JP5221517B2 - アルミ改質コロイダルシリカ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
しかし、金属不純物の少ない高純度コロイダルシリカは酸性領域でゲル化および凝集等が起こり不安定であり、酸性領域で使用するCMPプロセス等では扱うのが困難であった。
しかしながら、特許文献2記載の方法は、酸性コロイダルシリカを原料としており、酸性コロイダルシリカの製造方法は陽イオン交換処理によってアルカリ性コロイダルシリカを脱アルカリすることで得られるが、単純に脱アルカリを行っただけでは、コロイド粒子内部に抱きこまれているアルカリまでは除去することができない。
また、その実施例には、水ガラス由来のコロイダルシリカを原料とした場合の製造方法について記載されている。水ガラス由来のコロイダルシリカを原料とした場合、アルミン酸塩水溶液の添加前にナトリウムイオンを除去し、その後コロイダルシリカのpHを中性領域に調整する必要があり、工程が煩雑になる。その上、水ガラス由来のコロイダルシリカでは、中性領域で不安定である為、pH調整後に直ちに処理する必要があった。また、オートクレーブ装置などを用いて高圧、高温下で処理を行う必要があり、このような処理を行わなければ充分にコロイダルシリカ表面がアルミン酸イオンと反応しないという問題を有していた。
即ち、本発明に係る実施形態は、以下の工程(1)〜(3)を含むことを特徴とするアルカリ金属含有量がそれぞれ50ppm以下であるアルミ改質コロイダルシリカの製造方法に関する。
(1)アルコキシド法により得られるコロイダルシリカであって、pHが6〜10であるコロイダルシリカに、Al2O3/SiO2のモル比が0.00005〜0.01の範囲になるように、アルミン酸塩水溶液を添加する工程
(2)工程(1)で得られたコロイダルシリカを60〜100℃に一定時間維持する工程
(3)工程(2)で得られたコロイダルシリカ中のアルカリイオンを必要に応じて除去し、アルミ改質コロイダルシリカを得る工程
本発明に係るその他の実施形態は、前記アルミン酸塩水溶液が、アルミニウム化合物をアルカリ水溶液に溶解させて得られたアルミン酸塩水溶液であることを特徴とするアルミ改質コロイダルシリカの製造方法に関する。
本発明に係るその他の実施形態は、前記アルミ改質コロイダルシリカ中にアルカリ土類金属及び重金属を含有し、前記アルカリ土類金属がカルシウム及び/又はマグネシウムであって、前記重金属が鉄、チタン、ニッケル、クロム、銅、亜鉛、鉛、銀、マンガン及びコバルトからなる群より選ばれる1種以上であって、前記アルカリ土類金属のそれぞれの含有量が全て1ppm以下であり、前記重金属のそれぞれの含有量が全て1ppm以下であることを特徴とするアルミ改質コロイダルシリカの製造方法に関する。
本発明に係るその他の実施形態は、前記工程(3)でアルカリイオンを除去することにより前記アルミ改質コロイダルシリカを酸性とすることを特徴とするアルミ改質コロイダルシリカの製造方法に関する。
本発明に係るその他の実施形態は、アルカリ金属含有量が50ppm以下であるアルミ改質コロイダルシリカであって、pH3〜11におけるゼータ電位が−20mV以下であることを特徴とするアルミ改質コロイダルシリカに関する。
本発明に係るその他の実施形態は、前記アルミ改質コロイダルシリカ中にアルカリ土類金属及び重金属を含有し、前記アルカリ土類金属がカルシウム及び/又はマグネシウムであって、前記重金属が鉄、チタン、ニッケル、クロム、銅、亜鉛、鉛、銀、マンガン及びコバルトからなる群より選ばれる1種以上であって、前記アルカリ土類金属のそれぞれの含有量が全て1ppm以下であり、前記重金属のそれぞれの含有量が全て1ppm以下であることを特徴とするアルミ改質コロイダルシリカに関する。
本発明に係るその他の実施形態は、前記アルミ改質コロイダルシリカが酸性であることを特徴とするアルミ改質コロイダルシリカに関する。
本発明に係るその他の実施形態は、以下の工程(1)〜(3)を含む製造方法により得られることを特徴とするアルミ改質コロイダルシリカに関する。
