JP5243899B2 - 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 - Google Patents

Description

本発明は、荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法に関する。

半導体デバイスの高集積化に伴い、半導体デバイスの回路パターンが微細化されている。半導体デバイスに微細な回路パターンを形成するためには、高精度の原画パターン（即ち、レチクル或いはマスク）が必要となる。原画パターンを製造するために、優れた解像性を有する電子ビーム描画装置を用いることが知られている。

この種の電子ビーム描画装置では、描画データからショットデータを生成し、このショットデータに含まれるパターンが描画されるように、偏向制御部により主偏向データ、副偏向データ、ブランキング（以下「ＢＬＫ」と記す）データを生成し、各データをＤＡＣアンプ（以下「アンプ」と略す。）によりＤＡ変換及び増幅して偏向器に印加することによって、試料にパターンを描画している（例えば、特許文献１参照）。

ところで、一般にアンプは電子鏡筒の近傍に配置されるため、偏向制御部からアンプまでの通信距離が長くなり、通信中に電気ノイズが重畳しやすい。

このような電気ノイズを低減すべく、アンプと偏向制御部との間に中継部を設け、偏向制御部と中継部の間で光通信が行われている。ここで、中継部は、偏向制御部から受信した偏向データを一時的に格納し、この偏向データをアンプに送信する処理ユニットである。

上記中継部に偏向データが格納される前に、空のデータをアンプに送信することを防止するため、中継部のデータ格納状態（ステータス）を監視する必要がある。従来、偏向制御部と中継部との間で、主偏向データ、副偏向データおよびＢＬＫデータを独立した３系統の光通信路により送信する際、以下に説明するシーケンスに従って行われていた。

図６を参照して、偏向データを送信する際の従来のシーケンスを説明する。先ず、偏向制御部は、ショットデータの入力があると、主偏向器用の主偏向データ、副偏向器用の副偏向データおよびＢＬＫ偏向器用のＢＬＫデータを逐次生成し、格納する。

次いで、時刻ｔ２１において、偏向制御部から図示しない主偏向中継部への主偏向データの送信を開始する（符号ａ参照）。続いて、時刻ｔ２２において、偏向制御部から副偏向中継部への副偏向データの送信を開始すると共に、ＢＬＫ中継部へのＢＬＫデータの送信を開始する（符号ｂ参照）。

尚、主偏向中継部は、受信した主偏向データを直ちに主偏向アンプに送信するが、副偏向中継部及びＢＬＫ中継部は、受信した副偏向データ及びＢＬＫデータを一時的に格納する。

その後、時刻ｔ２３において、偏向制御部は、副偏向中継部による副偏向データの格納状態を監視し（符号ｃ参照）、これと共に、ＢＬＫ中継部によるＢＬＫデータの格納状態を監視する（符号ｄ参照）。

そして、副偏向中継部は、所定量（例えば、１つのサブフィールド領域分）の副偏向データの格納が完了した時刻ｔ２４において、格納完了信号を偏向制御部に出力する。同様に、ＢＬＫ中継部は、所定量のＢＬＫデータの格納が完了した時刻ｔ２５において、格納完了信号を偏向制御部に出力する。ＢＬＫ中継部から出力されたＢＬＫデータの格納完了信号は、時刻ｔ２６において、偏向制御部に入力される。

偏向制御部は、副偏向中継部とＢＬＫ中継部の両方から格納完了信号が入力されると、時刻ｔ２７において、出力指示信号をＢＬＫ中継部に出力する（符号ｅ参照）。

ここで、出力指示信号は、ＢＬＫ中継部から副偏向中継部へのクロック信号の出力を指示する信号である。クロック信号は、副偏向中継部から副偏向アンプへの副偏向データの送信を許可する信号である。従って、副偏向中継部は、ＢＬＫ中継部からクロック信号が入力されるまで、格納している副偏向データを副偏向アンプに送信できない。

