JP5231922B2

JP5231922B2 - Ｘ線検査装置

Info

Publication number: JP5231922B2
Application number: JP2008253974A
Authority: JP
Inventors: 裕幸西尾
Original assignee: アンリツ産機システム株式会社
Priority date: 2008-09-30
Filing date: 2008-09-30
Publication date: 2013-07-10
Anticipated expiration: 2028-09-30
Also published as: JP2010085224A

Description

本発明は、Ｘ線検査装置に関し、特に、Ｘ線の漏えい防止用の遮蔽手段を備えたＸ線検査装置に関するものである。

一般に、搬送される被検査物にＸ線を照射して、物品への異物の混入等を検査するＸ線検査装置にあっては、Ｘ線を被検査物に照射する検査空間の外部にＸ線が漏えいすることを防止するための遮蔽部材を有している。遮蔽部材は、鉛入りのゴムシートをのれん状に加工したもの等から構成されており、使用にともなって損傷、破断等が生じるとＸ線が漏えいしてしまうため、常に正常な状態であることが求められる。

従来、この種のＸ線検査装置としては、遮蔽部材を開口部の天井部から垂下させてＸ線の漏えいを防止し、遮蔽部材が開口部の天井部に正しく装着されていないことを検知した場合にＸ線を照射できないようにするインターロック機能を有したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、この種のＸ線検査装置としては、遮蔽部材の内部に導電部材を巡らせ、導電部材の両端の電気抵抗の変化を検出することにより、遮蔽部材の損傷を検知するようにしたものが知られている（例えば、特許文献２参照）。

また、この種のＸ線検査装置としては、検査空間の２つの開口部の外部にそれぞれ設けたＸ線漏えい量センサを用いて漏えいしたＸ線の積算量を演算し、積算量が所定値を超えたときに警告表示を行うようにしたものが知られている（例えば、特許文献３参照）。
特許第３８３８０７８号公報特許第３９１７０３８号公報特開２００２−１４８２１１号公報

しかしながら、特許文献１、２に記載された技術では、遮蔽手段が捩れて隙間が生じるような異常状態の場合であっても、遮蔽手段の天井部への装着状態は正常であり、導電部材の電気抵抗も正常であるため、この異常状態を検知することができないという問題があった。

また、特許文献３に記載された技術では、高価なＸ線漏えい量センサを検査空間の２つの開口部の外部にそれぞれ設ける必要があるためＸ線検査装置が非常に高価なものとなってしまい、また、Ｘ線漏えい量センサは校正（動作確認）が必要な複雑なものであるため、普及の妨げになっていたという問題があった。

そこで、本発明は、前述のような従来の問題を解決するためになされたもので、遮蔽手段の異常状態を安価な構成で且つ確実に検知することができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。

本発明に係るＸ線検査装置は、検査空間（２２）内の被検査物（Ｗ）にＸ線を照射するＸ線発生器（９）と、前記被検査物を透過するＸ線を検出して透過量に応じた濃度データを出力するＸ線検出器（１０）と、前記Ｘ線発生器が照射するＸ線が前記検査空間の外部に漏えいすることを防止する遮蔽手段（１６）と、を備え、前記Ｘ線検出器から出力される濃度データに基づいて前記被検査物の検査を行うＸ線検査装置（１）において、前記遮蔽手段を通して前記検査空間内に侵入した光の照度を測定する照度測定手段（１３）と、前記照度測定手段が、予め定めた値以上の照度を予め定めた時間以上連続して測定したとき、前記遮蔽手段が異常状態であると判定する判定手段（１７）とを備えたことを特徴とする。

この構成により、判定手段は、Ｘ線検出器等と比較して安価な照度測定手段により、予め定めた値以上の照度を予め定めた時間以上連続して測定すると、遮蔽手段が捩れ等が生じた異常状態であると判定することができるので、遮蔽手段の異常状態を安価な構成で且つ確実に検知することができる。

また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記Ｘ線発生器がＸ線を照射していることを光により報知する警告ランプ（１４）を、前記検査空間の外部であって、前記遮蔽手段に隙間が生じたときに前記検査空間内に前記警告ランプの光が到達し得る位置に備えたことを特徴とする。

