JP5227997B2 - 光線束を案内するためのミラー - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 50
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 37
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 36
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 36
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 15
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 238000001393 microlithography Methods 0.000 claims description 5
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 26
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 13
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 13
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 13
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 9
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000009304 pastoral farming Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
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- G02B7/181—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
- G02B7/1815—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation with cooling or heating systems
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0808—Mirrors having a single reflecting layer
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/70883—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature of optical system
- G03F7/70891—Temperature
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/0891—Ultraviolet [UV] mirrors
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Atmospheric Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
2 EUV光線源
3 光線束
4 集光器
5 中間集束平面
6 視野ファセットミラー
7 瞳ファセットミラー
8,9、10 ミラー
11 物体視野
12 物体平面
13 レチクル
14 照明光学ユニット
15 投影光学ユニット
16 画像平面
19 反射面
20 温度設定装置
21 ベース
22 多層コーティング
23 熱
25 ペルティエ素子
26 熱伝導素子
27 蓄熱器
28 温度センサ
29 信号ライン
30 調整器
31 制御ライン
32 メモリ
33 セラミック層
34 ペルティエユニット
35,36 半導体素子
37 遷移素子
28 結合素子
40 基板
41 電圧源
42 リード
43 熱流
44 マイクロミラー
45 ベース
46 止まり孔
47 電気絶縁層
48 ペルティエ素子
49,50 半導体素子
51 結合構成部材
52 金属ブリッジ
Claims (15)
- 光線束(3)を案内するためのミラー(8;44)であって、
ベース(21;45)と、
該ベース(21;45)の反射面(19)における前記ミラー(8;44)の反射性を増大させるコーティング(22)と、
該コーティング(22)に溜まった熱(23)を放散させるための熱放散装置(24)とを備えるミラーにおいて、
該熱放散装置(24)が少なくとも1つのペルティエ素子(25)を有し、
前記ペルティエ素子が前記ベースを構成し、
前記コーティング(22)が、前記ペルティエ素子(25)に直接に塗布されることを特徴とするミラー。 - 請求項1に記載のミラーにおいて、
多段式のペルティエ素子(25;45,48)を備えることを特徴とするミラー。 - 請求項2に記載のミラーにおいて、
多段式の前記ペルティエ素子(25)が、単段式のペルティエユニット(34)によって形成された直列回路として実施されており、前記ペルティエユニット(34)が、直列に接続されたp型ドーピングした半導体素子(35)およびn型ドーピングした半導体素子(36)と、反射面(19)の領域に配置した前記2つの半導体素子(35,36)の間の吸熱性、導電性の遷移素子(37)とを備えるミラー。 - 請求項1から3までのいずれか一項に記載のミラーにおいて、
前記p型ドーピングした半導体素子(35)と前記n型ドーピングした半導体素子(36)とを備える単段式のペルティエユニット(34)を設けたミラー。 - 請求項1から3までのいずれか一項に記載のミラーにおいて、
共通のp型またはn型ドーピングした半導体素子(35)とそれぞれの吸熱性の遷移素子(37)とを備える複数の単段式のペルティエユニット(34)を設けたミラー。 - 請求項3から5までのいずれか一項に記載のミラーにおいて、
前記吸熱性の遷移素子(37)が、前記反射面(19)の下方にマトリクス状に配置されているミラー。 - 請求項1から6までのいずれか一項に記載のミラーにおいて、
前記コーティング(22)が、前記ペルティエ素子(25)の層(33)に塗布されているミラー。 - 請求項1から6までのいずれか一項に記載のミラーにおいて、
前記コーティング(22)が、前記ペルティエ素子(25)のいずれか1つの半導体素子(35)に塗布されているミラー。 - 請求項1から8までのいずれか一項に記載のミラーにおいて、
前記ベース(45)が、少なくとも1つの保持ブリッジ(48)によって支持体(40)に取り付けられており、前記保持ブリッジ(48)をペルティエ素子として実施したミラー。 - 請求項9に記載のミラーにおいて、
前記保持ブリッジ(48)が、p型ドーピングした半導体素子として実施したばねアーム(49)と、n型ドーピングした半導体素子として実施したばねアーム(50)とを有しているミラー。 - ミラーの反射面の温度を設定するための装置を備えたミラー装置であって、
請求項1から10までのいずれか一項に記載のミラー(8;44)と、
前記ミラーの前記反射面(19)の温度のための少なくとも1つの温度センサ(28)と、
