JP7461630B2 - 高電子移動度トランジスタ装置、半導体多層膜ミラーおよび縦型ダイオード - Google Patents
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Description
図1に、実施例1に係るHEMT(High Electron Mobility Transistor)装置1の断面概略図を示す。HEMT装置1は、基板11、バッファ層12、チャネル層13、電子供給層14、ソース電極21、ドレイン電極22、ゲート電極23、保護層24を備える。
ウルツ鉱型構造のAlPNおよびAlGaNPの格子定数は、GaNのa軸の格子定数に一致させることが可能である。図2に、AlP0.13N0.87のXRD分析結果を示す。測定法は、斜入射法(ω-2θ)を用いた。試料には、GaN上に形成された140nmのAlPNを用いた。図2において、点は測定値であり、実線はシミュレーション結果である。図2より、AlP0.13N0.87の格子定数が、GaNの格子定数に略一致していることが分かる。換言すると、AlPNとGaNの格子定数を一致させるためには、13%のリンが必要であることが分かる。
本実施例に係るHEMT装置1では、窒化ガリウムのチャネル層13と接触する電子供給層14に、AlPN(AlPyN1-y、ここでy≦0.15)またはAlGaNP(Al(1-x)GaxN1-0.13*(1-x)P0.13*(1-x))を用いている。これにより、AlPNおよびAlGaNPの格子定数を、窒化ガリウムの{0001}面の格子定数に略一致させることができる。応力の発生を抑制できるため、結晶欠陥の密度を低減することが可能となる。また、電子供給層の厚膜化が可能となる。その結果、高電子移動度トランジスタ装置の性能を向上させることが可能となる。
図3に、実施例2に係るHEMT装置1aの断面概略図を示す。実施例2のHEMT装置1a(図3)は、実施例1のHEMT装置1(図1)に比して、インバーティド型のチャネル構造を有する点が異なる。両装置で共通する部位には同一符号を付すことで、説明を省略する。
図4に、実施例3に係るLED装置100の部分断面概略図を示す。LED装置100は、基板111、反射鏡112、発光層113、GaN層114、を備える。
基板111は、GaNテンプレートである。反射鏡112は、基板111上に配置されている。反射鏡112は、ブラッグミラーである。反射鏡112は、AlPNまたはAlGaNPの第1層L1(低屈折率層)と、GaNの第2層L2(高屈折率層)と、のペア構造が複数積層された構造を備える。反射鏡112は、第1層L1および第2層L2を交互にエピタキシャル成長することで形成できる。本実施例では、ペア構造の積層数は12ペアである。
第1層L1と第2層L2との格子定数を、略一致させることができる。反射鏡112で発生する応力を低減できるため、結晶欠陥の密度やサイズを減少させることができる。反射鏡112の反射率を増大させることが可能となる。
図6に、実施例4に係る縦型のPNダイオード200の断面概略図を示す。PNダイオード200は、基板211、n型ドリフト層212、p型層213、を備える。基板211は、n型の窒化ガリウムである。n型ドリフト層212は、基板211上に配置されている、n型AlPNまたはn型AlGaNPの層である。p型層213は、n型ドリフト層212上に配置されている、p型の窒化ガリウムの層である。なお図6において、アノード電極やカソード電極は、図示を省略している。
一般的な仮説として、破壊電界(breakdown field)の強度はバンドギャップの3乗に対応する(Ebreak~Egap 3)。本実施例のPNダイオード200では、ドリフト層にAlPNまたはAlGaNPを用いることで、GaNを用いる場合に比して、バンドギャップを広くすることができる。
従って、例えば、ドリフト層にAlP0.13N0.87を用いた場合、GaNを用いる場合に比して、破壊電界の強度を3.7倍で増加させることができる。(合金散射(alloy scattering)を無視した場合)。素子の高耐圧化を実現することが可能となる。
