JP5211178B2 - 電子検出装置及び走査型電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
このような問題に対して、試料上の帯電を防止したりするために、装置内にオゾンガスや窒素ガスを導入することがある。これらオゾンガス等の導入により、装置内部の真空度は低下してしまう。
図1は、本実施形態に係る走査型電子顕微鏡100の構成図である。この走査型電子顕微鏡100は、電子鏡筒部10と、信号処理部12と、表示部13と、記憶部14と、電子鏡筒部10、信号処理部12、表示部13、及び記憶部14の各部を制御する制御部11とに大別される。
次に、電子検出器の詳細構成について、図2及び図3を参照しながら説明する。本実施形態では、(1)低真空状態でも使用可能であり、(2)2次電子の放出方向が特定でき、さらに、(3)パターンの傾斜を容易に検出できる電子検出器について検討した。
次に、本実施形態の電子検出器20を備えた走査型電子顕微鏡100を用いて試料7上に形成されたパターンの形状を観察する方法について図6のフローチャートを用いて説明する。なお、本観察処理を行う前に、予め2次電子分布−傾斜角度対比テーブルは作成され、記憶部14に格納されているものとする。
Claims (7)
- 電子銃から放出される電子ビームを通過させる光軸上に開口を有した1つのシンチレータと、
前記シンチレータと接合され、光軸に対称に配置された複数の同形のホトガイドと、
前記各ホトガイドの光軸側と対向する側に接続され、当該ホトガイドを介して受光した前記シンチレータにより発光された光を電気信号に変換する光電子増倍管と、を有し、
前記各ホトガイドは前記シンチレータを光軸対称に等分に分割するように接合され、当該各ホトガイドの前記シンチレータと接合する部分の位置及び面積は前記各ホトガイドで同一であることを特徴とする電子検出装置。 - 前記複数のホトガイドによる前記シンチレータの分割数は、少なくとも2以上であることを特徴とする請求項1に記載の電子検出装置。
- 前記各ホトガイドは、前記シンチレータと対向する対向面は前記光軸に向って対向間隔が狭くなるテーパー状であり、当該対向面は光を反射する反射面を構成することを特徴とする請求項1に記載の電子検出装置。
- 前記各ホトガイドが相互に接触する接触面は光を反射する反射面を構成することを特徴とする請求項1に記載の電子検出装置。
- 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の電子検出装置を備えたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 更に、前記光電子増倍管からの出力電気信号を受信して、分割された領域毎の2次電子検出値を算出する制御部を有し、
前記制御部は、予めパターンの傾斜角度が既知の試料を用いて測定された、分割領域毎の2次電子検出値の比率と照射位置の傾斜角度との関係を示すデータを参照して、前記電子ビームが照射された試料上の点の傾斜角度を判定することを特徴とする請求項5に記載の走査型電子顕微鏡。 - 更に、表示部を有し、
前記制御部は、前記光電子増倍管からの出力電気信号を受信して、電子ビームが照射された試料上の点の2次電子検出値を輝度信号に変換して前記表示部に画像を表示するとともに、当該試料上の点の傾斜角度の情報を前記表示部に表示することを特徴とする請求項6に記載の走査型電子顕微鏡。
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