WO2019039329A1 - 光検査装置、及び異常検出方法 - Google Patents

光検査装置、及び異常検出方法 Download PDF

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WO2019039329A1
WO2019039329A1 PCT/JP2018/030122 JP2018030122W WO2019039329A1 WO 2019039329 A1 WO2019039329 A1 WO 2019039329A1 JP 2018030122 W JP2018030122 W JP 2018030122W WO 2019039329 A1 WO2019039329 A1 WO 2019039329A1
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unit
fluorescence
excitation light
detection
light
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PCT/JP2018/030122
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中島　雅喜
友厚 谷口
祥憲 樽本
雅 近藤
一幸 杉本
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株式会社イシダ
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    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination

Definitions

  • the present disclosure relates to a light inspection apparatus and an abnormality detection method in the light inspection apparatus.
  • Patent Document 1 discloses that fluorescence is generated from foreign matter by irradiating excitation light such as ultraviolet light from the excitation light irradiation unit to check whether foreign matter such as a parasite is included in the fillet of a fish or the like. There is described a detection device that detects the fluorescence by a fluorescence detection unit.
  • the fluorescence detection unit detects not the excitation light irradiated from the excitation light irradiation unit but the fluorescence generated from the foreign matter. For example, when an abnormality such as lamp breakage occurs in the excitation light irradiation unit, the detection signal of the fluorescence detection unit remains in a state where fluorescence is not detected. For this reason, even if the detection signal of the fluorescence detection unit is viewed, it is not possible to detect whether a foreign matter that generates fluorescence is present in the inspection region or whether an abnormality occurs in the excitation light irradiation unit.
  • the present disclosure describes an optical inspection apparatus capable of detecting the presence or absence of an abnormality in at least one of an excitation light irradiation unit and a fluorescence detection unit, and an abnormality detection method.
  • a light inspection apparatus includes: a transport unit that transports an inspection object to an inspection region; and an excitation light irradiation unit that irradiates excitation light for causing fluorescence to foreign substances attached to the inspection object.
  • a light conversion unit installed in an inspection area and generating fluorescence by excitation light, and detection and detection of fluorescence generated by foreign matter by excitation light and fluorescence generated by the light conversion section by excitation light in the inspection area
  • a fluorescence detection unit that outputs a detected fluorescence detection signal, and a processing unit that detects the presence / absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit based on the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit; And.
  • the light conversion unit generates fluorescence when excitation light is irradiated in the inspection area.
  • the fluorescence detection unit can detect the fluorescence generated by the light conversion unit regardless of whether or not the foreign matter is attached to the inspection object transported into the inspection region.
  • the processing unit can detect the presence or absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit based on the detection signal of the fluorescence generated by the light conversion unit.
  • the processing unit may detect the presence or absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit based on the presence or absence of the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit.
  • the processing unit can easily detect the presence or absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit only by determining the presence or absence of the detection signal of the fluorescence generated by the light conversion unit.
  • the inspection area includes a first area and a second area different from the first area
  • the light conversion unit is installed in the first area
  • the transport unit is configured to It may be transported to the area.
  • the processing unit can easily distinguish between the detection signal of the fluorescence generated by the foreign matter and the detection signal of the fluorescence generated by the light conversion unit.
  • the optical inspection apparatus further includes a transport control unit that controls transport of the inspection object in the transport unit, and the transport control unit detects that at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit has an abnormality by the processing unit. In this case, the transport of the inspection object in the transport unit may be stopped. Thereby, in the optical inspection apparatus, even if the inspection object is transported one after another by the transport unit, the inspection object is detected in the inspection area in a state in which the foreign matter can not be detected correctly due to the abnormality of the excitation light irradiation unit or the like. It can be prevented from continuing to be transported.
  • the optical inspection apparatus may further include a housing covering the inspection area, and the light conversion unit may be fixed to the housing.
  • the light conversion unit can be easily installed in the inspection area using a housing.
  • the housing may be provided to be separable from the transport unit.
  • the housing can be separated from the transport unit.
  • the worker can easily perform the cleaning operation and the like of the transport unit.
  • the processing unit further adjusts the output intensity of the detection signal output from the fluorescence detection unit, the detection signal includes the detection intensity of the fluorescence in the inspection area, and the processing unit detects the fluorescence in the detection signal.
  • the output intensity of the detection signal may be adjusted based on the detection intensity and the predetermined reference intensity.
  • the detection intensity of the fluorescence in the detection signal changes due to the change in the performance of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit. Therefore, by adjusting the output intensity of the detection signal based on the detection intensity of the fluorescence in the detection signal, the processing unit adjusts the output intensity of the detection signal according to the change in the performance of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit. it can.
  • the optical inspection apparatus can adjust the output intensity of the detection signal output from the fluorescence detection unit according to the change in the performance of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit.
  • the detection signal includes the detection intensity of fluorescence at each position in the inspection area
  • the processing unit detects the fluorescence detection intensity at the installation position of the light conversion unit in the detection signal and a predetermined reference.
  • the output intensity of the detection signal may be adjusted based on the intensity.
  • the predetermined reference intensity may be the detection intensity of fluorescence at the installation position of the light conversion unit detected in the past by the fluorescence detection unit.
  • the processing unit can adjust the output intensity of the detection signal using the fluorescence detection intensity before the performance of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit changes.
  • the processing unit may adjust the output intensity of the detection signal before the transport unit starts transporting the inspection object. In this case, the output intensity of the detection signal is adjusted before the inspection of the inspection object is started.
  • the optical inspection apparatus further includes an excitation light detection unit which is disposed in the excitation light irradiation region of the excitation light irradiation unit and detects the excitation light and outputs a detection signal of the detected excitation light, and the processing unit detects fluorescence
  • the image of the object to be inspected may be generated based on the detection signal output from the unit and the detection signal of the fluorescence generated by the foreign matter.
  • the light inspection apparatus includes an excitation light detection unit which is disposed in the excitation light irradiation region of the excitation light irradiation unit and detects the excitation light and outputs a detection signal of the detected excitation light.
  • the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation unit is acquired based on the detection signal of the excitation light detection unit, or the state of the excitation light irradiation unit is acquired based on the detection intensity detected by the excitation light detection unit. It will be possible to As a result, the presence or absence of an abnormality in the excitation light irradiation unit can be appropriately grasped, and adjustment in accordance with the state of the excitation light irradiation unit can be appropriately performed. As a result, the detection accuracy of the foreign matter can be maintained.
  • the processing unit may detect the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation unit based on the detection signal output from the excitation light detection unit.
  • the excitation light detection unit may detect the excitation light emitted from the excitation light irradiation unit, even if the fluorescence detection unit is not acquiring fluorescence from foreign matter adhering to the inspection object. it can. Therefore, the processing unit can detect the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation unit based on the detection signal output from the excitation light detection unit.
  • the processing unit may detect the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation unit based on the presence or absence of the detection signal output from the excitation light detection unit.
  • the case where there is no detection signal output from the excitation light detection unit is the case where the excitation light detection unit does not detect the excitation light because the excitation light is not irradiated. For this reason, the processing unit can easily detect the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation unit only by determining the presence or absence of the detection signal output from the excitation light detection unit.
  • the optical inspection apparatus further includes a conveyance control unit that controls the conveyance of the inspection object in the conveyance unit, and the conveyance control unit detects the inspection light in the conveyance unit when the processing unit detects that there is an abnormality in the excitation light irradiation unit.
  • the transportation of objects may be stopped.
  • the optical inspection apparatus can prevent the inspection object from being continuously conveyed to the inspection area in a state in which the detection of the foreign matter can not be correctly even when the inspection object is successively conveyed by the conveyance unit.
  • the processing unit may adjust the output intensity of the fluorescence detection unit based on the detection intensity of the detection signal output from the excitation light detection unit and a predetermined reference intensity. According to this light inspection apparatus, even when the irradiation output of the excitation light irradiation unit is attenuated, the output intensity of the fluorescence detection unit can be increased according to the attenuation. For this reason, the fall of detection accuracy of a foreign material can be controlled.
  • the processing unit may acquire the reduction amount of the detection intensity based on the detection intensity of the detection signal output from the excitation light detection unit and the reference intensity, and adjust the output intensity of the fluorescence detection unit based on the reduction amount. In this case, since the output intensity of the fluorescence detection unit is appropriately adjusted in accordance with the amount of decrease in detection intensity, it is possible to suppress the decrease in detection accuracy of foreign matter.
  • the optical inspection apparatus includes a pedestal portion disposed above the transport portion so that the inspection object transported by the transport portion can pass, a protective case disposed at the upper portion of the pedestal portion, and accommodating at least the fluorescence detection portion, It may further have a protection part which covers a pedestal part from the outside in plane view seen from the above.
  • This optical inspection apparatus is provided with a protection part which covers a pedestal part from the outside in plane view seen from the perpendicular direction upper part.
  • the protective portion may be disposed outside the pedestal portion in a plan view as viewed from above, and the lower end of the protective portion may be positioned lower than the upper end of the pedestal portion.
  • the optical inspection apparatus of this configuration it is possible to prevent light from linearly entering the inside of the protective case from the outside of the protective case, so it is possible to further enhance the light shielding property inside the protective case.
  • the protection portion may be arranged in a frame shape so as to surround the pedestal portion.
  • the protective portion is disposed so as to cover the entire joint portion of the protective case and the pedestal portion, so that the light shielding property inside the protective case can be further enhanced.
  • the protective portion may be formed in a protective case.
  • the protective case may have a box-like main body having an opening, and a ridge protruding from the periphery of the opening, and the protection may be formed on the ridge.
  • the light inspection device of this configuration it is possible to lengthen the light penetration path between the outside of the protective case and the inside of the protective case by the length of the overhang of the buttocks. Thereby, the light shielding property inside the protective case can be further enhanced.
  • the width (length in the overhang direction) of the seal member can be increased by the length of extension of the ridge portion. Therefore, the sealability inside the protective case can be further enhanced.
  • the upper surface of the buttocks may be inclined downward in the projecting direction. Therefore, even when water is splashed on the protective case, retention of water in the buttocks is suppressed, and deterioration of the member can be suppressed.
  • the pedestal may have a window having a smaller area than the opening of the protective case, and the fluorescence detector may detect the fluorescence emitted from the foreign substance through the window.
  • the fluorescence detector may detect the fluorescence emitted from the foreign substance through the window.
  • the light inspection apparatus further includes a filter for attenuating light in wavelength bands other than the wavelength band of fluorescence, and the fluorescence detection unit detects fluorescence incident on the light taking-in unit of the fluorescence detection unit, and the filter You may be provided in the position facing the insertion part. In this case, the light other than the fluorescence is suppressed from being incident on the light capture unit of the fluorescence detection unit. As a result, the optical inspection apparatus can improve the detection accuracy of the fluorescence detection unit.
  • a reflection preventing process of excitation light may be performed on the mounting surface on which the inspection object in the transport unit is mounted. Thereby, the ratio in which the reflected light of the excitation light reflected by the mounting surface around the inspection object is incident on the fluorescence detection unit can be reduced.
  • the inspection object transported to the inspection region is irradiated with excitation light to detect foreign matter adhering to the inspection object, and the light conversion unit generating fluorescence by excitation light is the inspection region
  • An abnormality detecting method for the light inspection apparatus installed in the inside, wherein an irradiation step of inputting to the excitation light irradiation unit a control signal for irradiating the inspection region with the foreign matter and the excitation light for causing the light conversion unit to generate fluorescence;
  • the fluorescence detection step detects the fluorescence generated by the light conversion portion by the excitation light irradiated by the excitation light irradiation portion, and the fluorescence generated by the light conversion portion detected in the fluorescence detection step
  • an abnormality detection step in which the processing unit detects the presence or absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit.
  • a light conversion unit is installed in the inspection area.
  • the light conversion unit generates fluorescence when the excitation light irradiation unit irradiates the excitation light into the inspection area in the irradiation step.
  • the fluorescence detection unit can detect the fluorescence generated by the light conversion unit regardless of whether or not the foreign matter is attached to the inspection object transported into the inspection region.
  • the processing unit can detect the presence or absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit based on the detection signal of the fluorescence generated by the light conversion unit.
  • the present disclosure it is possible to detect the presence or absence of abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit.
  • the direction along the conveyance direction A of the conveyance unit 3 is the X axis
  • the width direction of the conveyance unit 3 ) Is set as the Y axis
  • the direction orthogonal to the transport surface 31a of the transport unit 3 is set as the Z axis.
  • the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to one another. The same applies to the other embodiments.
  • the optical inspection apparatus 1 includes a housing 2, a transport unit 3, an excitation light irradiation unit 4, a detection unit 5, a processing unit 6, a display unit 7, and a light conversion unit 8. And legs 9 (see FIG. 3).
  • the optical inspection apparatus 1 is an apparatus for inspecting whether the foreign substance F is contained in the inspection object S.
  • the test object S is mainly a cut of fish such as mackerel, horse mackerel, squid, sardine, salmon, saury and scallop, and the foreign substance F is mainly a parasite such as anisakis and yellow worm.
  • the housing 2 covers the inspection area R and shields the inspection area R from external light (such as indoor artificial light or natural light).
  • the inspection area R is a three-dimensional area of the inner area L of the housing 2 in which the detection unit 5 detects fluorescence.
  • the housing 2 has a pedestal 21 and a protective case 23.
  • the pedestal portion 21 is disposed above the transport unit 3 so that the inspection object S transported by the transport unit 3 can pass.
  • the pedestal portion 21 is formed with a loading port 21a for loading the inspection object S into the inner region L, and a discharge port 21b for unloading the inspection object S from the inner region L.
  • external light may enter into the housing 2 through the inlet 21a and the outlet 21b of the pedestal 21 and the like, the internal region L is exposed to external light by the pedestal 21 and the protective case 23.
  • the housing 2 may be any as long as it shields the inner area L (examination area R) from external light so as not to inhibit the detection of fluorescence described later, and completely shields the inner area L from external light It does not have to be a thing.
  • the protective case 23 is joined (disposed) to the upper portion of the pedestal 21 and accommodates the excitation light irradiator 4 and the detector 5.
  • the protective case 23 is formed of a metal such as stainless steel or a material such as a plastic resin.
  • the protective case 23 has a box-like main body 24 having an opening 24a, and a ridge 25 projecting from the periphery of the opening 24a.
  • a bolt B (see FIG. 3) is inserted into an insertion hole formed in the collar 25 and the inserted bolt (fastening part) B is formed in the pedestal 21. It is joined by being attached to the screw hole.
  • the bolt B is provided so as to enable a fastening operation or a fastening release operation from the upper side of the protective case 23. Further, the bolt B penetrates the seal member 27 through the collar member 27A through which the bolt B can be inserted (see FIG. 8).
  • the pedestal 21 has a window 21 c having a smaller area than the opening 24 a of the protective case 23.
  • a light transmitting transparent member 21d made of PMMA (polymethyl methacrylate) resin, plastic resin, glass or the like is fitted in the window portion 21c. This prevents dust, water, and the like from entering the inside of the main body 24 from the transport unit 3.
  • the window 21c has a size such that detection of the fluorescence emitted from the foreign material F through the window 21c from the detection unit 5 is not inhibited, and a size in which the excitation light of the excitation light irradiation unit 4 can be irradiated to the inspection region R Is formed.
  • the joint portion J between the pedestal portion 21 and the protective case 23 will be described in detail later.
  • the transport unit 3 transports the inspection object S to the inspection region R.
  • the conveyance unit 3 includes an endless conveyor belt 31, a pair of rollers 32, a support unit 33, a drive motor 34, and a conveyance control unit 35.
  • the conveyor belt 31 has a conveyance surface (mounting surface) 31 a parallel to the XY plane (a plane including X and Y axes orthogonal to each other, for example, a horizontal surface).
  • the conveyor belt 31 transports the inspection object S placed on the transport surface 31a from the loading port 21a to the unloading port 21b along the transport direction A parallel to the X-axis.
  • the surface of the conveyor belt 31 (the surface constituting the transport surface 31a) is subjected to anti-reflection processing for suppressing reflection of excitation light described later.
  • the antireflective process is, for example, coloring using a dye having a light absorbing property to excitation light.
  • An example of such a conveyor belt 31 is a black belt containing carbon.
  • the pair of rollers 32 is disposed inside the endless conveyor belt 31 and supports the conveyor belt 31.
  • the drive motor 34 rotationally drives the roller 32.
  • the transport control unit 35 controls the drive of the drive motor 34.
  • the support portion 33 detachably supports the roller 32.
  • the support 33 is supported by the legs 9.
  • the housing 2 is provided so as to be movable in a direction away from the transport unit 3. Specifically, in the direction in which the pedestal 21 is supported by the support 33 of the transport unit 3 via the rotary shaft 28 extending in the transport direction, the pedestal 21 and the protective case 23 are separated from the transport 3 It is provided to be movable. When the pedestal 21 moves in a direction away from the transport unit 3, the protective case 23 joined to the pedestal 21 also moves integrally in a direction away from the transport unit 3. When the housing 2 is disposed on the transport unit 3, the pedestal 21 and the support 33 are fixed to each other by the fixing unit 29.
  • the legs 9 support the housing 2 and the transport unit 3.
  • the excitation light irradiation unit 4 irradiates the inspection region R with excitation light for causing the foreign matter F attached to the inspection object S to generate fluorescence. Specifically, the excitation light irradiation unit 4 irradiates the excitation light in a region including the light conversion unit 8 and a region through which the transported inspection object S passes in the inspection region R.
  • the excitation light irradiator 4 is attached to the inner wall surface of the protective case 23, and on one side of the transport surface 31a (on one side of the transport surface 31a in a direction parallel to the Z axis orthogonal to the X and Y axes). For example, the excitation light is irradiated to the light conversion unit 8 and the inspection object S from the upper side of the transport surface 31 a in the vertical direction.
  • the excitation light irradiator 4 includes a light source 41, a condenser 42, and a first optical filter 43.
  • the light source 41 has a plurality of light emitting elements (for example, light emitting diodes) arranged along a direction parallel to the Y axis.
  • the light source 41 receives supply of power from a power supply (not shown) based on a control signal input from the processing unit 6 and emits excitation light.
  • the condensing unit 42 is an optical element (for example, a cylindrical lens), and the excitation light emitted from the light source 41 passes through the light conversion unit 8 and the inspection object S transported in the inspection region R. Focus on an area including an area.
  • the condensing unit 42 condenses the divergent light emitted from the light source 41 into parallel light. While transmitting the excitation light, the first optical filter 43 attenuates the light on the longer wavelength side than the wavelength band of the excitation light. For example, when the excitation light has a wavelength band in the ultraviolet range, the first optical filter 43 attenuates light having a wavelength band in the visible range.
  • the light conversion unit 8 is disposed in the inspection region R, and generates fluorescence by the excitation light irradiated by the excitation light irradiation unit 4.
  • the light conversion part 8 is being fixed to the inner wall face 21e of the base part 21, as FIG.2 and FIG.4 shows.
  • the light conversion unit 8 includes a fluorescent unit 81 and a fixing unit 85.
  • One end of the fixing portion 85 is fixed to the inner wall surface 21 e, and the other end extends toward the conveyor belt 31.
  • the fluorescent part 81 is attached to the surface of the fixed part 85 on the side of the detection part 5.
  • the fluorescent part 81 generates fluorescence by the excitation light irradiated by the excitation light irradiation part 4.
  • the fluorescent portion 81 is configured of a fluorescent layer that generates fluorescence by excitation light and an adhesive layer, and is attached to the fixing portion 85.
  • a material for generating fluorescence in the fluorescent part 81 for example, halosilicate or aluminate for generating blue-based fluorescence is used.
  • the detection unit 5 detects the fluorescence generated in the inspection region R set in advance.
  • the detection unit 5 is attached to the inner wall surface of the housing 2 and is one side of the conveyance surface 31 a (one side of the conveyance surface 31 a in a direction parallel to the Z axis orthogonal to the X axis and the Y axis) For example, fluorescence is detected from the upper side of the transport surface 31a in the vertical direction.
  • the detection unit 5 includes a second optical filter 51 and a fluorescence detection unit 52.
  • the fluorescence detection unit 52 constitutes a line sensor.
  • the fluorescence detection unit 52 has a plurality of light detection elements arranged along a direction parallel to the Y axis (a cross direction intersecting the transport direction A when viewed from the direction perpendicular to the transport surface 31a) There is.
  • the light detection element is, for example, a light receiving element such as a photodiode, and detects the fluorescence that has entered the light receiving unit 52 a of the fluorescence detection unit 52.
  • the fluorescence detection unit 52 detects the fluorescence generated by the foreign matter F in the examination region R and the fluorescence generated by the light conversion unit 8, and outputs a detection signal of the detected fluorescence.
  • the fluorescence detection unit 52 sets an area extending along the width direction (direction parallel to the Y axis) of the conveyor belt 31 as an inspection area R.
  • the inspection area R includes a first area R1 and a second area R2.
  • the first area R1 and the second area R2 are arranged along a direction orthogonal to the direction in which the detection unit 5 and the conveyance surface 31a of the conveyor belt 31 face each other.
  • the first area R1 and the second area R2 are arranged along the width direction of the conveyor belt 31 (the direction parallel to the Y axis).
  • the light conversion unit 8 is installed in the first region R1.
