JP5237943B2 - 磁気検出装置及びその製造方法、ならびに前記磁気検出装置を用いた角度検出装置、位置検出装置及び磁気スイッチ - Google Patents
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Description
上記のように電気特性の異なる磁気抵抗効果素子は、別々のチップに搭載される。
前記第1チップと前記第2チップとの間の対向領域を除く前記第1チップ及び前記第2チップの外周領域の前記基板上に複数の導電パターンが形成され、前記第1チップ及び前記第2チップの前記接続パッドにはそれぞれ、前記第1チップと前記第2チップ間を電気的に接続するための複数の第1の接続パッドが設けられ、複数の前記第1の接続パッドと複数の前記導電パターン間がそれぞれワイヤボンディングされて、前記第1チップと前記第2チップとが電気的に接続されており、
前記外周領域に形成された複数の前記導電パターンは、前記第1チップ及び前記第2チップの各第1の接続パッドとワイヤボンディングされるそれぞれの位置がボンド領域とされており、
複数の前記導電パターンのうち、前記第2チップの外周を囲むようにして形成された第1導電パターンが設けられており、前記第1導電パターンの前記第1チップに対する前記ボンド領域と前記第1チップとの間、及び前記第1導電パターンの前記第2チップに対する前記ボンド領域と前記第2チップとの間が、ほかの前記導電パターンと各チップとの間でボンディングされたワイヤと交差することなく、ワイヤボンディングされていることを特徴とするものである。
一方のチップに設けられた第1磁気抵抗効果素子の固定磁性層の磁化方向と、他方のチップに設けられた第2磁気抵抗効果素子の固定磁性層の磁化方向は反平行であることが好ましい。これにより簡単な構成で、前記外部磁界の変化に対して出力値を高くでき、より高精度に外部磁界の変化を検知できる。
前記磁気検出装置と前記磁界発生部材の少なくともいずれか一方が前記基板の高さ方向を回転軸として回転可能に支持されており、
前記磁気検出装置にて検知された磁界変化に伴う出力変化に基づき、回転角度が検知されることを特徴とするものである。
前記磁気検出装置が前記磁界発生部材に対して、前記高さ方向と直交する方向への移動成分を有して相対的に移動可能に支持されており、
前記磁気検出装置にて検知された磁界変化に伴う出力変化に基づき、前記磁気検出装置の前記磁界発生部材に対する相対位置が検知されることを特徴とするものである。
前記磁気検出装置と前記磁界発生部材の少なくともいずれか一方が、前記磁気検出装置と前記磁界発生部材間の距離が変動可能なように支持されており、
前記磁気検出装置にて検知された磁界変化に伴う出力変化に基づき、オン信号あるいはオフ信号が生成されることを特徴とするものである。
そして図12工程では前記キャピラリ83を上昇させて前記ワイヤ60を切断する。
21 基板
22 第1チップ
23 第2チップ
24 第1磁気抵抗効果素子
25 第2磁気抵抗効果素子
27 反強磁性層
28 固定磁性層
29 非磁性材料層
30 フリー磁性層
31 保護層
32 第1直列回路
33 第2直列回路
34、35 出力取り出し部
36 入力端子
37 グランド端子
38 差動増幅器
41 内側接続パッド(第1の接続パッド)
42 外側接続パッド
50、51、52 導電パターン
60、61、62、63、64 ワイヤ
60a 第1接合部
60b 第2接合部
70 角度検出装置
71 磁界発生部材
80、81 チップ搭載領域
82 金ボール
83 キャピラリ
D 対向領域
E 外周領域
H 外部磁界
Claims (10)
- 磁界変化に対して電気特性が変化する磁気検出素子と接続パッドとを備えた第1チップ及び第2チップが、基板上に搭載され、前記電気特性の変化に基づき、前記磁界変化が検知される磁気検出装置であって、
前記第1チップと前記第2チップとの間の対向領域を除く前記第1チップ及び前記第2チップの外周領域の前記基板上に複数の導電パターンが形成され、前記第1チップ及び前記第2チップの前記接続パッドにはそれぞれ、前記第1チップと前記第2チップ間を電気的に接続するための複数の第1の接続パッドが設けられ、複数の前記第1の接続パッドと複数の前記導電パターン間がそれぞれワイヤボンディングされて、前記第1チップと前記第2チップとが電気的に接続されており、
前記外周領域に形成された複数の前記導電パターンは、前記第1チップ及び前記第2チップの各第1の接続パッドとワイヤボンディングされるそれぞれの位置がボンド領域とされており、
