JP4491278B2 - 形状シミュレーション装置、形状シミュレーション方法および形状シミュレーションプログラム - Google Patents
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Description
前記製品の各表面を多角形に分割した表面要素の3次元空間での位置関係による可視性を評価して表面関係行列を作成する表面関係行列演算手段と、
前記表面関係行列演算手段によって作成された前記表面関係行列を用いて陰影効果と再付着効果を反映させた前記表面要素の表面移動速度を算出する表面移動速度演算手段と、
を備えたことを特徴とする形状シミュレーション装置。
前記表面移動速度演算手段は、前期削れ分析用の表面関係行列を用いて削れによる前記表面要素の表面移動速度を算出し、再付着分析用の表面関係行列を用いて再付着による前記表面要素の表面移動速度を算出することを特徴とする付記1または2に記載の形状シミュレーション装置。
前記微細加工における加工プロセスの構成と前記微細加工に用いるビームのビーム特性との入力を受け付けるユーザインターフェース制御手段と、
前記微細加工をおこなうために前記製品に照射される前記ビームの強度および方向を前記加工プロセスの構成と前記ビーム特性とから算出するビーム条件計算手段と、
を備えたことを特徴とする形状シミュレーション装置。
前記ビーム条件計算手段は、前記ビームの強度および方向を前記加工プロセスの構成と前記ビーム特性と前記位置とから算出することを特徴とする付記4に記載の形状シミュレーション装置。
前記ビーム条件計算手段は、前記素子位置記憶手段に記憶された数の前記製品に対応するビームの強度および方向を算出することを特徴とする付記5に記載の形状シミュレーション装置。
前記製品の各表面を多角形に分割した表面要素の3次元空間での位置関係による可視性を評価して表面関係行列を作成する表面関係行列演算工程と、
前記表面関係行列演算工程によって作成された前記表面関係行列を用いて陰影効果と再付着効果を反映させた前記表面要素の表面移動速度を算出する表面移動速度演算工程と、
を含んだことを特徴とする形状シミュレーション方法。
前記表面移動速度演算工程は、前期削れ分析用の表面関係行列を用いて削れによる前記表面要素の表面移動速度を算出し、再付着分析用の表面関係行列を用いて再付着による前記表面要素の表面移動速度を算出することを特徴とする付記7または8に記載の形状シミュレーション方法。
前記微細加工における加工プロセスの構成と前記微細加工に用いるビームのビーム特性との入力を受け付けるユーザインターフェース制御工程と、
前記微細加工をおこなうために前記製品に照射される前記ビームの強度および方向を前記加工プロセスの構成と前記ビーム特性とから算出するビーム条件計算工程と、
を含んだことを特徴とする形状シミュレーション方法。
前記ビーム条件計算工程は、前記ビームの強度および方向を前記加工プロセスの構成と前記ビーム特性と前記位置とから算出することを特徴とする付記10に記載の形状シミュレーション方法。
前記ビーム条件計算工程は、前記素子位置記憶肯定に記憶された数の前記製品に対応するビームの強度および方向を算出することを特徴とする付記11に記載の形状シミュレーション方法。
前記製品の各表面を多角形に分割した表面要素の3次元空間での位置関係による可視性を評価して表面関係行列を作成する表面関係行列演算手順と、
前記表面関係行列演算手順によって作成された前記表面関係行列を用いて陰影効果と再付着効果を反映させた前記表面要素の表面移動速度を算出する表面移動速度演算手順と、
をコンピュータに実行させることを特徴とする形状シミュレーションプログラム。
前記表面移動速度演算手順は、前期削れ分析用の表面関係行列を用いて削れによる前記表面要素の表面移動速度を算出し、再付着分析用の表面関係行列を用いて再付着による前記表面要素の表面移動速度を算出することを特徴とする付記13または14に記載の形状シミュレーションプログラム。
前記微細加工における加工プロセスの構成と前記微細加工に用いるビームのビーム特性との入力を受け付けるユーザインターフェース制御手順と、
前記微細加工をおこなうために前記製品に照射される前記ビームの強度および方向を前記加工プロセスの構成と前記ビーム特性とから算出するビーム条件計算手順と、
をコンピュータに実行させることを特徴とする形状シミュレーションプログラム。
前記ビーム条件計算手順は、前記ビームの強度および方向を前記加工プロセスの構成と前記ビーム特性と前記位置とから算出することを特徴とする付記16に記載の形状シミュレーションプログラム。
前記ビーム条件計算手順は、前記素子位置記憶手順に記憶された数の前記製品に対応するビームの強度および方向を算出することを特徴とする付記17に記載の形状シミュレーションプログラム。
2 加工形状
3 被加工面
4 エッチング部
5 非エッチング部
6 粒子の散乱
7 付着部
10 入力情報
20 形状シミュレーション装置
30 計算結果
100 ユーザインターフェース部
110 表示部
120 操作部
200 制御部
210 ユーザインターフェース制御部
220 時間発展ソルバ部
221 ビーム条件計算処理部