(1)アルコキシド法により得られるコロイダルシリカであって、pHが6〜10であるコロイダルシリカに、Al2O3/SiO2のモル比が0.00005〜0.01の範囲になるように、アルミン酸塩水溶液を添加する工程
(2)上記工程(1)で得られたコロイダルシリカを60〜100℃に一定時間維持する工程
(3)上記工程(2)で得られたコロイダルシリカ中のアルカリイオンを必要に応じて除去し、アルミ改質コロイダルシリカを得る工程
本発明の製造方法により得られるアルミ改質コロイダルシリカは、アルミン酸イオンによる改質率が40%以上であるため、過剰のアルミン酸塩水溶液を用いる事なく処理することが可能であり、それによりアルカリイオンの除去工程も容易であり、且つ高純度のアルミ改質コロイダルシリカを得ることが出来る。
本発明の製造方法により得られるアルミ改質コロイダルシリカは、アルミン酸塩水溶液を添加して得られたコロイダルシリカを60〜100℃に一定時間維持する工程を含み、コロイダルシリカ表面に負の電荷を与えるアルミノシリケートサイトが形成されているため、酸性領域における安定性に優れる。
本発明の製造方法において、アルミン酸塩水溶液として、アルミニウム化合物を含む水溶液が使用され、該水溶液として第4級アンモニウム水溶液、または有機アミンなどの金属不純物やアルカリ金属をほぼ含まないアルカリ水溶液に溶解させて得られたアルミン酸塩水溶液を用いた時、金属不純物やアルカリ金属をほぼ含まない高純度のアルミ改質コロイダルシリカを得ることができる。この方法により得られた高純度コロイダルシリカは、例えばシリコンウェハー研磨や半導体デバイスのCMPプロセス等の研磨砥粒等の用途に特に適したコロイダルシリカとなる。
(1)アルコキシド法により得られるコロイダルシリカであって、pHが6〜10であるコロイダルシリカに、Al2O3/SiO2のモル比が0.00005〜0.01の範囲になるように、アルミン酸塩水溶液を添加する工程
(2)工程(1)で得られたコロイダルシリカを60〜100℃に一定時間維持する工程
(3)工程(2)で得られたコロイダルシリカ中のアルカリイオンを必要に応じて除去し、アルミ改質コロイダルシリカを得る工程
本発明のアルミ改質コロイダルシリカの製造方法において、原料として使用されるコロイダルシリカは、アルコキシド法により得られる。この理由は、次の通りである。アルコキシド法により得られるコロイダルシリカ(以下、単に原料コロイダルシリカという場合がある。)は、金属不純物が少なく高純度であるため、シラノール基とアルミン酸イオンの反応を阻害するアルカリ成分がない。さらに、アルミ改質コロイダルシリカの製造時において、水ガラス由来のコロイダルシリカを原料とした場合に生じる陽イオン交換処理、及びpH調整などの煩雑な工程が不要であるばかりでなく、比較的低温、短時間の反応でコロイダルシリカを得ることができる。また、アルコキシド法により得られるコロイダルシリカは、そのpHが6〜10、好ましくはpH7〜9で安定する。即ち、安定な領域にするためにpH調整することなく処理が可能である。例えば、水ガラス由来のコロイダルシリカを用いると、このコロイダルシリカは中性領域で不安定であるため、pH調整後、直ちに使用する必要がある。
前記アルコキシド法に用いられる原料は、テトラメチルシリケート、テトラエチルシリケート、テトラプロピルシリケートなどのようなアルコキシシランを用いることが好ましく、テトラメチルシリケートを用いることが特に好ましい。
この理由は、テトラメチルシリケートを原料として得られるコロイダルシリカは、他のアルコキシシランよりも反応性が高く、比較的低温でも短時間で反応出来るために生産効率に優れる。
尚、本発明でいうアルコキシド法とは、アルコキシシランを水と反応させて加水分解して縮合反応することによりコロイダルシリカを得る方法である。