時刻ｔ２８において、上記出力指示信号がＢＬＫ中継部に入力されると、時刻ｔ２９において、ＢＬＫ中継部から副偏向中継部に上記クロック信号が出力される。

上記クロック信号が入力された副偏向中継部は、副偏向アンプへの副偏向データの送信を開始する。これと同期して、ＢＬＫ中継部は、ＢＬＫアンプへのＢＬＫデータの送信を開始する。

一方、偏向制御部は、上記出力指示信号を出力した時刻ｔ２７以降、各アンプへの所定量の副偏向データ及びＢＬＫデータの送信が完了したか否かを監視する（符号ｇ参照）。つまり、ＢＬＫ中継部からの送信完了信号の入力を待つ。

１つのサブフィールド領域分の副偏向データ及びＢＬＫデータの送信が完了すると、時刻ｔ３０において、ＢＬＫ中継部は、送信完了信号を偏向制御部に出力する。時刻ｔ３１において、送信完了信号が入力された偏向制御部は、次のサブフィールド領域分の主偏向データ、副偏向データおよびＢＬＫデータの送信を開始する（符号ａ、ｂ）。

然し、上記の格納完了信号、出力指示信号および送信完了信号の通信には、光通信路が用いられていたため、これらの信号を送信するに際して、パケット化やエラー訂正などの処理を行う必要がある。このため、各信号の通信時間ｔ２５〜ｔ２６、ｔ２７〜ｔ２８、ｔ３０〜ｔ３１は、それぞれ２μｓｅｃ〜３μｓｅｃ程度の時間が掛かる。従って、図６に示すように通信遅延１及び２が生じる。これらの通信遅延１及び２は、主偏向器の制御回数の分だけ生じるため、主偏向器の制御回数が多いほど、スループットが低下する問題がある。

近年、主偏向アンプのセトリング時間が、従来の２０μｓｅｃ〜３０μｓｅｃから２μｓｅｃ〜５μｓｅｃ程度にまで短縮されている。このため、描画スループットを向上させるためには、上述したような偏向データを送信する際の光通信に起因する通信遅延１及び２を低減する必要がある。
特開２００８−１８２０７３号公報

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものである。すなわち、本発明の課題は、偏向データを送信する際の通信遅延を低減することが可能な荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法を提供することにある。

本発明の他の課題および利点は、以下の記載から明らかとなるであろう。

上記課題を解決するため、本発明の第１の態様は、主偏向器、副偏向器及びブランキング偏向器により偏向される荷電粒子ビームを用いて試料にパターンを描画する荷電粒子ビーム描画装置において、ショットデータから主偏向器用の主偏向データ、副偏向器用の副偏向データ及びブランキング偏向器用のブランキングデータを生成し、生成した各データを光通信路を介して中継部に送信する偏向制御部と、前記偏向制御部から送信された前記主偏向データを一時的に格納すると共に主偏向アンプに送信する主偏向中継部と、前記偏向制御部から送信された前記副偏向データを一時的に格納すると共に、副偏向アンプに所定のタイミングで送信する副偏向中継部と、前記偏向制御部から送信された前記ブランキングデータを一時的に格納すると共に、ブランキングアンプに前記所定のタイミングで送信するブランキング中継部とを備え、前記偏向制御部は、前記主偏向アンプのセトリングが完了したときに、その完了を示すショット出力信号を前記ブランキング中継部に出力するショット出力信号出力手段を有し、前記ブランキング中継部は、前記副偏向データ及び前記ブランキングデータの格納が完了し、かつ、前記ショット出力信号が入力された場合に、前記副偏向アンプに前記副偏向データを送信させるクロック信号を前記副偏向中継部に出力するクロック信号出力手段を有し、前記副偏向中継部は、前記クロック信号が入力されたとき、前記副偏向アンプへの前記副偏向データの転送を開始することを特徴とする。