前記ミラーの前記少なくとも1つのペルティエ素子(25;48)に接続することができ、前記少なくとも1つの温度センサ(28)に信号接続した調整器(30)とを備えることを特徴とする装置。 - マイクロリソグラフィ用の投影露光装置(1)のための照明光学ユニット(14)において、
請求項1から10までのいずれか一項に記載の少なくとも1つのミラーを備えることを特徴とする照明光学ユニット。 - マイクロリソグラフィ用の投影露光装置(1)のための投影光学ユニット(15)において、
請求項1から10までのいずれか一項に記載の少なくとも1つのミラーを備えることを特徴とする投影光学ユニット。 - マイクロリソグラフィのための投影露光装置(1)において、
照明光学ユニット(14)および投影光学ユニット(15)と、請求項1から10までのいずれか一項に記載の少なくとも1つのミラー(8;44)と、請求項11に記載の少なくとも1つの温度設定装置(20)とを備えることを特徴とする投影露光装置。 - 微小構造化またはナノ構造化した構成部材を作製するための方法において、
感光性材料からなる層を少なくとも部分的に塗布したウェーハを設けるステップと、
結像させるべきパターンを有するレチクル(13)を設けるステップと、
請求項14に記載の投影露光装置(1)を設けるステップと、
該投影露光装置(1)によってウェーハの層の領域に前記レチクル(13)の少なくとも一部を投影するステップとを含むことを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102009016723.4 | 2009-04-09 | ||
DE102009016723 | 2009-04-09 | ||
DE102009054869.6A DE102009054869B4 (de) | 2009-04-09 | 2009-12-17 | Spiegel zur Führung eines Strahlungsbündels, Vorrichtungen mit einem derartigen Spiegel sowie Verfahren zur Herstellung mikro- oder nanostrukturierter Bauelemente |
DE102009054869.6 | 2009-12-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010245541A JP2010245541A (ja) | 2010-10-28 |
JP5227997B2 true JP5227997B2 (ja) | 2013-07-03 |
Family
ID=42733341
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010089881A Active JP5227997B2 (ja) | 2009-04-09 | 2010-04-08 | 光線束を案内するためのミラー |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8717531B2 (ja) |
JP (1) | JP5227997B2 (ja) |
DE (1) | DE102009054869B4 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8636349B2 (en) | 2010-07-28 | 2014-01-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head and liquid ejection apparatus |
DE102010041528A1 (de) | 2010-09-28 | 2012-03-29 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsbelichtungsanlage mit optimierter Justagemöglichkeit |
US9273214B1 (en) * | 2013-03-04 | 2016-03-01 | Mark Figliozzi | Removable spray coating and application method |
JP6326432B2 (ja) * | 2013-03-15 | 2018-05-16 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置及びリフレクタ装置 |
JP2015018918A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-01-29 | キヤノン株式会社 | 反射型原版、露光方法及びデバイス製造方法 |
DE102015209176A1 (de) * | 2015-05-20 | 2016-11-24 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Beleuchtungsoptik für die EUV-Projektionslithographie |
DE102015225509A1 (de) * | 2015-12-16 | 2017-06-22 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Reflektives optisches Element |
DE102020204722A1 (de) * | 2020-04-15 | 2020-11-12 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches system, lithographieanlage und verfahren zum betreiben eines optischen systems |
DE102021205908A1 (de) * | 2021-06-10 | 2022-12-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische Anordnung und Lithographiesystem mit Strahlungskühlung |
DE102022212570A1 (de) | 2022-11-24 | 2023-12-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Heizvorrichtung und optisches System, insbesondere EUV-Lithographiesystem |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3590228A (en) | 1967-10-02 | 1971-06-29 | Schlumberger Technology Corp | Methods and apparatus for processing well logging data |
JPS61124856A (ja) | 1984-11-22 | 1986-06-12 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 湿度検出用素子 |
