JP2007188937A - 荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電子源1、電子源1からの電子ビームを集束する縮小レンズ2、縮小レンズ2が集束した電子ビームを被ビーム照射物5の表面に集束する対物レンズ3、縮小レンズ2の後段に配置され、被照射物5表面に照射される電子ビームの照射位置を決定する第1の偏向器6、及び、縮小レンズ2の前段に配置され、第1の偏向器6に起因する偏向収差を打ち消す第2の偏向器16´が備えられている。
【選択図】 図2
Description
2…縮小レンズ
3…対物レンズ
4…ステージ
5…被描画材料
6…第1の偏向器
7…ステージ移動駆動機構
8…制御装置
9…DA変換器
10…アンプ
12…DA変換器
13…ブランキング機構
14…ブランキング偏向器
15…ブランキングプレート
16,16´…第2の偏向器
17…DA変換器
18…アンプ
19…縮小レンズ2の像側主面
20…縮小レンズ2の物側主面
Claims (4)
- 荷電粒子ビーム源、該荷電粒子ビーム源からの荷電粒子ビームを集束する縮小レンズ、該縮小レンズが集束した荷電粒子ビームを被ビーム照射物の表面に集束する対物レンズ、前記縮小レンズの後段に配置され、前記被照射物表面に照射される荷電粒子ビームの照射位置を決定する第1の偏向器、及び、前記縮小レンズの前段に配置され、前記第1の偏向器による偏向収差若しくは前記被照射物表面におけるビームの斜め入射を打ち消す第2の偏向器を備えた荷電粒子ビーム装置。
- 前記第2の偏向器を、その偏向中心が前記縮小レンズの物側主面から荷電粒子ビーム源側に、前記縮小レンズの物側焦点距離と像側焦点距離の和より大きな距離だけ離れる様に配置した請求項1記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記第1の偏向器への偏向電圧に連動して前記第2の偏向器への偏向電圧が印加される様に成した請求項1記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記第1の偏向器と前記第2の偏向器とは別に第3の偏向器を配置し、2種類の偏向収差が同時に打ち消されるか、或いは、1種類の偏向収差と前記被照射物表面におけるビームの斜め入射が打ち消される様に、前記3つの偏向器各々への偏向電圧を連動して印加する様に成した請求項1記載の荷電粒子ビーム装置。
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