本発明の第１の態様において、前記副偏向中継部への前記副偏向データの送信を開始した後に、前記ブランキング中継部への前記ブランキングデータの送信を開始するように構成することが好適である。

本発明の第１の態様において、前記偏向制御部と前記ブランキング中継部との間に、前記ブランキングデータの送信を行う前記光通信路とは異なる専用線を設け、前記ブランキング中継部は、前記ブランキングアンプへのブランキングデータの送信が完了したときに、送信完了信号を前記専用線を介して前記偏向制御部に出力する送信完了信号出力手段を有する構成としてもよい。

また、上記課題を解決するため、本発明の第２の態様は、主偏向器、副偏向器及びブランキング偏向器により偏向される荷電粒子ビームを用いて試料にパターンを描画する荷電粒子ビーム描画方法において、ショットデータから主偏向器用の主偏向データ、副偏向器用の副偏向データおよびブランキング偏向器用のブランキングデータを偏向制御部により生成し、生成した主偏向データを主偏向アンプに送信し、生成した副偏向データを副偏向中継部に送信すると共に、この副偏向中継部により副偏向データを一時的に格納し、生成したブランキングデータをブランキング中継部に送信すると共に、このブランキング中継部によりブランキングデータを一時的に格納し、前記副偏向データ及び前記ブランキングデータが格納され、かつ、前記主偏向アンプのセトリングが完了したと前記偏向制御部が判定した場合、前記副偏向データの副偏向アンプへの送信と、前記ブランキングデータのブランキングアンプへの送信とを開始することを特徴とする。

本発明の第２の態様において、前記偏向制御部から前記副偏向中継部への前記副偏向データの送信を開始した後に、前記偏向制御部から前記ブランキング中継部への前記ブランキングデータの送信を開始することが好適である。

本発明の第１の態様では、副偏向データ及びブランキングデータの格納状態をブランキング中継部により監視し、これらのデータが格納され、かつ、ショット出力信号が入力された場合に、副偏向アンプに副偏向データを送信させるクロック信号をブランキング中継部から副偏向中継部に出力する構成とした。従って、この第１の態様によれば、副偏向中継部及びブランキング中継部から偏向制御部への格納完了信号の出力と、偏向制御部からブランキング中継部への出力指示信号の出力が不要となるため、偏向データを送信する際の通信遅延を低減することができる。

本発明の第２の態様では、副偏向データ及びブランキングデータが格納され、かつ、主偏向アンプのセトリングが完了したことをブランキング中継部により判定した場合に、副偏向データ及びブランキングデータのアンプへの送信を開始するため、副偏向中継部及びブランキング中継部から偏向制御部への格納完了信号の出力が不要となり、偏向データを送信する際の通信遅延を低減することができる。

従って、主偏向器の制御回数が多い場合に本発明を適用することで、描画スループットを飛躍的に向上させることができる。

図１は、本発明の実施の形態による電子ビーム描画装置の構成を示す概念図である。図１に示す電子ビーム描画装置は描画処理を行う描画部１００を備えており、この描画部１００は電子鏡筒１０２を備えている。この電子鏡筒１０２内には、電子銃１１０から発せられた電子ビーム（例えば、５０ｋＶで加速された電子ビーム）１１２を第１成形アパーチャ１２０に照射するための照明レンズ１１４が配置されている。

照明レンズ１１４と第１成形アパーチャ１２０との間には、ＢＬＫ偏向器１１６とＢＬＫアパーチャ１１８とが配置されている。ブランキングＯＮ時（非描画期間）には、ＢＬＫ偏向器１１６により偏向された電子ビーム１１２が、ＢＬＫアパーチャ１１８でカットされる。