この構成により、判定手段が、照度測定手段が測定する警告ランプの光の照度に基づいて、遮蔽手段が捩れ等が生じた異常状態であるか否かを判定することができるので、Ｘ線検査装置が暗い場所に設置されているような状況であっても、遮蔽手段の異常状態を検知することができる。

また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記照度測定手段が、前記検査空間内の外縁部の底部に複数配置されたことを特徴とする。

この構成により、遮蔽手段が異なる方向に複数個設けられている場合であっても、検査空間内に進入した光の照度を複数の照度測定手段により測定できるので、複数の遮蔽手段に対して等しく異常状態を検知することができる。

また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記照度測定手段が、前記検査空間内の中央部の底部に１つ配置されたことを特徴とする。

この構成により、遮蔽手段が異なる方向に複数個設けられている場合であっても、検査空間内に進入した光の照度を中央の１つの照度測定手段により測定できるので、複数の遮蔽手段に対して等しく異常状態を検知することができるとともに、より安価な構成とすることができる。

また、本発明に係るＸ線検査装置は、前記遮蔽手段が、金属を含有する樹脂からなることを特徴とする。

この構成により、例えば、のれん状に加工されたゴムシートの弾性変形により被検査物Ｗの検査空間内外への出し入れが可能になるとともに、劣化等により定期的に交換が必要なゴムにより遮蔽手段を構成しても異常状態を検知することができるので、Ｘ線の漏えいを確実に防止することができる。

本発明は、遮蔽手段の異常状態を安価な構成で且つ確実に検知することができるＸ線検査装置を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。

まず構成について説明する。

図１は、本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の概略構成を示す斜視図である。図２は、本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の側面および内部構成を示す図である。図３（ａ）は、本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の遮蔽手段を示す斜視図であり、図３（ｂ）は、遮蔽手段がワカメ状に波打った状態を示す図である。なお、本実施の形態のＸ線検査装置は、食品や薬剤等の製造ラインまたは検査ラインの一部に設けられ、所定間隔をおいて順次搬送されてくる被検査物Ｗの品質（異物混入等）の検査を行うものである。

図１に示すように、Ｘ線検査装置１は、搬送部２と検出部３とを筐体４の内部に備え、表示器５を筐体４の前面上部に備えている。

搬送部２は、被検査物Ｗを所定間隔をおいて順次搬送するものである。この搬送部２は、例えば筐体４に対して水平に配置されたベルトコンベアにより構成されている。搬送部２は、図１に示す駆動モータ６の駆動により予め設定された搬送速度で搬入口７から搬入された被検査物Ｗを搬出口８側（図中搬送方向Ｘ）に向けて搬送面としてのベルト面２ａ上を搬送させるようになっている。筐体４内部においてベルト面２ａ上を搬入口７から搬出口８まで貫通する空間は搬送路２１を形成している。

検出部３は、順次搬送される被検査物Ｗに対し、搬送路２１途中の検査空間２２においてＸ線を照射するとともに被検査物Ｗを透過するＸ線を検出するものであり、搬送路２１途中の検査空間２２の上方に所定高さ離隔して配置されたＸ線発生器９と、搬送部２内にＸ線発生器９と対向して配置されたＸ線検出器１０を備えている。ここで、検査空間２２とは、搬送路２１における後述する遮蔽カーテン１６により囲まれた内側の空間のことである。

Ｘ線発生源としてのＸ線発生器９は、金属製の箱体１１内部に設けられた円筒状のＸ線管１２を図示しない絶縁油に浸漬した構成を有しており、Ｘ線管１２の陰極からの電子ビームを陽極ターゲットに照射させてＸ線を生成している。Ｘ線管１２は、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向Ｘと直交する方向（Ｙ方向）に設けられている。Ｘ線管１２により生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器１０に向けて、長手方向に沿った図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状となって照射されるようになっている。

