JP5259036B2 - 波長変化の測定 - Google Patents
波長変化の測定 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5259036B2 JP5259036B2 JP2001581071A JP2001581071A JP5259036B2 JP 5259036 B2 JP5259036 B2 JP 5259036B2 JP 2001581071 A JP2001581071 A JP 2001581071A JP 2001581071 A JP2001581071 A JP 2001581071A JP 5259036 B2 JP5259036 B2 JP 5259036B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- signal
- wavelength
- detector element
- diffraction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 69
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 8
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 6
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims 6
- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 10
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 7
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000013178 mathematical model Methods 0.000 description 1
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0208—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using focussing or collimating elements, e.g. lenses or mirrors; performing aberration correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0264—Electrical interface; User interface
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0294—Multi-channel spectroscopy
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J2003/2866—Markers; Calibrating of scan
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/14—Generating the spectrum; Monochromators using refracting elements, e.g. prisms
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Lasers (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Laser Surgery Devices (AREA)
- Developing Agents For Electrophotography (AREA)
- Surgical Instruments (AREA)
Description
本発明は、
各々が独自の波長を有する1つあるいはそれ以上の信号を含む光ビームを受光し、かつ光ビームの少なくとも一部を通過させる入口選択手段と、
光ビームの少なくとも一部を受光し、かつ波長に応じた角度で信号の各々を回折させて回折信号を得るように構成された回折手段と、
回折信号を受信し、かつ回折信号に応じて1つあるいはそれ以上の検出器出力信号を発生するように構成された複数の検出器素子を含む検出器手段と、
検出器手段に接続され、検出器出力信号を受信し、かつ信号の各波長を決定する処理手段と、
を備えた光波長分析装置に関する。
この種の光波長分析装置は、構造体監視用途に基づいてファイバブラグ格子(FBG)で使用するためのこのような装置が記載されている国際公開第99/09370号パンフレットにより公知である。このような用途では、歪み、温度、圧力等のような物理パラメータが、この構造体にわたって分布される複数の光FBGセンサを含むファイバネットワークによって測定される。FBGセンサは、前述のような物理パラメータの正確な絶対測定をすることができる。光ファイバネットワークに設置されたFBGセンサは、式[1]によって示されるようなFRG周期性Λに関連する波長λを有する光ファイバを通って移動する光信号を反射する。すなわち、
λ=2nΛ [1]
ここで、λは、FBGセンサによって反射された光の波長であり、
nは、光ファイバの有効屈折率であり、かつ
Λは、FBGセンサの周期性である。
本発明の目的は、高精度にて、簡単で、効果的で高速度な方法で信号の波長を決定するために信号の測定および処理手段による信号の処理を改善する装置および方法を提供することにある。
入口選択手段は、空間均一強度分布を有する光ビームを出力するように構成され、
回折手段は、各回折信号が検出器素子の異なるサブセットに突き当たるように信号の各々を回折させるように構成され、サブセットはそれぞれ、第1の信号部レベルを有する少なくとも第1の信号部を受信する少なくとも第1の検出器素子を含み、
処理手段は、各サブセットに対して第1の信号部レベルおよび較正値に応じて受信された回折信号の波長を決定するように構成される、
ことを特徴とする光波長分析装置によって達成される。