  • the transport unit 3 transports the inspection object S to the second region R2 by the conveyor belt 31. That is, the first region R1 is a region from the detection unit 5 toward the light conversion unit 8.
  • the second area R2 is an area directed from the detection unit 5 to the conveyor belt 31. Note that the first region R1 and the second region R2 are along the direction (in the present embodiment, the width direction of the conveyor belt 31) orthogonal to the direction in which the detection unit 5 and the conveyance surface 31a of the conveyor belt 31 face each other. If aligned, when viewed from above (when viewed along the Z-axis direction), there may be a portion where the first region R1 and the second region R2 overlap with each other.
  • the second optical filter 51 transmits the foreign matter F and the fluorescence generated by the light conversion unit 8 while attenuating the light in the wavelength band other than the wavelength band of the fluorescence.
  • the second optical filter 51 attenuates light on the short wavelength side of the wavelength band of fluorescence. For example, when the fluorescence has a wavelength band in the visible range, the second optical filter 51 attenuates light having a wavelength band in the ultraviolet range.
  • the second optical filter 51 is provided at a position facing the light taking-in unit 52 a of the fluorescence detecting unit 52. Each light detection element of the fluorescence detection unit 52 detects the fluorescence transmitted through the second optical filter 51.
  • the excitation light irradiated to the inspection object S by the excitation light irradiation unit 4 is light for causing the foreign matter F and the light conversion unit 8 to generate fluorescence, and is, for example, light having a wavelength band in the ultraviolet range.
  • the fluorescence generated by the foreign matter F and the light conversion unit 8 by the irradiation of the excitation light is light having a wavelength different from the wavelength of the excitation light, and is, for example, light having a wavelength band in the visible range.
  • the center wavelength of the excitation light may be shifted with respect to the center wavelength of the fluorescence.
  • the wavelength bands do not have to be completely shifted as far as at least the central wavelengths (peak wavelengths) of the excitation light and the fluorescence are shifted.
  • the wavelength band of excitation light and the wavelength band of fluorescence may be completely shifted.
  • the processing unit 6 generates an image based on the fluorescence detection signal output from the detection unit 5.
  • the display unit 7 displays the image generated by the processing unit 6.
  • the processing unit 6 also causes the light source 41 to emit excitation light by outputting a control signal to the excitation light emitting unit 4 based on an instruction to start detection of the foreign material F by the user or the like. Furthermore, the processing unit 6 also functions as an abnormality detection unit that detects the presence or absence of an abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52. While the power for irradiating the excitation light is being supplied to the excitation light irradiation unit 4, the processing unit 6 detects the presence or absence of abnormality. The details of the abnormality detection process for detecting the presence or absence of an abnormality in the excitation light irradiation unit 4 or the like in the processing unit 6 will be described below.
  • the processing unit 6 detects an abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 based on the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8 among the fluorescence detection signals output from the detection unit 5. To detect the presence or absence of
  • the light conversion unit 8 generates fluorescence when excitation light is irradiated from the excitation light irradiation unit 4 into the inspection region R. Therefore, when there is no abnormality in the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52, the fluorescence detection unit 52 can detect the fluorescence generated by the light conversion unit 8 by the excitation light irradiated from the excitation light irradiation unit 4. However, when an abnormality occurs in at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52, the fluorescence detection unit 52 can not detect the fluorescence generated by the light conversion unit 8.
  • the fluorescence detection unit 52 can not detect the fluorescence generated by the light conversion unit 8.
  • the fluorescence detection unit 52 generates the light conversion unit 8. The detected fluorescence can not be detected.
  • the processing unit 6 does not receive the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8, that is, the light conversion unit 8.
  • the processing unit 6 may cause the display unit 7 to display an alarm display or the like indicating that an abnormality has occurred.
  • the processing unit 6 may output an alarm sound or the like indicating that an abnormality has occurred from a speaker or the like, or may turn on a lamp.
  • the conveyance control unit 35 of the conveyance unit 3 stops the conveyance of the inspection object S by the conveyor belt 31 by stopping the drive motor 34 when the processing unit 6 detects that there is an abnormality. After the instruction to start the detection of the foreign matter F by the user or the like, the processing unit 6 continuously and repeatedly performs the detection of the presence or absence of the abnormality described above until the instruction to end the detection of the foreign matter F is given.
  • the processing unit 6 is an electronic control unit having, for example, a central processing unit (CPU), a read only memory (ROM), and a random access memory (RAM).
  • CPU central processing unit
  • ROM read only memory
  • RAM random access memory
  • various functions are realized by loading the program stored in the ROM into the RAM and executing the program loaded into the RAM by the CPU.
  • the processing unit 6 may be configured of a plurality of electronic control units.
  • the transport control unit 35 is an electronic control unit having a configuration similar to that of the processing unit 6.
  • the processing unit 6 and the transport control unit 35 may be configured as one electronic control unit.
  • the process shown in FIG. 7 is started based on an instruction to start detection of foreign matter F by the user or the like, and ends based on an instruction to end detection of foreign matter F by the user or the like. Also, the process shown in FIG. 7 is started again from the start after the process ends.
  • the processing unit 6 outputs a control signal for irradiating the excitation light to the light source 41 in order to cause the inspection region R to irradiate the excitation light by the light source 41 (S101: irradiation step).
  • the fluorescence detection unit 52 detects the fluorescence generated by the excitation light in the examination region R (S102: fluorescence detection step).
  • the processing unit 6 detects the presence or absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 based on the detection signal of the fluorescence generated by the light conversion unit 8 detected by the fluorescence detection unit 52. (S103: abnormality detection step).
  • the seal member 27 is formed of an elastic material such as silicon rubber (silicon resin), for example, and its Z-axis direction thickness T1 is about 2 mm to 5 mm, a width along the XY plane Is about 10 mm to 50 mm.
  • the seal member 27 is disposed in a frame shape along the extending direction of the collar 25 between the collar 25 and the pedestal 21.
  • the bolt B is vertically penetrated through the collar member 27A.
  • the protective portion 26 is disposed on the outside of the seal member 27 in plan view as viewed from above in the Z-axis direction.
  • the protection portion 26 covers the outer side surface 21 f of the pedestal portion 21 from the outside in a plan view as viewed from above.
  • the protective portion 26 is integrally formed as a part of the protective case 23.
  • the protection part 26 is formed in the collar part 25 so as to protrude downward in the Z-axis direction.
  • the protective portion 26 is formed in a frame shape so as to surround the outer surface 21 f of the frame-like seal member 27 and the pedestal portion 21.
  • the protective portion 26 is disposed outside the outer surface 21 f of the pedestal 21 in the XY plane in plan view as viewed from above in the Z-axis direction, and the lower end 26 a of the protective portion 26 is the upper end 21 g of the pedestal 21. It is located at a lower position.
  • the sealing member 27 may be bonded (fixed) to the protective portion 26 with a double-sided tape or the like. According to this structure, the position of the seal member can be fixed and brought into close contact, and the light shielding property, the dustproof property and the waterproof property can be further enhanced.
  • the light conversion unit 8 generates fluorescence when excitation light is irradiated in the inspection region R. For this reason, the detection unit 5 can detect the fluorescence generated by the light conversion unit 8 regardless of whether or not foreign matter is attached to the inspection object S transported into the inspection region R.
  • the processing unit 6 can detect the presence or absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 based on the detection signal of the fluorescence generated by the light conversion unit 8. As a result, it is suppressed that the inspection of the inspection object S is performed in a state in which an abnormality occurs in the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52.
  • the processing unit 6 detects the presence or absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 based on the presence or absence of the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8.
  • the case where there is no detection signal of the fluorescence generated by the light conversion unit 8 means that the light conversion unit 8 does not generate fluorescence because the excitation light is not irradiated, or the light conversion unit 8 emits fluorescence. This is the case where the generated fluorescence is not detected.
  • the processing unit 6 easily detects the presence or absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 only by determining the presence or absence of the fluorescence detection signal generated by the light conversion unit 8. it can.
  • the light conversion unit 8 is disposed in the first area R1 of the inspection area R.
  • the inspection object S is transported to the second area R2 of the inspection area R.
  • the processing unit 6 can easily distinguish between the detection signal of the fluorescence generated by the foreign matter F and the detection signal of the fluorescence generated by the light conversion unit 8.
  • the transport control unit 35 stops the transport of the inspection object S in the transport unit 3 when the processing unit 6 determines that the excitation light irradiation unit 4 or the like is abnormal. As a result, even if the inspection object S is transported one after another by the transport unit 3, the optical inspection apparatus 1 continues the inspection area without detecting the foreign matter F correctly due to the abnormality of the excitation light irradiation unit 4 or the like. The inspection object S continues to be transported to R, and the inspection object S can be prevented from passing the inspection area R one after another.
  • the light conversion unit 8 is fixed to the inner wall surface 21 e of the pedestal 21. In this case, the light conversion unit 8 can be easily installed in the inspection area R using the pedestal 21 of the housing 2.
  • the fluorescent portion 81 of the light conversion portion 8 is attached to the fixing portion 85 by pasting. Thus, for example, even when dirt adheres to the fluorescent portion 81, the worker can easily perform the replacement operation of the fluorescent portion 81.
  • the light conversion unit 8 is fixed to the housing 2 in which the excitation light irradiation unit 4 and the detection unit 5 are fixed. As described above, the light conversion unit 8 is fixed to the housing 2 to which the excitation light irradiation unit 4 and the detection unit 5 are fixed, whereby positioning and detection of the light conversion unit 8 with respect to the excitation light irradiation unit 4 are performed. Positioning of the light conversion unit 8 with respect to the unit 5 can be easily performed.
  • the positional deviation between the first member and the second member is also It is necessary to fix the excitation light irradiation part 4 and the light conversion part 8 in consideration.
  • the positions of the first member and the second member as described above It is not necessary to consider the deviation, and the installation of the light conversion unit 8 becomes easy.
  • the housing 2 is provided to be separable from the transport unit 3.
  • the housing 2 can be separated from the conveyance surface 31 a of the conveyor belt 31.
  • the worker can easily perform the cleaning operation and the like of the transport surface 31a.
  • the housing 2 is separated from the conveyance surface 31 a of the conveyance unit 3
  • the light conversion unit 8 is also separated from the conveyance surface 31 a. Therefore, when the worker performs the cleaning operation of the transport unit 3, the fountain flow for cleaning operation is prevented from being applied to the light conversion unit 8, and the light conversion unit 8 is touched by touching the wiping cleaning towel or the like. The occurrence of wiping and the like is suppressed. As a result, wear of the light conversion unit 8 is suppressed.
  • the excitation light irradiation unit 4, the detection unit 5 and the light conversion unit 8 are fixed to the housing 2. Therefore, when the housing 2 is fixed to the support portion 33 of the transport portion 3 again after separating the housing 2 from the transport portion 3, the fixing position of the housing 2 to the support portion 33 is displaced. Even if it does, the positional relationship of the excitation light irradiation part 4, the detection part 5, and the light conversion parts 8 does not change. For this reason, it is suppressed that the light conversion part 8 remove
  • the detection unit 5 is provided with a second optical filter 51. In this case, it is suppressed that light other than fluorescence is incident on the light taking-in portion 52 a of the fluorescence detecting portion 52. Thus, the light inspection apparatus 1 can improve the detection accuracy of the fluorescence detection unit 52.
  • the transport surface 31 a of the conveyor belt 31 is subjected to anti-reflection processing of excitation light. Thereby, it is possible to reduce the ratio of the reflected light of the excitation light reflected by the transport surface 31 a around the inspection object S to be incident on the fluorescence detection unit 52.
  • the protection unit 26 is disposed on the outside of the pedestal 21 in the XY plane so as to cover the pedestal 21. For this reason, it is more reliably prevented that light intrudes from the junction J between the protective case 23 and the pedestal 21 into the inner region L of the protective case 23. As a result, the optical inspection apparatus 1 can also identify weak fluorescence, and can improve detection accuracy.
  • the protective portion 26 of the optical inspection apparatus 1 is disposed outside the outer surface 21 f of the pedestal portion 21 in the XY plane in plan view seen from the Z-axis direction.
  • the lower end 26 a of 26 is positioned lower than the upper end 21 g of the pedestal 21 in the Z-axis direction. That is, a part of the protective case 23 and a part of the pedestal 21 overlap each other in the vertical direction (Z-axis direction). For this reason, since the optical inspection apparatus 1 can prevent light from linearly entering the inner region L of the protective case 23 from the joint portion J, the sealability of the inner region L of the protective case 23 can be further enhanced.
  • the pedestal portion 21 and the protective case 23 are joined via the elastic seal member 27, not only penetration of light but also penetration of water and dust Can also be suppressed. Therefore, the light shielding property of the inner region L of the protective case 23 can be further enhanced, and the waterproofness and dustproofness can also be enhanced. Furthermore, in this configuration, even if the seal member 27 is deteriorated due to secular change, the presence of the protective portion 26 can suppress the entry of water and dust into the inner region L of the protective case 23.
  • the protective portion 26 is integrally formed on the protective case 23, the protective member as the protective portion 26 is separately disposed at a predetermined position when the protective case 23 and the pedestal portion 21 are joined. You can save time and effort. This improves the workability at the time of joining.
  • the protective case 23 of the optical inspection apparatus 1 is formed with a ridge 25 that protrudes from the periphery of the opening 24 a in the main body 24.
  • region L of the protective case 23 can be lengthened by the length which the overhang
  • the light shielding property of the inner region L of the protective case 23 can be further enhanced.
  • the seal member 27 is disposed in a frame shape, and the protective portion 26 is disposed in a frame shape so as to surround the seal member 27 disposed in a frame shape.
  • the seal member 27 is disposed so as to block all paths where light intrudes from the joint portion J between the protective case 23 and the pedestal portion 21. Therefore, the sealability of the inner region L of the protective case 23 is further enhanced. it can. Moreover, in this configuration, not only the penetration of light but also the penetration of water and dust can be suppressed. Therefore, the waterproofness and dustproofness of the inner area L of the protective case 23 can be further enhanced.
  • the fastening or unfastening operation of the bolt B for securing the protective case 23 and the pedestal portion 21 can be provided from above the protective case 23. Therefore, the worker can easily carry out maintenance of the internal equipment or replacement of parts.
  • the bolt B penetrates the seal member 27 via the collar member 27A through which the bolt B can be inserted, the seal member 27 can be reliably fixed at a desired position. Further, since the bolt B is penetrated to the seal member 27 via the collar member 27A, damage to the seal member 27 at the time of penetration can be prevented. Thus, light can be prevented from entering the inner region L of the protective case 23 from the damaged portion of the sealing member 27.
  • the protection case 23 can be handled as one unit in which the detection unit 5 and the excitation light irradiation unit 4 are accommodated. Excellent. Moreover, by accommodating the excitation light irradiation part 4 in protection case 23, the excitation light irradiation part 4 can be protected also from dust, water, etc. FIG.
  • the area of the window 21c provided in the pedestal 21 is smaller than the area of the opening 24a, the penetration of light from other than the joint J can be suppressed. Thereby, the sealability of the inner region L of the protective case 23 can be further enhanced.
  • the pedestal portion 21 is provided movably in a direction away from the transport portion 3.
  • the pedestal 21 and the protective case 23 integrally joined to the pedestal 21 can be moved from above the transport unit 3, so that the transport unit 3 can be easily cleaned.
  • the pedestal 21 (further, the excitation light irradiation unit 4 and the detection unit 5 (the fluorescence detection unit 52) to be accommodated) can be separated from the jetted water or the like when the transport unit 3 is cleaned.
  • the processing unit 6 detects that there is an abnormality in the excitation light irradiation unit 4 etc. when there is no detection signal of the fluorescence generated by the light conversion unit 8, but the light conversion unit 8 generates It is not limited when there is no detected signal of fluorescence.
  • the processing unit 6 detects the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit An abnormality may be detected in at least one of the 52.
  • the light conversion unit 8 is fixed to the inner wall surface 21 e of the pedestal 21, but even if it is fixed to the main body 24 of the protective case 23 if it is disposed in the inspection area R Good.
  • the fluorescent portion 81 may be formed by applying a paint containing a material that generates fluorescence to the fixing portion 85.
  • the transparent member 21d is fitted in the window 21c of the pedestal 21 in the light inspection apparatus 1, but a filter having the same function as the second optical filter 51 is used instead of the transparent member 21d. It may be fitted.
  • the filter fitted in the window 21 c of the pedestal 21 faces the light taking-in unit 52 a of the fluorescence detection unit 52. Therefore, even when the filter is inserted into the window 21c of the pedestal 21 instead of the second optical filter 51, the light inspection apparatus 1 has the same effect as the case where the second optical filter 51 is provided. Play.
  • the light conversion unit 8 may be disposed on the conveyance surface 31 a of the conveyor belt 31.
  • a plurality of light conversion units 8 may be installed at predetermined intervals along the moving direction of the transport surface 31a.
  • the processing part 6 operates the conveyor belt 31 based on the presence or absence of movement of the fluorescence which the light conversion part 8 generated. Whether or not can be detected. Further, the processing unit 6 can detect the transport speed of the inspection object S on the conveyor belt 31 based on the detection cycle of the light conversion unit 8 arranged at predetermined intervals.
  • the light conversion unit 8 When the light conversion unit 8 is installed on the conveyance surface 31 a, the light conversion unit 8 serves as a mark, and the user looks at the image displayed on the display unit 7 to light the inspection object S including the foreign matter F It can be easily grasped at which position the conversion unit 8 exists.
  • the inspection object S may be meat etc. other than fish and shellfish fillets, and the foreign matter F may be bones other than parasites, scales, viscera and the like.
  • excitation light is not limited to the light which has a wavelength range of an ultraviolet region, What is necessary is just the light which has a wavelength which can make the foreign material F generate fluorescence.
  • the excitation light irradiation unit 4 is located downstream of the detection unit 5 in the transport direction A, but may be located upstream of the detection unit 5 in the transport direction A.
  • the processing unit 6 may inspect whether the foreign matter F is contained in the inspection object S based on the generated image. In this case, the presence or absence of the foreign material F in the inspection object S can be automatically identified (with respect to the image), or the operator can confirm visually.
  • a material for generating fluorescence in the light conversion unit 8 As a material for generating fluorescence in the light conversion unit 8, a material for generating blue fluorescence has been mentioned as an example, but for example, a material for generating red fluorescence such as phosphate or germanate is used It is also good.
  • the light conversion unit 8 When the light conversion unit 8 generates red-based fluorescence, it is possible to further shift the wavelength band of excitation light and the wavelength band of fluorescence compared to blue-based fluorescence. Thereby, the fluorescence detection part 52 can detect fluorescence accurately.
  • Two or more light conversion units 8 may be installed in the inspection area R.
  • the processing unit 6 may detect the presence or absence of the attachment angle deviation of the detection unit 5 based on whether all the light conversion units 8 have been detected by the fluorescence detection unit 52.
  • the second optical filter 51 may be configured to attenuate the wavelength range on the long wavelength side of the fluorescence. In this case, it is possible to further suppress false detection of the light other than the fluorescence by the fluorescence detection unit 52 by attenuating the outside light in the long wavelength band slightly from the fluorescence incident from the outside.
  • the processing unit 6 detects the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation unit 4 etc.
  • the power is supplied to the light source 41 It is not essential to be carried out continuously during the operation, and timings other than this timing (e.g., detection leakage of the inspection object S, such as the interval between the inspection object S of one carried out and the inspection object S which follows) It may be performed at a regular timing that does not occur.
  • the detection of the presence or absence of abnormality may be performed while the control signal for irradiating excitation light is input to the light source 41.
  • the detection of the presence or absence of abnormality be continuously performed while the control signal is input to the light source 41.
  • the detection of the presence or absence of abnormality is performed while the power is supplied to the light source 41. It may be Also in this case, it is not essential that the detection of the presence or absence of abnormality be continuously performed while the power is supplied to the light source 41.
  • the inspection area R may not be divided into the first area R1 and the second area R2, and the light conversion unit 8 may be installed in the area in which the inspection object S is transported.
  • the conveyance control unit 35 stops the conveyance of the inspection object S by the conveyance unit 3, but it is not essential to stop the conveyance.
  • the light conversion unit 8 may be attached to a part other than the housing 2.
  • the housing 2 may not be configured to be separated from the transport unit 3. It is not essential for the detection unit 5 to include the second optical filter 51.
  • the 2nd optical filter 51 (1st optical filter 43) may be comprised by one sheet, and may be comprised by laminating
  • the upper surface 26b of the collar 25 extends horizontally in the projecting direction in a state in which inspection can be performed, that is, in a state where the housing 2 is disposed above the transport unit 3.
  • the upper surface 26 c of the ridge 25 may be inclined downward toward the overhanging direction, as shown in FIG. 8. According to this configuration, the accumulation of water on the upper surface 26c of the flange 25 can be suppressed, and the deterioration of the member can be suppressed.
  • the protective case 23 has been described by way of an example in which the collar portion 25 protruding from the periphery of the opening 24a is formed. You may employ
  • the protective portion 26E may be formed at the lower end of the main body portion 24 of the protective case 23 so as to project downward in the Z-axis direction. Also in this case, if the protective portion 26E is disposed on the outside of the seal member 27 when viewed from the Z-axis direction, the same effect as that of the above embodiment can be obtained.