Ｘ線検出器１０は、搬送される被検査物Ｗの搬送方向Ｘの平面上で搬送方向Ｘと直交するＹ方向に複数の素子が一直線上に配置されたものであり、ライン状に整列して配設された複数のフォトダイオードと、ライン状のフォトダイオード上に設けられたシンチレータとからなる複数の素子により構成される。Ｘ線検出器１０は、被検査物Ｗの搬送方向Ｘの平面上で直交する方向Ｙに直線状に配置された複数の素子によって被検査物Ｗを透過するＸ線を検出して、この検出結果による濃度データを素子毎に複数の素子数を１ラインとして全素子数まで順次出力するようになっており、被検査物Ｗの搬送に伴って１ラインからの順次出力を繰り返すようになっている。

図２に示すように、搬送路２１内の天井部２１ａには、搬送方向に沿って複数個所にＸ線遮蔽用の遮蔽カーテン１６が吊り下げ配置されている。

遮蔽カーテン１６は、図３（ａ）に示すように、Ｘ線を遮蔽する鉛粉を混入したゴムシートをのれん状（上部が繋がっており下部が帯状に分割された状態）に加工したものから構成されており、検査空間２２から搬送路２１を介してＸ線が筐体４外部に漏えいすることを防止するものである。

遮蔽カーテン１６は、本実施の形態では、搬入口７と検査空間２２との間、および検査空間２２と搬出口８との間にそれぞれ２枚ずつ設けられている。

このため、被検査物Ｗが搬入口７から検査空間２２に搬送されるときに、搬入口７と検査空間２２との間の２つの遮蔽カーテン１６のうち一方が被検査物Ｗと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、２つの遮蔽カーテン１６のうち他方がＸ線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくＸ線の漏えいを防止できるようになっている。同様に、被検査物Ｗが検査空間２２から搬出口８に搬送されるときに、検査空間２２と搬出口８の間の２つの遮蔽カーテン１６のうち一方が被検査物Ｗと接触して弾性変形して隙間が生じた場合でも、２つの遮蔽カーテン１６のうち他方がＸ線を遮蔽するので漏えい基準量を超えることなくＸ線の漏えいを防止できるようになっている。

また、検査空間２２内部には、検査空間２２内の照度を測定する照度センサ１３が設けられている。

照度センサ１３は、検査空間２２の外部から内部に入射する外光に応じた信号を出力するものであり、図２において、被検査物Ｗの搬送を妨げないよう、検査空間２２内の搬出口８側の外縁部（遮蔽カーテン１６の近傍）の底部であって幅方向一端部（図２の手前側端部または奥側端部）に設けられている。照度センサ１３を底部に配置するのは、遮蔽カーテン１６の下部に捩れ等の異常が生じやすいので、異常を検知しやすくするためである。なお、遮蔽カーテン１６の異常状態とは、図３（ａ）に示す正常な状態以外の状態を意味し、単純な捩れが生じた状態やワカメのように複雑に波打った状態（図３（ｂ））、部分的に欠けた状態（不図示）等を含むものであり、遮蔽機能が損なわれた状態のことである。

照度センサ１３の測定値は判定部１７に入力されるようになっており、判定部１７は、照度センサ１３が、予め定めた値以上の照度を予め定めた時間以上連続して測定したとき、遮蔽カーテン１６が定常的に隙間が生じた異常状態であり、Ｘ線が筐体４外部に漏えいする恐れがあると判定し、Ｘ線発生器９からのＸ線の照射を停止するようになっている。

判定部１７がＸ線の照射を停止するか否かの判定に用いる閾値としての照度の値および連続時間は、設定部１８から入力および変更ができるようになっている。したがって、Ｘ線検査装置１の周辺の照明の明るさ等に応じて、適切な照度の閾値を設定することができ、照度センサ１３の感度特性を視覚に相当する波長帯域（可視光帯域）に選択することができる。

また、判定部１７は、Ｘ線の漏えいの恐れがあると判定したとき、報知部１９を介して警告表示または警告音声により視覚的または聴覚的に、Ｘ線の漏えいの恐れがある旨を報知するようになっている。なお、報知部１９は、例えば、警告ライトや警告ブザー等から構成することができる。