各々が固有の波長を有する1つあるいはそれ以上の信号を含む光ビームを受光するステップと、
波長に応じた角度で信号の各々を回折させるステップと、
回折信号を受信し、かつ回折信号に応じて複数の検出器素子によって1つあるいはそれ以上の検出器出力信号を発生するステップと、
信号の各波長を検出器出力信号から決定するステップと、
を備える光波長分析方法において、
光ビームは空間均一強度分布を有し、
各回折信号は検出器素子の異なるサブセットに突き当たるように信号の各々を回折させるステップであって、各サブセットは、第1の信号部レベルを有する少なくとも第1の信号部を受信する少なくとも第1の検出器素子を含むステップと、
各サブセット毎に第1の信号部レベルおよび較正値に応じて受信された信号の波長を決定するステップと、
を含むことを特徴とする光波長分析方法にも関するものである。
光ビームの少なくとも一部を受光し、かつ信号の各々を波長に応じた角度で回折させる回折器と、
回折信号を受信し、かつ回折信号に応じて1つあるいはそれ以上の検出器出力信号を発生するように構成された隣接検出器素子の1つあるいはそれ以上の対を含む検出器と、
検出器に接続され、検出器出力信号を受宿し、かつ信号の各波長を決定するプロセッサと、
を備えた光波長分析器において、
入口セレクタは、空間均一強度分布を有する光ビームを受光するよう配置され、
回折器は、各回折信号が検出器素子の異なるサブセットに突き当たるように信号の各々を回折させるように構成され、各サブセットは、第1の信号部レベルを有する少なくとも第1の信号部を受信する少なくとも第1の検出器素子を含み、
プロセッサは、各サブセット毎に、第1の信号部レベルおよび較正値に応じて受信された回折信号の波長を決定するように構成されている、
光波長分析器に関するものである。
本発明は、FBGセンサであってもよく、あるいは当該技術で公知であるような任意の他の種類の光センサであってもよい光センサからの信号の波長を簡単に、速く測定するための装置および方法に関する。
Claims (20)
- ― 各々が独自の波長を有する1つあるいはそれ以上の信号を含む光ビーム(3)を受光し、かつ前記光ビーム(3)の少なくとも一部を通過させる入口選択手段(4)と、
― 前記入口選択手段(4)を通過する前記光ビーム(3)の前記少なくとも一部を受光し、かつ前記波長に応じた角度で前記信号の各々を回折させて回折信号を得るように構成された回折手段(6,7,9)と、
― 前記回折信号を受信し、かつ前記回折信号に応じて1つあるいはそれ以上の検出器出力信号を発生するように構成された検出器手段(8)と、
― 前記検出器手段に接続され、前記検出器出力信号を受信し、かつ前記信号の各波長と、検出器素子と、前記検出器素子上に投影された前記入口選択手段のイメージの波長と、を関係づける較正値と、を決定する、処理手段(21)と、
を備えた光波長分析装置において、
― 矩形状の前記入口選択手段(4)は、空間均一強度分布を有する光ビームを出力するように構成され、
― 前記検出器手段(8)は、隣り合う第1の検出器素子(32;35;38)と第2の検出器素子(33;36;39)による対を少なくとも1つ有し、前記第1の検出器素子及び前記第2の検出器素子はそれぞれ複数の検出器デバイスを有しており、
― 前記回折手段(6,7,9)は、前記信号の各々を回折させるように構成され、それにより異なる検出器素子上において各回折信号は空間均一強度分布のイメージを有し、それにより各検出器素子はビームシフトの方向における前記各回折信号によって部分的にカバーされ、且つ、少なくとも1つの第1の検出器素子(32;35;38)における外部検出器素子と少なくとも1つの第2の検出器素子(33;36;39)における外部検出器素子とが前記各回折信号によってビームシフト方向に部分的に照射され、
― 前記第1の検出器素子は少なくとも第1信号部レベルの第1信号部を受信するものとして構成され、前記第1信号部レベルは前記空間均一強度分布に応じて波長シフトに比例しており、前記第1検出器デバイスの出力は前記第1信号部に関連しており、
― 前記第2の検出器素子(33;36;39)は少なくとも第2信号部レベルの第2信号部を受信するものとして構成され、前記第2信号部レベルは前記空間均一強度分布に応じて波長シフトに比例しており、前記第2検出器デバイスの出力は前記第2信号部に関連しており、ここにおいて、
― 前記処理手段(21)は、各前記対に対して、前記第1信号部レベルと前記第2信号部レベル及び計算値に基づいて、イメージ強度分布の重心計算により前記第1の信号部レベルおよび前記較正値に応じて受信された前記回折信号の波長を決定するように構成されている、
ことを特徴とする光波長分析装置。 - 前記入口選択手段はスリット(4)を含み、かつ前記回折手段は、所定の第1の焦点距離を有する第1のレンズ(6)を含み、かつ前記スリット(4)からの前記第1の焦点距離に等しい所定の第1の距離に配置されている、請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光波長分析装置。
- 前記回折手段は、前記第1のレンズ(6)からの出力光ビームを受光し、かつ前記回折信号を発生するように構成される分散手段として回折格子(7)をさらに含む、請求項4に記載の光波長分析装置。
- 前記回折手段は、前記第1のレンズ(6)からの出力光ビームを受光し、かつ前記回折信号を発生するように構成される分散手段としてプリズム(83)をさらに含む、請求項4に記載の光波長分析装置。
- 前記回折手段は、前記第1のレンズ(6)からの出力光ビームを受光し、かつ前記回折信号を発生するように構成される分散手段としてホログラフィック素子をさらに含む、請求項4に記載の光波長分析装置。
- 前記回折手段は、前記第1のレンズ(6)からの出力光ビームを受光し、かつ前記回折信号を発生するように構成される分散手段としての回折格子(7)およびプリズム(83)の組み合わせ、あるいは前記回折格子(7)およびホログラフィック素子の組み合わせをさらに含む、請求項4に記載の光波長分析装置。