複数の前記導電パターンのうち、前記第2チップの外周を囲むようにして形成された第1導電パターンが設けられており、前記第1導電パターンの前記第1チップに対する前記ボンド領域と前記第1チップとの間、及び前記第1導電パターンの前記第2チップに対する前記ボンド領域と前記第2チップとの間が、ほかの前記導電パターンと各チップとの間でボンディングされたワイヤと交差することなく、ワイヤボンディングされていることを特徴とする磁気検出装置。 - 前記第1の接続パッドは、前記第1チップと前記第2チップとの間にて対向する内側に設けられている請求項1記載の磁気検出装置。
- 前記導電パターン上の前記ボンド領域は第2ボンド領域であり、
前記ワイヤボンディングによるワイヤは、前記第1の接続パッド上と前記導電パターン上とに夫々接合されており、前記第1の接続パッド上が最初に前記ワイヤを接合する第1ボンド領域で、前記導電パターン上が次に前記ワイヤを接合する前記第2ボンド領域である請求項1又は2に記載の磁気検出装置。 - 電気的に接続された前記第1チップ及び前記第2チップには、夫々、磁化方向が固定された固定磁性層と、磁化方向が外部磁界により変動するフリー磁性層とが、非磁性材料層を介して積層された磁気抵抗効果を利用して成る磁気抵抗効果素子が設けられ、
前記第1チップに設けられた前記磁気抵抗効果素子の固定磁性層の磁化方向と、前記第2チップに設けられた前記磁気抵抗効果素子の固定磁性層の磁化方向は反平行である請求項1ないし3のいずれかに記載の磁気検出装置。 - 前記第1チップ及び前記第2チップには、対向側に設けられた内側接続パッドとしての前記第1の接続パッドと、前記第1の接続パッドの反対側に設けられた外側接続パッドとが設けられ、
前記第1の接続パッドは、前記第1チップと前記第2チップ間の電気的接続用として用いられ、
前記外側接続パッドは、入力端子、グランド端子及び出力取り出し部のいずれかに接続される請求項1ないし4のいずれかに記載の磁気検出装置。 - 前記第1チップには2個の磁気検出素子が前記第1チップと前記第2チップとの並び方向と直交する方向に間隔を空けて並設され、各磁気抵抗効果素子の第2チップと対向する内側端部に前記第1の接続パッドが接続され、前記内側端部とは反対側の外側端部に前記外側接続パッドが設けられ、
一方の前記磁気検出素子から引き出されて、さらにもう一つ、前記第1の接続パッドが形成されており、他方の前記磁気検出素子から引き出されて、さらにもう一つ前記外側接続パッドが設けられており、
前記第2チップは前記第1チップを180度反転させたチップ構成である請求項5記載の磁気検出装置。 - 前記第1チップ及び前記第2チップには夫々、複数で且つ同数の前記第1の接続パッドが設けられ、前記第1チップ及び前記第2チップの並び方向にて対向する各チップの前記第1の接続パッド同士が前記導電パターンを介して電気的に接続されている請求項1ないし6のいずれかに記載の磁気検出装置。
- 請求項1ないし7のいずれかに記載された磁気検出装置と、前記基板の高さ方向にて対向し、外部磁界を発生する磁界発生部材とを有し、
前記磁気検出装置と前記磁界発生部材の少なくともいずれか一方が前記基板の高さ方向を回転軸として回転可能に支持されており、
前記磁気検出装置にて検知された磁界変化に伴う出力変化に基づき、回転角度が検知されることを特徴とする角度検出装置。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載された磁気検出装置と、前記基板の高さ方向にて対向し、外部磁界を発生する磁界発生部材とを有し、
前記磁気検出装置が前記磁界発生部材に対して、前記高さ方向と直交する方向への移動成分を有して相対的に移動可能に支持されており、
前記磁気検出装置にて検知された磁界変化に伴う出力変化に基づき、前記磁気検出装置の前記磁界発生部材に対する相対位置が検知されることを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載された磁気検出装置と、前記基板の高さ方向にて対向し、外部磁界を発生する磁界発生部材とを有し、
前記磁気検出装置と前記磁界発生部材の少なくともいずれか一方が、前記磁気検出装置と前記磁界発生部材間の距離が変動可能なように支持されており、
前記磁気検出装置にて検知された磁界変化に伴う出力変化に基づき、オン信号あるいはオフ信号が生成されることを特徴とする磁気スイッチ。
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