また、搬入口７と搬出口８の上部には、それぞれ警告ランプとしての照射中ランプ１４が設けられている。

照射中ランプ１４は、Ｘ線の照射中に発光することによりＸ線の照射中である旨を作業者が認識できるように設けられており、従来のＸ線検査装置も一般的に備えているものである。本実施の形態では、照射中ランプ１４を搬入口７と搬出口８の上部に配置することにより、発光した光がＸ線検査装置１の作業者から視認できるとともに検査空間２２内に到達し得るようになっている。

このため、Ｘ線検査装置１が暗い場所に設置されているような状況であっても、判定部１７が、照度センサ１３が測定する照射中ランプ１４の光の照度に基づいて、遮蔽カーテン１６が捩れ等が生じた異常状態であるか否かを判定し、遮蔽カーテン１６の異常状態を検知することができる。判定部１７がＸ線の照射を停止するか否かの判定に用いる閾値としての照度の値は、Ｘ線検査装置１の設置場所の照明と照射中ランプ１４の双方の明るさや、そのバランスを考慮したものとすることが好ましく、照度センサ１３の感度特性を照射中ランプ１４の発光波長特性（例えば赤色光）に合わせるとよい。

また、照度センサ１３の配置箇所および配置数は、前述した以外の形態とすることもできる。

図４（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の照度センサの配置例を示す断面図である。

図４（ａ）に示すように、照度センサ１３を、検査空間２２内の搬入口７側の外縁部と搬出口８側の外縁部の２か所に配置してもよい。この場合、搬入口７側の２つの遮蔽カーテン１６の異常状態により検査空間２２から搬入口７側にＸ線が漏えいする場合と、搬出口８側の２つの遮蔽カーテン１６の異常状態により検査空間２２から搬出口８側にＸ線が漏えいする場合とを偏りなく等しく検知することができる。

また、図４（ｂ）に示すように、照度センサ１３を、検査空間２２内の中央部に１つ配置してもよい。この場合でも、搬入口７側の２つの遮蔽カーテン１６の異常状態により検査空間２２から搬入口７側にＸ線が漏えいする場合と、搬出口８側の２つの遮蔽カーテン１６の異常状態により検査空間２２から搬出口８側にＸ線が漏えいする場合とを等しい条件で検知することができるとともに、Ｘ線漏えいの恐れがあることを１つの照度センサ１３により検知することができるので、より安価な構成とすることができる。

なお、図４（ａ）または図４（ｂ）のいずれの場合でも、照度センサ１３は、遮蔽カーテン１６の異常状態が検知しやすく、且つ、被検査物Ｗの搬送を妨げないよう、検査空間２２内の外縁部の底部であって幅方向一端部（図４（ａ）および図４（ｂ）の手前側端部または奥側端部）に設けられている。

図５（ａ）は、本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の遮光カーテン正常時の照度センサの出力を示すグラフであり、図５（ｂ）、（ｃ）は、遮光カーテン異常時の照度センサの出力を示すグラフである。

図５（ａ）に示すように、遮蔽カーテン１６が正常状態のときは、時刻Ｔ１〜Ｔ４において被検査物Ｗが４つの遮蔽カーテン１６を通過する毎に照度センサ１３が出力する照度が変動するが、予め定めた照度の閾値Ｌ以上になることはなく、また、被検査物Ｗが遮蔽カーテン１６を通過していないときには、照度センサ１３が出力する照度が最低照度Ｓｍｉｎ．となる。ここで、最低照度Ｓｍｉｎ．は、極めて僅かに遮蔽カーテン１６から侵入する外光や照度センサ１３のノイズにより生じるものである。

図５（ｂ）示すように、遮蔽カーテン１６が捩れ等により定常的な隙間が空いた異常状態のときには、被検査物Ｗが遮蔽カーテン１６を通過しているか否かに関わらず、判定部１７は、照度センサ１３により予め定めた値以上の照度を予め定めた時間以上連続して測定することとなり、遮蔽カーテン１６が定常的に隙間が生じた異常状態であると判定するようになっている。図５（ｂ）において、照度センサ１３が出力する最低照度Ｓｍｉｎ．は常に閾値Ｌ以上となっている。