- 前記回折手段は第2の焦点距離を有する第2のレンズ(9)をさらに含み、前記第2のレンズ(9)は、分散手段からの前記回折信号を受信するように構成され、かつ前記第2の焦点距離に等しい前記検出器手段(8)からの所定の第2の距離に配置される、請求項4ないし8のいずれか1項に記載の光波長分析装置。
- 前記回折手段は、前記第1のレンズ(6)および前記第2のレンズ(9)の機能を組み合わせる単一レンズ(81)を含み、所定の焦点距離を有する前記単一レンズ(81)は、前記スリット(4)からの前記焦点距離に等しい所定の距離に配置され、かつ前記単一レンズ(81)は、前記分散手段からの回折信号を受信するように構成され、かつ前記焦点距離に等しい前記検出器手段(8)からの等しい距離に配置され、かつ前記分散手段は、前記単一レンズ(81)からの出力光ビームを受光し、かつ前記回折信号を発生するように構成されている、請求項9に記載の光波長分析装置。
- 前記回折手段は、前記第1のレンズ(6)と前記第2の分散手段と前記第2のレンズ(9)とのそれぞれの機能を組み合わせる光学素子(82)を含み、前記光学素子(82)は所定の焦点距離を有し、前記光学素子(82)は前記スリット(4)からの前記焦点距離に等しい所定の距離に配置され、かつ回折信号を発生するように構成され、かつ前記焦点距離に等しい前記検出器手段(8)からの等しい距離に配置されている、請求項10に記載の光波長分析装置。
- 前記検出器手段(8)は前記対の複数を含み、前記対と前記対の間に少なくとも1つの未使用検出器素子(41,42)を有する、請求項1ないし11のいずれか1項に記載の光波長分析装置。
- 前記処理手段(21)は、前記波長から他の物理的パラメータを決定するように構成されている、請求項1ないし12のいずれか1項に記載の光波長分析装置。
- 前記処理手段(21)は、所定の時間中に前記検出器出力信号を監視し、時間の関数として前記時間中に波長シフトを決定するように構成されている、請求項1ないし13のいずれか1項に記載の光波長分析装置。
- 前記入口選択手段(4)は複数のスリットを備え、各スリットは複数の異なる光ビームの中の1つを受光するように配置されている、請求項1ないし14のいずれか1項に記載の光波長分析装置。
- ― 各々が固有の波長を有し且つ矩形状の1つあるいはそれ以上の信号を含む光ビーム(3)を受光するステップと、
― 前記波長に応じた角度で前記信号の各々を回折させるステップと、
― 検出器手段(8)により前記回折信号を受信し、かつ前記回折信号に応じて複数の検出器素子(32,33,35,36,38,39)によって少なくとも1つの検出器出力信号を発生するステップと、
― 検出器素子と、前記検出器素子上に投影されるイメージの波長と、を関連づける較正値を供給するステップと、
― 前記信号の各波長を前記検出器出力信号から決定するステップと、
を備える光波長分析方法において、
― 前記検出器手段(8)は、隣り合う第1の検出器素子(A)と第2の検出器素子(B)の対を少なくとも有し、前記第1の検出器素子(A)と前記第2の検出器素子(B)はそれぞれ複数の検出器デバイスを有し、
― 前記光ビームは空間均一強度分布を有し、
― 前記複数の信号のそれぞれを回折し、それにより各回折信号は、隣り合う異なる第1の検出器素子(A)と異なる第2の検出器素子(B)による異なる対に影響を与える空間均一強度分布を有し、前記第1の検出器素子(A)は空間均一強度分布に応じた第1シグナル部レベルを有する波長シフトに対応する第1シグナル部を受信するためのもので、前記第2の検出器素子(B)は空間均一強度分布に応じた第2シグナル部レベルを有する波長シフトに対応する第2シグナル部を受信するためのものであり、
各検出器素子は各前記信号により部分的にビームシフト方向にカバーされ、且つ、少なくとも1つの第1の検出器素子(32;35;38)における外部検出器素子と少なくとも1つの第2の検出器素子(33;36;39)における外部検出器素子とが前記各回折信号によってビームシフト方向に部分的に照射され、
前記第1の検出器素子の出力は前記第1シグナル部に関連づけられており、且つ前記第2の検出器素子の出力は前記第2シグナル部に関連づけられており、
― 各前記対に対して、前記第1シグナル部レベルと前記第2シグナル部レベル及び計算値に基づいて、
イメージ強度分布の重心の計算により、受信信号の波長を決める、ステップと、を含むことを特徴とする光波長分析方法。 - コンピュータに格納されるコンピュータプログラムであり、前記コンピュータの処理装置に請求項16−18のいずれかの方法を実行させるものとして構成されている、コンピュータプログラム。
- 請求項19に記載のコンピュータプログラムを備えたデータ記憶媒体。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL00/00281 | 2000-05-01 | ||
NLPCT/NL00/00281 | 2000-05-01 | ||
PCT/NL2000/000281 WO2001084098A1 (en) | 2000-05-01 | 2000-05-01 | Method and means of measuring wavelength change |
PCT/NL2001/000327 WO2001084097A1 (en) | 2000-05-01 | 2001-05-01 | Measuring weavelength change |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003532102A JP2003532102A (ja) | 2003-10-28 |
JP5259036B2 true JP5259036B2 (ja) | 2013-08-07 |
Family
ID=19760685
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001581071A Expired - Fee Related JP5259036B2 (ja) | 2000-05-01 | 2001-05-01 | 波長変化の測定 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7061609B2 (ja) |
