JP5212937B2 - 熱電変換素子、当該熱電変換素子を備えた熱電モジュール及び熱電変換素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の請求項5に係る熱電変換素子の製造方法は、空間部を有するカーボンダイの上方から、電極層を構成する金属材料の粉末、電極層を構成する金属材料の粉末とマグネシウムシリサイドの粉末との混合体、マグネシウムシリサイドの粉末、電極層を構成する金属材料の粉末とマグネシウムシリサイドの粉末との混合体、及び電極層を構成する金属材料の粉末をこの順で、前記カーボンダイの空間部に投入、堆積させた後、前記空間部の上方からカーボンパンチを入れて堆積された材料を挟み込んだ後に、前記堆積された材料を焼結処理することを特徴とする。
た実施形態に限定されるものではなく、本発明の構成を備え、目的及び効果を達成できる
範囲内での変形や改良が、本発明の内容に含まれるものであることはいうまでもない。ま
た、本発明を実施する際における具体的な構造及び形状等は、本発明の目的及び効果を達
成できる範囲内において、他の構造や形状等としても問題はない。本発明は前記した各実
施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形や改良は、本
発明に含まれるものである。
その他、本発明の実施の際の具体的な構造及び形状等は、本発明の目的を達成できる範
囲で他の構造等としてもよい。
熱電変換層11を構成する熱電変換材料としてマグネシウムシリサイド粉末、電極層12a,12bを構成する金属材料(電極材料)としてニッケル粉末を用いて、図2及び図3に示した製造装置2及び以下に示した製造方法により、図1に示した構成の、マグネシウムシリサイドからなる熱電変換層11及びニッケルからなる電極層12a,12bとの間に、マグネシウムシリサイド及びニッケルの混合体からなるバッファ層13a,13bを備えた熱電変換素子1を製造した。
図2に示すように、カーボンダイ21の空間部23の上方からカーボンパンチ22aを外して製造装置2の上方を開放状態として、電極材料であるニッケル粉末(平均粒子径 約63μm)を空間部23に投入し、上方からカーボンダイ22aで押圧して押し固めた。同様に、ニッケル粉末とマグネシウムシリサイド粉末(平均粒子径 約75μm)の混合体、マグネシウムシリサイド粉末、ニッケル粉末とマグネシウムシリサイド粉末の混合体、ニッケル粉末をこの順で投入、堆積させた後、空間部23の上方からカーボンパンチ22aを入れて材料を挟み込むようにして、図3の状態とした。
I−V測定(オーミック接触の確認):
概略構成を図7に示したカーブトレーサ52を備えた評価装置5(カーブトレーサ 370A:ソニーテクトリニクス(株)製)を用いて、実施例3及び実施例6及び比較例1のI−V特性を測定した。なお、試験方法としては、図7に示すように、評価装置5のタングステン電極51a,51bを試料の電極層12a,12bに接触させ、バイアス電圧を印加して、得られた線形の結果をオーミック接触とした。結果を図8に示す。図8に示すように、評価した熱電変換素子1の全てについて、V=IRの関係が具備する直線関係が得られ、オーミック接触が取れていることが確認できた。なお、図示は省略するが、他の実施例についてもV=IRの関係が具備する直線関係が得られ、オーミック接触が取れていることが確認できた。
ゼーベック係数及び電力因子(Power Factor)の評価:
熱電特性評価装置(ZEM−2:アルバック理工(株)製)を用いて、定常直流法によりゼーベック係数及び電力因子(Power Factor)を測定した。温度とゼーベック係数との関係を図9に、温度と電力因子との関係を図10にそれぞれ示す。
概略構成を図11に示した熱電特性評価装置6(UMTE−1000M:ユニオンマテリアル(株)製)を用いて、評価対象の熱電変換素子1の上下の電極層12a,12bに温度差を付けて、起電力及び電力を測定した。具体的には、図11において、熱電変換素子1下部(低温側)の電極層12bを100℃に固定した状態で、熱電変換素子1上部(高温側)の電極層12aを200〜600℃(ΔT=100〜500K)とした場合の起電力(開放電圧)と、1Ω及び10Ωの負荷抵抗61をかけた場合の電力(出力)を測定した。温度差と起電力(開放電圧)との関係を図12に、温度差と電力(出力)との関係を図13(負荷抵抗61=1Ω)及び図14(負荷抵抗61=10Ω)にそれぞれ示した。
11 熱電変換層
12a,12b 電極層
13a,13b バッファ層
2 製造装置
21 カーボンダイ
22a,22b カーボンパンチ
23 空間部
31 負荷
32 電極
4 熱電変換モジュール
41 熱電変換素子(p型半導体)
42 セラミック基板
5 評価装置
51a,51b タングステン電極
52 カーブトレーサ
6 熱電特性評価装置
61 負荷抵抗
Claims (5)
- マグネシウムシリサイドからなる熱電変換層の両側に、金属材料からなる一対の電極層が形成された熱電変換素子において、
前記熱電変換層と前記電極層との間に、前記マグネシウムシリサイド及び前記金属材料の混合体からなるバッファ層が形成され、
前記電極層が前記金属材料の粉末の焼結体であり、
前記熱電変換層が前記マグネシウムシリサイドの粉末の焼結体であり、
前記バッファ層が前記マグネシウムシリサイドの粉末及び前記金属材料の粉末の混合体からなる焼結体であることを特徴とする熱電変換素子。 - 前記バッファ層のマグネシウムシリサイドと金属材料との混合比が、マグネシウムシリサイド/金属材料=30/70〜90/10であることを特徴とする請求項1に記載の熱電変換素子。
- 前記金属材料がニッケル系材料であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の熱電変換素子。
- 前記請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の熱電変換素子を備えたことを特徴とする熱電変換モジュール。
- 空間部を有するカーボンダイの上方から、電極層を構成する金属材料の粉末、電極層を構成する金属材料の粉末とマグネシウムシリサイドの粉末との混合体、マグネシウムシリサイドの粉末、電極層を構成する金属材料の粉末とマグネシウムシリサイドの粉末との混合体、及び電極層を構成する金属材料の粉末をこの順で、前記カーボンダイの空間部に投入、堆積させた後、前記空間部の上方からカーボンパンチを入れて堆積された材料を挟み込んだ後に、前記堆積された材料を焼結処理することを特徴とする熱電変換素子の製造方法。
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