DE3752314T2 (de) | 1986-07-11 | 2000-09-14 | Canon Kk | Verkleinerndes Projektionsbelichtungssystem des Reflexionstyps für Röntgenstrahlung |
JPH01152639A (ja) | 1987-12-10 | 1989-06-15 | Canon Inc | 吸着保持装置 |
DE10138313A1 (de) | 2001-01-23 | 2002-07-25 | Zeiss Carl | Kollektor für Beleuchtugnssysteme mit einer Wellenlänge < 193 nm |
JP2001013297A (ja) | 1999-06-30 | 2001-01-19 | Nikon Corp | 反射光学素子および露光装置 |
JP2002118058A (ja) | 2000-01-13 | 2002-04-19 | Nikon Corp | 投影露光装置及び方法 |
DE10050125A1 (de) | 2000-10-11 | 2002-04-25 | Zeiss Carl | Vorrichtung zum Temperaturausgleich für thermisch belastete Körper mit niederer Wärmeleitfähigkeit, insbesondere für Träger reflektierender Schichten oder Substrate in der Optik |
JP4006251B2 (ja) | 2002-03-20 | 2007-11-14 | キヤノン株式会社 | ミラー装置、ミラーの調整方法、露光装置、露光方法及び半導体デバイスの製造方法 |
US20050099611A1 (en) | 2002-06-20 | 2005-05-12 | Nikon Corporation | Minimizing thermal distortion effects on EUV mirror |
JP2004056125A (ja) | 2002-06-20 | 2004-02-19 | Nikon Corp | 個別アクチュエータを有する反射投影光学系 |
EP1376239A3 (en) | 2002-06-25 | 2005-06-29 | Nikon Corporation | Cooling device for an optical element |
JP2004080025A (ja) | 2002-07-31 | 2004-03-11 | Canon Inc | 冷却装置及び方法、当該冷却装置を有する露光装置 |
DE10327256B4 (de) * | 2003-01-27 | 2009-10-01 | Delta Electronics, Inc. | Strahlkombinierer |
JP2004247473A (ja) | 2003-02-13 | 2004-09-02 | Canon Inc | 冷却装置及び方法、当該冷却装置を有する露光装置 |
JP2004335585A (ja) | 2003-05-01 | 2004-11-25 | Canon Inc | 冷却装置及び方法、当該冷却装置を有する露光装置、デバイスの製造方法 |
JP2005276932A (ja) | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
US7141763B2 (en) | 2004-03-26 | 2006-11-28 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for rapid temperature change and control |
JP2006317316A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Canon Inc | ステージ装置およびステージ装置を用いた露光装置 |
JP4273137B2 (ja) | 2005-09-26 | 2009-06-03 | Tdk株式会社 | 熱電素子 |
JP2007095897A (ja) | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Toshiba Corp | 半導体装置とその製造方法 |
WO2007114317A1 (ja) | 2006-03-31 | 2007-10-11 | Kitakyushu Foundation For The Advancement Of Industry, Science And Technology | ペルチェ素子及びそれを備えた温調容器 |
DE102006020734A1 (de) | 2006-05-04 | 2007-11-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Beleuchtungssystem für die EUV-Lithographie sowie erstes und zweites optisches Element zum Einsatz in einem derartigen Beleuchtungssystem |
JP2008039939A (ja) | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Seiko Epson Corp | 光学デバイス |
DE102006045075A1 (de) | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Carl Zeiss Smt Ag | Steuerbares optisches Element |
EP3633824A1 (en) * | 2008-01-03 | 2020-04-08 | Wi-Charge Ltd. | Wireless laser power transmitter |
-
2009
- 2009-12-17 DE DE102009054869.6A patent/DE102009054869B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-02-18 US US12/707,783 patent/US8717531B2/en active Active
- 2010-04-08 JP JP2010089881A patent/JP5227997B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010245541A (ja) | 2010-10-28 |
DE102009054869B4 (de) | 2022-02-17 |
DE102009054869A1 (de) | 2010-10-14 |
US20100261120A1 (en) | 2010-10-14 |
US8717531B2 (en) | 2014-05-06 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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