KR102039826B1 - Awg 분광센서 - Google Patents

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KR102039826B1
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김한필
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Abstract

본 발명은 AWG 분광센서에 관한 것으로, AWG 분광센서는 광을 다수의 경로로 분리하는 빔스프리터; 상기 빔스프리터의 다수의 경로에서 분리된 광을 입력받아 투과시키고, 서로 상이한 투과 스펙트럼을 출력하는 멀티 AWG(Arrayed waveguide grating)소자; 및 상기 멀티 AWG소자에서 출력된 투과 스펙트럼의 세기를 측정하는 세기 측정부;를 포함한다.

Description

AWG 분광센서{AWG spectrum sensor}
본 발명은 AWG 분광센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 입력광을 다수의 경로로 분리하고 분리된 광을 멀티 AWG소자의 각각의 AWG소자에서 입력받아 투과시켜, 각각의 AWG소자에서 서로 상이한 투과 스펙트럼을 출력하고 출력된 투과 스펙트럼의 세기를 측정함으로써, 입력된 광의 스펙트럼을 분석 및 복원할 수 있는 AWG 분광센서에 관한 것이다.
분광 장치는 광학, 화학, 해양공학 등 다양한 산업 분야 전반에 걸쳐서 핵심 기구로 사용되고 있으며, 시료를 투과하거나 반사하는 스펙트럼의 세기를 측정하여 그 정보를 그래프 혹은 스펙트럼 형태로 나타낸다.
이러한 분광 장치가 물체의 정보를 정확하고 세밀하게 나타내는 정도를 해상도(resolution)라고 하며, 상기 해상도는 분광기의 성능을 평가하는 중요한 요소로서 평가된다.
분광 장치 중에서 소형(miniature) 분광 장치는, 기존의 분광계 중에서 공간부피를 많이 차지하는 프리즘이나 회절격자를 필터 장치를 사용하여 소형화하는데, 휴대용으로 편리하게 사용할 수 있으며, 상기한 필터 장치는 필터를 배열해서 한 곳에 집약하여 생산할 수 있다.
나노 공정을 이용한 필터 장치 기술은 분광 장치의 크기를 초소형화하고, 이에 따른 대량 생산으로 생산가격을 크게 절감시킬 수 있으며, 이러한 공정으로 생산된 소형 분광 장치는 실험실 밖 산업 현장에서 물질의 특성을 실시간으로 측정하는데 큰 도움이 된다.
최근에도 분광장치에 대한 연구는 지속적으로 이루어지고 있으며, 보다 효율이 우수한 분광장치에 대한 개발이 필요한 실정이다.
미국 공개특허공보 제2010-0046077호(특허문헌 1)에는 금속필름, 및 상기 금속필름 상부에 형성된 엠보싱 어레이로 이루어진 광학필터가 개시되어 있어 금속 나노 패턴에 의해 소형 분광장치를 구성할 수 있는 광투과 필터의 기능을 수행하나 개별 나노 패턴의 정밀한 제작이 어렵고 개별 패턴들의 투과 스펙트럼을 다양화하는데 어려운 단점이 있다.
또한, 특허문헌 1의 광학필터는 금속의 특성상 고온 또는 저온 환경에서 팽창 수축에 따른 신호 복원 오류가 발생되는 문제점이 있다.
한국 등록특허공보 제10-1455800호(특허문헌 2)에는 복수 개의 검출기를 포함하되, 상기 각 검출기는, 제1 전극; 제2 전극; 및 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 전기적으로 연결되며, 입사된 빛을 흡수하여 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 전류를 발생시키도록 구성된 감지층, 및 상기 감지층에 형성된 복수의 패턴부를 포함하는 에피 구조체를 포함하고, 상기 복수개의 검출기의 상기 에피 구조체는 서로 상이한 구조를 갖는 분광 센서가 개시되어 있다.
특허문헌 2는 입사되는 광에 따라 적어도 두 개 이상의 서로 다른 감광 곡선을 갖는 분광 센서에서 출력되는 신호를 디지털 신호처리하여 상기 입사되는 광의 스펙트럼 정보를 복원할 수 있는 이점이 있다.