原料コロイダルシリカのシリカ濃度は特に限定されないが、好ましくは10〜40重量%である。シリカ濃度が10重量%未満であると使用用途が限定されることがある。また40重量%を超えると、表面改質後にコロイダルシリカを濃縮する段階において生産効率が悪くなる。さらに、原料であるコロイダルシリカの粘性が上昇することで攪拌効率が悪くなり、製造工程中で、アルミン酸塩水溶液を添加した際に部分的に凝集する可能性がある。
原料コロイダルシリカの金属含有量は特に限定されないが、アルカリ金属含有量が好ましくはそれぞれ1ppm以下、より好ましくはそれぞれ0.5ppm以下である。前記アルカリ金属とは、ナトリウム又はカリウムである。
さらに好ましくは、原料コロイダルシリカに含まれる前記アルカリ金属、アルカリ土類金属、重金属の含有量が好ましくはそれぞれ1ppm以下、より好ましくはそれぞれ0.5ppm以下である。
前記アルカリ土類金属とは、カルシウム又はマグネシウムである。前記重金属とは、鉄、チタン、ニッケル、クロム、銅、亜鉛、鉛、銀、マンガン又はコバルトである。
前記金属含有量を有する原料コロイダルシリカを使用すると、低温処理でのアルミ改質処理が容易となる。
或いは、アルミン酸ナトリウムなどのアルカリ金属塩、アルミン酸第4級アンモニウム、アルミン酸グアニジン等の有機アミン塩の水溶液を使用してもよい。
これらのうち、アルミン酸第4級アンモニウムの水溶液、アルミン酸グアニジン等の有機アミン塩水溶液を使用することが好ましい。
尚、前記アルミン酸塩水溶液として、工業薬品として市販されているアルミン酸ナトリウム水溶液を使用する事もできる。尚、このアルミン酸ナトリウム中のアルカリ成分は水酸化ナトリウムである。
前記アルミニウム化合物を溶解させるアルカリ水溶液としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液などの第4級アンモニウム水溶液、グアニジン、トリエチルアミンなどの有機アミンを含む水溶液が好ましく使用される。
アルミン酸塩水溶液の添加量は、Al2O3/SiO2モル比が0.00005〜0.01の範囲であり、好ましくは0.0001〜0.005である。添加量が0.00005未満では、コロイダルシリカ表面のシラノール基とアルミン酸イオンの反応が不十分であり、酸性コロイダルシリカとした時の安定性が悪くなる。また、添加量が0.01を超えるとシラノール基との反応に必要な量以上のアルミン酸イオンを添加することになり、アルカリ成分を除去する為の陽イオン交換樹脂量が増えるだけでなく、コロイダルシリカ粒子が凝集し、二次粒子径が大きくなるなどの問題がある。
工程(2)において、工程(1)で得られたコロイダルシリカを一定温度で一定時間維持し、アルカリ性コロイダルシリカを得る。
維持する温度は、好ましくは60〜100℃であり、より好ましくは80〜100℃である。維持する温度が60℃未満であると、コロイダルシリカ表面のシラノール基とアルミン酸イオンの反応が不十分になる可能性があるため、また100℃を超えるとオートクレーブ装置などの加圧容器での処理が必要になるため、いずれの場合も好ましくない。
前記温度に維持する時間は、好ましくは0.5〜10時間であり、より好ましくは1〜3時間である。維持する時間が0.5時間未満であると、反応が不十分の可能性があるため、また10時間を超えると反応時間が不必要に長くなり生産効率が悪くなるため、いずれの場合も好ましくない。
工程(3)において、工程(2)により得られたコロイダルシリカ中のアルカリイオンを必要に応じて除去する。
必要に応じてアルカリイオンを除去する方法は、公知のいずれの方法も用いることが出来るが、イオン交換樹脂を用いる方法が一般的であり、このとき用いられるイオン交換樹脂は、陽イオン交換樹脂、または陰イオン交換樹脂及び陽イオン交換樹脂の組み合わせである。これらのうち、好ましくは、陰イオン交換樹脂及び陽イオン交換樹脂を組み合わせて使用される。この理由は、陽イオン交換樹脂でアルカリイオンを除去し、陰イオン交換樹脂で陽イオン交換樹脂から溶出する可能性のあるイオンを除去できるからである。
金属不純物として、アルカリ金属含有量は50ppm以下、好ましくは30ppm以下、さらに好ましくは5ppm以下である。該アルカリ金属は、ナトリウム又はカリウムである。
