JP5221909B2 - フィンベース半導体素子のドーピング方法 - Google Patents
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Description
所定の高さ、幅および長さを有する第1ブロック材料の側壁である第1ターゲット面を、前記フィンの第1側壁面に面するように設けるステップと、
0度とは異なる第1入射角(α)で、前記第1ターゲット面に衝突する第1の1次イオンビームを走査して、第1の2次イオンビームを誘起するステップと、
前記第1の2次イオンビームを用いて、前記第1ターゲット面に面した、少なくとも前記側壁面および、可能ならば前記フィンの前記上面のドーピングを行うステップとを含む。
前記第1ブロック材料は、前記フィンの前記上面が(完全に)前記第2の1次ビームの影になるように、前記高さ、幅および長さを有するものであり、
前記第2の2次イオンビームを用いて、前記第2ターゲット面に面した、前記第2側壁面および、可能ならば前記フィンの前記上面のドーピングを行うステップを含む。
前記第2ターゲット面は、5nm〜50nmの範囲にある距離で、前記フィンの第2側壁面に対して5nm〜25nmの範囲に配置されている。これらの距離は等しいことが好ましい。
Tan(90−α)=(前記ブロック材料の高さ−前記フィンの高さ)/(前記フィンの幅+前記フィンと前記ターゲット面の間の距離)
基板と、
少なくとも2つの側壁面および上面を備えたフィンと、
ゲート誘電体と、
前記フィンの回りに包まれたゲート電極と、
前記フィンの側壁面および上面に沿って2次イオンビームからのイオンで均一にドープされ、前記イオンは前記面の特定の場所にあるソース/ドレイン延長注入部とを備える。
Claims (15)
- フィンベース半導体素子のドーピング方法であって、
上面、第1側壁面および第2側壁面を備えるフィンであって、少なくとも1つのフィンのパターニングを行うステップと、
所定の高さ、幅および長さを有する第1ブロック材料の側壁である第1ターゲット面を、前記フィンの第1側壁面に面するように設けるステップと、
0度とは異なる第1入射角で、前記第1ターゲット面に衝突する第1の1次イオンビームを走査して、第1の2次イオンビームを誘起するステップと、
前記第1の2次イオンビームを用いて、前記第1ターゲット面に面した、少なくとも前記側壁面および、可能ならば前記フィンの前記上面のドーピングを行うステップとを少なくとも含むフィンベース半導体素子のドーピング方法。 - 第2ブロック材料の反対側の側壁である第2ターゲット面を、フィンの第2側壁面に面するように設けるステップをさらに含み、
第2ブロック材料は、前記フィンの前記上面が、好ましくは完全に前記1次ビームの影になるように、所定の高さ、幅および長さを有するようにした請求項1記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。 - 0度とは異なり、好ましくは、第1入射角と反対かつ同等である第2入射角で、前記第2ターゲット面に衝突する第2の1次イオンビームを走査して、第2の2次イオンビームを誘起するステップを含み、
前記第1ブロック材料は、前記フィンの前記上面が、好ましくは完全に前記第2の1次ビームの影になるように、前記高さ、幅および長さを有するものであり、
前記第2の2次イオンビームを用いて、前記第2ターゲット面に面した、前記第2側壁面および、可能ならば前記フィンの前記上面のドーピングを行うステップを含む請求項2記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。 - 前記第1ターゲット面は、前記フィンの第1側壁面に対して5nm〜50nmの範囲にある距離で配置され、前記第2ターゲット面は、前記フィンの第2側壁面に対して5nm〜50nmの範囲にある距離で配置されている請求項1〜3のいずれかに記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。
- 前記第1および第2入射角は、前記1次イオンビームが前記フィンの前記上面に衝突しないように選択されている請求項1〜4のいずれかに記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。
- 前記入射角は、前記フィンの前記上面の法線に対して約10度〜約80度の範囲内である請求項5記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。
- 前記入射角は、前記フィンの前記上面の法線に対して約45度である請求項6記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。
- 前記入射角は、下記の式によって、前記ブロック材料の高さによって決定される請求項1〜7のいずれかに記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。
Tan(90−α)=SH/(W+TD)
ここで、BH=前記ブロック材料(507)の高さ、H=前記フィンの高さ、W=前記フィンの幅、TD=前記フィンと前記ターゲット面の間の距離である。 - 前記ブロック材料の前記材料は、ドープされ、またはアンドープのものである請求項1〜8のいずれかに記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。
- 前記アンドープのブロック材料に衝突する前記1次イオンビームのイオンは、ドープイオンを含む請求項9記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。
- 前記2次イオンビームは、後方散乱したドープイオンを含む請求項10記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。
- 前記ドープしたブロック材料に衝突する前記1次イオンビームのイオンは、スパッタされたドープイオンを含む前記2次イオンビームを誘起する請求項9記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。
- 少なくとも1つのフィンのパターニングを行う前記ステップは、少なくとも第2フィンからフィンピッチで配置された、列状またはアレイ状の少なくとも第1フィンを提供することをさらに含む請求項1〜12のいずれかに記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。
- 前記ブロック材料は、前記少なくとも第1フィンと前記少なくとも第2フィンとの間に位置決めされる請求項13記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。
- 前記ブロック材料は、前記少なくとも第2フィンの上に位置決めされる請求項13記載のフィンベース半導体素子のドーピング方法。
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