JP5261255B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
図1は第1の実施形態に係る半導体装置10の断面図、図2は図1の要部拡大図、図3及び図4は第1の実施形態に係る半導体装置10の平面図である。このうち図4は、アンダーフィル樹脂4を形成する際のアンダーフィル樹脂注入ノズル(図示略)の動作(動線18)を示している。また、図5は図3の要部拡大図である。なお、図3及び図4は個々の半導体装置(パッケージ)10を個片化する前の状態を示す。また、図6は第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明するための一連の工程フローを示す平面図である。
図7及び図8は第2の実施形態に係る半導体装置20の平面図、図9は図7の要部拡大図である。このうち図8は、アンダーフィル樹脂4を形成する際のアンダーフィル樹脂注入ノズル(図示略)の動作(動線18)を示している。なお、図7及び図8は個々の半導体装置(パッケージ)20を個片化する前の状態を示す。また、図1及び図2は半導体装置20の断面図を兼ねる。
図10は第3の実施形態に係る半導体装置30の断面図、図11は図10の要部拡大図、図12及び図13は第3の実施形態に係る半導体装置30の平面図である。このうち図13は、アンダーフィル樹脂4を形成する際のアンダーフィル樹脂注入ノズル(図示略)の動作(動線18)を示している。また、図14は図12の要部拡大図である。なお、図12及び図13は個々の半導体装置(パッケージ)30を個片化する前の状態を示す。
図15及び図16は第4の実施形態に係る半導体装置40の平面図である。このうち図16は、アンダーフィル樹脂4を形成する際のアンダーフィル樹脂注入ノズル(図示略)の動作(動線18)を示している。また、図17は図15の要部拡大図である。なお、図15及び図16は個々の半導体装置(パッケージ)40を個片化する前の状態を示す。また、図10及び図11は半導体装置40の断面図を兼ねる。
図18は第5の実施形態に係る半導体装置50の断面図、図19及び図20は第5の実施形態に係る半導体装置50の平面図である。このうち図20は、アンダーフィル樹脂4を形成する際のアンダーフィル樹脂注入ノズル(図示略)の動作(動線18)を示している。なお、図19及び図20は個々の半導体装置(パッケージ)50を個片化する前の状態を示す。また、図18の要部拡大図は図11と同様であり、図19の要部拡大図は図14と同様であるため、それぞれ省略する。
図21及び図22は第6の実施形態に係る半導体装置60の平面図である。このうち図22は、アンダーフィル樹脂4を形成する際のアンダーフィル樹脂注入ノズル(図示略)の動作(動線18)を示している。なお、図21及び図22は個々の半導体装置(パッケージ)60を個片化する前の状態を示す。また、図18は半導体装置60の断面図を兼ねる。なお、図21の要部拡大図は図17と同様であり、本実施形態の場合の図18の要部拡大図は図11と同様であるため、それぞれ省略する。
図23は第7の実施形態に係る半導体装置70の断面図、図24は図23の要部拡大図である。
なお、上記実施形態には以下の発明が開示されている。
(付記1)
配線基板と、
一方の面が、前記配線基板の一方の面に対向するように、前記配線基板に搭載されている半導体チップと、
前記配線基板の前記一方の面と前記半導体チップの前記一方の面との間隙に充填され、前記間隙から一部分がはみ出している第1樹脂と、
を備え、
前記第1樹脂の中心位置と、前記半導体チップの中心位置とは、前記配線基板の前記一方の面に沿う方向において相互にずれており、
前記半導体チップの中心位置は、前記配線基板の中心位置に対して、前記半導体チップの中心位置に対する前記第1樹脂の中心位置のずれ方向とは逆方向にずれていることを特徴とする半導体装置。
(付記2)
前記半導体チップと、前記第1樹脂において前記間隙からはみ出ている部分と、を覆うように前記配線基板の前記一方の面に形成されている第2樹脂を更に備え、
前記第2樹脂の中心位置は、前記配線基板の中心位置に対して、前記半導体チップの中心位置に対する前記第1樹脂の中心位置のずれ方向と同方向にずれていることを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
(付記3)
前記配線基板の中心位置に対する前記半導体チップの中心位置のずれ量は、前記間隙からの前記第1樹脂のはみ出し幅の最大値よりも小さいことを特徴とする付記1又は2に記載の半導体装置。
(付記4)
前記配線基板の中心位置に対する前記半導体チップの中心位置のずれ量は、前記間隙からの前記第1樹脂のはみ出し幅の最大値の100分の1以上であることを特徴とする付記1乃至3の何れか1つに記載の半導体装置。
(付記5)
配線基板と、
一方の面が、前記配線基板の一方の面に対向するように、前記配線基板に搭載されている半導体チップと、