図５（ｃ）示すように、時刻Ｔ３において、遮蔽カーテン１６の変形や被検査物Ｗの滞留により、遮蔽カーテン１６に大きな隙間が一定時間以上空いた異常状態となったときには、判定部１７は、照度センサ１３により予め定めた値（閾値Ｌ）以上の照度を予め定めた時間以上連続して測定（時間Ｔｘが予め定めた時間以上とする）することとなり、遮蔽カーテン１６が大きな隙間が一定時間以上隙間が生じた異常状態であると判定するようになっている。

なお、判定部１７は、照度センサ１３により予め定めた値以上の照度を予め定めた時間以上連続して測定した場合に加えて、または、予め定めた値以上の照度を予め定めた時間以上連続して測定した場合に代えて、最低照度Ｓｍｉｎ．が予め定めた時間以上連続して予め定めた値以上の照度となった場合に、遮蔽カーテン１６が異常状態であると判定するようにしてもよい。

次に動作を説明する。

以上のように構成されたＸ線検査装置１においては、予め設定部１８を操作して閾値としての照度の値および連続時間を設定しておく。

被検査物Ｗが搬送されていないときは、遮蔽カーテン１６が正常状態であれば、外光がほぼ完全に遮断されるので、判定部１７は、照度センサ１３により予め定めた値未満の照度を常に測定することとなり、遮蔽カーテン１６が正常状態でありＸ線漏えいの恐れがないと判定する。一方、遮蔽カーテン１６が捩れ等により異常状態であれば、外光が常に検査空間内に入り込むので、判定部１７は、照度センサ１３により予め定めた値以上の照度を予め定めた時間以上連続して測定することとなり、遮蔽カーテン１６が捩れ等が生じた異常状態でありＸ線漏えいの恐れがあると判定する。そして、Ｘ線検査装置１が運転状態の場合にはＸ線発生器９を停止するとともに、報知部１９によって警告表示または警告音声により報知を行い、Ｘ線検査装置１が運転への移行状態の場合には運転状態に移行せず（Ｘ線発生器９を動作させず）、報知部１９によって警告表示または警告音声により報知を行う。

以上のように、本実施の形態に係るＸ線検査装置１は、検査空間２２内の被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生器９と、被検査物Ｗを透過するＸ線を検出して透過量に応じた濃度データを出力するＸ線検出器１０と、Ｘ線発生器９が照射するＸ線が検査空間２２の外部に漏えいすることを防止する遮蔽カーテン１６と、を備え、Ｘ線検出器１０から出力される濃度データに基づいて被検査物Ｗの検査を行うＸ線検査装置１において、遮蔽カーテン１６を通して検査空間２２内に侵入した光の照度を測定する照度センサ１３と、照度センサ１３が、予め定めた値以上の照度を予め定めた時間以上連続して測定したとき、遮蔽カーテン１６が異常状態であると判定する判定部１７とを備えたことを特徴とする。

このため、判定部１７は、Ｘ線検出器１０等と比較して安価な照度センサ１３により、予め定めた値以上の照度を予め定めた時間以上連続して測定すると、遮蔽カーテン１６が捩れ等が生じた異常状態であると判定することができるので、遮蔽カーテン１６の異常状態を安価な構成で且つ確実に検知することができる。

また、本発明に係るＸ線検査装置１は、Ｘ線発生器９がＸ線を照射していることを光により報知する照射中ランプ１４を、検査空間２２の外部であって、遮蔽カーテン１６に隙間が生じたときに検査空間２２内に照射中ランプ１４の光が到達し得る位置に備えたことを特徴とする。

この構成により、判定部１７が、照度センサ１３が測定する照射中ランプ１４の光の照度に基づいて、遮蔽カーテン１６が捩れ等が生じた異常状態であるか否かを判定することができるので、Ｘ線検査装置１が暗い場所に設置されているような状況であっても、遮蔽カーテン１６の異常状態を検知することができる。