  • the optical inspection device 1 it is not essential to position the lower end 26a of the protection unit 26 at a position lower than the upper end 21g of the pedestal 21 as in the above embodiment.
  • the lower end 26 a of the protective portion 26 by positioning the lower end 26 a of the protective portion 26 at a position lower than the upper end 21 g of the pedestal portion 21, the light shielding property of the inner region L of the protective case 23 can be further enhanced.
  • the protection portions 26 and 26E are described as an example in which the protection case 23 is integrally formed.
  • a protective portion as a separate member may be disposed at a predetermined position.
  • the protective portion may be formed to cover the end of the protective case 23 in addition to the pedestal 21.
  • a frame-shaped member covering the outer surface of the pedestal 21 and the protective case 23 is included as a protective portion so as to include the joint of the pedestal 21 and the protective case 23 It may be a configuration.
  • the protective portions 26 and 26E are integrally formed on the protective case 23, it is possible to omit the time and effort for separately arranging the protective portions, and the workability at the time of joining is improved. Further, when the protective portions 26 and 26E are integrally formed on the protective case 23, the gap (joint portion) is reduced accordingly, and therefore, the dustproof and waterproof performance can be enhanced.
  • the elastic seal member 27 is provided between the pedestal portion and the protective case.
  • the sealing member 27 may not be provided. Even in this case, the light shielding property of the inner region L of the protective case 23 can be enhanced.
  • the sealing member 27 is not provided, the distance in the Z-axis direction between the lower end 26a of the protective portion 26 and the upper end 21g of the pedestal 21, ie, the vertical direction between the protective case 23 and the pedestal 21 (Z-axis direction
  • the overlap distance in the above may be secured longer than the distance of the optical inspection apparatus 1 of the above embodiment or modification. That is, the overlap distance is appropriately set so that light does not enter from the joint portion J between the protective case 23 and the pedestal portion 21.
  • the optical inspection apparatus according to the present embodiment is, in addition to detecting presence / absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 as in the optical inspection apparatus 1 according to the first embodiment, The intensity of the detection signal output from the unit 52 is adjusted.
  • differences from the optical inspection apparatus 1 in the first embodiment will be mainly described.
  • the optical inspection apparatus 1A in the present embodiment includes the housing 2, the transport unit 3, the excitation light irradiation unit 4, the detection unit 5, the processing unit 6A, and the display unit (notification unit 7), a light conversion unit 8 and legs 9.
  • the processing unit 6A detects the presence or absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 as the processing unit 6 of the light inspection apparatus 1 in the first embodiment. Furthermore, the processing unit 6A adjusts the intensity of the detection signal output from the fluorescence detection unit 52.
  • the processing unit 6A adjusts the intensity of the detection signal output from the fluorescence detection unit 52.
  • the processing unit 6A generates an image based on the fluorescence detection signal output from the detection unit 5.
  • the display unit 7 displays the image generated by the processing unit 6A.
  • the processing unit 6A combines the detection signals of the fluorescence sequentially detected by the fluorescence detection unit 52 with the movement of the transport surface 31a, thereby generating one continuous image.
  • the display unit 7 displays an image up to a predetermined length (predetermined conveyance length) from the present.
  • the image in the case where the foreign material F is included in the inspection object S is shown. Since the inspection object S passes through the second region R2, the foreign matter F is displayed at the position corresponding to the second region R2 also in the image generated by the processing unit 6A.
  • the light conversion unit 8 always generates fluorescence while the excitation light is irradiated from the excitation light irradiation unit 4. Therefore, the fluorescence detection unit 52 always detects the fluorescence generated by the light conversion unit 8. For this reason, as shown in FIG. 12, the light conversion unit 8 is always shown at the position corresponding to the first region R1 where the light conversion unit 8 is installed.
  • the processing unit 6A also causes the light source 41 to emit excitation light by outputting a control signal to the excitation light irradiation unit 4 based on an instruction to start detection of the foreign matter F by the user or the like. Furthermore, the processing unit 6A also functions as an intensity adjustment unit that adjusts the output intensity of the detection signal (adjusts the gain) with respect to the fluorescence detection signal output from the detection unit 5 used when generating an image. After adjusting the output intensity of the detection signal, the processing unit 6A generates an image based on the adjusted detection signal.
  • the processing unit 6A can adjust the output intensity of the detection signal, that is, the brightness of the entire image, even if the fluorescence detection signal is weakened due to the change of the performance of the light source 41 or the like.
  • the processing unit 6A can adjust the output intensity of the detection signal, that is, the brightness of the entire image, even if the fluorescence detection signal is weakened due to the change of the performance of the light source 41 or the like.
  • the fluorescence detection signal output from the fluorescence detection unit 52 includes the detection intensity of the fluorescence at each position along the width direction (direction parallel to the Y axis) of the conveyor belt 31.
  • the horizontal axis is the direction parallel to the Y axis (the width direction of the conveyor belt 31)
  • the portion from Y0 to Y1 corresponds to the second region R2
  • the portion from Y1 to Y2 is the first It corresponds to the region R1.
  • the detection intensity of the portion (portion from Y1 to Y2) corresponding to the first region R1 in which the light conversion unit 8 is installed is increased.
  • the detection intensity of the portion corresponding to the first region R1 where the light conversion unit 8 is installed does not change as it is constant.
  • the detection intensity of the portion corresponding to the second region R2 changes in accordance with the presence or absence of the foreign matter F.
  • the detection intensity of the portion corresponding to the first region R1 where the light conversion unit 8 is installed also decreases.
  • the detection intensity of the portion corresponding to the first region R1 in which the light conversion unit 8 is installed is also lowered.
  • the detection intensity of the portion corresponding to the first region R1 in which the light conversion unit 8 is installed changes in accordance with the change in the performance of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52.
  • the processing unit 6A detects the output intensity of the detection signal (detection signal based on the detection intensity of the fluorescence at the installation position (first region R1) of the light conversion unit 8 in the detection signal and a predetermined reference intensity. Adjust the overall strength of).
  • the predetermined reference intensity is the detection intensity of the fluorescence at the installation position of the light conversion unit 8 detected in the past by the fluorescence detection unit 52.
  • the detection strength in the past may be the detection strength at the start of use of the light inspection apparatus 1A after the completion of the light inspection apparatus 1A. That is, the reference intensity may be the detection intensity of the fluorescence detected by the fluorescence detection unit 52 before the performance of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 changes.
  • the reference strength is stored in the processing unit 6A.
  • the processing unit 6A calculates the difference between the detection intensity of the fluorescence at the installation position of the light conversion unit 8 and the reference intensity.
  • the processing unit 6A outputs the detection signal (detection intensity) so that the detection intensity of the fluorescence at the installation position of the light conversion unit 8 becomes the reference intensity. Adjust the overall strength of the signal).
  • the reference difference value is stored in advance in the processing unit 6A. For example, when the detection intensity of the fluorescence at the installation position of the light conversion unit 8 is lower than the reference intensity by the reference difference value or more, the processing unit 6A strengthens the output intensity of the detection signal.
  • the processing unit 6A weakens the output intensity of the detection signal. Thereby, the brightness of the entire image displayed on the display unit 7 is adjusted. As a result, the fluorescence generated from the foreign matter F is not detected due to the lack of sensitivity (detection intensity), or the inspection object S is transported, or the reflection (noise) of the slightly incident external light is caused due to the excess sensitivity. It is possible to suppress false detection as the foreign matter F or the like.
  • the processing unit 6A performs the adjustment of the output intensity of the detection signal described above before the conveyance unit 3 starts conveying the inspection object S.
  • the power of the optical inspection apparatus 1A may be turned on and before conveyance of the inspection object S is started. That is, when the power of the optical inspection apparatus 1A is turned on, the output intensity of the detection signal may be adjusted.
  • the output intensity of the detection signal may be adjusted based on an instruction from the user or the like without limitation when the power of the optical inspection apparatus 1A is turned on. Since the change in the performance of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 is gradual, the adjustment of the output intensity of the detection signal may not always be performed during the inspection of the foreign matter F by the light inspection apparatus 1A. .
  • the processing unit 6A When the detected intensity of fluorescence at the installation position of the light conversion unit 8 falls below a predetermined notification intensity, the processing unit 6A causes the display unit 7 to display an alarm display or the like indicating that the detected intensity has decreased.
  • the processing unit 6A uses a speaker (notification unit) to indicate an alarm sound or the like indicating that the detection intensity has dropped when the detection intensity of fluorescence at the installation position of the light conversion unit 8 falls below a predetermined notification intensity. It may be output from an alarm or the like, or a lamp (notification unit) may be turned on.
  • the transport control unit 35 of the transport unit 3 stops the drive motor 34 when the processing unit 6A detects that the detected intensity of the fluorescence at the installation position of the light conversion unit 8 falls below the predetermined notification intensity. The conveyance of the inspection object S by the conveyor belt 31 may be stopped.
  • the processing unit 6A is, for example, an electronic control unit similar to the processing unit 6 in the first embodiment.
  • the processing unit 6A outputs, to the light source 41, a control signal for irradiating the excitation light in order to cause the inspection region R to irradiate the excitation light by the light source 41.
  • excitation light is irradiated to inspection field R from light source 41 (S201: irradiation step).
  • the fluorescence detection unit 52 detects the fluorescence generated by the light conversion unit 8 by the excitation light in the inspection region R (S202: fluorescence detection step).
  • the processing unit 6A adjusts the output intensity of the detection signal based on the reference intensity and the detection intensity of the fluorescence generated by the light conversion unit 8 detected by the fluorescence detection unit 52 (S203: intensity adjustment step) .
  • the light conversion unit 8 generates fluorescence when excitation light is irradiated in the inspection region R.
  • the fluorescence detection unit 52 can detect the fluorescence generated by the light conversion unit 8 regardless of whether or not the foreign matter F adheres to the inspection object S transported into the inspection region R.
  • the detection intensity of the fluorescence in the detection signal changes due to the change of the performance of the excitation light irradiation unit 4 (light source 41) and the fluorescence detection unit 52.
  • the processing unit 6A outputs the detection signal according to the change in performance of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52. You can adjust the strength.
  • the light inspection apparatus 1A can adjust the output intensity of the detection signal output from the fluorescence detection unit 52 according to the change in the performance of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52.
  • the processing unit 6A adjusts the output intensity of the detection signal based on the detection intensity of the fluorescence at the installation position of the light conversion unit in the detection signal.
  • the processing unit 6A can adjust the output intensity of the detection signal with high accuracy.
  • the detection intensity of the fluorescence at the installation position of the light conversion unit 8 detected in the past by the fluorescence detection unit 52 is used as the predetermined reference intensity.
  • the processing unit 6A can adjust the output intensity of the detection signal using the fluorescence detection intensity before the performance of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 changes.
  • the processing unit 6A causes the display unit 7 to display an alarm display or the like when the detection intensity of the fluorescence at the installation position of the light conversion unit 8 falls below a predetermined notification intensity.
  • the user or the like of the light inspection apparatus 1A can grasp that the performance of the excitation light irradiator 4 or the like is lowered.
  • the detection unit 5 is provided with a second optical filter 51. In this case, it is suppressed that light other than fluorescence is incident on the light taking-in portion 52 a of the fluorescence detecting portion 52. As a result, the light inspection apparatus 1A can improve the detection accuracy of the fluorescence detection unit 52.
  • the light conversion unit 8 is disposed in the first area R1 of the inspection area R.
  • the inspection object S is transported to the second area R2 of the inspection area R. In this case, it is suppressed that the foreign matter F adhering to the inspection object S influences the detection intensity of the fluorescence at the installation position of the light conversion unit 8.
  • the processing unit 6A can accurately adjust the output intensity of the detection signal.
  • the light conversion unit 8 and the inspection object S are disposed and transported in different areas in the inspection area R. In this case, the processing unit 6A can easily distinguish between the detection signal of the fluorescence generated by the foreign matter F and the detection signal of the fluorescence generated by the light conversion unit 8.
  • the processing unit 6A adjusts the output intensity of the detection signal before the transport unit 3 starts transporting the inspection object S.
  • the output intensity of the detection signal is adjusted before the detection of the inspection object S is started.
  • the user of the light inspection apparatus 1A can confirm the image whose brightness has been adjusted.
  • the processing unit 6A may use the ratio of the detection intensity of fluorescence to the reference intensity at the installation position of the light conversion unit 8 instead of the difference. In this case, the processing unit 6A calculates the ratio of the fluorescence detection intensity to the reference intensity at the installation position of the light conversion unit 8. The processing unit 6A adjusts the output intensity of the detection signal so that the detection intensity of the fluorescence at the installation position of the light conversion unit 8 becomes the reference intensity when the calculated ratio is outside the predetermined reference ratio range. Do.
  • the processing unit 6A that generates the image of the foreign material F adjusts the output intensity of the detection signal
  • the adjustment of the output intensity of the detection signal is not limited to the processing unit 6A.
  • the intensity adjustment unit provided in the fluorescence detection unit 52 may adjust the output intensity of the detection signal output from the light detection element.
  • the intensity adjustment unit provided in the fluorescence detection unit 52 in this case may be configured by an electronic control unit similar to the processing unit 6A. That is, the intensity adjustment unit provided in the fluorescence detection unit 52 may function as a processing unit that adjusts the output intensity of the detection signal.
  • the detection signal output from the fluorescence detection unit 52 may not include the detection intensity of the fluorescence at each position in the inspection region R.
  • the detection signal may include the maximum value of the detection intensity of the fluorescence in the examination region R.
  • the detection intensity (maximum value of the detection intensity) included in the detection signal is the detection intensity of the fluorescence generated by the light conversion unit 8.
  • the processing unit 6A outputs the output intensity of the detected signal based on the detected intensity and the reference intensity in the detected signal. You may adjust the
  • the detection intensity of the fluorescence in the installation position of the light conversion part 8 detected in the past by the fluorescence detection part 52 was used as a reference intensity, it is not limited to using the detection intensity detected in the past as a reference intensity.
  • the reference strength may be a predetermined value based on another reference or the like.
  • the predetermined reference strength may be a default signal value (constant value regardless of the device) stored at the time of manufacture.
  • the adjustment of the output intensity of the detection signal described above is performed at a timing other than the time before the transport unit 3 starts to transport the inspection object S (for example, the interval between one inspection object S to be carried out and the subsequent inspection object S, etc. , And may be performed at such a periodic timing that the detection omission of the inspection object S does not occur.
  • the adjustment of the output intensity of the detection signal may be performed while the optical inspection apparatus 1A inspects the inspection object S.
  • the optical inspection apparatus in this embodiment detects the presence or absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 using the light conversion unit 8 as in the optical inspection apparatus 1 in the first embodiment. Furthermore, the presence or absence of abnormality of the fluorescence detection unit 52 and the output intensity of the fluorescence detection unit 52 are adjusted using the excitation light detection unit 80 (see FIG. 15 and the like).
  • the optical inspection apparatus in the present embodiment differences from the optical inspection apparatus 1 in the first embodiment will be mainly described.
  • the optical inspection apparatus 1B in the present embodiment includes a housing 2, a transport unit 3, an excitation light irradiation unit 4, a detection unit 5, a processing unit 6B, and a display unit 7.
  • the light conversion unit 8, the legs 9, and the excitation light detection unit 80 are provided.
  • the excitation light detection unit 80 is disposed in the inspection region R, and detects the excitation light irradiated by the excitation light irradiation unit 4.
  • An example of the excitation light detection unit 80 is an ultraviolet sensor.
  • the excitation light detection unit 80 is fixed to the inner wall surface 21 e of the pedestal 21 as shown in FIGS. 16 and 17. That is, the excitation light detection unit 80 is provided adjacent to the light conversion unit 8.
  • the excitation light detection unit 80 is disposed such that the detection surface is at the same position as the conveyance surface 31 a in the conveyance unit 3 in the vertical direction (Z-axis direction) or at a position lower than the conveyance surface 31 a.
  • the excitation light detection unit 80 detects the excitation light irradiated by the excitation light irradiation unit 4 and outputs a detection signal of the detected excitation light.
  • the excitation light detection unit 80 may be disposed outside the inspection region R of the fluorescence detection unit 52 as long as it is within the irradiation range (excitation light irradiation region) of the excitation light irradiation unit 4. By arranging in this manner, it is possible to prevent false detection of foreign matter due to the fluorescence detection unit 52 detecting the excitation light reflected by the excitation light detection unit 80.
  • the processing unit 6B detects the presence or absence of abnormality of at least one of the excitation light irradiation unit 4 and the fluorescence detection unit 52 as the processing unit 6 of the light inspection apparatus 1 in the first embodiment. Furthermore, the processing unit 6B generates an image based on the detection signal of the excitation light detection unit 80 and the abnormality detection function of detecting the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation unit 4 based on the detection signal of the excitation light detection unit 80. And an output intensity adjustment function of adjusting the output intensity of the detection signal (adjusting the gain) with respect to the fluorescence detection signal output from the fluorescence detection unit 52 used in the process.
  • an abnormality detection function and an output intensity adjustment function which are realized based on a detection signal of the excitation light detection unit 80 will be described.
  • the processing unit 6B causes the light source 41 to emit a control signal to output excitation light from the light source 41 based on an instruction to start detection of the foreign material F by an operator or the like, and the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation unit 4 To detect. While outputting the control signal for irradiating the excitation light to the excitation light irradiation unit 4, the processing unit 6B can detect the presence or absence of the abnormality.
  • the details of the abnormality detection process for detecting the presence or absence of an abnormality in the excitation light irradiation unit 4 in the processing unit 6B will be described.
  • the processing unit 6B detects the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation unit 4 based on the detection signal of the excitation light output from the excitation light detection unit 80.
  • the excitation light detection unit 80 can detect the excitation light when the excitation light is irradiated from the excitation light irradiation unit 4 into the inspection region R.
  • the excitation light can not be detected in the excitation light detection unit 80.
  • the excitation light detection unit 80 can not detect the excitation light irradiated by the excitation light irradiation unit 4 .
  • the processing unit 6B outputs the control signal for irradiating the excitation light to the light source 41, when there is no detection signal of the excitation light from the excitation light detection unit 80, the excitation light irradiation unit 4 is abnormal. Detects that there is.
  • the processing unit 6B may cause the display unit 7 to display an alarm display or the like indicating that an abnormality has occurred.
  • the processing unit 6B may output an alarm sound or the like indicating that an abnormality has occurred from a speaker or the like.
  • the conveyance control unit 35 of the conveyance unit 3 stops the conveyance of the inspection object S by the conveyor belt 31 by stopping the drive motor 34 when the processing unit 6B detects that there is an abnormality.
  • the processing unit 6B continuously and repeatedly performs the above-described detection of the presence or absence of the abnormality until an instruction to end the detection of the foreign matter F is given after the instruction to start the detection of the foreign matter F by the operator or the like.
  • the processing unit 6B is, for example, an electronic control unit similar to the processing unit 6 in the first embodiment.
  • FIG. 18 An abnormality detection method for detecting the presence or absence of an abnormality in the excitation light irradiator 4 in the light inspection apparatus 1B will be described using the flowchart in FIG.
  • the process shown in FIG. 18 is started based on an instruction to start detection of foreign matter F by an operator or the like, and ends based on an instruction to end detection of foreign matter F by the operator or the like.
  • the process shown in FIG. 18 is started again from the start after the end of the process.
  • the processing unit 6B outputs a control signal for irradiating the excitation light to the light source 41 in order to cause the inspection region R to irradiate the excitation light by the light source 41 (S301: excitation light irradiation step).
  • the excitation light detection unit 80 detects the excitation light emitted from the light source 41 (S302: fluorescence detection step).
  • the processing unit 6B detects the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation unit 4 based on the detection signal output from the excitation light detection unit 80 (S303: abnormality detection step).
  • the processing unit 6B adjusts the output intensity of the detection signal (adjusts the gain) with respect to the fluorescence detection signal output from the fluorescence detection unit 52 used when generating an image. After adjusting the output intensity of the detection signal, the processing unit 6B generates an image based on the adjusted detection signal. Thereby, the processing unit 6B can adjust the output intensity of the detection signal, that is, the brightness of the entire image even if the fluorescence detection signal is weakened due to the change of the performance of the light source 41 or the like.
  • details of the process of adjusting the output intensity of the detection signal in the processing unit 6B will be described.
  • the detection intensity of the detection signal of the excitation light detected by the excitation light detection unit 80 does not change as it is constant when the performance of the excitation light irradiation unit 4 (light source 41) is constant.
  • the detection intensity of the fluorescence generated by the foreign substance F detected by the fluorescence detector 52 and the excitation light detector 80 change in response to the change in the performance of the excitation light irradiation unit 4.
  • the processing unit 6B detects the output intensity of the detection signal in the fluorescence detection unit 52 based on the detection intensity of the excitation light in the excitation light detection unit 80 and the reference intensity of the excitation light detection unit 80 determined in advance (detection signal Adjust the overall strength of).
  • the predetermined reference intensity is, for example, a detection intensity of excitation light detected in the past by the excitation light detection unit 80.
  • the detection strength in the past may be a detection strength at the start of use of the light inspection apparatus 1B after completion of the light inspection apparatus 1B. That is, the reference intensity may be the detection intensity of the excitation light detected by the excitation light detection unit 80 before the performance of the excitation light irradiation unit 4 changes.