電子ビーム１１２は、矩形の開口を有する第１成形アパーチャ１２０を透過することで、その断面形状が矩形に成形される。成形された電子ビーム１１２は、投影レンズ１２２により第２成形アパーチャ１２６上に投影される。この第２成形アパーチャ１２６と第１成形アパーチャ１２０との間には、電子鏡筒１０２と同心で成形偏向器１２４が配置されている。成形偏向器１２４の制御によって第１成形アパーチャ像と第２成形アパーチャ１２６の開口との重なり具合が変化するため、電子ビーム１１２の形状と寸法を制御することができる。尚、成形偏向器１２４の詳細な制御については、公知であるため、その説明を省略する。

第２成形アパーチャ１２６を透過した電子ビーム１１２の焦点は、対物レンズ１２８によって描画室１０４内の試料１４２表面に合わせられる。試料１４２は、描画室１０４内でＸ方向（図中左右方向）及びＹ方向（図中奥行き方向）に連続移動するＸＹステージ１４０上に載置される。ＸＹステージ１４０は駆動部２４４により駆動され、その位置がレーザ測長計２４２により測定される。

試料１４２は、例えば、ガラス基板上にクロム膜等の遮光膜とレジスト膜とが積層されたレチクル或いはマスクである。

試料１４２と第２成形アパーチャ１２６との間には、電子鏡筒１０２と同心で対物偏向器である主偏向器１３０及び副偏向器１３２が配置されている。主偏向器１３０及び副偏向器１３２により試料１４２上の電子ビーム１１２の照射位置が決定される。

上記電子ビーム描画装置において描画処理を実行する際には、図２に示すように、試料１４２上に描画されるべきパターン１１が短冊状のフレーム領域１２に分割され、ＸＹステージ１４０をＸ方向に連続移動させながら各フレーム領域１２を描画する。フレーム領域１２は更にサブフィールド領域１３に分割され、サブフィールド領域１３内の必要な部分のみ、上記第１及び第２成形アパーチャ１２０、１２６により成形された電子ビーム１１２を偏向させて描画する。

電子ビーム１１２の偏向には、主偏向器１３０と副偏向器１３２とで構成される２段の対物偏向器が用いられる。サブフィールド領域１３の位置決めは主偏向器１３０により行われ、サブフィールド領域１３内のパターン描画位置の位置決めは副偏向器１３２により行われる。

図１に示す電子ビーム描画装置は、制御部２００を備えている。制御部２００は、電子ビーム描画装置の各種制御を行う制御計算機２０２を備えている。

制御計算機２０２には記憶装置２０４が接続されており、記憶装置２０４には描画データが記憶されている。ここで、描画データとは、設計データ（ＣＡＤデータ）を外部装置（描画データ生成装置）により描画装置に入力可能なフォーマットに変換することで得られたデータであり、パターン形状やパターン位置等が記述されたデジタルデータである。

制御計算機２０２には、ショットデータ生成部２０６が接続されている。制御計算機２０２からショットデータ生成部２０６にショットデータ生成指示が入力されると、ショットデータ生成部２０６は、あるフレーム領域１１を描画するために必要な描画データを記憶装置２０４から読み出し、装置内部のフォーマットに変換することにより、ショットデータを生成するものである。より具体的には、ショットデータ生成部２０６は、描画データに記述された図形をサブフィールド領域に分割し、さらにショット単位に分割することで、ショットデータを生成するものである。

ショットデータ生成部２０６により生成されたショットデータは、偏向制御部２０８に送信される。偏向制御部２０８は、ショットデータ生成部２０６から受信したショットデータから、主偏向器１３０制御用の主偏向データ、副偏向器１３２制御用の副偏向データおよびＢＬＫ偏向器１１６制御用のＢＬＫデータを生成し、送信するものである。

より詳細には、図３に示すように、主偏向制御部２０８Ａにより主偏向データを生成し、副偏向・ＢＬＫ制御部２０８Ｂにより副偏向データ及びＢＬＫデータを生成する。生成された各データは、主偏向制御部２０８Ａおよび副偏向・ＢＬＫ制御部２０８Ｂの内部に設けられた図示省略するバッファもしくはメモリに一時的に格納される。