그러나, 특허문헌 2의 분광 센서는 입사광을 검출하기 위한 복수개의 검출기를 포함하고, 복수개의 검출기는 평면상에 어레이(array) 형태로 배열되어 있으며, 복수개의 검출기 각각은 에피 구조체, 제1전극, 제2전극과 유전체를 포함하여 구성되므로, 검출기의 구조가 복잡하고, 어레이 형태의 배열을 위해 나노 패터닝 공정을 수행함으로 균일하고 정밀하게 제어된 크기의 검출기 에피 구조체를 수득하기 어려운 단점이 있다.
: 미국 공개특허공보 제2010-0046077호 : 한국 등록특허공보 제10-1455800호
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로, 그 목적은 입력광의 서로 상이한 투과 스펙트럼을 출력하고 출력된 투과 스펙트럼의 세기를 측정할 수 있는 AWG 분광센서를 제공하는 데 있다.
상술된 목적을 달성하기 위한, 본 발명의 일 실시예에 의한 AWG 분광센서는, 광을 다수의 경로로 분리하는 빔스프리터;
상기 빔스프리터의 다수의 경로에서 분리된 광을 입력받아 투과시키고, 서로 상이한 투과 스펙트럼을 출력하는 멀티 AWG(Arrayed waveguide grating)소자; 및
상기 멀티 AWG소자에서 출력된 투과 스펙트럼의 세기를 측정하는 세기 측정부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 상기 멀티 AWG소자는,
상기 빔스프리터에서 출력된 다수의 경로에서 분리된 광이 각각 입력되는 다수의 AWG소자로 구성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 다수의 AWG소자 각각은,
기판;
상기 기판 상부에 형성된 코어층; 및
상기 코어층을 감싸며 상기 기판에 형성된 클래드층;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 기판은 퀄츠 웨이퍼 또는 실리콘 웨이퍼이고,
상기 코어층은 Ge 도프된 SiO2이고,
상기 클래드층은 BP 도프된 SiO2인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 다수의 AWG소자 각각은,
하나의 기판에 일체로 형성된 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명은 상기 다수의 AWG소자 각각은,
상기 코어층의 선폭 및/또는 높이가 서로 다른 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명은 다수의 AWG소자 각각은,
상기 빔스프리터에서 다수의 경로에서 분리된 광 중 하나의 분리광이 입력되는 입력도파로;
상기 입력도파로에 입력된 분리광을 퍼트리는 제1슬래브 도파로;
상기 제1슬래브 도파로에서 퍼진 광이 각 도파로를 따라 진행하면서 경로차가 다른 광들이 되는 어레이도파로; 및
상기 어레이도파로를 따라 경로차가 다른 광들이 보강 간섭되면서 출력도파로 끝단에 포커싱되는 제2슬래브 도파로;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 다수의 AWG소자 각각은,
상기 제1슬래브 도파로의 형상, 상기 제2슬래브 도파로의 형상, 상기 어레이도파로의 각 도파로의 경로차, 상기 출력도파로의 개수 중 적어도 하나가 다른 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 세기 측정부에서 측정된 다수의 AWG소자 각각에서 투과된 스펙트럼의 세기를 전기 신호로 디지털기기로 출력하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 디지털기기는 설치된 디지털 신호처리 알고리즘 프로그램에서 입력된 전기 신호로 입력된 광스펙트럼 신호를 복원하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 