また、本発明に係るＸ線検査装置１は、照度センサ１３が、検査空間２２内の外縁部の底部に複数配置されたことを特徴とする。

この構成により、遮蔽カーテン１６が異なる方向に複数個設けられている場合であっても、検査空間２２内に進入した光の照度を複数の照度センサ１３により測定できるので、複数の遮蔽カーテン１６に対して等しく異常状態を検知することができる。

また、本発明に係るＸ線検査装置は、照度センサ１３が、検査空間２２内の中央部の底部に１つ配置されたことを特徴とする。

この構成により、遮蔽カーテン１６が異なる方向に複数個設けられている場合であっても、検査空間２２内に進入した光の照度を中央の１つの照度センサ１３により測定できるので、複数の遮蔽カーテン１６に対して等しく異常状態を検知することができるとともに、より安価な構成とすることができる。

また、本発明に係るＸ線検査装置は、遮蔽カーテン１６が、鉛やタングステンといったＸ線遮蔽性能をもつ金属入りの樹脂（ゴム）をのれん状に加工したものから構成されることを特徴とする。

この構成により、のれん状に加工されたゴムシートにより被検査物Ｗの検査空間２２内外への出し入れが可能になるとともに、劣化等により定期的に交換が必要なゴムにより遮蔽カーテン１６を構成しても異常状態を検知することができるので、Ｘ線の漏えいを確実に防止することができる。

なお、今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であってこの実施の形態に制限されるものではない。本発明の範囲は、上記した実施の形態のみの説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

以上のように、本発明に係るＸ線検査装置は、遮蔽手段の異常状態を安価な構成で且つ確実に検知することができるＸ線検査装置を提供するという効果を有し、Ｘ線の漏えい防止用の遮蔽手段を備えたＸ線検査装置として有用である。

本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の概略構成を示す斜視図である。本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の側面および内部構成を示す図である。（ａ）は、本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の遮蔽手段を示す斜視図であり、（ｂ）は、遮蔽手段がワカメ状に波打った状態を示す図である。（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の照度センサの配置例を示す断面図である。（ａ）は、本発明の実施の形態に係るＸ線検査装置の遮光カーテン正常時の照度センサの出力を示すグラフであり、（ｂ）、（ｃ）は、遮光カーテン異常時の照度センサの出力を示すグラフである。

符号の説明

１Ｘ線検査装置
２搬送部
２ａベルト面
３検出部
４筐体
５表示器
６駆動モータ
７搬入口
８搬出口
９Ｘ線発生器
１０Ｘ線検出器
１１箱体
１２Ｘ線管
１３照度センサ（照度測定手段）
１４照射中ランプ（警告ランプ）
１６遮蔽カーテン（遮蔽手段）
１７判定部（判定手段）
１８設定部
１９報知部
２１搬送路
２１ａ天井部
２２検査空間
Ｗ被検査物

Claims

検査空間（２２）内の被検査物（Ｗ）にＸ線を照射するＸ線発生器（９）と、
前記被検査物を透過するＸ線を検出して透過量に応じた濃度データを出力するＸ線検出器（１０）と、
前記Ｘ線発生器が照射するＸ線が前記検査空間の外部に漏えいすることを防止する遮蔽手段（１６）と、を備え、
前記Ｘ線検出器から出力される濃度データに基づいて前記被検査物の検査を行うＸ線検査装置（１）において、
前記遮蔽手段を通して前記検査空間内に侵入した光の照度を測定する照度測定手段（１３）と、
前記照度測定手段が、予め定めた値以上の照度を予め定めた時間以上連続して測定したとき、前記遮蔽手段が異常状態であると判定する判定手段（１７）とを備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
前記Ｘ線発生器がＸ線を照射していることを光により報知する警告ランプ（１４）を、前記検査空間の外部であって、前記遮蔽手段に隙間が生じたときに前記検査空間内に前記警告ランプの光が到達し得る位置に備えたことを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
前記照度測定手段が、前記検査空間内の外縁部の底部に複数配置されたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置。
前記照度測定手段が、前記検査空間内の中央部の底部に１つ配置されたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置。
前記遮蔽手段が、金属を含有する樹脂からなることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のＸ線検査装置。