また、偏向制御部２０８は、生成した主偏向データに基づき、主偏向アンプ２２０のセトリングが完了したか否かを判定し、完了判定時にその完了を示すショット出力信号を後述のＢＬＫ中継部２１４に出力するショット出力信号出力部２０８Ｃを有する。ここで、セトリングとは、主偏向アンプ２２０の動作が安定することをいう。セトリングに要する時間は、サブフィールドの移動量に比例し、この移動量は主偏向データより求めることができる。従って、偏向制御部２０８は、生成した主偏向データからセトリングに要する時間を求めることができ、セトリングが完了したか否かを判定することができる。

これらの主偏向データ、副偏向データおよびＢＬＫデータは、主偏向器１３０、副偏向器１３２およびＢＬＫ偏向器１１６を構成する各電極の指示電圧信号である。主偏向データ、副偏向データおよびＢＬＫデータは、主偏向アンプ２２０、副偏向アンプ２２２およびＢＬＫアンプ２２４によりＤＡ変換され、各電極を駆動可能な振幅にまで増幅される。

前述した通り、偏向制御部２０８から各アンプ２２０、２２２、２２４までの通信中に重畳する電気ノイズを低減するため、偏向制御部２０８と主偏向アンプ２２０、副偏向アンプ２２２およびＢＬＫアンプ２２４との間に、主偏向中継部２１０、副偏向中継部２１２およびＢＬＫ中継部２１４が設けられている。これら偏向制御部２０８と各中継部２１０、２１２、２１４との間の通信は、３系統の独立した光通信路（光ファイバーケーブル）２０９Ａ乃至２０９Ｃによる光通信である。

各中継部２１０、２１２、２１４は、偏向制御部２０８から送信されたデータを内部の図示省略するバッファもしくはメモリ（以下「バッファ」という。）に一時的に格納すると共に、各データをアンプ２２０、２２２、２２４に送信する処理ユニットである。

ＢＬＫ中継部２１４は、このユニット２１４の上記バッファが空ではないこと（すなわち、ＢＬＫデータが格納されていること）を確認し、副偏向中継部２１２の上記バッファが空ではないこと（すなわち、副偏向データが格納されていること）を確認し、かつ、偏向制御部２０８からショット出力信号が入力されたと判定したときに、副偏向アンプ２２２に副偏向データを送信するためのクロック信号を副偏向中継部２１２に出力するクロック信号出力部２１４Ａを有する。

副偏向中継部２１２は、ＢＬＫ中継部２１４から出力されたクロック信号が入力されると、副偏向アンプ２２２に副偏向データを送信するものである。

また、ＢＬＫ中継部２１４は、ＢＬＫアンプ２２４への１サブフィールド領域分のＢＬＫデータの送信が完了したときに、偏向制御部２０８に専用線２１６を介して１ビットの送信完了信号を出力する送信完了信号出力部２１４Ｂを有する。

主偏向アンプ２２０は主偏向器１３０に接続され、副偏向アンプ２２２は副偏向器１３２に接続されている。主偏向器１３０及び副偏向器１３２は、例えば、８個の電極（対向する４対の電極）からなる公知の静電偏向器によって構成される。尚、図１においては、図示簡略化のため、主偏向器１３０及び副偏向器１３２の１対（２つ）の電極のみをそれぞれ示している。

また、ＢＬＫアンプ２２４はＢＬＫ偏向器１１６に接続されている。ＢＬＫ偏向器１１６は、例えば、２個の電極（対向する１対の電極）からなる公知の静電偏向器によって構成される。

