JP3590193B2 - 干渉計装置 - Google Patents
干渉計装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3590193B2 JP3590193B2 JP11398996A JP11398996A JP3590193B2 JP 3590193 B2 JP3590193 B2 JP 3590193B2 JP 11398996 A JP11398996 A JP 11398996A JP 11398996 A JP11398996 A JP 11398996A JP 3590193 B2 JP3590193 B2 JP 3590193B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- stage
- diffraction element
- interferometer
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回折素子を用いて被検面の面形状等を測定する干渉計装置に関する。
【0002】
従来から、レンズの面形状等を測定する為に干渉計装置が用いられている。この干渉計装置に回折素子を付加し、非球面レンズの非球面形状を測定できるようにした干渉計装置が特開昭63−223538号公報により開示されている。
【0003】
同公報に開示された干渉計装置は、図5に示すように、レーザ光源221a、レンズ221b、ピンホール221cで構成される光源ユニット221から発せられたレーザ光は、コリメータレンズ222により、平行平面波となって半透鏡223を透過し、参照面224aを有する参照レンズ224により球面波としている。
【0004】
この参照面224aは、その焦点を中心とし、バックフォーカスを半径とする球面の一部になるように形成された透過型原器面になっている。
【0005】
前記参照面224aから射出するレーザ光は、参照レンズ224の焦点位置に配置されたフィルタ225を通り、ホログラム226を経て、非球面である被測定面227に入射する。ホログラム226は、球面波が入射すれば、その回折成分の一部が被測定面227の位置で理想的非球面形状を持つ波面になるようなパターンが描かれたゾーンプレート型のホログラムてある。
【0006】
前記被測定面227に入射したレーザ光は、この被測定面227で反射し、再びホログラム226で回折してフィルタ225に至る。この時、被測定面227で反射した光のうち、測定波面だけフィルタ225を通過し、他の不要光は遮断される。
【0007】
前記フィルタ225を通過した測定波面は、参照レンズ224で再び平行平面波に変換され、半透鏡223で反射し、結像レンズ228に入射する。
【0008】
ところで、参照レンズ224の参照面224aは、この参照レンズ224の焦点を中心とし、バックフォーカスを半径とする球面の一部になっているので、参照レンズ224に入射する平行平面波は、この参照面224aに垂直に入射することになる。
【0009】
即ち、参照レンズ224に入射する平行平面波は、その一部が参照面224aで垂直に反射し、元の光路を逆行して再び平行平面波となり、参照波面になる。この参照波面は、半鏡鏡223で反射し結像レンズ228に入射する。
【0010】
結像レンズ228に入射する測定波面と参照波面は互いに干渉しあって干渉縞を生じ、この干渉縞が結像レンズ228によって撮像素子229の撮像面上に結像される。
【0011】
このようにして干渉縞を観察することによって、被測定面227の形状が測定できる。被検面が凸面のときは、図6に示すように、半透鏡223を透過してきた平行平面波は、ビームエキスパンダ230により光束が拡げられ、参照レンズ224により球面波に変換される。参照レンズ224はその最終面224aが透過型原器面となっている。
【0012】
上述した従来の干渉計装置では、図6に示すように、被検面が凸面の場合では、参照レンズ224と、ホログラム226と、被測定面227が非常に接近することもある。
【0013】
この状態で、ホログラム226を、参照レンズ224から射出されたレーザ光に対し位置合わせをする必要がある。しかし、従来の干渉計装置では、参照レンズ224とホログラム226が接近した状態での位置調整について何等考慮されていない。
【0014】
本発明は、このような従来の課題を解消し、参照レンズと回折素子が接近していても回折素子のアライメントが容易な干渉計装置を提供することを目的とするものである。
【0015】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、回折素子を用いて被検面の形状を測定する干渉計装置において、光を射出する干渉計本体と、前記干渉計本体から射出される光の光路中に配置される参照レンズと、前記回折素子を保持するホルダーを備えるとともに、前記参照レンズを透過した光に対して前記回折素子の位置を調整する位置調整機構とを具備し、前記ホルダーは円筒形状であって、前記参照レンズが内部に挿入可能な孔を有し、前記回折素子は、前記ホルダーの孔内の底部に配置されていることを特徴とするものである。
【0017】
以下に、本発明についてさらに詳述する。図1において、光を射出する干渉計本体1と、この干渉計本体1から射出する光の光路中に配置された参照レンズ2と、この参照レンズ2が内部に挿入可能な挿入領域を有し、前記参照レンズ2を透過した光3aに対して回折素子4の位置を調整する位置調整機構であるステージ6とを有して構成されている。
【0018】
干渉計本体1から射出した光の光路中に配置された参照レンズ2を透過した光3aに対して、回折素子4は、前記ステージ6により位置調整され、測定光3bが発生する。この測定光3bに被検面5aを有する被検レンズ5を配置すると、被検面5aでの測定光3bの一部が反射し、再び、回折素子4で回折され、参照レンズ2を透過し干渉計本体1に入射し、測定波面となる。
【0019】
ここで、ステージ6は、参照レンズ2を内部に挿入可能な挿入領域を有するため、参照レンズ2と、回折素子4とを接近させることができる。
【0020】
前記測定波面と、図示しない参照面で発生した参照波面が干渉しあい、干渉縞を生じる。この干渉縞を観察することにより、被検面5aの面精度を把握することができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
(構成)
図2、図3は、本発明の実施の形態を示すものであり、図2は干渉計装置の側面の断面図、図3は一部が断面の正面図を示すものである。
【0022】
図2、図3に示す干渉計装置は、レーザ光を上向きに射出するレーザ光源101と、このレーザ光源101からのレーザ光を発散光にする発散レンズ102と、レーザ光を直角に反射して水平方向にするミラー103と、ビームスプリッタ104と、レーザ光を再度反射して下向きにするミラー105と、発散光を平行光にするコリメータレンズ106と、ビームスプリッタ104からの反射光の集光点に置かれたフィルタ107と、フィルタ107を透過した反射光の光路中に置かれたレンズ108と、カメラ109とを具備した干渉計本体100を有している。
【0023】
前記干渉計本体100には、コリメータレンズ106から射出される平行光であるレーザ光が入射するように、参照面112aを有する参照レンズ112(ここでは、参照レンズ112自体を内蔵する枠も含めて参照レンズ112と称するものとする。)が取り付けられている。
【0024】
また、干渉計装置は、干渉計本体100をベース111に取り付ける平行な2本のシャフト110を備えるとともに、この2本のシャフト110に対して上下方向(Z方向)にのみ移動可能に嵌合され、かつ、任意の位置で固定可能な位置微調整機構である2個構成の第1(上側)、第2(下側)の移動ステージ113a、113bと、これら第1、第2の移動ステージ113a、113bに各々取り付けた回折素子125の位置微調整ステージ128、被検レンズ127の位置微調整ステージ129と、位置微調整ステージ128、位置微調整ステージ129に各々取り付けた回折素子125を保持するホルダー124、被検レンズ127を保持するレンズホルダー126とを具備している。
【0025】
次に、図4を参照して、前記微調整ステージ128、129について詳述すると、前記2本の平行なシャフト110、110には、上側位置に第1の移動ステージ113aの基部を貫通させ、また、下側位置に第2の移動ステージ113bの基部を貫通させて取り付けている。
【0026】
第1の移動ステージ113a及び第2の移動ステージ113b上に、各々位置される位置微調整ステージ128、129は、同一構成であるため、第1の移動ステージ113a側の位置微調整ステージ128についてその構成を以下に詳述する。
【0027】
前記第1の移動ステージ113aの基部における一方のシャフト110側には、すり割り溝113cが形成され(他方のシャフト110側には、すり割り溝が形成されていない。)、すり割り溝113c間を締結するようにネジ摘み113dがねじ込まれている。
【0028】
このネジ摘み113dを回転し締め付けることで、すり割り溝113cの溝間隔が狭くなり、前記第1の移動ステージ113aをシャフト110に対して固定することができ、また、前記ネジ摘み113dを逆回転し緩めることで、すり割り溝113cの溝間隔を拡げ、前記第1の移動ステージ113aをシャフト110に対し上下方向に移動可能としている。
【0029】
そして、他方のシャフト110には、常に、第1の移動ステージ113aの別の孔が精密に嵌合しており、これにより、第1の移動ステージ113aを傾斜することなく、シャフト110に対し上下方向に移動可能としている。
【0030】