EP (1) | EP1903320A1 (ja) |
JP (1) | JP5259036B2 (ja) |
AT (1) | ATE421081T1 (ja) |
DE (1) | DE60137415D1 (ja) |
DK (1) | DK1279010T3 (ja) |
WO (1) | WO2001084098A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100451611C (zh) * | 2005-10-21 | 2009-01-14 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 快速测量光谱的分光光度计 |
JP2007139514A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Yokogawa Electric Corp | Wdm信号モニタ |
JP2007205784A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Yokogawa Electric Corp | 光スペクトラムアナライザ |
US20080100839A1 (en) * | 2006-10-31 | 2008-05-01 | Fouquet Julie E | Method and system for measuring light propagating at multiple wavelengths |
EP2073000A1 (en) | 2007-12-20 | 2009-06-24 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Coated waveguide for optical detection |
EP2075549A1 (en) | 2007-12-28 | 2009-07-01 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Shape memory sensor |
EP2202548A1 (en) | 2008-12-23 | 2010-06-30 | Nederlandse Organisatie voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Distributed optical chemical sensor |
EP2500314A1 (en) | 2011-03-14 | 2012-09-19 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Photonic crystal sensor |
NL2008353A (nl) * | 2011-03-30 | 2012-10-02 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and method. |
EP3149432B1 (en) | 2014-05-28 | 2019-02-20 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | A fiber bragg grating optical sensor having a nanoporous coating |
US11313720B2 (en) * | 2015-01-23 | 2022-04-26 | Rigaku Raman Technologies, Inc. | System and method to minimize nonrandom fixed pattern noise in spectrometers |
US11536605B2 (en) | 2020-09-18 | 2022-12-27 | Apple Inc. | Electronic devices with an alignment-free spectrometer |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3578837A (en) * | 1969-04-01 | 1971-05-18 | Trw Inc | Double-diffuser holographic system |
JPS6167528U (ja) * | 1984-10-05 | 1986-05-09 | ||
CA1229897A (en) * | 1984-12-03 | 1987-12-01 | Gilbert M. Levy | Optics system for emission spectrometer |
US4669880A (en) * | 1985-02-21 | 1987-06-02 | The Perkin-Elmer Corporation | Apparatus for converting the wavelength resolution of a spectrophotometer |
DE3686184T2 (de) * | 1985-03-21 | 1993-02-25 | Abbott Lab | Spektralfotometer. |
JPS63115730U (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-26 | ||
JPS6435325A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-06 | Shimadzu Corp | Spectral sensor |
US4932779A (en) * | 1989-01-05 | 1990-06-12 | Byk Gardner, Inc. | Color measuring instrument with integrating sphere |
US5055684A (en) * | 1989-12-06 | 1991-10-08 | Nirsystems Incorporated | System to reduce wave shift error in spectrophotometer caused by hot spots in the light source |