次に、図４を参照して、偏向制御部２０８と各中継部２１０、２１２、２１４との間で、主偏向データ、副偏向データおよびＢＬＫデータを送信する際のシーケンスを説明する。

先ず、偏向制御部２０８は、制御計算機２０２から偏向データ生成指示が入力されると、ショットデータ生成部２０６からのショットデータから、主偏向器１３０用の主偏向データ、副偏向器１３２用の副偏向データおよびＢＬＫ偏向器１１６用のＢＬＫ偏向データを生成する。

尚、生成された主偏向データは主偏向制御部２０８Ａ内に一時的に格納され、副偏向データ及びＢＬＫデータは副偏向・ＢＬＫ制御部２０８Ｂ内に一時的に格納される。

時刻ｔ１において、偏向制御部２０８の主偏向制御部２０８Ａから主偏向中継部２１０への主偏向データの送信を開始する（符号ａ参照）。

次いで、時刻ｔ２において、偏向制御部２０８の副偏向・ＢＬＫ制御部２０８Ｂから副偏向中継部２１２への副偏向データの送信を開始する（符号ｂ１参照）。時刻ｔ２から所定時間（例えば、１００ｎｓｅｃ〜３００ｎｓｅｃ）経過後の時刻ｔ３において、副偏向・ＢＬＫ制御部２０８ＢからＢＬＫ中継部２１４へのＢＬＫデータの送信を開始する（符号ｂ２参照）。

ここで、偏向制御部２０８は、１つのフレーム領域１１分の主偏向データ、副偏向データおよびＢＬＫデータを逐次生成するが、偏向制御部２０８から各中継部２１０、２１２、２１４には１つのサブフィールド領域１２分のデータが送信される。

時刻ｔ５において、ＢＬＫ中継部２１４は、偏向制御部２０８からのＢＬＫデータの受信を開始すると、ＢＬＫデータの格納状態を監視する（符号ｄ参照）。これと併せて、ＢＬＫ中継部２１４は、副偏向中継部２１２による副偏向データの格納状態を監視する（符号ｃ参照）。

ここで、１つのサブフィールド領域１２分の副偏向データとＢＬＫデータの容量は同等であるため、上述したように、副偏向データの送信開始時刻ｔ２よりもＢＬＫデータの送信開始時刻ｔ３を遅らせることで、ＢＬＫ中継部２１４のバッファにＢＬＫデータが格納される前に、副偏向中継部２１２のバッファに副偏向データが格納される。従って、ＢＬＫデータの格納状態を監視することで、時刻ｔ４から副偏向中継部２１２により受信される副偏向データの格納状態を実質的に監視することができる（符号ｃ参照）。つまり、ＢＬＫ中継部２１４のバッファが空であるかを確認することで、副偏向中継部２１２のバッファが空であるかを実質的に確認することができる。

偏向制御部２０８は、主偏向アンプ２２０のセトリングが完了したと判定すると、時刻ｔ６において、その完了を示すショット出力信号をＢＬＫ中継部２１４に出力する（符号ｅ’参照）。このショット出力信号は、時刻ｔ７において、ＢＬＫ中継部２１４に入力される。

その後、時刻ｔ８において、副偏向中継部２１２のバッファに副偏向データが格納され、このバッファが空でないことが確認される。さらに、時刻ｔ９において、ＢＬＫ中継部２１４のバッファにＢＬＫデータが格納され、このバッファが空でないことが確認される。

ＢＬＫ中継部２１４は、これら副偏向データ及びＢＬＫデータの各バッファが空でないことを確認し、かつ、ショット出力信号の入力があると判定すると、時刻ｔ１０において、副偏向中継部２１２から副偏向アンプ２２２に副偏向データを送信させるクロック信号を副偏向中継部２１２に出力する（符号ｆ参照）。

このクロック信号が入力された副偏向中継部２１２は、副偏向アンプ２２２への副偏向データの送信を開始する。これと同期して、ＢＬＫ中継部２１４は、ＢＬＫアンプ２２４へのＢＬＫデータの送信を開始する。