  • the reference strength is stored in the processing unit 6B.
  • the reference intensity set in advance is an example in which the detection intensity of the excitation light detected in the past by the excitation light detection unit 80 is shown, a default signal value stored at the time of manufacture (a constant signal value regardless of the device) Value) etc.
  • the processing unit 6B calculates the difference between the detection intensity of the excitation light by the excitation light detection unit 80 and the reference intensity.
  • the processing unit 6B calculates an adjustment amount (or adjustment rate) such that the detection intensity of the excitation light detection unit 80 becomes the reference intensity.
  • the output intensity (the overall intensity of the detection signal) of the detection signal in the fluorescence detection unit 52 is adjusted based on the amount (or adjustment rate).
  • the reference difference value is stored in advance in the processing unit 6B. For example, when the detection intensity of excitation light in the excitation light detection unit 80 is lower than the reference intensity by the reference difference value or more, the processing unit 6B strengthens the output intensity of the detection signal in the fluorescence detection unit 52.
  • the processing unit 6B weakens the output intensity of the detection signal in the fluorescence detection unit 52. Thereby, the brightness of the entire image displayed on the display unit 7 is adjusted.
  • the processing unit 6B performs the adjustment of the output intensity of the detection signal described above before the transport unit 3 starts transporting the inspection object S.
  • the power of the optical inspection apparatus 1B may be turned on and the conveyance of the inspection object S may be started. That is, when the power of the optical inspection apparatus 1B is turned on, the output intensity of the detection signal may be adjusted.
  • the output intensity of the detection signal may be adjusted based on an instruction from the user or the like without limitation when the power of the optical inspection apparatus 1B is turned on. Since the change in the performance of the excitation light irradiator 4 is gradual, the adjustment of the output intensity of the detection signal may not always be performed during the inspection of the foreign matter F by the optical inspection apparatus 1B.
  • the processing unit 6B displays, on the display unit 7, an alarm display or the like indicating that the detection intensity has decreased when the detection intensity (predetermined threshold) of the excitation light in the excitation light detection unit 80 falls below a predetermined notification intensity. Display.
  • the processing unit 6B is configured to output an alarm sound or the like indicating that the detection intensity has decreased when the detection intensity of the excitation light at the excitation light detection unit 80 falls below a predetermined notification intensity. Or the lamp (notification unit) may be turned on.
  • the transport control unit 35 of the transport unit 3 stops the drive motor 34 when the processing unit 6B detects that the detected intensity of the excitation light at the excitation light detection unit 80 falls below the predetermined notification intensity. The conveyance of the inspection object S by the conveyor belt 31 may be stopped.
  • the processing unit 6B outputs, to the light source 41, a control signal for irradiating the excitation light in order to cause the inspection region R to irradiate the excitation light by the light source 41.
  • excitation light is irradiated to inspection field R from light source 41 (S401: irradiation step).
  • the excitation light detection unit 80 detects the excitation light irradiated by the excitation light irradiation unit 4 in the inspection region R (S402: excitation light detection step).
  • the processing unit 6B adjusts the output intensity of the detection signal based on the detection intensity of the excitation light detected by the excitation light detection unit 80 and the reference intensity (S403: intensity adjustment step).
  • the optical inspection apparatus 1B includes the excitation light detection unit 80 which is disposed in the excitation light irradiation region of the excitation light irradiation unit 4 and detects the excitation light and outputs a detection signal of the detected excitation light. There is.
  • the excitation light irradiation unit 4 can be It becomes possible to obtain the state of Thereby, the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation part 4 can be grasped
  • the processing unit 6B since the processing unit 6B detects the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation unit 4 based on the detection signal output from the excitation light detection unit 80, the foreign matter F attached to the inspection object S
  • the excitation light detection unit 80 can detect the excitation light emitted from the excitation light irradiation unit 4 even if the fluorescence detection unit 52 is not acquiring the fluorescence of the above. Therefore, the processing unit 6B can detect the presence / absence of abnormality of the excitation light irradiation unit 4 based on the detection signal output from the excitation light detection unit 80.
  • the presence / absence of abnormality of the excitation light irradiation unit 4 is detected based on the presence / absence of the detection signal output from the excitation light detection unit 80, so the processing unit 6B outputs the excitation light detection unit 80. It is possible to detect the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiator 4 by a simple process of determining the presence or absence of the detection signal. Further, when it is detected that the excitation light irradiator 4 is abnormal, the transport of the inspection object S in the transport unit 3 is stopped. As a result, even when the inspection object S is conveyed one after another by the conveyance unit 3, it is possible to prevent the inspection object S from being continuously conveyed to the inspection region R in a state in which the foreign substance F can not be detected correctly.
  • the output intensity of the fluorescence detection unit 52 is adjusted based on the detection intensity of the detection signal output from the excitation light detection unit 80 and the reference intensity. As a result, even when the irradiation output of the excitation light irradiation unit 4 is attenuated, the output intensity of the fluorescence detection unit 52 can be increased according to the attenuation, so that a decrease in the detection accuracy of the foreign matter F can be suppressed. .
  • the output intensity of the fluorescence detection unit 52 is adjusted based on the decrease amount acquired based on the detection intensity of the detection signal output from the excitation light detection unit 80 and the reference intensity.
  • the output intensity of the fluorescence detection unit 52 is appropriately adjusted in accordance with the amount of decrease in detection intensity, so that the decrease in detection accuracy of the foreign matter F can be suppressed.
  • the display unit 7 displays that the exchange of the excitation light irradiation unit 4 is urged. Since this prevents the excitation light irradiator 4 from being used in the attenuated state, it is possible to prevent the inspection object from being continuously inspected in a state in which the detection accuracy is low.
  • the excitation light detection unit 80 is disposed at the same position as the conveyance surface 31a of the conveyance unit 3 or below the conveyance surface 31a of the conveyance unit 3 in the vertical direction (Z-axis direction). . Therefore, since the distance between the excitation light irradiation unit 4 and the excitation light detection unit 80 can be secured, when the inclination of the light source 41 is detected, the detection can be performed with higher accuracy.
  • the processing unit 6B uses both the detection signal (or the intensity thereof) of the fluorescence generated by the light conversion unit 8 detected by the fluorescence detection unit 52 and the detection signal (or the intensity thereof) of the excitation light detection unit 80. Based on the presence or absence (or state) of the excitation light irradiator 4 may be detected. Thus, when acquiring the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiator 4, for example, the processing unit 6B detects the detection signal of the light converter 8 of the fluorescence detector 52 and the detection signal of the excitation light detector 80. When it is detected that there is an abnormality based on at least one, it is determined that the excitation light irradiation unit 4 has an abnormality.
  • the processing unit 6B detects the light conversion unit 8 of the fluorescence detection unit 52. Since it is possible to acquire any of the detection signal according to and the detection signal of the excitation light detection unit 80, it is possible to more reliably detect that the excitation light irradiation unit 4 is abnormal.
  • the processing unit 6B when there is no detection signal output from the excitation light detection unit 80, the processing unit 6B detects that the excitation light irradiation unit 4 or the like has abnormality, but the output from the excitation light detection unit 80 It is not limited when there is no detected signal. For example, based on the detection signal output from the excitation light detection unit 80, the processing unit 6B determines that there is an abnormality in the excitation light irradiation unit 4 when the intensity of the detection signal falls below a predetermined reference intensity. It may be detected.
  • the processing unit 6B may use the ratio of the detection intensity of excitation light in the excitation light detection unit 80 to the reference intensity instead of the difference. In this case, the processing unit 6B calculates the ratio of the detection intensity of the excitation light in the excitation light detection unit 80 to the reference intensity.
  • the processing unit 6B is a fluorescence detection unit based on the above-mentioned ratio such that the detection intensity of excitation light in the excitation light detection unit 80 becomes the reference intensity when the calculated ratio is outside the predetermined reference ratio range. The output intensity of the detection signal at 52 may be adjusted.
  • the excitation light detection unit 80 is fixed to the inner wall surface 21 e of the pedestal 21, but even if it is fixed to the main body 24 of the protective case 23 if disposed in the inspection area R Good.
  • Two or more excitation light detection units 80 may be installed in the inspection region R.
  • the processing unit 6B may detect the presence or absence of the attachment angle deviation of the detection unit 5 based on whether all the excitation light detection units 80 have detected the excitation light.
  • the processing unit 6B detects the presence or absence of abnormality of the excitation light irradiation unit 4 or the like. It is not essential that this be performed continuously while the excitation light irradiator 4 is being input, and timings other than this timing (e.g., detection leaks of the inspection object, for example, between multiple inspection objects being carried out It may be performed at a regular timing that does not occur.
  • the conveyance control unit 35 stops the conveyance of the inspection object S by the conveyance unit 3, but it is not essential to stop the conveyance.