입력광을 다수의 경로로 분리하고 분리된 광을 멀티 AWG소자의 각각의 AWG소자에서 입력받아 투과시켜, 각각의 AWG소자에서 서로 상이한 투과 스펙트럼을 출력하고 출력된 투과 스펙트럼의 세기를 측정함으로써, 입력된 광의 스펙트럼을 분석 및 복원할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 AWG 분광센서의 개념적인 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 AWG 분광센서에 적용된 멀티 AWG소자의 개념적인 구성도,
도 3은 본 발명에 따른 AWG 분광센서에 적용된 멀티 AWG소자의 예시를 설명하기 위한 개념적인 구성도,
도 4는 본 발명에 따라 적용된 AWG소자의 입력도파로의 단면도,
도 5는 본 발명에 따라 적용된 AWG소자의 출력도파로의 단면도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 설명하도록 한다.
실시예를 설명하기 전에 부연해 두면, 본 발명의 청구범위의 구성을 구현하는 방법에는 여러 가지가 있을 수 있는바, 하기 실시예는 청구범위에 있는 구성을 구현하는 하나의 예를 보여주기 위한 것임을 밝힌다. 따라서 본 발명의 범위는 하기 실시예에 의해 제한되지 아니한다.
도 1은 본 발명에 따른 AWG 분광센서의 개념적인 구성도이다.
본 발명에 따른 AWG 분광센서는 빔스프리터(100), 멀티 AWG(Arrayed waveguide grating)소자(200), 세기 측정부(300)를 포함하여 구성된다.
즉, 본 발명에 따른 AWG 분광센서는 광을 다수의 경로로 분리하는 빔스프리터(100); 상기 빔스프리터(100)의 다수의 경로에서 분리된 광을 입력받아 투과시키고, 서로 상이한 투과 스펙트럼을 출력하는 멀티 AWG소자(200); 및 상기 멀티 AWG소자(200)에서 출력된 투과 스펙트럼의 세기(강도)를 측정하는 세기 측정부(300);를 포함한다.
빔스프리터(100)는 광을 입력받아 다수의 경로로 분리하여 출력한다.
멀티 AWG소자(200)는 빔스프리터(100)에서 출력된 다수의 경로에서 분리된 광을 입력받아 투과시키고 서로 상이한 투과 스펙트럼을 출력한다.
이를 위하여, 멀티 AWG소자(200)는 다수의 AWG소자로 구성되고 구체적인 소자의 구조는 도 2 및 도 3을 참고하여 상세하게 설명한다.
세기 측정부(300)는 멀티 AWG소자(200)의 다수의 AWG소자 각각에서 투과된 스펙트럼의 세기를 측정한다.
본 발명에서는 세기 측정부(300)에서 측정된 다수의 AWG소자 각각에서 투과된 스펙트럼의 세기를 전기 신호로 스마트폰을 포함하는 디지털기기(400)로 출력하고 그 디지털기기(400)는 설치된 디지털 신호처리 알고리즘 프로그램에서 입력된 전기 신호로 입력된 광스펙트럼 신호를 복원하도록 구성될 수 있다.
그러므로, 본 발명은 세기 측정부(300)에서 측정된 멀티 AWG소자(200)에서 출력된 투과 스펙트럼의 세기를 측정하여 입력된 광의 스펙트럼을 분석 및 복원할 수 있는 것이다.
또한, 본 발명에서는 상술된 AWG 분광센서를 통하여 미리 측정된 다수의 입력된 광에 대하여 검출된 투과 스펙트럼의 세기에 대한 정보가 수록된 데이터베이스가 디지털기기(400)에 내장되어 있을 수 있으며, 이 경우 대상 광을 입력시켜 측정된 투과 스펙트럼의 세기를 데이터베이스의 기록된 세기정보와 비교하여 입력된 광이 어떠한 광인지를 알 수 있는 역추적 분석도 수행할 수도 있다.
도 2는 본 발명에 따른 AWG 분광센서에 적용된 멀티 AWG소자의 개념적인 구성도이고, 도 3은 본 발명에 따른 AWG 분광센서에 적용된 멀티 AWG소자의 예시를 설명하기 위한 개념적인 구성도이다.
본 발명에 따른 AWG 분광센서에 적용된 멀티 AWG소자(200)의 개념적인 구성도이고,