そして、ＢＬＫ中継部２１４は、ＢＬＫアンプ２２４へのＢＬＫデータの送信が完了すると、時刻ｔ１１において、シリアル化していない１ビット信号からなる送信完了信号を偏向制御部２０８に出力する。

偏向制御部２０８は、ショット出力信号を出力した時刻ｔ６以降、送信完了信号の入力を監視している（符号ｇ）。時刻ｔ１２において、送信完了信号が入力されると、偏向制御部２０８は、次のサブフィールド領域分の主偏向データ、副偏向データおよびＢＬＫデータの送信を上述したように逐次開始する。

ここで、ＢＬＫ中継部２１４からの送信完了信号の通信は、光通信路２０９とは別個に設けられた専用線２１６を用いているため、光通信路２０９を用いる場合に必要なパケット化やエラー訂正などの処理が不要である。従って、通信完了信号の通信に要する時間はｔ１１からｔ１２であり、従来のシーケンスでの通信遅延２（図６参照）に比べて送信完了信号の通信遅延２’を大幅に低減することができる。

以上説明したように、本実施の形態では、ＢＬＫ中継部２１４でのＢＬＫデータの格納状態と副偏向中継部２１２での副偏向データの格納状態とをＢＬＫ中継部２１４により監視し、副偏向中継部２１２のバッファ等及びＢＬＫ中継部２１４のバッファ等が空でないことが確認され、かつ、偏向制御部２０８からのショット出力信号がＢＬＫ中継部２１４に入力されたときに、ＢＬＫ中継部２１４から副偏向中継部２１２にクロック信号を出力するように構成した。従って、従来のシーケンスで必要であった格納完了信号および出力指示信号の光通信が不要となるため、偏向データを送信する際の通信遅延を低減できる。

また、本実施の形態では、通信完了信号を光通信路ではなく専用線２１６を介して送信するように構成したため、通信完了信号を光通信する場合に比べて通信遅延を低減することができる。

尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々変形して実施することができる。例えば、上記実施の形態では電子ビームを用いたが、本発明はこれに限られるものではなく、イオンビームなどの他の荷電粒子ビームを用いた場合にも適用可能である。

また、図４に示す例では、ＢＬＫ中継部２１４のバッファ及び副偏向中継部２１２のバッファが空でないと確認される前に、ＢＬＫ中継部２１４にショット出力信号が入力されているが、図５に示すように、これらのバッファが空でないと確認された後にショット出力信号が入力される場合にも本発明を適用することができる。即ち、サブフィールド領域の移動距離が長く、主偏向アンプのセトリング時間が長くなる場合にも本発明を適用することができる。

図５に示す例では、時刻ｔ１３に偏向制御部２０８から出力されたショット出力信号が、時刻ｔ１４においてＢＬＫ中継部２１４に入力されている。そして、ＢＬＫデータ及び副偏向データが格納されてＢＬＫ中継部２１４及び副偏向中継部２１２のバッファが空でないことを確認し、かつ、ショット出力信号の入力があったと判定した時刻ｔ１５において、ＢＬＫ中継部２１４から副偏向中継部２１２にクロック信号が出力される（符号ｆ参照）。この場合も、上述したように光通信に起因する通信遅延を低減することができる。

本発明の実施の形態による電子ビーム描画装置の構成を示す模式図である。 製品レチクル１４２の描画処理を説明するための図である。 偏向制御部及び中継部近傍の構成を示す模式図である。 本発明の実施の形態において、偏向データを送信する際のシーケンスを説明するためのタイミングチャートである（その１）。 本発明の実施の形態において、偏向データを送信する際のシーケンスを説明するためのタイミングチャートである（その２）。 偏向データを送信する際の従来のシーケンスを説明するためのタイミングチャートである。