  • the excitation light detection unit 80 may be attached to a site other than the housing 2 as long as the excitation light detection unit 80 is disposed in the inspection region R.
  • the example which provides an ultraviolet ray sensor as an excitation light detection part was mentioned and demonstrated in the modification of the said 3rd Embodiment or 3rd Embodiment, it is not limited to this.
  • a portion of the light emitted from the excitation light irradiator 4 is a transfer portion such as an optical fiber
  • the presence or absence of the detection of the excitation light or the detection intensity may be detected by causing the fluorescence detection unit 52 to directly receive light without passing through the second optical filter 51 such as a dichroic filter. That is, the fluorescence detection unit 52 may also function as the excitation light detection unit 80.
  • the detection signal of the pixel corresponding to the portion of the fluorescence detection unit 52 that receives visible light from the transmission unit is the detection signal of the excitation light. Even with such a configuration, it is possible to obtain the same effect as that of the third embodiment.
  • the preferred wavelength range of excitation light is 300 to 400 nm, and may be 330 to 350 nm.
  • the range of wavelengths of fluorescence generated thereby is 380 to 500 nm, and may be 420 to 450 nm.
  • a suitable wavelength range of excitation light is 350 to 450 nm, and may be 370 to 390 nm.
  • the range of wavelengths of fluorescence generated thereby is 420 to 530 nm, and may be 440 to 470 nm.
  • a suitable wavelength range of excitation light is 320 to 380 nm, and may be 320 to 340 nm.
  • the range of the wavelength of the fluorescence generated thereby is 380 to 430 nm, and may be 380 to 400 nm.
  • a suitable wavelength range of excitation light is 300 to 400 nm, and may be 320 to 340 nm.
  • the range of the wavelength of the fluorescence generated thereby is 380 to 500 nm, and may be 380 to 400 nm.
  • a suitable wavelength range of excitation light is 320 to 500 nm, and may be 360 to 380 nm.
  • the range of wavelengths of fluorescence generated thereby is 480 to 580 nm, and may be 510 to 530 nm.
  • the optical inspection apparatus can detect the presence or absence of abnormality in at least one of the excitation light irradiation unit and the fluorescence detection unit.
  • 1, 1A, 1B light inspection apparatus
  • 2 housing
  • 3 transport unit
  • 4 excitation light irradiation unit
  • 5 detection unit
  • 6, 6A, 6B processing unit
  • 7 display unit (notification unit)
  • DESCRIPTION OF SYMBOLS 8 ... light conversion part, 21 ... base part, 21c ... window part, 21g ... upper end, 23 ... protection case, 24 ... main body part, 24a ... opening part, 25 ... collar part, 26, 26E ... protection part, 26a ...

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Abstract

光検査装置は、被検査物に付着した異物に蛍光を発生させるための励起光を検査領域に照射する励起光照射部と、検査領域内に設置され、励起光によって蛍光を発生させる光変換部と、検査領域において異物が発生させた蛍光と光変換部が発生させた蛍光とを検出し、検出した蛍光の検出信号を出力する蛍光検出部と、光変換部が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出する処理部と、を備える。

Description

光検査装置、及び異常検出方法
　本開示は、光検査装置、及び光検査装置における異常検出方法に関する。
　特許文献１には、魚等の切り身に寄生虫等の異物が含まれているか否かを検査するために、励起光照射部から紫外線等の励起光を切り身に照射し、異物から発生した蛍光を蛍光検出部によって検出する検出装置が記載されている。
特開平１－３１１２５３号公報
　特許文献１に記載された検出装置において、蛍光検出部は、励起光照射部から照射された励起光ではなく、異物から発生した蛍光を検出している。例えばランプ切れ等の異常が励起光照射部に生じた場合、蛍光検出部の検出信号は蛍光が検出されない状態のままとなる。このため、蛍光検出部の検出信号を見ても、蛍光を発生させる異物が検査領域内に存在しないのか、励起光照射部に異常が生じているのかを検出することができない。
　そこで、本開示は、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出可能な光検査装置、及び異常検出方法を説明する。
　本開示に係る光検査装置は、被検査物を検査領域に搬送する搬送部と、被検査物に付着した異物に蛍光を発生させるための励起光を検査領域に照射する励起光照射部と、検査領域内に設置され、励起光によって蛍光を発生させる光変換部と、検査領域において、励起光によって異物が発生させた蛍光と励起光によって光変換部が発生させた蛍光とを検出し、検出した蛍光の検出信号を出力する蛍光検出部と、光変換部が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出する処理部と、を備える。
　この光検査装置において、光変換部は、検査領域内に励起光が照射されている場合に蛍光を発生させる。このため、蛍光検出部は、検査領域内に搬送された被検査物に異物が付着しているか否かにかかわらず、光変換部が発生させた蛍光を検出することができる。ここで、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかに異常が生じた場合、光変換部が発生させた蛍光の検出信号にも異常が生じる。従って、処理部は、光変換部が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出することができる。
　光検査装置において、処理部は、光変換部が発生させた蛍光の検出信号の有無に基づいて、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出してもよい。光変換部が発生させた蛍光の検出信号が無い場合とは、励起光が照射されていないために光変換部が蛍光を発生させていない場合又は光変換部が蛍光を発生させているものの発生させた蛍光が検出されていない場合である。このため、処理部は、光変換部が発生させた蛍光の検出信号の有無を判定するだけで、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を容易に検出できる。
　光検査装置において、検査領域は、第１領域と、第１領域とは異なる第２領域とを含み、光変換部は、第１領域内に設置され、搬送部は、被検査物を第２領域に搬送してもよい。この場合、処理部は、異物が発生させた蛍光の検出信号と、光変換部が発生させた蛍光の検出信号とを容易に識別できる。
　光検査装置は、搬送部における被検査物の搬送を制御する搬送制御部を更に備え、搬送制御部は、処理部によって励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかに異常が有りと検出された場合、搬送部における被検査物の搬送を停止させてもよい。これにより、光検査装置は、搬送部によって被検査物が次々と搬送される場合であっても、励起光照射部等の異常によって異物の検出が正しくできない状態のまま検査領域に被検査物が搬送され続けることを防止できる。
　光検査装置において、光検査装置は、検査領域を覆う筐体を更に備え、光変換部は、筐体に固定されていてもよい。この場合、光変換部は、筐体を用いて検査領域内に容易に設置され得る。
　光検査装置において、筐体は、搬送部に対して離間可能に設けられていてもよい。この場合、例えば、作業者が搬送部の清掃作業等を行うときに筐体を搬送部から離間させることが可能となる。これにより、作業者は、搬送部の掃除作業等を容易に行うことができる。
　光検査装置において処理部は、蛍光検出部から出力される検出信号の出力強度を更に調整し、検出信号は、検査領域内の前記蛍光の検出強度を含み、処理部は、検出信号における蛍光の検出強度と、予め定められた基準強度とに基づいて、検出信号の出力強度を調整してもよい。ここで、検出信号における蛍光の検出強度は、励起光照射部及び蛍光検出部の性能の変化によって変化する。このため、検出信号における蛍光の検出強度に基づいて検出信号の出力強度を調整することにより、処理部は、励起光照射部及び蛍光検出部の性能の変化に応じて検出信号の出力強度を調整できる。このように、光検査装置は、励起光照射部及び蛍光検出部の性能の変化に応じて、蛍光検出部から出力される検出信号の出力強度を調整することができる。
　光検査装置において、検出信号は、検査領域内の各位置での蛍光の検出強度を含み、処理部は、検出信号における光変換部の設置位置での蛍光の検出強度と、予め定められた基準強度とに基づいて、検出信号の出力強度を調整してもよい。光変換部の設置位置での蛍光の検出強度を用いることにより、検出信号の出力強度の調整の際に用いる蛍光の検出強度に、異物が発生させた蛍光の影響が含まれることが抑制される。これにより、処理部は、検出信号の出力強度を精度よく調整できる。
　光検査装置において、予め定められた基準強度は、蛍光検出部によって過去に検出された光変換部の設置位置での蛍光の検出強度であってもよい。この場合、処理部は、励起光照射部及び蛍光検出部の性能が変化する前の蛍光の検出強度を用いて、検出信号の出力強度を調整できる。
　光検査装置において、処理部は、搬送部が被検査物の搬送を開始する前に検出信号の出力強度を調整してもよい。この場合、被検査物の検査を開始する前に、検出信号の出力強度が調整される。
　光検査装置は、励起光照射部における励起光照射領域内に設置されると共に励起光を検出し、検出した励起光の検出信号を出力する励起光検出部を更に備え、処理部は、蛍光検出部から出力された検出信号であり異物が発生させた蛍光の検出信号に基づいて被検査物の画像を生成してもよい。この光検査装置では、励起光照射部における励起光照射領域内に設置されると共に励起光を検出し、検出した励起光の検出信号を出力する励起光検出部を備えている。このため、例えば、励起光検出部の検出信号に基づいて、励起光照射部の異常の有無を取得したり、励起光検出部が検出する検出強度に基づいて、励起光照射部の状態を取得したりすることが可能になる。これにより、励起光照射部の異常の有無を適切に把握でき、また、励起光照射部の状態に合わせた調整が適切に行えるようになる。この結果、異物の検出精度を維持することができる。
　処理部は、励起光検出部が出力する検出信号に基づいて、励起光照射部の異常の有無を検出してもよい。この光検査装置では、被検査物に付着した異物からの蛍光を蛍光検出部が取得している状態でなくとも、励起光検出部が励起光照射部から照射された励起光を検出することができる。従って、処理部は、励起光検出部が出力する検出信号に基づいて、励起光照射部の異常の有無を検出することができる。
　処理部は、励起光検出部が出力する検出信号の有無に基づいて、励起光照射部の異常の有無を検出してもよい。励起光検出部が出力する検出信号が無い場合とは、励起光が照射されていないために励起光検出部が励起光を検出していない場合である。このため、処理部は、励起光検出部が出力する検出信号の有無を判定するだけで、励起光照射部の異常の有無を容易に検出できる。
　光検査装置は、搬送部における被検査物の搬送を制御する搬送制御部を更に備え、搬送制御部は、処理部によって励起光照射部に異常が有りと検出された場合、搬送部における被検査物の搬送を停止させてもよい。この場合、光検査装置は、搬送部によって被検査物が次々と搬送される場合であっても、異物の検出が正しくできない状態のまま検査領域に被検査物が搬送され続けることを防止できる。
　処理部は、励起光検出部が出力する検出信号の検出強度と、予め定められた基準強度と、に基づいて、蛍光検出部における出力強度を調整してもよい。この光検査装置によれば、励起光照射部の照射出力が減衰した場合であっても、その減衰に応じて蛍光検出部の出力強度を高めることができる。このため、異物の検出精度の低下を抑制することができる。
　処理部は、励起光検出部が出力する検出信号の検出強度と基準強度とに基づいて検出強度の低下量を取得し、低下量に基づいて蛍光検出部における出力強度を調整してもよい。この場合、検出強度の低下量に応じて蛍光検出部の出力強度が適切に調整されるので、異物の検出精度の低下を抑制することができる。
　光検査装置は、搬送部によって搬送される被検査物が通過可能に搬送部の上方に配置される台座部と、台座部の上部に配置され、少なくとも蛍光検出部を収容する保護ケースと、上方から見た平面視において台座部を外側から覆う保護部と、を更に備えてもよい。この光検査装置は、鉛直方向上方から見た平面視において台座部を外側から覆う保護部を備える。これにより、保護ケースと台座部との接合部が保護部によって外側から覆われるので、保護ケースの外部から保護ケースの内部に光が侵入することを防止できる。従って、微弱な蛍光も識別できるようになり、検出精度を高めることができる。
　保護部は、上方から見た平面視において台座部の外側に配置され、保護部の下端は、台座部の上端よりも低い位置に位置していてもよい。この構成の光検査装置では、保護ケースの外部から保護ケースの内部に光が直線的に入ることを防止できるので、保護ケースの内部の遮光性を更に高めることができる。
　保護部は、台座部を囲むように枠状に配置されていてもよい。この構成の光検査装置では、保護ケースと台座部との接合部の全てを覆うように保護部が配置されるので、保護ケース内部の遮光性を更に高めることができる。
　保護部は、保護ケースに形成されてもよい。この構成の光検査装置では、保護ケースと台座部との接合時に、保護部となる保護部材を所定の位置に別途配置するような手間を省略できるので、接合時の作業性が向上する。
　保護ケースは、開口部を有する箱状の本体部と、開口部の周囲から張り出した鍔部と、を有しており、保護部は、鍔部に形成されてもよい。この構成の光検査装置では、鍔部の張り出した長さの分、保護ケースの外部と保護ケースの内部との間の光の侵入経路を長くすることができる。これにより、保護ケース内部の遮光性を更に高めることができる。また、保護ケースと台座部との間に配置されるシール部材を配置する場合には、鍔部の張り出した長さの分、シール部材の幅（張り出し方向における長さ）を大きくすることができるので、保護ケース内部の密閉性を更に高めることができる。
　鍔部の上面は、張り出し方向に向かって、下方に傾斜していてもよい。これにより、保護ケースに水がかかった場合でも、鍔部に水が滞留することが抑制され、部材の劣化が抑制できる。
　台座部は、保護ケースの開口部よりも面積が小さな窓部を有し、蛍光検出部は、窓部を介して、異物から発せられる蛍光を検出してもよい。この構成の光検査装置では、接合部以外からの光の侵入を抑制できるので、保護ケース内部の遮光性を更に高めることができる。
　光検査装置は、蛍光の波長帯以外の波長帯の光を減衰させるフィルタを更に備え、蛍光検出部は、当該蛍光検出部の光取込部に入射した蛍光を検出し、フィルタは、光取込部に対向する位置に設けられていてもよい。この場合、蛍光以外の光が蛍光検出部の光取込部に入射することが抑制される。これにより、光検査装置は、蛍光検出部の検出精度を向上させることが可能となる。
　光検査装置において、搬送部における被検査物が載置される載置面には、励起光の反射防止処理が施されていてもよい。これにより、被検査物周辺の載置面で反射された励起光の反射光が蛍光検出部に入射する割合を減少させることができる。
　本開示に係る異常検出方法は、検査領域に搬送された被検査物に励起光を照射して被検査物に付着する異物を検出すると共に、励起光によって蛍光を発生させる光変換部が検査領域内に設置された光検査装置における異常検出方法であって、異物及び光変換部に蛍光を発生させるための励起光を検査領域に照射させる制御信号を励起光照射部に入力する照射ステップと、検査領域において、励起光照射部が照射した励起光によって光変換部が発生させた蛍光を蛍光検出部が検出する蛍光検出ステップと、蛍光検出ステップで検出された光変換部が発生させた蛍光に基づいて、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を処理部が検出する異常検出ステップと、を含む。
　この光検査装置には、検査領域内に光変換部が設置されている。光変換部は、照射ステップにおいて励起光照射部が励起光を検査領域内に照射している場合に蛍光を発生させる。このため、蛍光検出ステップにおいて蛍光検出部は、検査領域内に搬送された被検査物に異物が付着しているか否かにかかわらず、光変換部が発生させた蛍光を検出することができる。ここで、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかに異常が生じた場合、光変換部が発生させた蛍光の検出信号にも異常が生じる。従って、異常検出ステップにおいて処理部は、光変換部が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出することができる。
　本開示によれば、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出できる。
第１実施形態の光検査装置の構成図である。 図１の光検査装置の筐体を、搬入口側から見た側面図である。 搬送部上に筐体が配置された状態の光検査装置全体を示した斜視図である。 搬送部から筐体が離間された状態の光検査装置全体を示した斜視図である。 被検査物の搬送方向（Ｘ軸方向）に沿って見た場合の検査領域を示す概略図である。 検出部からコンベアベルト側を見た場合の検査領域を示す概略図である。 異常検出方法における処理の流れを示すフローチャートである。 図１の接合部を拡大して示した断面図である。 図１の保護ケースを下方から見た下面図である。 第１実施形態の変形例に係る接合部を拡大して示した断面図である。 第２実施形態の光検査装置の構成図である。 蛍光の検出信号に基づいて生成された画像例を示す図である。 検査領域内の各位置における蛍光の検出強度を示すグラフである。 出力強度調整方法における処理の流れを示すフローチャートである。 第３実施形態の光検査装置の構成図である。 図１５の光検査装置の筐体を、搬入口側から見た側面図である。 搬送部から筐体が離間された状態の光検査装置全体を示した斜視図である。 異常検出方法における処理の流れを示すフローチャートである。 出力強度調整方法における処理の流れを示すフローチャートである。
　以下、添付図面を参照して、実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
（第１実施形態）
　まず、第１実施形態について説明する。なお、以下では説明の便宜のために、図１～図６等に示されるように、搬送部３の搬送方向Ａに沿う方向をＸ軸、搬送部３の幅方向（図１の紙面奥行方向）をＹ軸、搬送部３の搬送面３１ａに直交する方向をＺ軸として設定した。Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は互いに直交する。他の実施形態についても同様とする。
　図１に示されるように、光検査装置１は、筐体２と、搬送部３と、励起光照射部４と、検出部５と、処理部６と、表示部７と、光変換部８と、脚部９（図３参照）と、を備える。光検査装置１は、被検査物Ｓに異物Ｆが含まれているか否かを検査するための装置である。被検査物Ｓは、主に、サバ、アジ、イカ、イワシ、サケ、サンマ、ホッケ等の魚介類の切り身であり、異物Ｆは、主に、アニサキス、ブリ線虫等の寄生虫である。
　図１及び図２に示されるように、筐体２は、検査領域Ｒを覆い、外部の光（屋内の人工灯又は自然光等）から検査領域Ｒを遮蔽する。なお、検査領域Ｒは、筐体２の内部領域Ｌのうち、検出部５が蛍光を検出する３次元の領域である。筐体２は、台座部２１と、保護ケース２３と、を有する。
　台座部２１は、搬送部３によって搬送される被検査物Ｓが通過可能に搬送部３の上方に配置されている。台座部２１には、内部領域Ｌに被検査物Ｓを搬入するための搬入口２１ａ、及び内部領域Ｌから被検査物Ｓを搬出するための搬出口２１ｂが形成されている。なお、筐体２内には、台座部２１の搬入口２１ａ及び搬出口２１ｂ等を介して外部の光が進入し得るが、内部領域Ｌは、台座部２１及び保護ケース２３によって外部の光から十分に遮蔽されている。つまり、筐体２は、後述する蛍光の検出が阻害されないように外部の光から内部領域Ｌ（検査領域Ｒ）を遮蔽するものであればよく、外部の光から内部領域Ｌを完全に遮蔽するものである必要はない。
　保護ケース２３は、台座部２１の上部に接合（配置）され、励起光照射部４及び検出部５を収容する。保護ケース２３は、ステンレススチール等の金属、又はプラスチック樹脂等の材料から形成されている。保護ケース２３は、開口部２４ａを有する箱状の本体部２４と、開口部２４ａの周囲から張り出した鍔部２５と、を有する。台座部２１と保護ケース２３とは、例えば、鍔部２５に形成された挿通孔にボルトＢ（図３参照）が挿通され、その挿通されたボルト（締結部）Ｂが台座部２１に形成されたネジ孔に取り付けられることにより接合される。ボルトＢは、保護ケース２３の上方から締結作業又は締結解除作業が可能に設けられている。また、ボルトＢは、ボルトＢを挿通可能なカラー部材２７Ａを介してシール部材２７を貫通している（図８参照）。
　台座部２１は、保護ケース２３の開口部２４ａよりも面積が小さな窓部２１ｃを有する。窓部２１ｃには、ＰＭＭＡ（ポリメタクリル酸メチル）樹脂、プラスチック樹脂、又はガラス等からなる光透過性の透明部材２１ｄが嵌め込まれている。これにより、搬送部３から本体部２４の内部に粉塵又は水等が侵入することが防止される。窓部２１ｃは、窓部２１ｃを介して異物Ｆから発せられる蛍光を検出部５が検出することが阻害されないようなサイズ、かつ検査領域Ｒに励起光照射部４の励起光が照射可能なサイズに形成されている。なお、台座部２１と保護ケース２３との接合部Ｊについては、後段にて詳細に説明する。
　搬送部３は、被検査物Ｓを検査領域Ｒに搬送する。搬送部３は、無端状のコンベアベルト３１と、一対のローラ３２と、支持部３３と、駆動モータ３４と、搬送制御部３５と、を有する。
　コンベアベルト３１は、ＸＹ平面（互いに直交するＸ軸及びＹ軸を含む平面であって、例えば、水平面）に平行な搬送面（載置面）３１ａを有する。コンベアベルト３１は、搬送面３１ａに載置された被検査物ＳをＸ軸に平行な搬送方向Ａに沿って搬入口２１ａから搬出口２１ｂまで搬送する。コンベアベルト３１の表面（搬送面３１ａを構成する表面）には、後述する励起光の反射を抑制する反射防止処理が施されている。反射防止処理は、例えば、励起光に対して光吸収性を有する染料を用いた色付けである。そのようなコンベアベルト３１の一例としては、カーボンを含有させた黒色ベルトが挙げられる。
　一対のローラ３２は、無端状のコンベアベルト３１の内側に配置され、コンベアベルト３１を支持する。駆動モータ３４は、ローラ３２を回転駆動する。駆動モータ３４がローラ３２を回転させることにより、一対のローラ３２の周りをコンベアベルト３１の搬送面３１ａが移動する。搬送制御部３５は、駆動モータ３４の駆動を制御する。支持部３３は、ローラ３２を着脱自在に支持する。支持部３３は、脚部９によって支持される。