さらに、アルカリ土類金属及び重金属の含有量がそれぞれ1ppm以下であることが好ましく、より好ましくはそれぞれ0.5ppm以下である。
前記アルカリ土類金属とは、カルシウム又はマグネシウムである。前記重金属とは、鉄、チタン、ニッケル、クロム、銅、亜鉛、鉛、銀、マンガン又はコバルトである。
これらの金属不純物含有量が、上記範囲を超えると、例えば半導体ウエハーの研磨剤に用いられたとき、ウエハー表面の汚染原因となるため好ましくない。
尚、本発明でいうアルミン酸イオンによる改質率とは、「改質率(%)={(アルミ改質コロイダルシリカ中のAl量(ppm)−原料コロイダルシリカ中のAl量(ppm))/アルミ改質コロイダルシリカの理論Al量}×100」で表される改質率である。このアルミ改質コロイダルシリカ中の理論Al量とは、原料アルミン酸塩水溶液中のアルミン酸イオン中のAl量を示す。
本発明のアルミ改質コロイダルシリカのpHは2〜10、好ましくはpH2〜4であり
酸性である。
以下の製造方法によって、実施例1、2及び比較例1〜3を製造し、得られたアルミ改質コロイダルシリカの、pH値、シリカ濃度、一次粒子径、二次粒子径、及び各金属含量を測定した。結果を図1に示す。
<工程(1)>
アルコキシド法により製造された扶桑化学工業(株)製コロイダルシリカPL−3(シリカ濃度19.5wt%、pH7.3、一次粒子径35nm、二次粒子径70nm)1800gに、攪拌下で液温25℃に保ちながら、市販されているAl2O3含有量18.8%のアルミン酸ナトリウム水溶液2.65gを10gの純水に希釈した水溶液を添加した。
<工程(2)>
工程(1)終了後のコロイダルシリカを、沸騰還流状態(98〜100℃)で2時間保持し、アルカリ性アルミ改質コロイダルシリカを得た。
<工程(3)>
室温において、工程(2)で得られたアルカリ性アルミ改質コロイダルシリカに陽イオン交換樹脂(アンバーライトIR−124H)30gを投入し、pH値が3.5以下になるまで攪拌をおこなった。
その後、陽イオン交換樹脂を除去して、酸性アルミ改質コロイダルシリカを得た。
得られた酸性アルミ改質コロイダルシリカのpHは2.9、シリカ濃度は19.2wt%、一次粒子径(BET法)34nm、二次粒子径(動的光散乱法)68nm、金属不純物(アルカリ金属およびアルミニウムを除く金属)の各金属含量は図1に示す如くそれぞれ1ppm以下、アルカリ金属含量11.1ppm、Al2O3/SiO2モル比は0.00071であった。
<工程(1)>
5%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液27.2gに、粉末アルミニウム0.27gを添加し、室温、攪拌下で反応を行った。反応終了後、残渣分を濾過してアルミン酸塩水溶液を調製した。
アルコキシド法により製造された扶桑化学工業(株)製コロイダルシリカPL−3(シリカ濃度19.5wt%、pH7.3、一次粒子径35nm、二次粒子径70nm)1800gに、攪拌下で液温100℃に保ちながら、調製したアルミン酸塩水溶液27.5gを添加した。
<工程(2)>
工程(1)終了後のコロイダルシリカを、沸騰還流状態(98〜100℃)で2時間保持し、アルカリ性アルミ改質コロイダルシリカを得た。
<工程(3)>
室温において、工程(2)で得られたアルカリ性アルミ改質コロイダルシリカに陽イオン交換樹脂(アンバーライトIR−124H)30gを投入し、pH値が3.5以下になるまで攪拌をおこなった。
その後、陽イオン交換樹脂を除去して、酸性アルミ改質コロイダルシリカを得た。
得られた酸性アルミ改質コロイダルシリカのpHは2.9、シリカ濃度は19.4wt%、一次粒子径(BET法)34nm、二次粒子径(動的光散乱法)68nm、金属不純物(アルカリ金属およびアルミニウムを除く金属)の各金属含量は図1に示す如くそれぞれ1ppm以下であり、アルカリ金属含量は0.18ppm、Al2O3/SiO2モル比は0.00047であった。
<工程(1)>