図7に、実施例5に係る縦型のショットキーバリアダイオード200aの断面概略図を示す。PNダイオード200は、基板211、n型ドリフト層212、ショットキー電極214a、を備える。実施例5のショットキーバリアダイオード200a(図7)と実施例4のPNダイオード200(図6)とで共通する部位には同一符号を付すことで、説明を省略する。ショットキー電極214aとしては、例えば、Ni/Auの積層構造(この順に膜形成)が挙げられる。
以上、本発明の実施例について詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
Claims (8)
- 基板と、
前記基板上に配置されている、窒化ガリウムのバッファ層と、
前記バッファ層上に配置されている、窒化ガリウムのチャネル層と、
前記チャネル層上に配置されている、リンを含んだ窒化物半導体の電子供給層と、
前記電子供給層上に配置されているソース電極、ドレイン電極、およびゲート電極と、
を備え、
前記リンを含んだ窒化物半導体は、AlPNまたはAlGaNPであり、
前記AlPNの組成は、AlP 0.13 N 0.87 であり、
前記AlGaNPの組成は、Al (1-x) Ga x N 1-0.13*(1-x) P 0.13*(1-x) である、高電子移動度トランジスタ装置。 - 基板と、
前記基板上に配置されている、リンを含んだ窒化物半導体の電子供給層と、
前記電子供給層上に配置されている、窒化ガリウムのチャネル層と、
前記チャネル層上に配置されているソース電極、ドレイン電極、およびゲート電極と、
を備え、
前記リンを含んだ窒化物半導体は、AlPNまたはAlGaNPであり、
前記AlPNの組成は、AlP 0.13 N 0.87 であり、
前記AlGaNPの組成は、Al (1-x) Ga x N 1-0.13*(1-x) P 0.13*(1-x) である、高電子移動度トランジスタ装置。 - 前記リンを含んだ窒化物半導体の格子定数は、前記窒化ガリウムの{0001}面の格子定数に略一致している又は小さい、請求項1または2に記載の高電子移動度トランジスタ装置。
- リンを含んだ窒化物半導体の第1層と、窒化ガリウムの第2層と、のペア構造が複数積層された構造を備え、
前記リンを含んだ窒化物半導体は、AlPNまたはAlGaNPであり、
前記AlPNの組成は、AlP 0.13 N 0.87 であり、
前記AlGaNPの組成は、Al (1-x) Ga x N 1-0.13*(1-x) P 0.13*(1-x) である、半導体多層膜ミラー。 - 前記リンを含んだ窒化物半導体の格子定数は、前記窒化ガリウムの{0001}面の格子定数に略一致している又は小さい、請求項4に記載の半導体多層膜ミラー。
- 第1導電型の窒化ガリウムの基板と、
前記基板上に配置されている、リンを含んだ第1導電型の窒化物半導体層と、
前記窒化物半導体層上に配置されている、第2導電型の窒化ガリウム層と、
を備え、
前記リンを含んだ窒化物半導体は、AlPNまたはAlGaNPであり、
前記AlPNの組成は、AlP 0.13 N 0.87 であり、
前記AlGaNPの組成は、Al (1-x) Ga x N 1-0.13*(1-x) P 0.13*(1-x) である、縦型ダイオード。 - 第1導電型の窒化ガリウムの基板と、
前記基板上に配置されている、リンを含んだ第1導電型の窒化物半導体層と、
前記窒化物半導体層上に配置されている、ショットキー電極と、
を備え、
前記リンを含んだ窒化物半導体は、AlPNまたはAlGaNPであり、
前記AlPNの組成は、AlP 0.13 N 0.87 であり、
前記AlGaNPの組成は、Al (1-x) Ga x N 1-0.13*(1-x) P 0.13*(1-x) である、縦型ダイオード。 - 前記リンを含んだ窒化物半導体の格子定数は、前記窒化ガリウムの{0001}面の格子定数に略一致している又は小さい、請求項6または7に記載の縦型ダイオード。
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