　図３及び図４に示されるように、筐体２は、搬送部３に対して離間する方向に移動可能に設けられている。具体的には、台座部２１が、搬送方向に延在する回転軸２８を介して搬送部３の支持部３３に支持され、台座部２１及び保護ケース２３が、搬送部３から離間する方向に移動可能に設けられる。台座部２１が、搬送部３から離間する方向に移動した場合、台座部２１に接合される保護ケース２３も一体的に搬送部３から離間する方向に移動する。搬送部３上に筐体２が配置された状態にあるとき、台座部２１と支持部３３とは、固定部２９によって互いに固定される。
　脚部９は、筐体２及び搬送部３を支持する。
　図１に示されるように、励起光照射部４は、被検査物Ｓに付着した異物Ｆに蛍光を発生させるための励起光を検査領域Ｒに照射する。具体的には、励起光照射部４は、検査領域Ｒのうち、光変換部８と、搬送された被検査物Ｓが通過する領域と、を含む領域内に励起光を照射する。励起光照射部４は、保護ケース２３の内壁面に取り付けられており、搬送面３１ａの一方の側（Ｘ軸及びＹ軸に直交するＺ軸に平行な方向における搬送面３１ａの一方の側であって、例えば、鉛直方向における搬送面３１ａの上側）から光変換部８及び被検査物Ｓに励起光を照射する。
　励起光照射部４は、光源４１と、集光部４２と、第１光学フィルタ４３と、を有している。光源４１は、Ｙ軸に平行な方向に沿って配列された複数の発光素子（例えば、発光ダイオード）を有している。光源４１は、処理部６から入力された制御信号に基づいて、図示しない電源から電力の供給を受けて励起光を照射する。集光部４２は、光学素子（例えば、シリンドリカルレンズ）であって、光源４１から照射された励起光を、検査領域Ｒのうち、光変換部８と、搬送された被検査物Ｓが通過する領域と、を含む範囲に集光する。ここでは、集光部４２は、光源４１から照射された発散光を平行光に集光する。第１光学フィルタ４３は、励起光を透過させる一方で、励起光の波長帯よりも長波長側の光を減衰させる。例えば、励起光が紫外域の波長帯を有する場合には、第１光学フィルタ４３は、可視域の波長帯を有する光を減衰させる。
　光変換部８は、検査領域Ｒ内に設置され、励起光照射部４が照射する励起光によって蛍光を発生させる。光変換部８は、図２及び図４に示されるように、台座部２１の内壁面２１ｅに固定されている。光変換部８は、蛍光部８１と、固定部８５と、を有している。固定部８５の一方の端部は内壁面２１ｅに固定され、他方の端部はコンベアベルト３１に向けて延びている。蛍光部８１は、固定部８５における検出部５側の面に取り付けられている。蛍光部８１は、励起光照射部４が照射する励起光によって蛍光を発生させる。本実施形態において、蛍光部８１は、励起光によって蛍光を発生させる蛍光層と粘着層とによって構成され、固定部８５に貼り付けられている。蛍光部８１において蛍光を発生させる材料としては、例えば、青色系の蛍光を発生させるハロけい酸塩又はアルミン酸塩等が用いられる。
　検出部５は、予め設定された検査領域Ｒ内で発生した蛍光を検出する。検出部５は、筐体２の内壁面に取り付けられており、搬送面３１ａの一方の側（Ｘ軸及びＹ軸に直交するＺ軸に平行な方向における搬送面３１ａの一方の側であって、例えば、鉛直方向における搬送面３１ａの上側）から蛍光を検出する。
　検出部５は、第２光学フィルタ５１と、蛍光検出部５２と、を有している。蛍光検出部５２は、ラインセンサを構成している。蛍光検出部５２は、Ｙ軸に平行な方向（搬送面３１ａに垂直な方向から見た場合に、搬送方向Ａと交差する交差方向）に沿って配列された複数の光検出素子を有している。この光検出素子は、例えばフォトダイオード等の受光素子であって、蛍光検出部５２の光取込部５２ａに入射した蛍光を検出する。蛍光検出部５２は、検査領域Ｒにおいて異物Ｆが発生させた蛍光と光変換部８が発生させた蛍光とを検出し、検出した蛍光の検出信号を出力する。
　ここで、図５及び図６に示されるように、蛍光検出部５２は、コンベアベルト３１の幅方向（Ｙ軸に平行な方向）に沿って広がる領域を検査領域Ｒとする。なお図５及び図６は、筐体２等が省略されて、要部のみ示されている。検査領域Ｒは、第１領域Ｒ１と、第２領域Ｒ２と、含んでいる。第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とは、検出部５とコンベアベルト３１の搬送面３１ａとが対向する方向に対して直交する方向に沿って並んでいる。本実施形態において、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とは、コンベアベルト３１の幅方向（Ｙ軸に平行な方向）に沿って並んでいる。光変換部８は、第１領域Ｒ１内に設置されている。搬送部３は、被検査物Ｓをコンベアベルト３１によって第２領域Ｒ２に搬送する。すなわち、第１領域Ｒ１は、検出部５から光変換部８に向かう領域である。第２領域Ｒ２は、検出部５からコンベアベルト３１に向かう領域である。なお、第１領域Ｒ１及び第２領域Ｒ２は、検出部５とコンベアベルト３１の搬送面３１ａとが対向する方向に対して直交する方向（本実施形態ではコンベアベルト３１の幅方向）に沿って並んでいれば、上方から見たとき（Ｚ軸方向に沿って見たとき）に、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とが互いにオーバーラップする部分があってもよい。
　蛍光検出部５２が出力する蛍光の検出信号には、第１領域Ｒ１で蛍光が発生しているか否か（すなわち光変換部８によって蛍光が発生しているか否か）、及び、第２領域Ｒ２で蛍光が発生しているか否か（すなわち異物Ｆによって蛍光が発生しているか否か）の情報を含んでいる。
　第２光学フィルタ５１は、異物Ｆ及び光変換部８が発生させた蛍光を透過させる一方で、蛍光の波長帯以外の波長帯の光を減衰させる。本実施形態において第２光学フィルタ５１は、蛍光の波長帯よりも短波長側の光を減衰させる。例えば、蛍光が可視域の波長帯を有する場合には、第２光学フィルタ５１は、紫外域の波長帯を有する光を減衰させる。第２光学フィルタ５１は、蛍光検出部５２の光取込部５２ａに対向する位置に設けられている。蛍光検出部５２の各光検出素子は、第２光学フィルタ５１を透過した蛍光を検出する。
　励起光照射部４が被検査物Ｓに照射する励起光は、異物Ｆ及び光変換部８に蛍光を発生させるための光であって、例えば、紫外域の波長帯を有する光である。励起光の照射によって異物Ｆ及び光変換部８が発生する蛍光は、励起光の波長とは異なる波長を有する光であって、例えば、可視域の波長帯を有する光である。なお、励起光の中心波長は、蛍光の中心波長に対してずれていればよい。つまり、励起光及び蛍光については、少なくとも互いの中心波長（ピーク波長）がずれていれば、互いの波長帯が完全にずれている必要はない。ただし、励起光の波長帯と蛍光の波長帯とは、完全にずれていてもよい。
　処理部６は、検出部５から出力された蛍光の検出信号に基づいて画像を生成する。表示部７は、処理部６によって生成された画像を表示する。
　また、処理部６は、使用者等による異物Ｆの検出の開始の指示に基づいて、励起光照射部４に制御信号を出力することによって光源４１から励起光を照射させる。さらに、処理部６は、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかの異常の有無を検出する異常検出部としても機能する。処理部６は、励起光を照射させる電力が励起光照射部４に供給されている間、異常の有無を検出する。以下、処理部６における励起光照射部４等の異常の有無を検出する異常検出処理の詳細について説明する。
　処理部６は、検出部５から出力された蛍光の検出信号のうち光変換部８が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかの異常の有無を検出する。
　ここで、光変換部８は、励起光照射部４から検査領域Ｒ内に励起光が照射されている場合に蛍光を発生させる。従って、励起光照射部４及び蛍光検出部５２に異常が無い場合、蛍光検出部５２は、励起光照射部４から照射された励起光によって光変換部８が発生させた蛍光を検出できる。しかしながら、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかに異常が生じた場合、蛍光検出部５２は、光変換部８が発生させた蛍光を検出できない。また、励起光照射部４の取り付け角度にズレが生じて励起光が光変換部８に照射されていない場合、蛍光検出部５２は、光変換部８が発生させた蛍光を検出できない。検出部５の取り付け角度にズレが生じて光変換部８が発生させた蛍光が蛍光検出部５２の光取込部５２ａに入射していない場合、蛍光検出部５２は、光変換部８が発生させた蛍光を検出できない。
　このため、処理部６は、励起光を照射させる電力が光源４１に供給されているか否かに関わらず、光変換部８が発生させた蛍光の検出信号が無い場合、すなわち、光変換部８の蛍光が検出できない場合、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかに異常が有りと検出する。処理部６は、異常が有りと検出した場合、異常が発生していることを示す警報表示等を表示部７に表示させてもよい。処理部６は、異常が有りと検出した場合、異常が発生していることを示す警報音等をスピーカ等から出力させたり、ランプを点灯させたりしてもよい。搬送部３の搬送制御部３５は、処理部６によって異常が有りと検出された場合、駆動モータ３４を停止させて、コンベアベルト３１による被検査物Ｓの搬送を停止させる。処理部６は、上述した異常の有無の検出を、使用者等による異物Ｆの検出の開始の指示の後、異物Ｆの検出の終了の指示がされるまでの間、継続して繰り返し行う。
　なお、処理部６は、例えば、ＣＰＵ[Central　Processing　Unit]、ＲＯＭ[Read　Only　Memory]、及びＲＡＭ[Random　Access　Memory]等を有する電子制御ユニットである。処理部６では、例えば、ＲＯＭに記憶されているプログラムをＲＡＭにロードし、ＲＡＭにロードされたプログラムをＣＰＵで実行することにより各種の機能が実現される。処理部６は、複数の電子制御ユニットから構成されていてもよい。
　搬送制御部３５は、処理部６と同様の構成を有する電子制御ユニットである。なお、処理部６と搬送制御部３５とは、一つの電子制御ユニットとして構成されていてもよい。
　次に、光検査装置１において励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかの異常の有無を検出する異常検出方法の処理の流れについて、図７のフローチャートを用いて説明する。なお、図７に示される処理は、使用者等による異物Ｆの検出の開始の指示に基づいて開始され、使用者等による異物Ｆの検出の終了の指示に基づいて終了する。また、図７に示される処理は、処理がエンドに至った後、再びスタートから処理が開始される。
　図７に示されるように、処理部６は、光源４１によって励起光を検査領域Ｒに照射させために、励起光を照射させる制御信号を光源４１に出力する（Ｓ１０１：照射ステップ）。蛍光検出部５２は、検査領域Ｒにおいて励起光によって発生した蛍光を検出する（Ｓ１０２：蛍光検出ステップ）。処理部６は、蛍光検出部５２で検出された光変換部８が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかの異常の有無を検出する（Ｓ１０３：異常検出ステップ）。
　次に、台座部２１と保護ケース２３との接合部Ｊについて、主に図８及び図９を用いて詳細に説明する。図８及び図９に示されるように、台座部２１と保護ケース２３とは、弾性を有するシール部材２７を介して接合されている。接合される前の状態において、シール部材２７は、例えば、シリコンゴム（ケイ素樹脂）等の弾性の材料から形成されており、そのＺ軸方向厚みＴ１は、２ｍｍ～５ｍｍ程度、ＸＹ平面に沿う幅は１０ｍｍ～５０ｍｍ程度である。シール部材２７は、鍔部２５と台座部２１との間に鍔部２５の延在方向に沿って、枠状に配置されている。シール部材２７は、カラー部材２７Ａを介してボルトＢが上下方向に貫通されている。
　Ｚ軸方向上方から見た平面視においてシール部材２７の外側には保護部２６が配置されている。また、保護部２６は、上方から見た平面視において台座部２１の外側面２１ｆを外側から覆う。保護部２６は、保護ケース２３の一部分として一体的に形成されている。更に詳細には、保護部２６は、鍔部２５に、Ｚ軸方向下方に突出するように形成されている。保護部２６は、枠状のシール部材２７及び台座部２１の外側面２１ｆを囲むように枠状に形成されている。また、保護部２６は、Ｚ軸方向上方から見た平面視において台座部２１の外側面２１ｆよりもＸＹ平面において外側に配置されており、保護部２６の下端２６ａは、台座部２１の上端２１ｇよりも低い位置に位置している。なお、シール部材２７は、両面テープ等で保護部２６に接着（固定）されていてもよい。このように構成すれば、シール部材の位置を固定させると共に密着させることが可能となり、遮光性、防塵性及び防水性が更に高まる。
　以上説明したように、光検査装置１において、光変換部８は、検査領域Ｒ内に励起光が照射されている場合に蛍光を発生させる。このため、検出部５は、検査領域Ｒ内に搬送された被検査物Ｓに異物が付着しているか否かにかかわらず、光変換部８が発生させた蛍光を検出することができる。ここで、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかに異常が生じた場合、光変換部８が発生させた蛍光の検出信号にも異常が生じる。従って、処理部６は、光変換部８が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかの異常の有無を検出することができる。その結果、励起光照射部４及び蛍光検出部５２に異常が発生した状態で被検査物Ｓの検査が行われることが抑制される。
　処理部６は、光変換部８が発生させた蛍光の検出信号の有無に基づいて、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかの異常の有無を検出する。ここで、光変換部８が発生させた蛍光の検出信号が無い場合とは、励起光が照射されていないために光変換部８が蛍光を発生させていない場合又は光変換部８が蛍光を発生させているものの発生させた蛍光が検出されていない場合である。このため、処理部６は、光変換部８が発生させた蛍光の検出信号の有無を判定するだけで、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかの異常の有無を容易に検出できる。
　光変換部８は、検査領域Ｒの第１領域Ｒ１に配置される。検査領域Ｒの第２領域Ｒ２には、被検査物Ｓが搬送される。このように、光変換部８と被検査物Ｓとは、検査領域Ｒ内の異なる領域に配置及び搬送される。この場合、処理部６は、異物Ｆが発生させた蛍光の検出信号と、光変換部８が発生させた蛍光の検出信号とを容易に識別できる。
　搬送制御部３５は、処理部６によって励起光照射部４等に異常が有りと判定された場合、搬送部３における被検査物Ｓの搬送を停止させる。これにより、光検査装置１は、搬送部３によって被検査物Ｓが次々と搬送される場合であっても、励起光照射部４等の異常によって異物Ｆの検出が正しくできない状態のまま検査領域Ｒに被検査物Ｓが搬送され続け、被検査物Ｓが次々と検査領域Ｒを通過していくことを防止できる。
　光変換部８は、台座部２１の内壁面２１ｅに固定されている。この場合、光変換部８は、筐体２の台座部２１を用いて検査領域Ｒ内に容易に設置され得る。また、光変換部８の蛍光部８１は、固定部８５に対して貼り付けによって取り付けられている。これにより、例えば、蛍光部８１に汚れが付着した場合等であっても、作業者は、蛍光部８１の交換作業を容易に行うことができる。
　また、光変換部８は、励起光照射部４及び検出部５が固定される筐体２に固定されている。このように、励起光照射部４及び検出部５が固定される筐体２に対して光変換部８が固定されることにより、励起光照射部４に対する光変換部８の位置決め、及び、検出部５に対する光変換部８の位置決めを容易に行うことができる。例えば、励起光照射部４が第１部材に固定され、第１部材に対して移動可能な第２部材に光変換部８が固定されている場合、第１部材と第２部材の位置ズレも考慮して励起光照射部４及び光変換部８を固定する必要がある。本実施形態のように、励起光照射部４及び検出部５が固定される筐体２に対して光変換部８が固定されることにより、上述したような第１部材と第２部材の位置ズレを考慮する必要がなくなり、光変換部８の設置が容易となる。
　筐体２は、搬送部３に対して離間可能に設けられている。この場合、例えば、作業者が搬送部３のコンベアベルト３１の清掃作業等を行うときに筐体２をコンベアベルト３１の搬送面３１ａから離間させることが可能となる。これにより、作業者は、搬送面３１ａの掃除作業等を容易に行うことができる。また、筐体２を搬送部３の搬送面３１ａから離間させた場合には、光変換部８も搬送面３１ａから離間する。このため、作業者が搬送部３の清掃作業を行うときに掃除作業用の噴水流が光変換部８に掛かることが抑制され、また、拭き掃除用のタオル等が触れることによって光変換部８に拭き擦れ等が生じることが抑制される。その結果、光変換部８が損耗することが抑制される。
　また、励起光照射部４、検出部５及び光変換部８は、筐体２に固定されている。このため、搬送部３に対して筐体２を離間させた後、再び筐体２を搬送部３の支持部３３に固定したときに、支持部３３に対する筐体２の固定位置にズレが生じたとしても、励起光照射部４、検出部５及び光変換部８同士の位置関係は変化しない。このため、蛍光検出部５２の検査領域Ｒから、光変換部８が外れることが抑制される。また、励起光照射部４の励起光の照射領域から、光変換部８が外れることが抑制される。
　検出部５には、第２光学フィルタ５１が設けられている。この場合、蛍光以外の光が蛍光検出部５２の光取込部５２ａ部に入射することが抑制される。これにより、光検査装置１は、蛍光検出部５２の検出精度を向上させることが可能となる。
　コンベアベルト３１の搬送面３１ａには、励起光の反射防止処理が施されている。これにより、被検査物Ｓ周辺の搬送面３１ａで反射された励起光の反射光が蛍光検出部５２に入射する割合を減少させることができる。
　また、光検査装置１において、台座部２１のＸＹ平面における外側には、台座部２１を覆うように保護部２６が配置されている。このため、保護ケース２３と台座部２１との接合部Ｊから保護ケース２３の内部領域Ｌに光が侵入することがより確実に防止される。これにより、光検査装置１は、微弱な蛍光も識別できるようになり、検出精度を高めることができる。
　また、光検査装置１の保護部２６は、図８に示されるように、Ｚ軸方向から見た平面視において台座部２１の外側面２１ｆよりもＸＹ平面における外側に配置されており、保護部２６の下端２６ａは、台座部２１の上端２１ｇよりもＺ軸方向において低い位置に位置している。すなわち、保護ケース２３の一部と台座部２１の一部とが鉛直方向（Ｚ軸方向）において互いにオーバラップしている。このため、光検査装置１は、接合部Ｊから保護ケース２３の内部領域Ｌに光が直線的に入ることを防止できるので、保護ケース２３の内部領域Ｌの密閉性を更に高めることができる。
　光検査装置１では、図８に示されるように、台座部２１と保護ケース２３とは、弾性を有するシール部材２７を介して接合されるので、光の侵入だけでなく、水及び粉塵の侵入も抑制できる。このため、保護ケース２３の内部領域Ｌの遮光性をさらに高めると共に、防水性及び防塵性も高めることができる。更にこの構成では、仮にシール部材２７が経年変化によって劣化した場合であっても、保護部２６の存在により、保護ケース２３の内部領域Ｌへの水及び粉塵の侵入も抑制できる。
　光検査装置１では、保護部２６は、保護ケース２３に一体的に形成されているので、保護ケース２３と台座部２１との接合時に、保護部２６としての保護部材を所定の位置に別途配置するような手間を省略できる。これにより、接合時の作業性が向上する。
　光検査装置１の保護ケース２３は、図８に示されるように、本体部２４における開口部２４ａの周囲から張り出す鍔部２５が形成されている。これにより、鍔部２５の張り出した長さの分、保護ケース２３の外部領域と保護ケース２３の内部領域Ｌとの間の光の侵入経路を長くすることができる。これにより、保護ケース２３の内部領域Ｌの遮光性を更に高めることができる。更に、この構成では、鍔部２５の張り出した長さＬ２の分、保護ケース２３の外側領域と内部領域Ｌとの間に配置されるシール部材２７の幅Ｌ１を大きくすることができるので、保護ケース２３の内部領域Ｌの密閉性を更に高めることができる。
　光検査装置１では、図９に示されるように、シール部材２７は枠状に配置され、保護部２６は枠状に配置されたシール部材２７を囲むように枠状に配置されている。これにより、保護ケース２３と台座部２１との接合部Ｊから光が侵入する経路を全て遮るようにシール部材２７が配置されるので、保護ケース２３の内部領域Ｌの密閉性を更に高めることができる。また、この構成では、光の侵入だけでなく、水及び粉塵の侵入も抑制できる。このため、保護ケース２３の内部領域Ｌの防水性及び防塵性も更に高めることができる。
　光検査装置１は、図３及び図８に示されるように、保護ケース２３と台座部２１とを固定するボルトＢの締結又は締結解除作業が、保護ケース２３の上方から可能に設けられているので、作業者は、内部機材のメンテナンス又は部品交換等が容易に可能となる。また、そのボルトＢは、ボルトＢを挿通可能なカラー部材２７Ａを介してシール部材２７を貫通しているので、シール部材２７を所望の位置に確実に固定できる。また、ボルトＢは、カラー部材２７Ａを介してシール部材２７に貫通されるので、貫通時のシール部材２７の損傷を防止できる。これにより、シール部材２７の損傷箇所から光が保護ケース２３の内部領域Ｌに侵入することを抑制できる。
　光検査装置１では、励起光照射部４は保護ケース２３に収容されているので、保護ケース２３を、検出部５及び励起光照射部４が収容された一つのユニットとして扱うことができ作業性に優れる。また、励起光照射部４を保護ケース２３に収容することで、励起光照射部４を粉塵又は水等からも保護できる。
　光検査装置１では、台座部２１に設けられた窓部２１ｃの面積が、開口部２４ａの面積よりも小さいので、接合部Ｊ以外からの光の侵入を抑制できる。これにより、保護ケース２３の内部領域Ｌの密閉性を更に高めることができる。
　光検査装置１では、図４に示されるように、台座部２１は、搬送部３に対して離間する方向に移動可能に設けられている。これにより、搬送部３の上方から台座部２１と台座部２１に一体的に接合された保護ケース２３とを移動させることができるので、搬送部３の清掃を容易に行うことができる。また、搬送部３を清掃する際の噴流水等から、台座部２１（更には、収容される励起光照射部４及び検出部５（蛍光検出部５２））を離間させることができる。
　以上、本開示の第１実施形態について説明したが、本開示は、上述した第１実施形態に限定されるものではない。例えば、第１実施形態において処理部６は、光変換部８が発生させた蛍光の検出信号が無い場合に、励起光照射部４等に異常が有りと検出したが、光変換部８が発生させた蛍光の検出信号が無い場合に限定されない。例えば、処理部６は、光変換部８が発生させた蛍光の検出信号に基づいて、検出信号の強度が予め定められた基準強度以下となった場合に、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかに異常が有りと検出してもよい。これにより、ゲイン（調整）が可能な範囲を超えて検出強度が下がった場合、又はゲイン（調整）によりＳ／Ｎ比が許容範囲を超えて低下してしまった場合等の検出精度が十分に得られない状態において、異物Ｆが適切に検出されずに被検査物Ｓが搬送されることが抑制される。
　第１実施形態において、光変換部８は、台座部２１の内壁面２１ｅに固定されているが、検査領域Ｒ内に配置されていれば、保護ケース２３の本体部２４に固定されていてもよい。蛍光部８１は、蛍光を発生させる材質を含む塗料が固定部８５に塗布されることによって形成されていてもよい。
　第１実施形態において光検査装置１には、台座部２１の窓部２１ｃに透明部材２１ｄが嵌め込まれていたが、透明部材２１ｄに代えて、第２光学フィルタ５１と同様の機能を有するフィルタが嵌め込まれていてもよい。台座部２１の窓部２１ｃに嵌め込まれたフィルタは、蛍光検出部５２の光取込部５２ａに対向している。このため、第２光学フィルタ５１に代えて台座部２１の窓部２１ｃにフィルタを嵌め込んだ場合であっても、光検査装置１は、第２光学フィルタ５１を設けた場合と同様の効果を奏する。
　例えば、光変換部８は、コンベアベルト３１の搬送面３１ａに配置されていてもよい。この場合、光変換部８は、搬送面３１ａの移動方向に沿って所定の間隔ごとに複数設置されていてもよい。これにより、処理部６は、上述した励起光照射部４等の異常の有無の検出に加え、光変換部８が発生させた蛍光の移動の有無に基づいて、コンベアベルト３１が作動しているか否かを検出できる。また、処理部６は、所定の間隔ごとに配置された光変換部８の検出の周期に基づいて、コンベアベルト３１における被検査物Ｓの搬送速度を検出できる。搬送面３１ａに光変換部８が設置されている場合、光変換部８が目印となり、使用者は、表示部７に表示された画像を見ることにより、異物Ｆを含む被検査物Ｓが光変換部８に対してどの位置に存在するかを容易に把握できる。
　例えば、被検査物Ｓは、魚介類の切り身以外の食肉等であってもよく、異物Ｆは寄生虫以外の骨、鱗、内臓等であってもよい。また、励起光は、紫外域の波長帯を有する光に限定されず、異物Ｆに蛍光を発生させ得る波長を有する光であればよい。また、励起光照射部４は、搬送方向Ａにおける検出部５の下流側に位置していたが、搬送方向Ａにおける検出部５の上流側に位置していてもよい。また、処理部６は、生成した画像に基づいて、被検査物Ｓに異物Ｆが含まれているか否かを検査してもよい。この場合、被検査物Ｓにおける異物Ｆの有無等を（画像に対して）自動で特定することもできるし、作業者が目視により確認することもできる。
　光変換部８における蛍光を発生させる材料として、青色系の蛍光を発生させる材料を例として挙げたが、例えば、りん酸塩又はゲルマン酸塩等の赤色系の蛍光を発生させる材料が用いられてもよい。光変換部８が赤色系の蛍光を発生させる場合、青色系の蛍光に比べて、励起光の波長帯と蛍光の波長帯とをより一層ずらすことができる。これにより、蛍光検出部５２は、蛍光を精度よく検出できる。