市販されている水ガラス由来のコロイダルシリカ(シリカ濃度20.5wt%,pH3.0,一次粒子径11nm、二次粒子径21nm)1800gをテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液でpH7.0に調整した後、攪拌下で液温25℃に保ちながら、市販されているAl2O3含有量18.8%のアルミン酸ナトリウム水溶液2.80gを11gの純水で希釈した水溶液を添加した。
<工程(2)>
工程(1)終了後のコロイダルシリカを、沸騰還流状態(98〜100℃)で2時間保持し、アルカリ性アルミ改質コロイダルシリカを得た。
<工程(3)>
室温において、工程(2)で得られたアルカリ性アルミ改質コロイダルシリカに陽イオン交換樹脂(アンバーライトIR−124H)32gを投入し、pH値が3.5以下になるまで攪拌をおこなった。
その後、陽イオン交換樹脂を除去して、酸性アルミ改質コロイダルシリカを得た。
得られた酸性アルミ改質コロイダルシリカのpHは2.8、シリカ濃度は20.3wt%、一次粒子径(BET法)11nm、二次粒子径(動的光散乱法)20nm、アルカリ金属含量は181ppm、Al2O3/SiO2モル比は0.00165であった。
<工程(1)>
5%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液25.7gに、粉末アルミニウム0.26gを添加し、室温、攪拌下で反応を行った。反応終了後、残渣分を濾過してアルミン酸塩水溶液を調製した。
市販されている水ガラス由来のコロイダルシリカ(シリカ濃度20.5wt%,pH3.0,一次粒子径11nm,二次粒子径21nm)1800gをアンモニア水溶液でpH7.0に調整した後、攪拌下で液温100℃に保ちながら、調製したアルミン酸塩水溶液26.0gを添加した。
<工程(2)>
工程(1)終了後のコロイダルシリカを、沸騰還流状態(98〜100℃)で2時間保持し、アルカリ性アルミ改質コロイダルシリカを得た。
<工程(3)>
室温において、工程(2)で得られたアルカリ性アルミ改質コロイダルシリカに陽イオン交換樹脂(アンバーライトIR−124H)32gを投入し、pH値が3.5以下になるまで攪拌をおこなった。
その後、陽イオン交換樹脂を除去して、酸性アルミ改質コロイダルシリカを得た。
得られた酸性アルミ改質コロイダルシリカのpHは2.8、シリカ濃度は20.3wt%、一次粒子径(BET法)11nm、二次粒子径(動的光散乱法)20nm、アルカリ金属含量145.9ppm、Al2O3/SiO2モル比は0.00139であった。
<工程(1)>
扶桑化学工業(株)製コロイダルシリカPL−3(シリカ濃度19.5wt%、pH7.3,一次粒子径35nm,二次粒子径70nm)1800gに、攪拌下で液温25℃に保ちながら、市販されているAl2O3含有量18.8%のアルミン酸ナトリウム水溶液0.08gを0.3gの純水で希釈した水溶液を添加した。
<工程(2)>
工程(1)終了後のコロイダルシリカを、沸騰還流状態(98〜100℃)で2時間保
持し、アルカリ性アルミ改質コロイダルシリカを得た。
<工程(3)>
室温において、工程(2)で得られたアルカリ性アルミ改質コロイダルシリカに陽イオン交換樹脂(アンバーライトIR−124H)1.0gを投入し、pH値が3.5以下になるまで攪拌をおこなった。
その後、陽イオン交換樹脂を除去して、酸性アルミ改質コロイダルシリカを得た。
得られた酸性アルミ改質コロイダルシリカのpHは2.9、シリカ濃度は19.5wt%、一次粒子径(BET法)35nm、二次粒子径(動的光散乱法)69nm、アルカリ金属含量は約0.14ppm、Al2O3/SiO2モル比は0.000037であった。
この得られた酸性アルミ改質コロイダルシリカを、クエン酸水溶液でpH2.0に調整し60℃で保存すると、粘度が上昇し最終的には1日後にゲル化した。
前述の実施例1と2について、下記の試験方法にて、アルミ改質コロイダルシリカの保存安定性試験を行った。
実施例1と2のアルミ改質コロイダルシリカを、60℃の温度条件並びにpH2に調製した後、7日間保存した後に、各アルミ改質コロイダルシリカの保存安定性について確認した。