前記配線基板の前記一方の面と前記半導体チップの前記一方の面との間隙に充填され、前記間隙から一部分がはみ出している第1樹脂と、
前記半導体チップと、前記第1樹脂において前記間隙からはみ出ている部分と、を覆うように、前記配線基板の前記一方の面に形成されている第2樹脂と、
を備え、
前記第1樹脂の中心位置と、前記半導体チップの中心位置とは、前記配線基板の前記一方の面に沿う方向において相互にずれており、
前記第2樹脂の中心位置は、前記配線基板の中心位置に対して、前記半導体チップの中心位置に対する前記第1樹脂の中心位置のずれ方向と同方向にずれていることを特徴とする半導体装置。
(付記6)
前記配線基板の中心位置に対する前記第2樹脂の中心位置のずれ量は、前記間隙からの前記第1樹脂のはみ出し幅の最大値よりも小さいことを特徴とする付記2又は5に記載の半導体装置。
(付記7)
前記間隙からの前記第1樹脂のはみ出し幅は、前記第1樹脂において前記半導体チップの1つの辺に沿う部分では相対的に大きく、その他の辺に沿う部分では相対的に小さいことを特徴とする付記1乃至6の何れか1つに記載の半導体装置。
(付記8)
前記間隙からの前記第1樹脂のはみ出し幅は、前記第1樹脂において前記半導体チップの相互に隣り合う2つの辺に沿う部分では相対的に大きく、その他の辺に沿う部分では相対的に小さいことを特徴とする付記1乃至6の何れか1つに記載の半導体装置。
(付記9)
前記第1樹脂の熱膨張係数よりも前記第2樹脂の熱膨張係数の方が大きいことを特徴とする付記2、5、6の何れか1つに記載の半導体装置。
(付記10)
前記第1樹脂のガラス転移温度よりも前記第2樹脂のガラス転移温度の方が低いことを特徴とする付記2、5、6の何れか1つに記載の半導体装置。
(付記11)
半導体チップの一方の面が、配線基板の一方の面に対向するように、前記配線基板に前記半導体チップを搭載する第1工程と、
前記配線基板の前記一方の面と前記半導体チップの前記一方の面との間隙から一部分がはみ出すように、該間隙に第1樹脂を充填する第2工程と、
を備え、
前記第2工程では、前記半導体チップの何れか1つの辺、又は、互いに隣り合う2つの辺に沿って第1樹脂注入ノズルを移動させながら、該第1樹脂注入ノズルによって、前記間隙へ前記第1樹脂を注入し、
前記第1工程では、前記第2工程において前記第1樹脂注入ノズルにより前記第1樹脂の注入が行われる前記半導体チップの1つ又は2つの辺が、当該辺の最も近くに位置する半導体装置端部から遠ざかる方向に、前記半導体チップの中心位置を前記配線基板の中心位置に対してずらすことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記12)
前記第2工程では、前記半導体チップの何れか1つの辺に沿って前記第1樹脂注入ノズルを移動させながら、該第1樹脂注入ノズルによって前記間隙へ前記第1樹脂を注入し、
前記第1工程では、前記1つの辺と対向する辺の方向に前記半導体チップの中心位置をずらすことを特徴とする付記11に記載の半導体装置の製造方法。
(付記13)
前記第2工程では、前記半導体チップの互いに隣り合う2つの辺に沿って前記第1樹脂注入ノズルを移動させながら、該第1樹脂注入ノズルによって前記間隙へ前記第1樹脂を注入し、
前記第1工程では、前記2つの辺の間の角に対する対角の方向に前記半導体チップの中心位置をずらすことを特徴とする付記11に記載の半導体装置の製造方法。
(付記14)
半導体チップの一方の面が、配線基板の一方の面に対向するように、前記配線基板に前記半導体チップを搭載する第1工程と、
前記配線基板の前記一方の面と前記半導体チップの前記一方の面との間隙から一部分がはみ出すように、該間隙に第1樹脂を充填する第2工程と、
前記半導体チップと、前記第1樹脂において前記間隙からはみ出ている部分と、を覆うように、前記配線基板の前記一方の面に第2樹脂を形成する第3工程と、
を備え、
前記第2工程では、前記半導体チップの何れか1つの辺、又は、互いに隣り合う2つの辺に沿って第1樹脂注入ノズルを移動させながら、該第1樹脂注入ノズルによって、前記間隙へ前記第1樹脂を注入し、
前記第3工程では、前記第2工程において前記第1樹脂注入ノズルにより前記第1樹脂の注入が行われる前記半導体チップの1つ又は2つの辺の方向に、前記第2樹脂の中心位置を前記配線基板の中心位置に対してずらすことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記15)
前記第2工程では、前記半導体チップの何れか1つの辺に沿って前記第1樹脂注入ノズルを移動させながら、該第1樹脂注入ノズルによって前記間隙へ前記第1樹脂を注入し、
前記第3工程では、前記1つの辺の方向に前記第2樹脂の中心位置をずらすことを特徴とする付記14に記載の半導体装置の製造方法。
(付記16)
前記第2工程では、前記半導体チップの互いに隣り合う2つの辺に沿って前記第1樹脂注入ノズルを移動させながら、該第1樹脂注入ノズルによって前記間隙へ前記第1樹脂を注入し、
