JP5235393B2 - 顕微干渉計クランプ部の傾き較正方法 - Google Patents
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Description
まず、前記被較正顕微干渉計の基準となる標準顕微干渉計において、該被較正顕微干渉計により測定すべきフェルールの基準となる基準フェルールを用いて、該標準顕微干渉計の測定光軸に対する該標準顕微干渉計のクランプ部の傾きを較正し、
次に、前記測定すべきフェルールと同一タイプの副基準フェルールを、傾き較正後の前記標準顕微干渉計のクランプ部に保持せしめ、該標準顕微干渉計により、該保持状態における該副基準フェルールの先端面の位相情報を担持した基準干渉縞画像を得、該基準干渉縞画像に基づき該副基準フェルールの先端面の頂点偏心量を測定し、該測定された値を該副基準フェルールの固有頂点偏心量の値として該副基準フェルールに付し、
次いで、前記固有頂点偏心量の値が付された前記副基準フェルールを、前記被較正顕微干渉計の前記クランプ部に保持せしめ、該被較正顕微干渉計により、該保持状態における該副基準フェルールの先端面の位相情報を担持した較正用干渉縞画像を得、該較正用干渉縞画像に基づき該副基準フェルールの先端面の擬似頂点と該先端面の中心点との位置のずれ量を測定し、該ずれ量と前記固有頂点偏心量との差に基づき、該被較正顕微干渉計の前記測定光軸に対する前記クランプ部の傾き較正を行うことを特徴とする。
前記ずれ量は、前記較正用干渉縞画像上において前記第1の2次元直交座標系と対応するように設定した第2の2次元直交座標系における2つの座標軸の各方向別のずれ量として把握し、
前記被較正顕微干渉計における前記傾き較正は、前記各方向別のずれ量と前記各方向別の頂点偏心量との差に基づき、前記第2の2次元直交座標系における前記2つの座標軸の各方向別に順次行うことが好ましい。
10A 被較正顕微干渉計
20,20A クランプ部
21,21A クランプ器具
22,22A 保持台
23,23A 2軸傾き調整ステージ
24,24A (クランプ部の)中心軸
30,30A 干渉計測部
31,31A 測定光軸
40 傾き較正用標準体
41 基準フェルール
42,52 保持部
43,53 回転規制部
44 (基準フェルールの)先端面
45 (基準フェルールの)中心軸
46,56 (回転規制部の)中心軸
50 傾き較正用治具
51 副基準フェルール
54 (副基準フェルールの)先端面
55 (副基準フェルールの)中心軸
57 頂点
58 中心点
59 擬似頂点
60 基準干渉縞画像
61 第1の2次元直交座標系
70 較正用干渉縞画像
71 第2の2次元直交座標系
LX1,LY1 各方向別の頂点偏心量
LX2,LY2 各方向別のずれ量
Claims (2)
- 光ファイバコネクタ用のフェルールを保持するクランプ部と、該クランプ部に保持された前記フェルールの先端面に測定光を照射し、該先端面からの戻り光と参照光との光干渉により、該先端面の位相情報を担持した干渉縞画像を得る干渉計測部と、を備えた較正対象としての被較正顕微干渉計において、測定光軸に対する前記クランプ部の傾きを較正するための顕微干渉計クランプ部の傾き較正方法であって、
まず、前記被較正顕微干渉計の基準となる標準顕微干渉計において、該被較正顕微干渉計により測定すべきフェルールの基準となる基準フェルールを用いて、該標準顕微干渉計の測定光軸に対する該標準顕微干渉計のクランプ部の傾きを較正し、
次に、前記測定すべきフェルールと同一タイプの副基準フェルールを、傾き較正後の前記標準顕微干渉計のクランプ部に保持せしめ、該標準顕微干渉計により、該保持状態における該副基準フェルールの先端面の位相情報を担持した基準干渉縞画像を得、該基準干渉縞画像に基づき該副基準フェルールの先端面の頂点偏心量を測定し、該測定された値を該副基準フェルールの固有頂点偏心量の値として該副基準フェルールに付し、
次いで、前記固有頂点偏心量の値が付された前記副基準フェルールを、前記被較正顕微干渉計の前記クランプ部に保持せしめ、該被較正顕微干渉計により、該保持状態における該副基準フェルールの先端面の位相情報を担持した較正用干渉縞画像を得、該較正用干渉縞画像に基づき該副基準フェルールの先端面の擬似頂点と該先端面の中心点との位置のずれ量を測定し、該ずれ量と前記固有頂点偏心量との差に基づき、該被較正顕微干渉計の前記測定光軸に対する前記クランプ部の傾き較正を行うことを特徴とする顕微干渉計クランプ部の傾き較正方法。 - 前記固有頂点偏心量は、前記基準干渉縞画像上に設定した第1の2次元直交座標系における2つの座標軸の各方向別の頂点偏心量として把握し、
前記ずれ量は、前記較正用干渉縞画像上において前記第1の2次元直交座標系と対応するように設定した第2の2次元直交座標系における2つの座標軸の各方向別のずれ量として把握し、
前記被較正顕微干渉計における前記傾き較正は、前記各方向別のずれ量と前記各方向別の頂点偏心量との差に基づき、前記第2の2次元直交座標系における前記2つの座標軸の各方向別に順次行うことを特徴とする請求項1記載の顕微干渉計クランプ部の傾き較正方法。
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