상술한 바와 같이, 멀티 AWG소자(200)는 빔스프리터(100)에서 출력된 다수의 경로에서 분리된 광 각각을 입력받아 투과시키기 위하여 다수의 AWG소자들로 구성된다.
이 다수의 AWG소자들 각각은 도 2에 도시된 바와 같이 기판(201)에 입력도파로(210), 제1슬래브 도파로(220), 어레이도파로(220), 제2슬래브 도파로(240), 출력도파로(250)가 형성되어 있다.
입력도파로(210)는 빔스프리터(100)에서 다수의 경로에서 분리된 광 중 하나의 분리광이 입력된다.
제1슬래브 도파로(220)는 입력도파로(210)에 입력된 분리광을 퍼트린다.
어레이도파로(210)는 제1슬래브 도파로(220)에서 퍼진 광이 각 도파로를 따라 진행하면서 경로차가 다른 광들이 된다.
제2슬래브 도파로(240)는 어레이도파로(220)를 따라 경로차가 다른 광들이 보강 간섭되면서 출력도파로(250) 끝단에 포커싱된다.
그러므로, 본 발명에 적용된 멀티 AWG소자(200) 중 하나의 AWG소자는 빔스프리터(100)에서 출력된 다수의 경로에서 분리된 광 중 하나를 입력받아 투과시키고 투과 스펙트럼을 출력한다. 다르게 표현하면, 분리된 광을 파장별로 분리하여 출력하는 것이다.
이러한 AWG소자가 다수 배열되어 멀티 AWG소자(200)를 구현한다.
여기서, 멀티 AWG소자(200)의 각각의 AWG소자에서 출력되는 투과 스펙트럼(필터링된 파장 스펙트럼)은 다르게 설계한다.
즉, 멀티 AWG소자(200)의 각각의 AWG소자는 코어층(202)의 선폭 및/또는 높이가 다르게 설계
또한, 멀티 AWG소자(200)의 각각의 AWG소자는 제1슬래브 도파로(220)의 형상, 제2슬래브 도파로(240)의 형상, 어레이도파로(220)의 각 도파로의 경로차, 출력도파로(250)의 개수 중 적어도 하나를 다르게 설계하여 각각의 AWG소자에서 출력되는 투과 스펙트럼을 다르게 설계하는 것이다.
예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이 기판(201)에 제1 내지 제3AWG소자가 형성되어 있다고 하면, 제1 내지 제3AWG소자에서 출력되는 투과 스펙트럼은 상이하게 된다.
여기서, 제1 내지 제3AWG소자의 출력도파로(250)의 개수가 다르게 설계된 것이다.
본 발명에서는 어레이 도파로는 100개 이상의 도파로가 경로차를 갖도록 서로 이격되어 배치될 수 있다.
도 4는 본 발명에 따라 적용된 AWG소자의 입력도파로의 단면도이고, 도 5는 본 발명에 따라 적용된 AWG소자의 출력도파로의 단면도이다.
멀티 AWG소자(200)의 각각의 AWG소자는 기판(201); 상기 기판(201) 상부에 형성된 코어층(202); 및 상기 코어층(202)을 감싸며 상기 기판(201)에 형성된 클래드층(203);을 포함한다.
여기서, 기판(201)은 퀄츠 웨이퍼 또는 실리콘 웨이퍼일 수 있다.
그리고, 코어층(202)은 Ge 도프된 SiO2일 수 있고, 클래드층(203)은 BP 도프된 SiO2일 수 있다.
또, 도 4에 도시된 바와 같이 AWG소자의 입력도파로(210)는 기판(201) 상부에 단일 코어층(202) 및 클래드층(203)이 형성되어 구성된다.
그리고, 도 5와 같이 어레이 도파로, 슬래브 도파로 및 출력도파로(250)는 기판(201) 상부에 다수의 코어층(205) 및 클래드층(203)이 형성되어 구성된다.
한편, 본 발명에서는 다수의 AWG소자 각각이 하나의 기판(201)에 일체로 형성되어 멀티 AWG소자(200)를 구현할 수 있다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예를 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
100: 빔스프리터 200: 멀티 AWG소자
201: 기판 202,205: 코어층
203: 클래드층 210: 입력도파로
220: 제1슬래브 도파로 230: 어레이도파로
240: 제2슬래브 도파로 250: 출력도파로
300: 세기 측정부 400: 디지털기기