JPH04140619A (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-14 | Shimadzu Corp | 分光器 |
JP3067880B2 (ja) * | 1991-01-12 | 2000-07-24 | キヤノン株式会社 | 回折格子を有する光検出装置 |
US5523879A (en) * | 1991-04-26 | 1996-06-04 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Optical link amplifier and a wavelength multiplex laser oscillator |
DE9313632U1 (de) * | 1993-09-09 | 1993-12-23 | Franzke, Michael, Dipl.-Chem., 06126 Halle | Diodenarrayspektrometer für Unterrichtszwecke |
JP3230565B2 (ja) * | 1996-02-07 | 2001-11-19 | 横河電機株式会社 | 光スペクトラムアナライザ |
US5933235A (en) * | 1995-03-15 | 1999-08-03 | Yokogawa Electric Corporation | Optical spectrum analyzer and spectrometer |
JPH08292098A (ja) * | 1995-04-24 | 1996-11-05 | Advantest Corp | 光スペクトラムアナライザ |
JP3451526B2 (ja) * | 1996-10-25 | 2003-09-29 | オムロン株式会社 | 光学式センサ装置 |
NO307357B1 (no) * | 1997-02-14 | 2000-03-20 | Optoplan As | Anordning for maling av optiske bolgelengder |
JP3512974B2 (ja) * | 1997-03-07 | 2004-03-31 | サンテック株式会社 | レーザ光源の波長モニタ装置 |
US5796479A (en) * | 1997-03-27 | 1998-08-18 | Hewlett-Packard Company | Signal monitoring apparatus for wavelength division multiplexed optical telecommunication networks |
DE69813246T2 (de) * | 1997-08-19 | 2003-12-18 | Univ Maryland | Grosses hochgeschwindigkeits-multiplexiertes fiberoptisches sensornetz |
US5867264A (en) * | 1997-10-15 | 1999-02-02 | Pacific Advanced Technology | Apparatus for image multispectral sensing employing addressable spatial mask |
US6154551A (en) * | 1998-09-25 | 2000-11-28 | Frenkel; Anatoly | Microphone having linear optical transducers |
US6144025A (en) * | 1999-01-13 | 2000-11-07 | Santec Corporation | Laser light source apparatus |
US6424416B1 (en) * | 1999-10-25 | 2002-07-23 | Textron Systems Corporation | Integrated optics probe for spectral analysis |
US20020018203A1 (en) * | 2000-08-11 | 2002-02-14 | Battle David R. | Spectrophotometer system having active pixel array |
US6862091B2 (en) * | 2001-04-11 | 2005-03-01 | Inlight Solutions, Inc. | Illumination device and method for spectroscopic analysis |
-
2000
- 2000-05-01 WO PCT/NL2000/000281 patent/WO2001084098A1/en active Application Filing
-
2001
- 2001-05-01 EP EP07121833A patent/EP1903320A1/en not_active Ceased
- 2001-05-01 AT AT01926237T patent/ATE421081T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-05-01 DE DE60137415T patent/DE60137415D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-05-01 JP JP2001581071A patent/JP5259036B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-05-01 DK DK01926237T patent/DK1279010T3/da active
- 2001-05-01 US US10/275,119 patent/US7061609B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030156287A1 (en) | 2003-08-21 |
