JP5233705B2 - ノズルプレートの検査装置およびノズルプレートの検査方法 - Google Patents
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Description
この検査装置は、セットされたサプライプレートをX、YおよびZ軸方向に移動する走査駆動部と、サプライプレートに形成された連通口をサプライプレートの上方から画像認識するカメラ(画像認識手段)と、サプライプレートの下方から連通口内部を照明する透過照明部(透過照明)と、を備えている。
この検査装置では、透過照明部を駆動した状態で、カメラにより、検査対象となる連通口を画像認識し、カエリのない連通口の画像と比較することで、連通口に形成されたカエリの有無を、サプライプレートに形成された全連通口について順次検査する。
Claims (3)
- インクジェットヘッドに組み込まれ、複数のノズル孔を有するノズルプレートを、そのノズル列方向に連続的に検査するノズルプレートの検査装置であって、
前記ノズルプレートがセットされるセットステージと、
前記セットステージを介して、前記ノズルプレートを前記ノズル列方向に移動させる移動テーブルと、
吐出側となる前記各ノズル孔の表面側周囲、および前記各ノズル孔の内部を画像認識する単一の画像認識手段と、
前記画像認識手段を昇降させて、前記画像認識手段のフォーカシング距離を調整する昇降手段と、
前記各ノズル孔の表面側周囲の画像認識に際し、表面側から前記各ノズル孔の表面側周囲を照明する反射照明と、
前記各ノズル孔の内部の画像認識に際し、裏面側から前記各ノズル孔の内部を照明する透過照明と、
前記ノズルプレートの高さ位置を計測するレーザー変位計と、
前記移動テーブル、前記画像認識手段、前記昇降手段、前記反射照明、前記透過照明および前記レーザー変位計を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記ノズルプレートを前記ノズル列方向に前記ノズル孔単位で間欠的に移動させながら、
前記各ノズル孔近傍の前記ノズルプレートの高さ位置を計測する計測動作と、
この計測結果に基づいて、前記ノズル孔単位で前記フォーカシング距離を調整するフォーカシング調整動作と、
前記フォーカシング調整動作の後、前記各ノズル孔の表面側周囲を画像認識させ、前記各ノズル孔の表面側周囲における不良を検査する表面検査と、
前記フォーカシング調整動作の後、前記各ノズル孔の内部を画像認識させ、前記各ノズル孔における異物の有無を検査する孔内検査と、
から成る繰返し動作を、連続して実施し、
前記レーザー変位計は、前記ノズル列方向に直交する方向に延在するラインタイプのもので構成され、且つ、裏面側から前記ノズルプレートの裏面の高さ位置を計測すると共に、前記各ノズル孔の裏面側周囲の凹凸を計測するものであり、
前記制御手段による前記繰返し動作には、
前記各ノズル孔の裏面側周囲の凹凸を計測させ、前記各ノズル孔の裏面側周囲における不良を検査する裏面検査が、含まれることを特徴とするノズルプレートの検査装置。 - 前記制御手段は、前記各表面検査と前記各孔内検査とを、前記画像認識手段の視野内に前記ノズル孔と共に前記表面側周囲を取り込んだ状態で、前記反射照明と前記透過照明とを切り替えて、実施することを特徴とする請求項1に記載のノズルプレートの検査装置。
- インクジェットヘッドに組み込まれ、複数のノズル孔を有するノズルプレートを、単一の画像認識手段を用いてノズル列方向に連続的に検査するノズルプレートの検査方法であって、
前記ノズルプレートを前記ノズル列方向に前記ノズル孔単位で間欠的に移動させながら、
前記画像認識手段と吐出側となる前記各ノズル孔近傍の前記ノズルプレートとの距離を、レーザー変位計を用いて前記ノズル孔単位で計測する計測工程と、
この計測結果に基づいて、前記各ノズル孔の表面側周囲に対する前記画像認識手段のフォーカシング距離を調整するフォーカシング調整工程と、
前記フォーカシング調整工程の後、前記各ノズル孔の表面側周囲を画像認識し、前記各ノズル孔の表面側周囲における不良を検査する表面検査工程と、
前記フォーカシング調整工程の後、前記各ノズル孔の内部を画像認識し、前記各ノズル孔における異物の有無を検査する孔内検査工程と、
から成る繰返し工程を、連続して実施し、
前記レーザー変位計は、前記ノズル列方向に直交する方向に延在するラインタイプのもので構成され、
前記繰返し工程には、
前記レーザー変位計を用いて前記各ノズル孔の裏面側周囲の凹凸を計測し、前記各ノズル孔の裏面側周囲における不良を検査する裏面検査工程が、含まれることを特徴とするノズルプレートの検査方法。
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