Claims (10)

  1. 광을 다수의 경로로 분리하는 빔스프리터;
    상기 빔스프리터의 다수의 경로에서 분리된 광을 입력받아 투과되도록 다수의 AWG소자로 구성되어 서로 상이한 투과 스펙트럼을 출력하는 멀티 AWG(Arrayed waveguide grating)소자;
    상기 멀티 AWG소자에서 출력된 투과 스펙트럼의 세기를 측정하고, 상기 측정된 다수의 AWG소자 각각에서 투과된 스펙트럼의 세기를 전기 신호로 디지털기기로 출력하는 세기 측정부; 및
    상기 세기 측정부에서 출력되는 전기 신호를 입력 받아 미리 설치된 디지털 신호처리 알고리즘 프로그램에서 상기 입력된 전기 신호에 대응하는 광스펙트럼 신호로 복원하고, 상기 투과 스펙트럼의 세기에 대한 정보를 저장한 데이터베이스를 검색하여 상기 입력된 광의 정보를 분석하는 디지털기기를 포함하는 AWG 분광센서.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    다수의 AWG소자 각각은,
    기판;
    상기 기판 상부에 형성된 코어층; 및
    상기 코어층을 감싸며 상기 기판에 형성된 클래드층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 AWG 분광센서.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기판은 퀄츠 웨이퍼 또는 실리콘 웨이퍼이고,
    상기 코어층은 Ge 도프된 SiO2이고,
    상기 클래드층은 BP 도프된 SiO2인 것을 특징으로 하는 AWG 분광센서.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 다수의 AWG소자 각각은,
    하나의 기판에 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 AWG 분광센서.
  6. 제3항 내지 제5항 중 한 항에 있어서,
    상기 다수의 AWG소자 각각은,
    상기 코어층의 선폭 및/또는 높이가 서로 다른 것을 특징으로 하는 AWG 분광센서.
  7. 제1항에 있어서,
    다수의 AWG소자 각각은,
    상기 빔스프리터에서 다수의 경로에서 분리된 광 중 하나의 분리광이 입력되는 입력도파로;
    상기 입력도파로에 입력된 분리광을 퍼트리는 제1슬래브 도파로;
    상기 제1슬래브 도파로에서 퍼진 광이 각 도파로를 따라 진행하면서 경로차가 다른 광들이 되는 어레이도파로; 및
    상기 어레이도파로를 따라 경로차가 다른 광들이 보강 간섭되면서 출력도파로 끝단에 포커싱되는 제2슬래브 도파로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 AWG 분광센서.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 다수의 AWG소자 각각은,
    상기 제1슬래브 도파로의 형상, 상기 제2슬래브 도파로의 형상, 상기 어레이도파로의 각 도파로의 경로차, 상기 출력도파로의 개수 중 적어도 하나가 다른 것을 특징으로 하는 AWG 분광센서.
  9. 삭제
  10. 삭제
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210085381A (ko) 2019-12-30 2021-07-08 (주)티디아이 다중채널 광신호의 광파워 측정 장치
KR20220116876A (ko) * 2021-02-16 2022-08-23 주식회사 휘라포토닉스 스마트팜에 이용되는 센서 시스템

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000137129A (ja) * 1998-11-04 2000-05-16 Nec Corp 光導波路及びその作製方法
US20100046077A1 (en) 2006-12-29 2010-02-25 Nanolambda Inc. Wavelength selective metallic embossing nanostructure
JP2012013527A (ja) * 2010-06-30 2012-01-19 Keio Gijuku 分光光度計
KR101455800B1 (ko) 2013-09-06 2014-11-03 (주)코셋 레이저 다이오드 모듈 및 이에 이용되는 광학구조물

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000137129A (ja) * 1998-11-04 2000-05-16 Nec Corp 光導波路及びその作製方法
US20100046077A1 (en) 2006-12-29 2010-02-25 Nanolambda Inc. Wavelength selective metallic embossing nanostructure
JP2012013527A (ja) * 2010-06-30 2012-01-19 Keio Gijuku 分光光度計
KR101455800B1 (ko) 2013-09-06 2014-11-03 (주)코셋 레이저 다이오드 모듈 및 이에 이용되는 광학구조물

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210085381A (ko) 2019-12-30 2021-07-08 (주)티디아이 다중채널 광신호의 광파워 측정 장치
KR20220116876A (ko) * 2021-02-16 2022-08-23 주식회사 휘라포토닉스 스마트팜에 이용되는 센서 시스템
KR102591050B1 (ko) * 2021-02-16 2023-10-19 주식회사 휘라포토닉스 스마트팜에 이용되는 센서 시스템

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