符号の説明

１１６ ＢＬＫ偏向器
１２４ 主偏向器
１２６ 副偏向器
２０８ 偏向制御部
２０８Ａ 主偏向制御部
２０８Ｂ 副偏向・ＢＬＫ制御部
２０８Ｃ ショット出力信号出力部
２０９ 光通信路
２１０ 主偏向中継部
２１２ 副偏向中継部
２１４ ＢＬＫ中継部
２１４Ａ クロック信号出力部
２１４Ｂ 送信完了信号出力部
２２０ 主偏向アンプ
２２２ 副偏向アンプ
２２４ ＢＬＫアンプ

Claims (5)

1. 主偏向器、副偏向器及びブランキング偏向器により偏向される荷電粒子ビームを用いて試料にパターンを描画する荷電粒子ビーム描画装置において、
   ショットデータから主偏向器用の主偏向データ、副偏向器用の副偏向データ及びブランキング偏向器用のブランキングデータを生成し、生成した各データを光通信路を介して中継部に送信する偏向制御部と、
   前記偏向制御部から送信された前記主偏向データを一時的に格納すると共に主偏向アンプに送信する主偏向中継部と、
   前記偏向制御部から送信された前記副偏向データを一時的に格納すると共に、副偏向アンプに所定のタイミングで送信する副偏向中継部と、
   前記偏向制御部から送信された前記ブランキングデータを一時的に格納すると共に、ブランキングアンプに前記所定のタイミングで送信するブランキング中継部とを備え、
   前記偏向制御部は、前記主偏向アンプのセトリングが完了したときに、その完了を示すショット出力信号を前記ブランキング中継部に出力するショット出力信号出力手段を有し、
   前記ブランキング中継部は、前記副偏向データ及び前記ブランキングデータが格納され、かつ、前記ショット出力信号が入力された場合に、前記副偏向アンプに前記副偏向データを送信させるクロック信号を前記副偏向中継部に出力するクロック信号出力手段を有し、
   前記副偏向中継部は、前記クロック信号が入力されたとき、前記副偏向アンプへの前記副偏向データの転送を開始することを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。
2. 前記偏向制御部は、前記副偏向中継部への前記副偏向データの送信を開始した後に、前記ブランキング中継部への前記ブランキングデータの送信を開始するように構成されたことを特徴とする請求項１記載の荷電粒子ビーム描画装置。
3. 前記偏向制御部と前記ブランキング中継部との間に、前記ブランキングデータの送信を行う前記光通信路とは異なる専用線を設け、
   前記ブランキング中継部は、前記ブランキングアンプへのブランキングデータの送信が完了したときに、送信完了信号を前記専用線を介して前記偏向制御部に出力する送信完了信号出力手段を有することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の荷電粒子ビーム描画装置。
4. 主偏向器、副偏向器及びブランキング偏向器により偏向される荷電粒子ビームを用いて試料にパターンを描画する荷電粒子ビーム描画方法において、
   ショットデータから主偏向器用の主偏向データ、副偏向器用の副偏向データおよびブランキング偏向器用のブランキングデータを偏向制御部により生成し、
   生成した主偏向データを光通信路を介して主偏向アンプに送信し、
   生成した副偏向データを光通信路を介して副偏向中継部に送信すると共に、この副偏向中継部により副偏向データを一時的に格納し、
   生成したブランキングデータを光通信路を介してブランキング中継部に送信すると共に、このブランキング中継部によりブランキングデータを一時的に格納し、
   前記副偏向データ及び前記ブランキングデータが格納され、かつ、前記主偏向アンプのセトリングが完了したと前記偏向制御部が判定した場合、前記副偏向データの副偏向アンプへの送信と、前記ブランキングデータのブランキングアンプへの送信とを開始することを特徴とする荷電粒子ビーム描画方法。
5. 前記偏向制御部から前記副偏向中継部への前記副偏向データの送信を開始した後に、前記偏向制御部から前記ブランキング中継部への前記ブランキングデータの送信を開始することを特徴とする請求項４記載の荷電粒子ビーム描画方法。

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