JP5227351B2 - 光変調器 - Google Patents
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を順次積層した構造を有し、前記第1のi−AlxGa1-xNクラッド層および前記第2のi−Alx'Ga1-x'Nクラッド層のAl濃度は、共に前記i−Alx''Ga1-x''N電子ブロック層のAl濃度よりも小さいことを特徴とする。
本発明は、上述の問題を解決するために、窒化物半導体で構成されたn−i−n構造の光変調器において、電子ブロック層としてAlGaNを用いる。AlNはInNに比べGaNとの格子定数が近く、熱的にもInNに比べて安定であるため、AlGaN混晶はInGaNの結晶成長よりも容易である。AlNとGaNの結合長の違いは3%程度であるが、InNとGaNの結合長は11%程度異なる。また、InNは融点が1373KとGaN(>2000K)やAlN(3273K)と比べて低いため、多層構造を形成する際Inの脱離が起こり、高品質な結晶を得ることが困難になる。電子ブロック層としてAlGaNを用いることにより、窒化物半導体で構成されたn−i−n構造の光変調器を容易に実現でき、かつ光変調器に入力光のパワー依存性が現れることや、周波数特性の劣化などを防ぎ、特性の安定化を図ることができる。以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
図3に、第1の実施形態に係る窒化物半導体で構成されたn−i−n構造の光変調器を示す。「窒化物半導体」とは一般に、B、Al、Ga、In等のIII族元素のうち少なくとも1つ以上の元素と、V族元素である窒素との化合物であり、一般式Al1-a-b-cBaGabIncN(0≦a≦1、0≦b≦1、0≦c≦1)で表されるが、本発明では、a=0の窒化物半導体が用いられる。また、「n−i−n構造」とは、シグナル電極層及びグラウンド電極層がn型にドーピングされ、両電極層に挟まれたi型(ノンドープ)層に電圧を印加することができるようにした半導体層構造を言う。電圧を印加した際に、一方のn型層から他方のn型層に電流が流れるのを防止するため、電子の障壁層となる電子ブロック層をn型層とi型層の間に設ける。
図5を参照して、本発明の第2の実施形態に係る光変調器を説明する。本実施形態の光変調器は、i−Alx''Ga1-x''N電子ブロック層307の層厚tが、不等式0.01μm<t<0.06μmの関係を満たす。i−Alx''Ga1-x''N電子ブロック層307では、格子定数ミスマッチが大きく結晶内の歪が大きいため、層厚tが0.06μm以上では上に成長するn型電極層308の結晶性が劣化してしまう。逆に、層厚tが0.01μm以下ではトンネル効果により電子がブロック層307を透過してしまう。
図6を参照して、本発明の第3の実施形態に係る光変調器を説明する。本実施形態の光変調器は、第1のi−AlxGa1-xNクラッド層304及び第2のi−Alx'Ga1-x'Nクラッド層306のAl濃度が0.07以下である。図6は、第1の電極層303を構成するn−GaN(1×1017cm-3)上のAlGaN臨界膜厚のAlNモル分率依存性を示すグラフである。Al濃度が0.07より大きいと臨界膜厚が薄くなり、クラッド層を薄くする必要があるため、クラッド層より外でのフィールドが増加し、その結果、光結合損失が増加してしまう。Al濃度xが0.005<x<0.07の範囲で、AlxGa1-xNとGaNとの屈折率差Δnが 0.15%<Δn<2.11%である。Δnが0.15%以下の領域では、屈折率差が小さいために光の閉じ込めが弱く、光のモードフィールド径が光ファイバやPLCのモードフィールド径以上に拡がるため、結合損失が増加する。
第4の実施形態に係る光変調器は、第1のi−AlxGa1-xNクラッド層304及び第2のi−Alx'Ga1-x'Nクラッド層306の層厚が0.5μm以上である。第1及び第2のクラッド層が0.5μmより薄いと、クラッド層より外でのフィールドが増加し、光結合損失が増加してしまう。クラッド層厚を0.5μm以上にするためには、図6に示した臨界膜厚とAl濃度の関係より、Al濃度を0.07以下とする必要がある。上記構成により、光導波路320のコア層であるi−GaN光導波層305の上下に充分な層厚をもったi−AlGaNクラッド層を形成することができ、コア層への光の良好な閉じ込めを可能にしている。
第5の実施形態に係る光変調器は、基板上にエピタキシャル成長された窒化物半導体の合計膜厚Tが不等式3μm<T<8μmを満たす。3μm以下では屈折率差が必要で高Al濃度が必要であるため、結晶性が劣化する。T>8μmにしてもモードフィールド径約8μmのファイバとの結合損失を小さくする効果はでない。
図7に、第6の実施形態に係る光変調器を示す。光変調器700は、GaN基板701上に、低温成長GaNバッファ層702、第1のn−GaN電極層703、第1のi−GaNクラッド層704、i−InGaN光導波層705、第2のi−GaNクラッド層706、i−Alx''Ga1-x''N電子ブロック層707、第2のn−GaN電極層708が順次積層されている。エッチングプロセスにより第1のn−GaN電極層703に至るまでエッチングを行い、ハイメサ導波路構造の光導波路720を作製している。第1のn−GaN電極層703の上には電極709、第2のn−GaN電極層708の上には電極710が形成される。たとえば、i−InyGa1-yN光導波層705のIn濃度yを0.035とするとGaNとの屈折率差Δnは1.4%程度となる。
図8(a)及び(b)に、第7の実施形態に係る光変調器モジュールを示す。図8(a)及び(b)の光変調器モジュールはそれぞれ、第1〜第7の実施形態のいずれかに係るGaN系光変調器を備えるマッハツェンダ干渉計及びネスト型マッハツェンダ干渉計である。このように、第1〜第7の実施形態のいずれかに係るGaN系光変調器を組み込むことにより、機能光デバイスを実現することができる。
301 基板
302 低温成長GaNバッファ層
303 第1のn−GaN電極層(「第1のn型電極層」に対応)
304 第1のi−AlxGa1-xNクラッド層
305 i−GaN光導波層
306 第2のi−AlxGa1-x'Nクラッド層
307 i−Alx''Ga1-x''N電子ブロック層
308 第2のn−GaN電極層(「第2のn型電極層」に対応)
309 電極
310 電極
320 光導波路
700 光変調器
701 基板
702 低温成長GaNバッファ層
703 第1のn−GaN電極層
704 第1のi−GaNクラッド層
705 i−InGaN光導波層
706 第2のi−GaNクラッド層
707 i−Alx''Ga1-x''N電子ブロック層
708 第2のn−GaN電極層
709 電極
710 電極
720 光導波路
Claims (10)
- 窒化物半導体で構成されたn−i−n構造の光変調器において、i−Alx''Ga1-x''N電子ブロック層を有し、Al濃度x’’が、x’’>0を満たすことを特徴とする光変調器。
- 前記i−Alx''Ga1-x''N電子ブロック層のAl濃度x’’は、不等式0.2<x’’<0.4を満たすことを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記i−Alx''Ga1-x''N電子ブロック層の層厚tは、不等式0.01μm<t<0.06μmを満たすことを特徴とする請求項2に記載の光変調器。
- 基板上に形成された第1のn型電極層と、
第1のi−AlxGa1-xNクラッド層と、
i−GaN光導波層と、
第2のi−Alx'Ga1-x'Nクラッド層と、
前記i−Alx''Ga1-x''N電子ブロック層と、
第2のn型電極層と
を順次積層した構造を有し、
前記第1のi−AlxGa1-xNクラッド層および前記第2のi−Alx'Ga1-x'Nクラッド層のAl濃度は、共に前記i−Alx''Ga1-x''N電子ブロック層のAl濃度よりも小さいことを特徴とする請求項3に記載の光変調器。 - 導波路構造がハイメサ導波路構造又はリッジ導波路構造であることを特徴とする請求項4に記載の光変調器。
- 前記第1のi−AlxGa1-xNクラッド層のAl濃度xおよび前記第2のi−AlxGa1-x'Nクラッド層のAl濃度x’は、共に0.07未満であることを特徴とする請求項4に記載の光変調器。
- 前記第1のi−AlxGa1-xNクラッド層および前記第2のi−AlxGa1-x'Nクラッド層の層厚は、共に0.5μmより大きいことを特徴とする請求項6に記載の光変調器。
- 基板上に形成された第1のn型電極層と、
第1のi−GaNクラッド層と、
i−InGaN光導波層と、
第2のi−GaNクラッド層と、
前記i−Alx''Ga1-x''N電子ブロック層と、
第2のn型電極層と
を順次積層した構造を有することを特徴とする請求項3に記載の光変調器。 - 導波路構造がハイメサ導波路構造またはリッジ導波路構造であることを特徴とする請求項8に記載の光変調器。
- 前記基板はGaNで構成されていることを特徴とする請求項8に記載の光変調器。
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