また、第1の移動ステージ113aの基部には、この基部の垂直壁部に配置されたクロスローラガイドを介して、Z軸微調整ステージ114が取り付つけられている。このZ軸微調整ステージ114に取り付けられたマイクロメータへッド115を回転操作することにより、第1の移動ステージ113aの側壁に設けた突起113eに対して、Z軸微調整ステージ114をZ方向(上下方向)に微調整できる。
【0031】
Z軸微調整ステージ114の前面には、X軸微調整ステージ116が水平方向に取り付けられている。このX軸微調整ステージ116は、四角形の枠形状をしており、その内部にX方向に配置されたクロスローラガイドを介してY軸微調整ステージ117がX軸微調整ステージ116と同様に水平方向に取り付けられている。Y軸微調整ステージ117は、四角形の枠形状をしており、その内部にY方向に配置されたクロスローラガイドを介して、孔118aを有する微動ステージ118が取り付けられている。
【0032】
X軸微調整ステージ116、Y軸微調整ステージ117には、各々Y軸微調整ステージ117、微動ステージ118を各方向に微調整で移動可能とするマイクロメータヘッド120、121を当接させ、マイクロメータヘッド120を回転操作することで、Y軸微調整ステージ117をX方向に微調整し、マイクロメータヘッド121を回転操作することで、微動ステージ118をY方向に微調整するようになっている。
【0033】
さらに、微動ステージ118上には、前記回折素子125の傾き調整を可能とするための傾きステージ119を一対の対角に配置された傾き調整ネジ122、123を介して当接する状態で配置している。
【0034】
この傾き調整ネジ122、123は、傾きステージ119に設けたネジと螺合させて、傾き調整ネジ122、123を回転操作することで、微動ステージ118に対して、傾きステージ119をX方向、Y方向及びこれらの組み合わせ方向に傾き調整することを可能としている。
【0035】
尚、傾きステージ119を、微動ステージ118に対して傾斜可能になるように支持する部材については図示していない。
【0036】
前記傾きステージ119の中央部には、上部にフランジ部を備えた円筒状の回折素子ホルダー124が取り付けられている。即ち、図2、3に示すように、前記微動ステージ118の孔118aを貫通して、前記回折素子ホルダー124の円筒部が装着されている。
【0037】
前記回折素子ホルダー124の孔124a内には、ゾーンプレートである回折素子125を取り付けている。また、この孔124aの径は、前記参照レンズ112の外径より大きく、これにより、孔124aの内部に前記参照レンズ112が挿入可能となっている。
【0038】
一方、回折素子125の下方には、図2、図3、図4に示すように、被検レンズ127がレンズホルダー126に取り付けられた状態で配置されている。
【0039】
このレンズホルダー126は、前記第2の移動ステージ113bに取り付けられた前記微調整ステージ128と同一構成の微調整ステージ129を構成する傾きステージ119上に配置されている。
【0040】
尚、第2移動ステージ113bに取り付けられた微調整ステージ129と、第1移動ステージ113aに取り付けられた微調整ステージ128との相違は、傾きステージ119上にレンズホルダー126を装着するか、回折素子ホルダー124を装着するかの点のみである。
【0041】
また、図示していないが、カメラ109による干渉縞像を観察するモニターを設けている。
【0042】
(作用)
次に、上述した構成の干渉計装置の作用を説明する。前記レーザ光源101から射出されたレーザ光は、発散レンズ102により発散光となり、ミラー103で直角方向に折り曲げられ、ビームスプリッタ104を通過し、さらに、ミラー105で折り曲げられてコリメータレンズ106によリ平行光に変換される。
【0043】
この平行光が参照レンズ112を通過し、干渉計本体100から下方に向けて射出される。このとき、レーザ光は参照レンズ112の参照面112aを垂直に透過し、また、その一部が反射して参照光となる。この参照光は、通過してきた光路を逆行し、前記コリメータレンズ106を透過して収束光となり、ミラー105で折り曲げられ、さらにビームスプリッタ104で反射し、フィルタ107、レンズ108を透過してカメラ109に入射する。ここで、フィルタ107を透過することにより、ノイズ光がカットされる。
【0044】
一方、参照レンズ112の参照面112aを透過したレーザ光は、回折素子125によリ回折され、被検レンズ127の被検面127aに入射する。ここで、回折素子125と被検レンズ127は、各々第1の移動ステージ113a、第2の移動ステージ113bを光軸方向(Z方向)に移動し、略所定の位置に配置することができる。
【0045】
さらに、微調整ステージ128、129の各々の3個のマイクロメータヘッド115、120、121及び2個の傾き調整ネジ122、123を操作し、回折素子125及び被検面127aの位置を所定の位置にアライメントする。
【0046】
所定の位置にアライメントされた回折素子125で回折され、被検面127aで反射した測定光は、再び回折素子125で回折され、参照レンズ112の参照面112aを透過し、干渉計本体100に入射する。
【0047】
前記測定光は、参照レンズ112を透過し、略平行光となり、コリメータレンズ106により収束光となり、ミラー105で折り曲げられ、さらに、ビームスプリッタ104で反射し、フィルタ107、レンズ108を透過し、カメラ109に入射する。ここで、フィルタ107を透過することにより、ノイズ光がカットされる。
【0048】
既述した参照面112aで反射した参照光と、被検面127aで反射した測定光とが、カメラ109の撮像面上で干渉しあい干渉縞を発生する。
【0049】
この干渉縞が図示しない画像モニターに映し出され、この干渉縞を解析することにより、被検面127aの面形状が分かる。
【0050】
前記回折素子125と被検レンズ127の各々の微調整ステージ128及び129が共通であることから、部品点数の削減が可能であり、干渉計装置が安価となる。
【0051】
また、干渉計本体100を2本のシャフト110で支持し、このシャフト110に回折素子125の微調整ステージ128と被検レンズ127の微調整ステージ129とが各々配置されるので、干渉計装置全体の占有面積が大きくならず、干渉計装置の小型化を図れる。さらに、回折素子125と被検レンズ127とを接近させた状態で、被検レンズ127のアライメントを容易に行うことが可能となる。
【0052】
【発明の効果】
請求項1記載の発明によれば、回折素子の位置を調整する位置調整機構に参照レンズが挿入可能な孔を有する円筒形状のホルダーを備え、回折素子をホルダーの孔内の底部に配置しているので、回折素子を参照レンズに非常に接近させた状態で回折素子のアライメントを実行することが可能となり、一つの干渉計装置で種々の被検レンズの面形状等の測定が可能な干渉計装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の干渉計装置の概念を説明するための概略構成図である。
【図2】本発明の干渉計装置の実施の形態を示す側面から見た部分断面図である。
【図3】本発明の干渉計装置の実施の形態の一部を断面にして示す正面図である。
【図4】本実施の形態における上下配置の微調整ステージを示す拡大斜視図である。
【図5】従来の干渉計装置の光学系を示す概略図である。
【図6】従来の干渉計装置の参照レンズ、ホログラム及び測定面を示す図である。
【符号の説明】
1 干渉計本体
2 参照レンズ
4 回折素子
5 被検レンズ
6 ステージ
100 干渉計本体
101 レーザ光源
102 発散レンズ
103 ミラー
104 ビームスプリッター
105 ミラー
106 コリメータレンズ
110 シャフト
112 参照レンズ
113a 第1の移動ステージ
125 回折素子
128 位置微調整ステージ
Claims (1)
- 回折素子を用いて被検面の形状を測定する干渉計装置において、光を射出する干渉計本体と、
前記干渉計本体から射出される光の光路中に配置される参照レンズと、
前記回折素子を保持するホルダーを備えるとともに、前記参照レンズを透過した光に対して前記回折素子の位置を調整する位置調整機構とを具備し、
前記ホルダーは円筒形状であって、前記参照レンズが内部に挿入可能な孔を有し、
前記回折素子は、前記ホルダーの孔内の底部に配置されていることを特徴とする干渉計装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11398996A JP3590193B2 (ja) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | 干渉計装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11398996A JP3590193B2 (ja) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | 干渉計装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09297089A JPH09297089A (ja) | 1997-11-18 |
JP3590193B2 true JP3590193B2 (ja) | 2004-11-17 |
Family
ID=14626280