前述の実施例1、2及び比較例1〜3について、それぞれのゼータ電位を測定した。
(測定方法)
実施例1、2及び比較例1〜3のアルミ改質コロイダルシリカのゼータ電位を、ELS−8000(大塚電子社製)を用いて動的光散乱ドップラー法にて測定した。
測定温度25℃、NaOH水溶液とHCl水溶液を用いてpH調整を行った。結果を表1及び図2に示す。
従って、本発明のアルミ改質コロイダルシリカの製造方法は、100℃以下の低温、短時間でアルミ改質することが可能であり、また、本発明のアルミ改質コロイダルシリカは、金属不純物が少なくアルミン酸イオンによる改質率も高く、さらに酸性領域でも保存安定性に優れる。
Claims (8)
- 以下の工程(1)〜(3)を含むことを特徴とするアルカリ金属含有量がそれぞれ50ppm以下であるアルミ改質コロイダルシリカの製造方法。
(1)アルコキシド法により得られるコロイダルシリカであって、pHが6〜10であるコロイダルシリカに、Al2O3/SiO2のモル比が0.00005〜0.01の範囲になるように、アルミン酸塩水溶液を添加する工程
(2)工程(1)で得られたコロイダルシリカを60〜100℃に一定時間維持する工程
(3)工程(2)で得られたコロイダルシリカ中のアルカリイオンを必要に応じて除去し、アルミ改質コロイダルシリカを得る工程 - 前記アルミン酸塩水溶液が、アルミニウム化合物をアルカリ水溶液に溶解させて得られたアルミン酸塩水溶液であることを特徴とする請求項1に記載のアルミ改質コロイダルシリカの製造方法。
- 前記アルミ改質コロイダルシリカ中にアルカリ土類金属及び重金属を含有し、
前記アルカリ土類金属がカルシウム及び/又はマグネシウムであって、
前記重金属が鉄、チタン、ニッケル、クロム、銅、亜鉛、鉛、銀、マンガン及びコバルトからなる群より選ばれる1種以上であって、
前記アルカリ土類金属のそれぞれの含有量が全て1ppm以下であり、前記重金属のそれぞれの含有量が全て1ppm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のアルミ改質コロイダルシリカの製造方法。 - 前記工程(3)でアルカリイオンを除去することにより前記アルミ改質コロイダルシリカを酸性とすることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のアルミ改質コロイダルシリカの製造方法。
- アルカリ金属含有量が50ppm以下であるアルミ改質コロイダルシリカであって、
pH3〜11におけるゼータ電位が−20mV以下であることを特徴とするアルミ改質コロイダルシリカ。 - 前記アルミ改質コロイダルシリカ中にアルカリ土類金属及び重金属を含有し、
前記アルカリ土類金属がカルシウム及び/又はマグネシウムであって、
前記重金属が鉄、チタン、ニッケル、クロム、銅、亜鉛、鉛、銀、マンガン及びコバルトからなる群より選ばれる1種以上であって、
前記アルカリ土類金属のそれぞれの含有量が全て1ppm以下であり、前記重金属のそれぞれの含有量が全て1ppm以下であることを特徴とする請求項5に記載のアルミ改質コロイダルシリカ。 - 前記アルミ改質コロイダルシリカが酸性であることを特徴とする請求項5または6に記載のアルミ改質コロイダルシリカ。
- 以下の工程(1)〜(3)を含む製造方法により得られることを特徴とする請求項5乃至7いずれかに記載のアルミ改質コロイダルシリカ。
(1)アルコキシド法により得られるコロイダルシリカであって、pHが6〜10であるコロイダルシリカに、Al2O3/SiO2のモル比が0.00005〜0.01の範囲になるように、アルミン酸塩水溶液を添加する工程
(2)上記工程(1)で得られたコロイダルシリカを60〜100℃に一定時間維持する工程
(3)上記工程(2)で得られたコロイダルシリカ中のアルカリイオンを必要に応じて除去し、アルミ改質コロイダルシリカを得る工程
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