　光変換部８は、検査領域Ｒ内に２以上設置されていてもよい。この場合、処理部６は、すべての光変換部８が蛍光検出部５２によって検出されているか否かに基づいて、検出部５の取り付け角度のズレの有無等を検出してもよい。
　また、第２光学フィルタ５１が蛍光よりも短波長側の波長域を減衰させる例を示したが、さらに蛍光よりも長波長側の波長帯域を減衰させるように構成されていてもよい。この場合、わずかに外部から入射した蛍光よりも長波長帯域の外光を減衰させることにより、蛍光以外の光を蛍光検出部５２が誤検出することをさらに抑制することができる。
　また、励起光を照射させる電力が光源４１に供給されている間、処理部６が励起光照射部４等の異常の有無を検出したが、異常の有無の検出は、電力が光源４１に供給されている間継続して行われることは必須ではなく、このタイミング以外のタイミング（例えば、搬出される一の被検査物Ｓと続く被検査物Ｓとの合間等、被検査物Ｓの検出漏れが生じない程度の定期的なタイミング）で行われてもよい。また、異常の有無の検出は、励起光を照射させるための制御信号が光源４１に入力されている間に行われてもよい。この場合も、異常の有無の検出は、制御信号が光源４１に入力されている間継続して行われることは必須ではない。また、光検査装置１の電源がオンとなったときに光源４１に電力が自動的に供給される構成である場合、異常の有無の検出は、光源４１に電力が供給されている間に行われてもよい。この場合も、異常の有無の検出は、電力が光源４１に供給されている間継続して行われることは必須ではない。
　検査領域Ｒが第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とに別れておらず、被検査物Ｓが搬送される領域に光変換部８が設置されていてもよい。処理部６において異常が有りと検出された場合、搬送制御部３５が搬送部３による被検査物Ｓの搬送を停止させたが、搬送を停止させることは必須ではない。光変換部８は、検査領域Ｒ内に配置されていれば、筐体２以外の部位に取り付けられていてもよい。筐体２は、搬送部３に対して離間可能な構成でなくてもよい。検出部５が第２光学フィルタ５１を備えることは必須ではない。なお、第２光学フィルタ５１（第１光学フィルタ４３）は１枚で構成されていてもよく、複数枚が重ね合わせられることによって構成されていてもよい。
　また、光検査装置１では、検査が可能な状態、すなわち、筐体２が搬送部３の上方に配置された状態において、鍔部２５の上面２６ｂが、張り出し方向に向かって水平方向に延びている例を挙げて説明したが、図８に示されるように、鍔部２５の上面２６ｃは、張り出し方向に向かって下方に傾斜していてもよい。この構成によれば、鍔部２５の上面２６ｃに水が溜まることを抑制でき、部材の劣化を抑制することができる。
　上記第１実施形態又は第１実施形態の変形例の光検査装置１では、保護ケース２３には開口部２４ａの周囲から張り出した鍔部２５が形成されている例を挙げて説明したが、鍔部２５が形成されていない保護ケース２３を採用してもよい。例えば、図１０に示されるように、保護部２６Ｅは、保護ケース２３の本体部２４の下端に、Ｚ軸方向下方に突出するように形成されてもよい。この場合も、Ｚ軸方向から見てシール部材２７の外側に保護部２６Ｅを配置すれば、上記実施形態と同様の効果を得ることができる。また、当該変形例に係る光検査装置１の場合も、上記実施形態と同様に、保護部２６の下端２６ａを、台座部２１の上端２１ｇよりも低い位置に位置させることは必須ではない。しかしながら、保護部２６の下端２６ａを、台座部２１の上端２１ｇよりも低い位置に位置させることで、保護ケース２３の内部領域Ｌの遮光性を更に高めることができる。
　上記第１実施形態又は第１実施形態の変形例の光検査装置１では、保護部２６，２６Ｅは、保護ケース２３に一体的に形成されている例を挙げて説明したが、保護ケース２３と台座部２１との接合時に、別部材としての保護部を所定の位置に配置する構成であってもよい。例えば、保護部は、台座部２１に加えて、保護ケース２３の端部を覆うように形成されていてもよい。具体的には、Ｚ軸方向上方から見た平面視において、台座部２１及び保護ケース２３の接合部を含むように台座部２１及び保護ケース２３の外側面を覆う枠状部材を保護部として有する構成であってもよい。この場合であっても、上記第１実施形態又は第１実施形態の変形例に係る光検査装置１と同様の効果を得ることができる。ただし、保護部２６，２６Ｅは、保護ケース２３に一体的に形成される方が、保護部を別途配置する手間を省略できるので、接合時の作業性が向上する。また、保護部２６，２６Ｅは、保護ケース２３に一体的に形成される方が、その分、隙間（接合部）が少なくなるため、防塵及び防水性能を高めることができる。
　上記第１実施形態又は第１実施形態の変形例の光検査装置１では、台座部と保護ケースとの間には、弾性を有するシール部材２７が設けられている例を挙げて説明したが、シール部材２７を設けなくてもよい。この場合であっても、保護ケース２３の内部領域Ｌの遮光性を高めることができる。なお、シール部材２７を設けない場合には、保護部２６の下端２６ａと、台座部２１の上端２１ｇとのＺ軸方向における距離、すなわち保護ケース２３と台座部２１との鉛直方向（Ｚ軸方向）におけるオーバラップ距離を、上記実施形態又は変形例の光検査装置１の距離と比べて長く確保してもよい。すなわち、上記オーバラップ距離は、光が保護ケース２３と台座部２１との接合部Ｊから侵入しないように適宜設定される。
（第２実施形態）
　次に、第２実施形態について説明する。以下の説明において、第１実施形態と同様の構成要素については同一符合を付して詳細な説明を省略する。本実施形態における光検査装置は、第１実施形態における光検査装置１のように励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかの異常の有無を検出することに加え、さらに、蛍光検出部５２から出力される検出信号の強度を調整する。以下、本実施形態における光検査装置の構成として、第１実施形態における光検査装置１との相違点を中心に説明する。
　図１１に示されるように、本実施形態における光検査装置１Ａは、筐体２と、搬送部３と、励起光照射部４と、検出部５と、処理部６Ａと、表示部（報知部）７と、光変換部８と、脚部９と、を備える。
　処理部６Ａは、第１実施形態における光検査装置１の処理部６のように励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかの異常の有無を検出する。さらに、処理部６Ａは、蛍光検出部５２から出力される検出信号の強度を調整する。以下、処理部６Ａが蛍光検出部５２から出力される検出信号の強度を調整する構成について説明する。
　処理部６Ａは、検出部５から出力された蛍光の検出信号に基づいて画像を生成する。表示部７は、処理部６Ａによって生成された画像を表示する。ここで、表示部７に表示される画像例について説明する。処理部６Ａは、搬送面３１ａの移動に伴って蛍光検出部５２によって逐次検出された蛍光の検出信号をつなぎ合わせることにより、連続した１枚の画像を生成する。表示部７には、現在から所定長さ（所定の搬送長さ）前までの画像が表示される。なお、蛍光検出部５２で逐次検出された蛍光の検出信号をつなぎ合わせることによって連続した画像を生成する例を示したが、一回の検出（撮像）で一枚の画像が生成される構成であってもよい。
　例えば、図１２に示される例では、被検査物Ｓに異物Ｆが含まれていた場合の画像を示している。被検査物Ｓは、第２領域Ｒ２を通過するため、処理部６Ａによって生成される画像においても第２領域Ｒ２に対応する位置に異物Ｆが表示される。また、光変換部８は、励起光照射部４から励起光が照射されている間、常に蛍光を発生させている。このため、蛍光検出部５２は、常に光変換部８が発生させた蛍光を検出している。このため、図１２に示されるように、光変換部８が設置された第１領域Ｒ１に対応する位置には、常に光変換部８が示されている。
　また、処理部６Ａは、使用者等による異物Ｆの検出の開始の指示に基づいて、励起光照射部４に制御信号を出力することによって光源４１から励起光を照射させる。さらに、処理部６Ａは、画像を生成する際に用いる検出部５から出力された蛍光の検出信号に対し、検出信号の出力強度を調整（ゲインを調整）する強度調整部としても機能する。処理部６Ａは、検出信号の出力強度を調整した後、調整した検出信号に基づいて画像を生成する。これにより、処理部６Ａは、光源４１等の性能の変化によって蛍光の検出信号が弱くなっても、検出信号の出力強度、すなわち画像全体の明るさを調整できる。以下、処理部６Ａにおける検出信号の出力強度を調整する処理の詳細について説明する。
　まず、蛍光検出部５２で検出された蛍光の検出信号の検出強度について説明する。なお、蛍光検出部５２が出力する蛍光の検出信号には、コンベアベルト３１の幅方向（Ｙ軸に平行な方向）に沿った各位置での蛍光の検出強度が含まれている。図１３に示されるように、被検査物Ｓに異物Ｆが含まれていない場合、光変換部８の設置位置における蛍光の検出強度のみが上昇する。図１３に示されるグラフにおいて、横軸はＹ軸に平行な方向（コンベアベルト３１の幅方向）であり、Ｙ０からＹ１の部分が第２領域Ｒ２に対応し、Ｙ１からＹ２の部分が第１領域Ｒ１に対応している。このため、光変換部８が設置された第１領域Ｒ１に対応する部分（Ｙ１からＹ２の部分）の検出強度が上昇する。
　ここで、励起光照射部４（光源４１）及び蛍光検出部５２の性能が一定である場合、光変換部８が設置された第１領域Ｒ１に対応する部分の検出強度も一定のまま変化しない。なお、第２領域Ｒ２に対応する部分の検出強度は、異物Ｆの有無に応じて変化する。
　例えば、励起光照射部４（光源４１）の性能が劣化して励起光の出力強度が低下した場合、光変換部８が設置された第１領域Ｒ１に対応する部分の検出強度も低下する。また、例えば、蛍光検出部５２の性能が劣化して蛍光の検出性能が低下した場合、光変換部８が設置された第１領域Ｒ１に対応する部分の検出強度も低下する。このように、光変換部８が設置された第１領域Ｒ１に対応する部分の検出強度は、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の性能の変化に対応して変化する。
　そこで、処理部６Ａは、検出信号における光変換部８の設置位置（第１領域Ｒ１）での蛍光の検出強度と、予め定められた基準強度とに基づいて、検出信号の出力強度（検出信号の全体の強度）を調整する。なお、例えば、予め定められた基準強度は、蛍光検出部５２によって過去に検出された光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度である。過去の検出強度とは、光検査装置１Ａの完成後、光検査装置１Ａの使用開始時における検出強度であってもよい。すなわち、基準強度は、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の性能が変化する前に蛍光検出部５２によって検出された蛍光の検出強度であればよい。基準強度は、処理部６Ａに記憶されている。
　具体的には、処理部６Ａは、光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度と、基準強度との差分を算出する。処理部６Ａは、算出した差分が予め定められた基準差分値以上である場合に、光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度が基準強度となるように、検出信号の出力強度（検出信号の全体の強度）を調整する。基準差分値は、予め処理部６Ａに記憶されている。例えば、光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度が基準強度よりも基準差分値以上低下した場合、処理部６Ａは、検出信号の出力強度を強くする。光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度が基準強度よりも基準差分値以上上昇した場合、処理部６Ａは、検出信号の出力強度を弱くする。これにより、表示部７に表示される画像全体の明るさが調整される。その結果、異物Ｆから発生する蛍光を感度（検出強度）不足により、検出せずに被検査物Ｓを搬送してしまったり、感度過剰により、わずかに入射した外光の反射（ノイズ）等を異物Ｆとして誤検出してしまったりすることを抑制できる。
　処理部６Ａは、上述した検出信号の出力強度の調整を、搬送部３が被検査物Ｓの搬送を開始する前に行う。被検査物Ｓの搬送を開始する前とは、例えば、光検査装置１Ａの電源がオンとなり、被検査物Ｓの搬送が開始される前であってもよい。すなわち、光検査装置１Ａの電源がオンとなったときに検出信号の出力強度の調整が行われてもよい。また、光検査装置１Ａの電源がオンとなったときに限定されず、使用者等の指示に基づいて、検出信号の出力強度の調整が行われてもよい。励起光照射部４及び蛍光検出部５２の性能の変化は緩やかであるため、検出信号の出力強度の調整は、光検査装置１Ａによる異物Ｆの検査中に常時実行される構成でなくてもよい。
　処理部６Ａは、光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度が予め定められた報知強度を下回った場合に、検出強度が低下したことを示す警報表示等を表示部７に表示させる。なお、処理部６Ａは、光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度が予め定められた報知強度を下回った場合に、検出強度が低下したことを示す警報音等をスピーカ（報知部）等から出力させたり、ランプ（報知部）を点灯させたりしてもよい。搬送部３の搬送制御部３５は、光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度が予め定められた報知強度を下回ったことが処理部６Ａによって検出された場合、駆動モータ３４を停止させて、コンベアベルト３１による被検査物Ｓの搬送を停止させてもよい。
　なお、処理部６Ａは、例えば、第１実施形態における処理部６と同様の電子制御ユニットである。
　次に、光検査装置１Ａにおいて実行される検出信号の出力強度を調整する出力強度調整方法の処理の流れについて、図１４のフローチャートを用いて説明する。なお、図１４に示される処理は、搬送部３が被検査物Ｓの搬送を開始する前に開始される。また、図１４に示される処理は、処理がエンドに至った場合に終了する。
　図１４に示されるように、処理部６Ａは、光源４１によって励起光を検査領域Ｒに照射させために、励起光を照射させる制御信号を光源４１に出力する。これにより、光源４１から検査領域Ｒに励起光が照射される（Ｓ２０１：照射ステップ）。蛍光検出部５２は、検査領域Ｒにおいて、励起光によって光変換部８が発生させた蛍光を検出する（Ｓ２０２：蛍光検出ステップ）。処理部６Ａは、蛍光検出部５２で検出された光変換部８が発生させた蛍光の検出強度と、基準強度とに基づいて、検出信号の出力強度の調整を行う（Ｓ２０３：強度調整ステップ）。
　以上説明したように、光検査装置１Ａにおいて、光変換部８は、検査領域Ｒ内に励起光が照射されている場合に蛍光を発生させる。このため、蛍光検出部５２は、検査領域Ｒ内に搬送された被検査物Ｓに異物Ｆが付着しているか否かにかかわらず、光変換部８が発生させた蛍光を検出することができる。ここで、検出信号における蛍光の検出強度は、励起光照射部４（光源４１）及び蛍光検出部５２の性能の変化によって変化する。このため、検出信号における蛍光の検出強度に基づいて検出信号の出力強度を調整することにより、処理部６Ａは、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の性能の変化に応じて検出信号の出力強度を調整できる。このように、光検査装置１Ａは、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の性能の変化に応じて、蛍光検出部５２から出力される検出信号の出力強度を調整することができる。
　処理部６Ａは、検出信号における光変換部の設置位置での蛍光の検出強度に基づいて、検出信号の出力強度を調整する。このように、光変換部８の設置位置（第１領域Ｒ１）での蛍光の検出強度を用いることにより、検出信号の出力強度の調整の際に用いる蛍光の検出強度に、異物Ｆが発生させた蛍光の影響が含まれることが抑制される。これにより、処理部６Ａは、検出信号の出力強度を精度よく調整できる。
　予め定められた基準強度として、蛍光検出部５２によって過去に検出された光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度が用いられる。この場合、処理部６Ａは、励起光照射部４及び蛍光検出部５２の性能が変化する前の蛍光の検出強度を用いて、検出信号の出力強度を調整できる。
　処理部６Ａは、光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度が予め定められた報知強度を下回った場合に、警報表示等を表示部７に表示させる。この場合、光検査装置１Ａの使用者等は、励起光照射部４等の性能が低下したことを把握できる。
　検出部５には、第２光学フィルタ５１が設けられている。この場合、蛍光以外の光が蛍光検出部５２の光取込部５２ａ部に入射することが抑制される。これにより、光検査装置１Ａは、蛍光検出部５２の検出精度を向上させることが可能となる。
　光変換部８は、検査領域Ｒの第１領域Ｒ１に配置される。検査領域Ｒの第２領域Ｒ２には、被検査物Ｓが搬送される。この場合、被検査物Ｓに付着する異物Ｆが、光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度に影響を与えることが抑制される。また、被検査物Ｓが光変換部８を覆ってしまうことが抑制されるため、被検査物Ｓが、光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度に影響を与えることが抑制される。これにより、処理部６Ａは、検出信号の出力強度の調整を精度よく行うことができる。また、光変換部８と被検査物Ｓとは、検査領域Ｒ内の異なる領域に配置及び搬送される。この場合、処理部６Ａは、異物Ｆが発生させた蛍光の検出信号と、光変換部８が発生させた蛍光の検出信号とを容易に識別できる。
　処理部６Ａは、搬送部３が被検査物Ｓの搬送を開始する前に検出信号の出力強度を調整する。この場合、被検査物Ｓの検出を開始する前に、検出信号の出力強度が調整される。これにより、光検査装置１Ａの使用者は、明るさが調整された画像を確認できる。
　以上、本開示の第２実施形態について説明したが、本開示は、上述した第２実施形態に限定されるものではない。例えば、処理部６Ａは、差分に代えて、光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度と基準強度との比率を用いてもよい。この場合、処理部６Ａは、光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度と基準強度との比率を算出する。処理部６Ａは、算出した比率が予め定められた基準比率範囲外である場合に、光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度が基準強度となるように、検出信号の出力強度を調整する。
　異物Ｆの画像を生成する処理部６Ａが検出信号の出力強度の調整を行ったが、検出信号の出力強度の調整を処理部６Ａが行うことに限定されない。例えば、蛍光検出部５２に設けられた強度調整部が、光検出素子から出力された検出信号の出力強度の調整を行ってもよい。この場合の蛍光検出部５２に設けられた強度調整部は、処理部６Ａと同様の電子制御ユニットによって構成されていてもよい。すなわち、蛍光検出部５２に設けられた強度調整部が検出信号の出力強度の調整を行う処理部として機能してもよい。
　また、蛍光検出部５２から出力された検出信号は、検査領域Ｒ内の各位置での蛍光の検出強度を含んでいなくてもよい。例えば、検出信号は、検査領域Ｒ内の蛍光の検出強度の最大値を含んでいてもよい。この場合、検査領域Ｒ内に異物Ｆが存在しないときには、検出信号に含まれる検出強度（検出強度の最大値）は光変換部８が発生させた蛍光の検出強度となる。このため、検査領域Ｒ内の各位置での蛍光の検出強度が検出信号に含まれていなくても、処理部６Ａは、検出信号における検出強度と基準強度とに基づいて、検出信号の出力強度を調整してもよい。
　また、蛍光検出部５２によって過去に検出された光変換部８の設置位置での蛍光の検出強度を基準強度として用いたが、過去に検出された検出強度を基準強度として用いることに限定されない。基準強度は、他の基準等に基づいて予め定められた値であってもよい。例えば、予め定められた基準強度は、製造時に記憶されるデフォルトの信号値（装置に関わらず一定の値）等であってもよい。上述した検出信号の出力強度の調整は、搬送部３が被検査物Ｓの搬送を開始する前以外のタイミング（例えば、搬出される一の被検査物Ｓと続く被検査物Ｓとの合間等、被検査物Ｓの検出漏れが生じない程度の定期的なタイミング）で行われてもよい。例えば、光検査装置１Ａが被検査物Ｓの検査中に、検出信号の出力強度の調整が行われてもよい。
（第３実施形態）
　次に、第３実施形態について説明する。以下の説明において、第１実施形態と同様の構成要素については同一符合を付して詳細な説明を省略する。本実施形態における光検査装置は、第１実施形態における光検査装置１のように光変換部８を用いて励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかの異常の有無を検出することに加え、さらに、励起光検出部８０（図１５等参照）を用いて蛍光検出部５２の異常の有無及び蛍光検出部５２における出力強度を調整する。以下、本実施形態における光検査装置の構成として、第１実施形態における光検査装置１との相違点を中心に説明する。
　図１５に示されるように、本実施形態における光検査装置１Ｂは、筐体２と、搬送部３と、励起光照射部４と、検出部５と、処理部６Ｂと、表示部７と、光変換部８と、脚部９と、励起光検出部８０と、を備える。
　励起光検出部８０は、検査領域Ｒ内に設置され、励起光照射部４が照射する励起光を検出する。励起光検出部８０の例は、紫外線センサである。励起光検出部８０は、図１６及び図１７に示されるように、台座部２１の内壁面２１ｅに固定されている。すなわち、励起光検出部８０は、光変換部８に隣接して設けられている。励起光検出部８０は、その検知面が鉛直方向（Ｚ軸方向）において搬送部３における搬送面３１ａと同じ位置か、又は、搬送面３１ａよりも低い位置となるように配置されている。励起光検出部８０は、励起光照射部４によって照射された励起光を検出し、検出した励起光の検出信号を出力する。なお、励起光検出部８０は、励起光照射部４の照射範囲（励起光照射領域）内であれば、蛍光検出部５２の検査領域Ｒ外に配置されてもよい。このように配置すれば、励起光検出部８０によって反射された励起光を蛍光検出部５２が検出することによる異物の誤検知を防止することができる。
　処理部６Ｂは、第１実施形態における光検査装置１の処理部６のように励起光照射部４及び蛍光検出部５２の少なくともいずれかの異常の有無を検出する。さらに、処理部６Ｂは、励起光検出部８０の検出信号に基づいて励起光照射部４の異常の有無を検出する異常検出機能と、励起光検出部８０の検出信号に基づいて、画像を生成する際に用いる蛍光検出部５２から出力された蛍光の検出信号に対して検出信号の出力強度を調整（ゲインを調整）する出力強度調整機能と、を有している。以下、励起光検出部８０の検出信号に基づいて実現される異常検出機能及び出力強度調整機能について説明する。
　まず、異常検出機能について説明する。処理部６Ｂは、作業者等による異物Ｆの検出の開始の指示に基づいて、光源４１に制御信号を出力することによって光源４１から励起光を照射させ、励起光照射部４の異常の有無を検出する。処理部６Ｂは、励起光を照射させる制御信号を励起光照射部４に出力している間、上記異常の有無を検出することができる。以下、処理部６Ｂにおける励起光照射部４の異常の有無を検出する異常検出処理の詳細について説明する。
　処理部６Ｂは、励起光検出部８０から出力された励起光の検出信号に基づいて、励起光照射部４の異常の有無を検出する。ここで、励起光検出部８０は、励起光照射部４から検査領域Ｒ内に励起光が照射されている場合にその励起光を検出できる。しかしながら、励起光照射部４に異常が生じた場合、励起光検出部８０において励起光を検出できない。また、励起光照射部４の取り付け角度にズレが生じて励起光が励起光検出部８０に照射されていない場合、励起光検出部８０は、励起光照射部４が照射した励起光を検出できない。
　このため、処理部６Ｂは、励起光を照射させる制御信号を光源４１に出力しているにも関わらず、励起光検出部８０から励起光の検出信号が無い場合、励起光照射部４に異常が有りと検出する。処理部６Ｂは、異常が有りと検出した場合、異常が発生していることを示す警報表示等を表示部７に表示させてもよい。また、処理部６Ｂは、異常が有りと検出した場合、異常が発生していることを示す警報音等をスピーカ等から出力させてもよい。搬送部３の搬送制御部３５は、処理部６Ｂによって異常が有りと検出された場合、駆動モータ３４を停止させて、コンベアベルト３１による被検査物Ｓの搬送を停止させる。処理部６Ｂは、上述した異常の有無の検出を、作業者等による異物Ｆの検出の開始の指示の後、異物Ｆの検出の終了の指示がされるまでの間、継続して繰り返し行う。
　なお、処理部６Ｂは、例えば、第１実施形態における処理部６と同様の電子制御ユニットである。
　次に、光検査装置１Ｂにおいて励起光照射部４の異常の有無を検出する異常検出方法について、図１８のフローチャートを用いて説明する。なお、図１８に示される処理は、作業者等による異物Ｆの検出の開始の指示に基づいて開始され、作業者等による異物Ｆの検出の終了の指示に基づいて終了する。また、図１８に示される処理は、処理がエンドに至った後、再びスタートから処理が開始される。
　図１８に示されるように、処理部６Ｂは、光源４１によって励起光を検査領域Ｒに照射させために、励起光を照射させる制御信号を光源４１に出力する（Ｓ３０１：励起光照射ステップ）。励起光検出部８０は、光源４１から照射された励起光を検出する（Ｓ３０２：蛍光検出ステップ）。処理部６Ｂは、励起光検出部８０が出力する検出信号に基づいて、励起光照射部４の異常の有無を検出する（Ｓ３０３：異常検出ステップ）。
　次に、出力強度調整機能について説明する。処理部６Ｂは、画像を生成する際に用いる蛍光検出部５２から出力された蛍光の検出信号に対し、検出信号の出力強度を調整（ゲインを調整）する。処理部６Ｂは、検出信号の出力強度を調整した後、調整した検出信号に基づいて画像を生成する。これにより、処理部６Ｂは、光源４１等の性能の変化によって蛍光の検出信号が弱くなっても、検出信号の出力強度、すなわち画像全体の明るさを調整できる。以下、処理部６Ｂにおける検出信号の出力強度を調整する処理の詳細について説明する。
