JP5231200B2 - 感度表データ作成方法及び感度表データ作成装置 - Google Patents
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Description
2 マスク検査装置
3 シミュレーション装置
34 感度表データ作成部
34A 第1の感度表データ作成部
34B 第2の感度表データ作成部
341 モード選択手段
342 検査結果選択手段
343 欠陥リスト取得手段
344 欠陥リスト合成手段
346 アルゴリズム選択手段
347 感度表データ作成手段
Claims (2)
- 少なくとも1つの検査アルゴリズムを用いて行われた同一のマスクについての複数回の欠陥検査の結果に基づいて、検査アルゴリズム毎に欠陥検出率を可視化した感度表を作成するために必要な感度表データを作成する感度表データ作成方法であって、
欠陥が不規則に存在する製品マスクの検査結果に基づき感度表データを作成する第1のモードと、所定の形状及びサイズでプログラム欠陥が規則的に作り込まれた感度マスクの検査結果に基づき感度表データを作成する第2のモードとのうちいずれか一方を選択するステップと、
前記欠陥検査で用いられた検査アルゴリズムの中から、感度表データを作成する検査アルゴリズムを選択するステップと、
前記第1のモードが選択された場合、同一の製品マスクについての各検査結果に含まれる欠陥の情報が記述された欠陥リストをそれぞれ取得するステップと、
取得した複数回分の検査結果の欠陥リストを合成するステップと、
前記合成された欠陥リストと、前記選択された検査アルゴリズムとに基づいて、感度表データを作成するステップとを含むことを特徴とする感度表データ作成方法。 - 少なくとも1つの検査アルゴリズムを用いて行われた同一のマスクについての複数回の欠陥検査の結果に基づいて、検査アルゴリズム毎に欠陥検出率を可視化した感度表を作成するために必要な感度表データを作成する感度表データ作成装置であって、
欠陥が不規則に存在する製品マスクの検査結果に基づき感度表データを作成する第1のモードと、所定の形状及びサイズでプログラム欠陥が規則的に作り込まれた感度マスクの検査結果に基づき感度表データを作成する第2のモードとのうちいずれか一方を選択するモード選択手段と、
前記欠陥検査で用いられた検査アルゴリズムの中から、感度表データを作成する検査アルゴリズムを選択するアルゴリズム選択手段と、
前記第1のモードが選択された場合、同一の製品マスクについての各検査結果に含まれる欠陥の情報が記述された欠陥リストをそれぞれ取得する欠陥リスト取得手段と、
取得した複数回分の検査結果の欠陥リストを合成する欠陥リスト合成手段と、
前記合成された欠陥リストと、前記選択された検査アルゴリズムとに基づいて、感度表データを作成する感度表データ作成手段とを備えたことを特徴とする感度表データ作成装置。
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