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11398996A Expired - Fee Related JP3590193B2 (ja) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | 干渉計装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3590193B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5235393B2 (ja) * | 2007-12-05 | 2013-07-10 | 富士フイルム株式会社 | 顕微干渉計クランプ部の傾き較正方法 |
JP5197397B2 (ja) * | 2009-01-14 | 2013-05-15 | オリンパス株式会社 | 参照レンズユニットの取付構造および方法 |
-
1996
- 1996-05-08 JP JP11398996A patent/JP3590193B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09297089A (ja) | 1997-11-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100282098B1 (ko) | 결상장치 | |
KR100474100B1 (ko) | 공초점 현미경 및 이것을 이용한 높이 측정방법 | |
US4758089A (en) | Holographic interferometer | |
JP4286002B2 (ja) | 干渉計におけるコヒーレントアーティファクトの低減 | |
US4932781A (en) | Gap measuring apparatus using interference fringes of reflected light | |
US6515750B1 (en) | Interferometric system for and method of testing and characterizing micro-optic components | |
US5995222A (en) | Subject positioning device for optical interferometer | |
JPH0812127B2 (ja) | 曲率半径測定装置及び方法 | |
JP3590193B2 (ja) | 干渉計装置 | |
US5546186A (en) | Apparatus for holographic interferometry suitable for inspection of cylindrical optical surfaces | |
JP2008292236A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP4814499B2 (ja) | レンズ組立支援装置 | |
JP2983673B2 (ja) | 曲率半径測定方法および装置 | |
JPH10111217A (ja) | 非球面鏡用の光軸調整装置 | |
JPH09203686A (ja) | 回折素子を用いた干渉計装置 | |
JP4138506B2 (ja) | 表面性状測定器及び表面性状測定器用治具並びに調整方法 | |
JP3916991B2 (ja) | 圧子形状測定器 | |
JP3079900B2 (ja) | シリンドリカル光学素子測定用ホログラム干渉計装置 | |
JP4245967B2 (ja) | レンズ軸上軸外点像観察装置および方法 | |
JP3282296B2 (ja) | シリンドリカル光学素子測定用ホログラム干渉計装置 | |
JP3174318B2 (ja) | レンズ偏心測定器 | |
JP3214063B2 (ja) | ホログラム干渉計装置 | |
JP3410800B2 (ja) | 耐振動型干渉計 | |
JP2005043081A (ja) | フリンジスキャン機能を備えた干渉計装置 | |
JPS6244601A (ja) | 移動載置台装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040511 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040707 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040803 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040819 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080827 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090827 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |