JP5956371B2 - 光変調導波路 - Google Patents
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Description
はじめに、本発明の実施の形態1について、図1を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1における光変調導波路の構成を模式的に示す断面図である。この光変調導波路は、基板101の上に形成された第1クラッド層102と、第1クラッド層102の上に形成されたドープされたコア層103と、コア層103の上に形成された第2クラッド層104とを備える。この光変調導波路は、図1の紙面手前から奥の方向に光が導波する。言い換えると、図1は、導波方向に垂直な断面を示している。
次に、本発明の実施の形態2について、図2を用いて説明する。図2は、本発明の実施の形態2における光変調導波路の構成を模式的に示す断面図である。この光変調導波路は、基板201の上に形成された第1クラッド層203と、第1クラッド層203の上に形成されたコア層204と、コア層204の上に形成された第2クラッド層205とを備える。
次に、本発明の実施の形態3について、図4を用いて説明する。図4は、本発明の実施の形態3における光変調導波路の構成を模式的に示す断面図である。この光変調導波路は、基板301の上に形成された第1クラッド層303と、第1クラッド層303の上に形成されたコア層304と、コア層304の上に形成された第2クラッド層305とを備える。
Claims (3)
- 基板の上に形成されたn型の窒化物半導体からなる第1クラッド層と、
前記第1クラッド層の上に形成されて炭素をドープした窒化物半導体からなるコア層と、
前記コア層の上に形成されたn型の窒化物半導体からなる第2クラッド層と、
前記第1クラッド層に接続する第1電極と、
前記第2クラッド層に接続する第2電極と
を備えることを特徴とする光変調導波路。 - 請求項1記載の光変調導波路において、
前記基板と前記第1クラッド層との間に形成されたn型の窒化物半導体からなる第1電極層と、
前記第2クラッド層の上に形成されたn型の窒化物半導体からなる第2電極層とを備え、
前記第1電極は、前記第1電極層を介して前記第1クラッド層に接続し、
前記第2電極は、前記第2電極層を介して前記第2クラッド層に接続する
ことを特徴とする光変調導波路。 - 請求項1または2記載の光変調導波路において、
前記コア層は、多重量子井戸構造とされていることを特徴とする光変調導波路。
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