前記第1工程では、前記2つの辺の間の角の方向に前記第2樹脂の中心位置をずらすことを特徴とする付記14に記載の半導体装置の製造方法。
2 配線基板
3 バンプ
4 アンダーフィル樹脂
5 フィレット
5a 大寸法部
5b 小寸法部
6 封止樹脂
7 PoPランド
8 BGAボール
10 半導体装置
11 アンダーフィル樹脂(第1樹脂)の中心位置
12 半導体チップの中心位置
13 配線基板の中心位置
14 封止樹脂(第2樹脂)の中心位置
15 ダイシングライン
17 先端部位置
18 動線
20 半導体装置
30 半導体装置
40 半導体装置
50 半導体装置
60 半導体装置
70 半導体装置
A 矢印
B 矢印
C 矢印
D 矢印
S1 配線基板の中心位置と半導体チップの中心位置とのずれ量
S2 配線基板の中心位置と封止樹脂の中心位置とのずれ量
S3 配線基板の中心位置と半導体チップの中心位置とのずれ量
S4 配線基板の中心位置と封止樹脂の中心位置とのずれ量
W1 フィレットの大寸法部の幅
W2 フィレットの小寸法部の幅
Claims (13)
- 配線基板と、
一方の面が、前記配線基板の一方の面に対向するように、前記配線基板に搭載されている半導体チップと、
前記配線基板の前記一方の面と前記半導体チップの前記一方の面との間隙に充填され、前記間隙から一部分がはみ出している第1樹脂と、
を備え、
前記第1樹脂の中心位置と、前記半導体チップの中心位置とは、前記配線基板の前記一方の面に沿う方向において相互にずれており、
前記半導体チップの中心位置は、前記配線基板の中心位置に対して、前記半導体チップの中心位置に対する前記第1樹脂の中心位置のずれ方向とは逆方向にずれており、
前記半導体チップと、前記第1樹脂において前記間隙からはみ出ている部分と、を覆うように前記配線基板の前記一方の面に形成されている第2樹脂を更に備え、
平面視において、前記第2樹脂の外形線は、前記配線基板の外形線よりも内側に位置しており、
前記第2樹脂の中心位置は、前記配線基板の中心位置に対して、前記半導体チップの中心位置に対する前記第1樹脂の中心位置のずれ方向と同方向にずれている半導体装置。 - 前記配線基板の中心位置に対する前記半導体チップの中心位置のずれ量は、前記間隙からの前記第1樹脂のはみ出し幅の最大値よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記配線基板の中心位置に対する前記半導体チップの中心位置のずれ量は、前記間隙からの前記第1樹脂のはみ出し幅の最大値の100分の1以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記配線基板の中心位置に対する前記第2樹脂の中心位置のずれ量は、前記間隙からの前記第1樹脂のはみ出し幅の最大値よりも小さいことを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の半導体装置。
- 前記間隙からの前記第1樹脂のはみ出し幅は、前記第1樹脂において前記半導体チップの1つの辺に沿う部分では相対的に大きく、その他の辺に沿う部分では相対的に小さいことを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の半導体装置。
- 前記間隙からの前記第1樹脂のはみ出し幅は、前記第1樹脂において前記半導体チップの相互に隣り合う2つの辺に沿う部分では相対的に大きく、その他の辺に沿う部分では相対的に小さいことを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の半導体装置。
- 前記第1樹脂の熱膨張係数よりも前記第2樹脂の熱膨張係数の方が大きいことを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の半導体装置。
- 前記第1樹脂のガラス転移温度よりも前記第2樹脂のガラス転移温度の方が低いことを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の半導体装置。
- 前記半導体チップの前記一方の面には第1電極パッドが形成され、
前記配線基板の前記一方の面には第2電極パッドが形成され、
前記第1電極パッドと前記第2電極パッドとがバンプを介して相互に接続されている請求項1乃至8の何れか一項に記載の半導体装置。 - 前記配線基板の厚さは400μm未満である請求項1乃至9の何れか一項に記載の半導体装置。
- 前記配線基板は、当該配線基板の前記一方の面とは反対側の面に形成されたボール端子を備える請求項1乃至10の何れか一項に記載の半導体装置。
- 前記配線基板は、当該配線基板の前記一方の面における前記第2樹脂の周囲の部分に形成された端子を備える請求項1乃至11の何れか一項に記載の半導体装置。
- 前記第1樹脂の中心位置と、前記配線基板の中心位置とが互いに一致していない請求項1乃至12の何れか一項に記載の半導体装置。
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