　励起光検出部８０で検出された励起光の検出信号の検出強度は、励起光照射部４（光源４１）の性能が一定である場合、一定のまま変化しない。例えば、励起光照射部４（光源４１）の性能が劣化して励起光の出力強度が低下した場合、蛍光検出部５２で検出される異物Ｆによって発生する蛍光の検出強度及び励起光検出部８０で検出される励起光の検出強度が低下する。このように、蛍光検出部５２で検出される蛍光の検出強度及び励起光検出部８０で検出される励起光の検出強度は、励起光照射部４の性能の変化に対応して変化する。
　そこで、処理部６Ｂは、励起光検出部８０での励起光の検出強度と、予め定められた励起光検出部８０の基準強度に基づいて、蛍光検出部５２における検出信号の出力強度（検出信号の全体の強度）を調整する。なお、予め定められた基準強度は、例えば、励起光検出部８０によって過去に検出された励起光の検出強度である。過去の検出強度とは、光検査装置１Ｂの完成後、光検査装置１Ｂの使用開始時における検出強度であってもよい。すなわち、基準強度は、励起光照射部４の性能が変化する前に励起光検出部８０によって検出された励起光の検出強度であればよい。当該基準強度は、処理部６Ｂに記憶されている。なお、予め定められた基準強度は、励起光検出部８０によって過去に検出された励起光の検出強度とする例を示したが、製造時に記憶されるデフォルトの信号値（装置に関わらず一定の値）等としてもよい。
　具体的には、処理部６Ｂは、励起光検出部８０での励起光の検出強度と、基準強度との差分を算出する。処理部６Ｂは、算出した差分が予め定められた基準差分値以上である場合に、励起光検出部８０の検出強度が基準強度となるような調整量（又は調整率）を算出し、当該調整量（又は調整率）に基づいて、蛍光検出部５２における検出信号の出力強度（検出信号の全体の強度）を調整する。基準差分値は、予め処理部６Ｂに記憶されている。例えば、励起光検出部８０での励起光の検出強度が基準強度よりも基準差分値以上低下した場合、処理部６Ｂは、蛍光検出部５２における検出信号の出力強度を強くする。励起光検出部８０での励起光の検出強度が基準強度よりも基準差分値以上上昇した場合、処理部６Ｂは、蛍光検出部５２における検出信号の出力強度を弱くする。これにより、表示部７に表示される画像全体の明るさが調整される。
　処理部６Ｂは、上述した検出信号の出力強度の調整を、搬送部３が被検査物Ｓの搬送を開始する前に行う。被検査物Ｓの搬送を開始する前とは、例えば、光検査装置１Ｂの電源がオンとなり、被検査物Ｓの搬送が開始される前であってもよい。すなわち、光検査装置１Ｂの電源がオンとなったときに検出信号の出力強度の調整が行われてもよい。また、光検査装置１Ｂの電源がオンとなったときに限定されず、使用者等の指示に基づいて、検出信号の出力強度の調整が行われてもよい。励起光照射部４の性能の変化は緩やかであるため、検出信号の出力強度の調整は、光検査装置１Ｂによる異物Ｆの検査中に常時実行される構成でなくてもよい。
　処理部６Ｂは、励起光検出部８０での励起光の検出強度（所定閾値）が予め定められた報知強度を下回った場合に、検出強度が低下したことを示す警報表示等を表示部７に表示させる。なお、処理部６Ｂは、励起光検出部８０での励起光の検出強度が予め定められた報知強度を下回った場合に、検出強度が低下したことを示す警報音等をスピーカ（報知部）等から出力させたり、ランプ（報知部）を点灯させたりしてもよい。搬送部３の搬送制御部３５は、励起光検出部８０での励起光の検出強度が予め定められた報知強度を下回ったことが処理部６Ｂによって検出された場合、駆動モータ３４を停止させて、コンベアベルト３１による被検査物Ｓの搬送を停止させてもよい。
　次に、光検査装置１Ｂにおいて実行される検出信号の出力強度を調整する出力強度調整方法の処理の流れについて、図１９のフローチャートを用いて説明する。なお、図１９に示される処理は、搬送部３が被検査物Ｓの搬送を開始する前に開始される。また、図１９に示される処理は、処理がエンドに至った場合に終了する。
　図１９に示されるように、処理部６Ｂは、光源４１によって励起光を検査領域Ｒに照射させために、励起光を照射させる制御信号を光源４１に出力する。これにより、光源４１から検査領域Ｒに励起光が照射される（Ｓ４０１：照射ステップ）。励起光検出部８０は、検査領域Ｒにおいて、励起光照射部４によって照射された励起光を検出する（Ｓ４０２：励起光検出ステップ）。処理部６Ｂは、励起光検出部８０で検出された励起光の検出強度と、基準強度とに基づいて、検出信号の出力強度の調整を行う（Ｓ４０３：強度調整ステップ）。
　以上のように光検査装置１Ｂでは、励起光照射部４における励起光照射領域内に設置されると共に励起光を検出し、検出した励起光の検出信号を出力する励起光検出部８０を備えている。このため、例えば、励起光検出部８０の検出信号に基づいて、励起光照射部４の異常の有無を取得したり、励起光検出部８０が検出する検出強度に基づいて、励起光照射部４の状態を取得したりすることが可能になる。これにより、励起光照射部４の異常の有無を適切に把握でき、また、励起光照射部４の状態に合わせた調整が適切に行えるようになる。この結果、異物Ｆの検出精度を維持することができる。
　光検査装置１Ｂにおいて、処理部６Ｂは、励起光検出部８０が出力する検出信号に基づいて、励起光照射部４の異常の有無が検出されるので、被検査物Ｓに付着した異物Ｆからの蛍光を蛍光検出部５２が取得している状態でなくとも、励起光検出部８０が励起光照射部４から照射された励起光を検出することができる。従って、処理部６Ｂは、励起光検出部８０が出力する検出信号に基づいて、励起光照射部４の異常の有無を検出することができる。
　光検査装置１Ｂでは、励起光検出部８０が出力する検出信号の有無に基づいて、励起光照射部４の異常の有無が検出されるので、処理部６Ｂは、励起光検出部８０が出力する検出信号の有無を判定するだけの簡易な処理で、励起光照射部４の異常の有無を検出できる。また、励起光照射部４に異常が有りと検出された場合には、搬送部３における被検査物Ｓの搬送が停止される。これにより、搬送部３によって被検査物Ｓが次々と搬送される場合であっても、異物Ｆの検出が正しくできない状態のまま検査領域Ｒに被検査物Ｓが搬送され続けることが防止できる。
　光検査装置１Ｂでは、励起光検出部８０が出力する検出信号の検出強度と基準強度とに基づいて、蛍光検出部５２における出力強度が調整される。これにより、励起光照射部４の照射出力が減衰した場合であっても、その減衰に応じて蛍光検出部５２の出力強度を高められるので、異物Ｆの検出精度の低下を抑制することができる。
　光検査装置１Ｂでは、励起光検出部８０が出力する検出信号の検出強度と基準強度とに基づいて取得される低下量に基づいて蛍光検出部５２における出力強度が調整される。これにより、検出強度の低下量に応じて蛍光検出部５２の出力強度が適切に調整されるので、異物Ｆの検出精度の低下を抑制することができる。また、低下量が所定閾値を下回った場合に、励起光照射部４の交換を促す旨を表示部７に表示される。これにより、励起光照射部４が減衰した状態で使用し続けられることが防止されるので、検出精度が低い状態で被検査物が検査され続けることを防止できる。
　光検査装置１Ｂにおいて、励起光検出部８０は、鉛直方向（Ｚ軸方向）おいて、搬送部３における搬送面３１ａと同じ位置か、搬送部３における搬送面３１ａよりも下方に配置されている。このため、励起光照射部４と励起光検出部８０との距離を確保することができるので、光源４１の傾きを検出する場合に、より精度高く検出することができる。
　以上、本開示の第３実施形態について説明したが、本開示は、上述した第３実施形態に限定されない。
　例えば、処理部６Ｂは、蛍光検出部５２が検出する光変換部８が発生させた蛍光の検出信号（又はその強度）と、励起光検出部８０の検出信号（又はその強度）との両方に基づいて、励起光照射部４の異常の有無（又は状態）を検出してもよい。このようにして、励起光照射部４の異常の有無を取得する場合、例えば、処理部６Ｂは、蛍光検出部５２の光変換部８に係る検出信号及び励起光検出部８０の検出信号のうち少なくとも一方に基づいて異常が有りと検出されたときに、励起光照射部４に異常が生じていると判定する。これにより、光変換部８の不具合（例えば、剥がれ等）及び励起光検出部８０の不具合（例えば、故障等）の一方が生じても、処理部６Ｂは、蛍光検出部５２の光変換部８に係る検出信号及び励起光検出部８０の検出信号のいずれかを取得できるので、より確実に励起光照射部４に異常が生じていることを検出できる。
　例えば、第３実施形態において処理部６Ｂは、励起光検出部８０から出力される検出信号が無い場合に、励起光照射部４等に異常が有りと検出したが、励起光検出部８０から出力される検出信号が無い場合に限定されない。例えば、処理部６Ｂは、励起光検出部８０から出力される検出信号に基づいて、検出信号の強度が予め定められた基準強度以下となった場合に、励起光照射部４に異常が有りと検出してもよい。これにより、ゲイン（調整）が可能な範囲を超えて検出強度が下がった場合、又はゲイン（調整）によりＳ／Ｎ比が許容範囲を超えて低下してしまった場合等の検出精度が十分に得られない状態において、異物が適切に検出されず被検査物が搬送されることを抑制することができる。
　また、例えば、処理部６Ｂは、差分に代えて、励起光検出部８０での励起光の検出強度と基準強度との比率を用いてもよい。この場合、処理部６Ｂは、励起光検出部８０での励起光の検出強度と基準強度との比率を算出する。処理部６Ｂは、算出した比率が予め定められた基準比率範囲外である場合に、励起光検出部８０での励起光の検出強度が基準強度となるような上述の比率に基づいて蛍光検出部５２における検出信号の出力強度を調整してもよい。
　第３実施形態において、励起光検出部８０は、台座部２１の内壁面２１ｅに固定されているが、検査領域Ｒ内に配置されていれば、保護ケース２３の本体部２４に固定されてもよい。
　励起光検出部８０は、検査領域Ｒ内に二個以上設置されていてもよい。この場合、処理部６Ｂは、すべての励起光検出部８０が励起光を検出しているか否かに基づいて、検出部５の取り付け角度のズレの有無等を検出してもよい。
　また、励起光を照射させる制御信号が励起光照射部４に入力されている間、処理部６Ｂが励起光照射部４等の異常の有無を検出したが、異常の有無の検出は、制御信号が励起光照射部４に入力されている間継続して行われることは必須ではなく、このタイミング以外のタイミング（例えば、複数の被検査物が搬出される合間等、被検査物の検出漏れが生じない程度の定期的なタイミング）で行われてもよい。処理部６Ｂにおいて異常が有りと検出された場合、搬送制御部３５が搬送部３による被検査物Ｓの搬送を停止させたが、搬送を停止させることは必須ではない。励起光検出部８０は、検査領域Ｒ内に配置されていれば、筐体２以外の部位に取り付けられていてもよい。
　上記第３実施形態又は第３実施形態の変形例では、励起光検出部として紫外線センサを設ける例を挙げて説明したがこれに限定されない。例えば、励起光照射部から照射される励起光は、紫外線以外に可視光も出射されていることを考慮して、励起光照射部４から照射される光の一部を光ファイバ等の伝達部を介して、ダイクロイックフィルタ等の第２光学フィルタ５１を介さずに蛍光検出部５２に直接受光させることにより、励起光の検出の有無又は検出強度を検出してもよい。すなわち、蛍光検出部５２が、励起光検出部８０の機能を兼ねてもよい。この場合、蛍光検出部５２のうち、伝達部から可視光を受光する部分に対応する画素の検出信号が励起光の検出信号となる。このような構成であっても、上記第３実施形態と同様の効果を得ることができる。
　最後に、異物Ｆごとに、好適な励起光の波長の範囲、及びそれにより発生する蛍光の波長の範囲を例示する。
　異物Ｆがアニサキスである場合、好適な励起光の波長の範囲は、３００～４００ｎｍであり、３３０～３５０ｎｍであってもよい。それにより発生する蛍光の波長の範囲は、３８０～５００ｎｍであり、４２０～４５０ｎｍであってもよい。
　異物Ｆがブリ線虫である場合、好適な励起光の波長の範囲は、３５０～４５０ｎｍであり、３７０～３９０ｎｍであってもよい。それにより発生する蛍光の波長の範囲は、４２０～５３０ｎｍであり、４４０～４７０ｎｍであってもよい。
　異物Ｆがサバの骨である場合、好適な励起光の波長の範囲は、３２０～３８０ｎｍであり、３２０～３４０ｎｍであってもよい。それにより発生する蛍光の波長の範囲は、３８０～４３０ｎｍであり、３８０～４００ｎｍであってもよい。
　異物Ｆがタイの鱗である場合、好適な励起光の波長の範囲は、３００～４００ｎｍであり、３２０～３４０ｎｍであってもよい。それにより発生する蛍光の波長の範囲は、３８０～５００ｎｍであり、３８０～４００ｎｍであってもよい。
　異物Ｆがタイの内臓である場合、好適な励起光の波長の範囲は、３２０～５００ｎｍであり、３６０～３８０ｎｍであってもよい。それにより発生する蛍光の波長の範囲は、４８０～５８０ｎｍであり、５１０～５３０ｎｍであってもよい。
　光検査装置によって、励起光照射部及び蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出できる。
　１，１Ａ，１Ｂ…光検査装置、２…筐体、３…搬送部、４…励起光照射部、５…検出部、６，６Ａ，６Ｂ…処理部、７…表示部（報知部）、８…光変換部、２１…台座部、２１ｃ…窓部、２１ｇ…上端、２３…保護ケース、２４…本体部、２４ａ…開口部、２５…鍔部、２６，２６Ｅ…保護部、２６ａ…下端、３１ａ…搬送面（載置面）、３５…搬送制御部、５１…第２光学フィルタ（フィルタ）、５２…蛍光検出部、５２ａ…光取込部、８０…励起光検出部、Ｆ…異物、Ｒ…検査領域、Ｒ１…第１領域、Ｒ２…第２領域、Ｓ…被検査物。

Claims (26)

  1. 　被検査物を検査領域に搬送する搬送部と、
    　前記被検査物に付着した異物に蛍光を発生させるための励起光を前記検査領域に照射する励起光照射部と、
    　前記検査領域内に設置され、前記励起光によって蛍光を発生させる光変換部と、
    　前記検査領域において、前記励起光によって前記異物が発生させた前記蛍光と前記励起光によって前記光変換部が発生させた前記蛍光とを検出し、検出した前記蛍光の検出信号を出力する蛍光検出部と、
    　前記光変換部が発生させた前記蛍光の前記検出信号に基づいて、前記励起光照射部及び前記蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出する処理部と、
    を備える光検査装置。
  2. 　前記処理部は、前記光変換部が発生させた前記蛍光の前記検出信号の有無に基づいて、前記励起光照射部及び前記蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を検出する、請求項１に記載の光検査装置。
  3. 　前記検査領域は、第１領域と、前記第１領域とは異なる第２領域とを含み、
    　前記光変換部は、前記第１領域内に設置され、
    　前記搬送部は、前記被検査物を前記第２領域に搬送する、請求項１又は２に記載の光検査装置。
  4. 　前記搬送部における前記被検査物の搬送を制御する搬送制御部を更に備え、
    　前記搬送制御部は、前記処理部によって前記励起光照射部及び前記蛍光検出部の少なくともいずれかに異常が有りと検出された場合、前記搬送部における前記被検査物の搬送を停止させる、請求項１～３のいずれか一項に記載の光検査装置。
  5. 　前記検査領域を覆う筐体を更に備え、
    　前記光変換部は、前記筐体に固定されている、請求項１～４のいずれか一項に記載の光検査装置。
  6. 　前記筐体は、前記搬送部に対して離間可能に設けられている、請求項５に記載の光検査装置。
  7. 　前記処理部は、前記蛍光検出部から出力される前記検出信号の出力強度を更に調整し、
    　前記検出信号は、前記検査領域内の前記蛍光の検出強度を含み、
    　前記処理部は、前記検出信号における前記蛍光の検出強度と、予め定められた基準強度とに基づいて、前記検出信号の出力強度を調整する、請求項１に記載の光検査装置。
  8. 　前記検出信号は、前記検査領域内の各位置での前記蛍光の検出強度を含み、
    　前記処理部は、前記検出信号における前記光変換部の設置位置での前記蛍光の検出強度と、予め定められた基準強度とに基づいて、前記検出信号の出力強度を調整する、請求項７に記載の光検査装置。
  9. 　前記予め定められた基準強度は、前記蛍光検出部によって過去に検出された前記光変換部の設置位置での前記蛍光の検出強度である、請求項７又は８に記載の光検査装置。
  10. 　前記処理部は、前記搬送部が前記被検査物の搬送を開始する前に前記検出信号の出力強度を調整する、請求項７～９のいずれか一項に記載の光検査装置。
  11. 　前記励起光照射部における励起光照射領域内に設置されると共に前記励起光を検出し、検出した前記励起光の検出信号を出力する励起光検出部を更に備え、
    　前記処理部は、前記蛍光検出部から出力された前記検出信号であり前記異物が発生させた前記蛍光の前記検出信号に基づいて前記被検査物の画像を生成する、請求項１に記載の光検査装置。
  12. 　前記処理部は、前記励起光検出部が出力する検出信号に基づいて、前記励起光照射部の異常の有無を検出する、請求項１１に記載の光検査装置。
  13. 　前記処理部は、前記励起光検出部が出力する検出信号の有無に基づいて、前記励起光照射部の異常の有無を検出する、請求項１２に記載の光検査装置。
  14. 　前記搬送部における前記被検査物の搬送を制御する搬送制御部を更に備え、
    　前記搬送制御部は、前記処理部によって前記励起光照射部に異常が有りと検出された場合、前記搬送部における前記被検査物の搬送を停止させる、請求項１１～１３のいずれか一項に記載の光検査装置。
  15. 　前記処理部は、前記励起光検出部が出力する検出信号の検出強度と、予め定められた基準強度と、に基づいて、前記蛍光検出部における出力強度を調整する、請求項１１～１４のいずれか一項に記載の光検査装置。
  16. 　前記処理部は、前記励起光検出部が出力する検出信号の検出強度と前記基準強度とに基づいて前記検出強度の低下量を取得し、前記低下量に基づいて前記蛍光検出部における出力強度を調整する、請求項１５に記載の光検査装置。
  17. 　前記搬送部によって搬送される前記被検査物が通過可能に前記搬送部の上方に配置される台座部と、
    　前記台座部の上部に配置され、少なくとも前記蛍光検出部を収容する保護ケースと、
    　上方から見た平面視において前記台座部を外側から覆う保護部と、
    を更に備える、請求項１に記載の光検査装置。
  18. 　前記保護部は、上方から見た平面視において前記台座部の外側に配置され、前記保護部の下端は、前記台座部の上端よりも低い位置に位置している、請求項１７に記載の光検査装置。
  19. 　前記保護部は、前記台座部を囲むように枠状に配置されている、請求項１７又は１８に記載の光検査装置。
  20. 　前記保護部は、前記保護ケースに形成されている、請求項１７～１９のいずれか一項に記載の光検査装置。
  21. 　前記保護ケースは、開口部を有する箱状の本体部と、前記開口部の周囲から張り出した鍔部と、を有しており、
    　前記保護部は、前記鍔部に形成されている、請求項１７～２０のいずれか一項に記載の光検査装置。
  22. 　前記鍔部の上面は、張り出し方向に向かって、下方に傾斜している、請求項２１に記載の光検査装置。
  23. 　前記台座部は、前記保護ケースの前記開口部よりも面積が小さな窓部を有し、
    　前記蛍光検出部は、前記窓部を介して、前記異物から発せられる蛍光を検出する、請求項２１又は２２に記載の光検査装置。
  24. 　前記蛍光の波長帯以外の波長帯の光を減衰させるフィルタを更に備え、
    　前記蛍光検出部は、当該蛍光検出部の光取込部に入射した蛍光を検出し、
    　前記フィルタは、前記光取込部に対向する位置に設けられている、請求項１～２３のいずれか一項に記載の光検査装置。
  25. 　前記搬送部における前記被検査物が載置される載置面には、前記励起光の反射防止処理が施されている、請求項１～２４のいずれか一項に記載の光検査装置。
  26. 　検査領域に搬送された被検査物に励起光を照射して前記被検査物に付着する異物を検出すると共に、前記励起光によって蛍光を発生させる光変換部が前記検査領域内に設置された光検査装置における異常検出方法であって、
    　前記異物及び前記光変換部に蛍光を発生させるための前記励起光を前記検査領域に照射させる制御信号を励起光照射部に入力する照射ステップと、
    　前記検査領域において、前記励起光照射部が照射した前記励起光によって前記光変換部が発生させた前記蛍光を蛍光検出部が検出する蛍光検出ステップと、
    　前記蛍光検出ステップで検出された前記光変換部が発生させた前記蛍光に基づいて、前記励起光照射部及び前記蛍光検出部の少なくともいずれかの異常の有無を処理部が検出する異常検出ステップと、
    を含む異常検出方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020137893A1 (ja) * 2018-12-28 2020-07-02 株式会社エンビジョンＡｅｓｃジャパン 検査装置
US20220351362A1 (en) * 2021-04-29 2022-11-03 Syscom Inc. Methods And Apparatus For Detecting Defects For Poultry Piece Grading

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1040436A (ja) * 1996-07-25 1998-02-13 Furukawa Electric Co Ltd:The 蛍光パターン検出装置
JP2001502804A (ja) * 1996-10-23 2001-02-27 エスアールシー ヴィジョン インコーポレイテッド 視覚装置の用途に使用して適する均一強力光投影器
JP2003006701A (ja) * 2001-06-19 2003-01-10 Toshiba Corp 蛍光パターン検出装置
JP2003006624A (ja) * 2001-06-19 2003-01-10 Toshiba Corp 蛍光パターン検出装置
JP2004514882A (ja) * 2000-11-22 2004-05-20 サン−ゴバン　グラス　フランス 基板表面の走査方法および装置
JP2004265104A (ja) * 2003-02-28 2004-09-24 Nidec Copal Corp 検査装置
JP2004334342A (ja) * 2003-04-30 2004-11-25 Nidec Copal Corp 紙葉類蛍光検出装置
JP2005326246A (ja) * 2004-05-14 2005-11-24 Ikegami Tsushinki Co Ltd 異物検出装置
US20150293032A1 (en) * 2012-11-15 2015-10-15 Nemor Technologies Oü Unit and method for optical non-contact oil detection
JP2017142133A (ja) * 2016-02-09 2017-08-17 株式会社イシダ 光検査装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1040436A (ja) * 1996-07-25 1998-02-13 Furukawa Electric Co Ltd:The 蛍光パターン検出装置
JP2001502804A (ja) * 1996-10-23 2001-02-27 エスアールシー ヴィジョン インコーポレイテッド 視覚装置の用途に使用して適する均一強力光投影器
JP2004514882A (ja) * 2000-11-22 2004-05-20 サン−ゴバン　グラス　フランス 基板表面の走査方法および装置
JP2003006701A (ja) * 2001-06-19 2003-01-10 Toshiba Corp 蛍光パターン検出装置
JP2003006624A (ja) * 2001-06-19 2003-01-10 Toshiba Corp 蛍光パターン検出装置
JP2004265104A (ja) * 2003-02-28 2004-09-24 Nidec Copal Corp 検査装置
JP2004334342A (ja) * 2003-04-30 2004-11-25 Nidec Copal Corp 紙葉類蛍光検出装置
JP2005326246A (ja) * 2004-05-14 2005-11-24 Ikegami Tsushinki Co Ltd 異物検出装置
US20150293032A1 (en) * 2012-11-15 2015-10-15 Nemor Technologies Oü Unit and method for optical non-contact oil detection
JP2017142133A (ja) * 2016-02-09 2017-08-17 株式会社イシダ 光検査装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020137893A1 (ja) * 2018-12-28 2020-07-02 株式会社エンビジョンＡｅｓｃジャパン 検査装置
JP2020106472A (ja) * 2018-12-28 2020-07-09 株式会社エンビジョンＡｅｓｃジャパン 検査装置
JP7177474B2 (ja) 2018-12-28 2022-11-24 ヨコキ株式会社 検査装置
US20220351362A1 (en) * 2021-04-29 2022-11-03 Syscom Inc. Methods And Apparatus For Detecting Defects For Poultry Piece Grading
US11599984B2 (en) * 2021-04-29 2023-03-07 Syscom, Inc. Methods and apparatus for detecting defects for poultry piece grading

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