EP1903320A1 (en) | 2008-03-26 |
WO2001084098A1 (en) | 2001-11-08 |
US7061609B2 (en) | 2006-06-13 |
DE60137415D1 (de) | 2009-03-05 |
ATE421081T1 (de) | 2009-01-15 |
JP2003532102A (ja) | 2003-10-28 |
DK1279010T3 (da) | 2009-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4678332A (en) | Broadband spectrometer with fiber optic reformattor | |
JP5259036B2 (ja) | 波長変化の測定 | |
US4563090A (en) | Grating spectrometer | |
EP0214845A2 (en) | Device and method for determining displacement | |
CA2070330C (en) | High resolution spectroscopy system | |
US6118530A (en) | Optical scanning spectrometer | |
EP0744600B1 (en) | Spectrophotometer | |
JP2005533244A (ja) | 光学分光装置、光学分光方法、光センサ、及びその使用方法 | |
US8111396B2 (en) | Spectrometric measurement system and method for compensating for veiling glare | |
EP1279010B1 (en) | Measuring wavelength change | |
KR102039826B1 (ko) | Awg 분광센서 | |
JP5363104B2 (ja) | 逆伝播波分光器 | |
WO2021154772A1 (en) | Spectroferometer | |
KR101054017B1 (ko) | 분광기의 보정방법 | |
JP2009019893A (ja) | センシング方法及びセンシング装置 | |
KR20100060530A (ko) | 형광 라이다 수신 광학계, 상기 형광 라이다 수신 광학계에서의 형광물질 탐지 장치 및 방법 | |
US11933735B2 (en) | Optical detection device, optical detection method, method for designing optical detection device, sample classification method, and defect detection method | |
JP2004163154A (ja) | 波長計測装置 | |
JP2002116087A (ja) | 波長計測装置 | |
JP2007218794A (ja) | 分光装置 | |
JP4039217B2 (ja) | 波長計測装置 | |
JP3632825B2 (ja) | 波長計測装置 | |
CN111684243A (zh) | 光谱仪、用于制造光谱仪的方法和用于运行光谱仪的方法 | |
RU2480718C2 (ru) | Устройство для спектрального анализа | |
JPH06331446A (ja) | 分光画像計測装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100727 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20101027 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20101104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110513 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110811 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110818 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110912 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110920 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111013 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111020 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120803 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20121105 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20121112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130329 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130424 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160502 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5259036 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |