラップ触媒

Claims (6)

1. 内燃機関の排気通路にＮＯｘトラップ剤としての金属を担持したＮＯｘトラップ触媒をそなえ、該排気通路の該ＮＯｘトラップ触媒の下流に配置されるＮＯｘセンサにおいて、
   該排気通路に露出するセンサ素子を有し、
   該センサ素子の表面が、該金属を捕捉し、且つ、該排気成分が通過しうる細孔径の細孔を有する酸性物質により被覆されている
   ことを特徴とする、ＮＯｘセンサ。
2. 内燃機関の排気通路にＮＯｘトラップ剤としての金属を担持したＮＯｘトラップ触媒をそなえ、該排気通路の該ＮＯｘトラップ触媒の下流に配置されるＮＯｘセンサにおいて、
   該排気通路に露出するセンサ素子を有し、
   該センサ素子を覆い、且つ、該排気成分の通過を妨げない孔を有する保護部材をそなえ、
   該保護部材の表面が、該金属を捕捉する酸性物質により被覆されている
   ことを特徴とする、ＮＯｘセンサ。
3. 該酸性物質は、Ｙ型ゼオライトである
   ことを特徴とする、請求項１又は２記載のＮＯｘセンサ。
4. 該酸性物質は、チタニアである
   ことを特徴とする、請求項２記載のＮＯｘセンサ。
5. 該金属はカリウムである
   ことを特徴とする、請求項１〜４の何れか１項に記載のＮＯｘセンサ。
6. 検出する排気成分は、ＮＯｘである
   ことを特徴とする、請求項１〜５の何れか１項に記載のＮＯｘセンサ。

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