222 表面関係行列演算処理部
223 表面移動速度演算処理部
300 記憶部
310 素子初期位置記憶部
320 初期表面形状記憶部
330 ビーム分布記憶部
340 プロセス条件記憶部
350 計算条件記憶部
360 ビーム条件記憶部
370 表面形状記憶部
380 削れ分析用表面関係行列記憶部
390 再付着分析用表面関係行列記憶部
Claims (5)
- 微細加工による製品の形状の変化をシミュレーションする形状シミュレーション装置であって、
前記製品の各表面を多角形に分割した各表面要素について、3次元空間で所定の視点から見た場合の重なり状況を評価して削れ分析用の表面関係行列と再付着分析用の表面関係行列とを作成する表面関係行列演算手段と、
前記製品の各表面を多角形に分割した各表面要素の初期位置情報および前記微細加工に用いるビームの分布情報に基づいて、前記製品上の位置におけるビームの入射角および強度を計算するビーム条件計算手段と、
前記表面関係行列演算手段によって作成された前記削れ分析用の表面関係行列および前記ビーム条件計算手段によって計算されたビームの入射角および強度を用いて削れによる前記表面要素の表面移動速度を算出し、前記表面関係行列演算手段によって作成された前記再付着分析用の表面関係行列を用いて再付着による前記表面要素の表面移動速度を算出する表面移動速度演算手段と、
と備え、
前記表面関係行列演算手段は、前記削れ分析用の表面関係行列を作成する場合に、前記再付着分析用の表面関係行列を作成する場合よりも、より多くの評価点に分割することにより、前記削れ分析用の表面関係行列の精密度を前記再付着分析用の表面関係行列の精密度よりも向上させることを特徴とする形状シミュレーション装置。 - 前記表面関係行列演算手段は、前記各表面要素の前記3次元空間で所定の視点から見た場合の重なり状況を、極座標を任意の数に分割した評価点からなり、評価点毎に前記視点から見て最も手前に位置する表面要素を保持する表面関係行列として評価することを特徴とする請求項1に記載の形状シミュレーション装置。
- 前記表面関係行列演算手段は、前記削れ分析用の表面関係行列を作成する場合に、前記再付着分析用の表面関係行列を作成する場合よりも、極座標をより多くの評価点に分割することにより、前記削れ分析用の表面関係行列の精密度を前記再付着分析用の表面関係行列の精密度よりも向上させることを特徴とする請求項2に記載の形状シミュレーション装置。
- 微細加工による製品の形状の変化をシミュレーションする形状シミュレーション方法であって、
前記製品の各表面を多角形に分割した各表面要素について、3次元空間で所定の視点から見た場合の重なり状況を評価して削れ分析用の表面関係行列と再付着分析用の表面関係行列とを作成する表面関係行列演算工程と、
前記製品の各表面を多角形に分割した各表面要素の初期位置情報および前記微細加工に用いるビームの分布情報に基づいて、前記製品上の位置におけるビームの入射角および強度を計算するビーム条件計算工程と、
前記表面関係行列演算工程によって作成された前記削れ分析用の表面関係行列および前記ビーム条件計算手段によって計算されたビームの入射角および強度を用いて削れによる前記表面要素の表面移動速度を算出し、前記表面関係行列演算工程によって作成された前記再付着分析用の表面関係行列を用いて再付着による前記表面要素の表面移動速度を算出する表面移動速度演算工程と、
を含み、
前記表面関係行列演算工程は、前記削れ分析用の表面関係行列を作成する場合に、前記再付着分析用の表面関係行列を作成する場合よりも、より多くの評価点に分割することにより、前記削れ分析用の表面関係行列の精密度を前記再付着分析用の表面関係行列の精密度よりも向上させることを特徴とする形状シミュレーション方法。 - 微細加工による製品の形状の変化をシミュレーションする形状シミュレーションプログラムであって、
前記製品の各表面を多角形に分割した各表面要素について、3次元空間で所定の視点から見た場合の重なり状況を評価して削れ分析用の表面関係行列と再付着分析用の表面関係行列とを作成する表面関係行列演算手順と、
前記製品の各表面を多角形に分割した各表面要素の初期位置情報および前記微細加工に用いるビームの分布情報に基づいて、前記製品上の位置におけるビームの入射角および強度を計算するビーム条件計算手順と、
前記表面関係行列演算手順によって作成された前記削れ分析用の表面関係行列および前記ビーム条件計算手段によって計算されたビームの入射角および強度を用いて削れによる前記表面要素の表面移動速度を算出し、前記表面関係行列演算手順によって作成された前記再付着分析用の表面関係行列を用いて再付着による前記表面要素の表面移動速度を算出する表面移動速度演算手順と、
をコンピュータに実行させ、
前記表面関係行列演算手順は、前記削れ分析用の表面関係行列を作成する場合に、前記再付着分析用の表面関係行列を作成する場合よりも、より多くの評価点に分割することにより、前記削れ分析用の表面関係行列の精密度を前記再付着分析用の表面関係行列の精密度よりも向上させることを特徴とする形状シミュレーションプログラム。
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