JP5208681B2 - 斜入射干渉計における測定感度の校正方法 - Google Patents
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Description
これに対し、対象物に光を斜め方向に入射角度で照射することで、光を垂直に照射する場合よりも同時に測定できる測定可能範囲を広げることができ、例えば、数μm以上のうねり(凹凸の高低差を示す)のある表面や、研削面のような粗面などを測定できる斜入射干渉計も知られている(例えば、特許文献1参照)。
また、干渉計の測定感度、いわゆる縞感度は、撮像した干渉縞の縞ピッチが示す対象物面の高低差の度合で表される。すなわち、縞ピッチが示す高低差が小さいほど、僅かな高低差を多数本の縞で表すことができ、測定感度がよいと言える。
Λ=λ/(2cosθ) …(1)
なお、図6に示すように、実際には凹凸のある対象物面31に対し、仮想の平面を対象物面31の基準面40とし、照射光L1の光軸と、対象物面31の基準面40の法線16とがなす角度を入射角度θとする。図6中、基準面40をX−Y平面で示す。
入射角度θの値が正しくならない原因として、次の4つの理由を挙げることができる。
まず、斜入射干渉計を製作する際には、想定した縞感度Λになるように、正確な入射角度θでレーザ光を対象物面に入射するように組み立てなければならない。しかし、意図した入射角度θでレーザ光を入射するように組み立てることは困難であり、組み立て精度の課題(第1の課題)があった。あるいは、組み立て後に、測定した入射角度θを用いて、製作した斜入射干渉計で得られる干渉縞の縞感度Λを算出する場合、入射角度θを正確に測定しなければならない。しかし、組み立てられた斜入射干渉計内で入射角度θを正確に測定するのは困難であり、測定精度の課題(第2の課題)があった。
一方、これらの課題を解決するために、縞感度の校正のために特別な試料片を対象物面として用いるとなると、測定の都度、その試料片を使用するという手間が増えるとともに、試料片自体が変化しないように注意して保管しなければならず、使用者の作業が煩雑となってしまうという課題(第4の課題)があった。
このため、入射角度θを任意の2つの角度に変化させる際に、その変化量σの値を取得すればよく、各入射角度の個々の値は不明でもよい。
さらに、課題3に対しては、測定感度の校正に経時変化および温度変化に基づく入射角度の変化の影響を受けずに済む。また、課題4に対しては、特別な試料片を用いる必要がない。
従って、斜入射干渉計において、使用者が使用環境下で簡便に測定感度の校正を実施することができる。
この校正方法によれば、傾斜手段を用いるだけで従来の斜入射干渉計の構成を大きく変更することなく、測定感度の校正を実施することができる。
この校正方法によれば、照射角度可変型の光源を用いるだけで従来の斜入射干渉計の構成を大きく変更することなく、測定感度の校正を実施することができる。
[斜入射干渉計の構成]
図1は、本実施形態の斜入射干渉計1の主な構成を示す全体構成図であり、図2は、校正時の状態を説明する図である。
斜入射干渉計1は、主に、照射部10、検出部20から構成されている。照射部10は、光源11と、レンズ12,13と、三角プリズム14と、傾斜手段としての傾斜ステージ15とを備える。対象物30は、対象物面31を三角プリズム14に向けて傾斜ステージ15上に載置される。検出部20は、レンズ21と、カメラ22とを備える。
照射光L1の一部は、三角プリズム14を透過しないで参照面14Aを反射する反射光となる。この反射光は、参照光L3と呼ばれ、三角プリズム14を出て検出部20に向かって進行する。このため、測定光L2と参照光L3とが干渉し合い干渉光L4を生じる。干渉光L4は、レンズ21を介してカメラ22に内蔵された撮像素子に捕捉され、干渉縞の画像として撮像される。
傾斜ステージ15は、ステージ15Aの傾斜角度について傾斜前後の変化量σを絶対量として測定することができ、参照面14Aに対して対象物面31を正確に傾斜させることができる。この傾斜ステージ15の傾斜角度の変化量σは、本発明の入射角度θの変化量に相当し、図1および図2に示される各入射角度θ1,θ2の差に等しい。
以降、斜入射干渉計1の測定感度である縞感度Λを校正する方法について図3も参照して説明する。図3は、縞感度Λの校正方法を示すフロー図である。
まず、対象物30を傾斜ステージ15のステージ15A上に載置し(工程S11)、ステージ15Aを傾斜させて、対象物面31の傾斜角度を調整する(工程S12)。この工程S12にて、対象物面31に対する照射光L1の入射角度θが、図1に示す第1入射角度θ1に設定される。第1入射角度θ1は任意の角度でよい。
三角プリズム14を介して対象物面31に照射光L1を照射して、発生する第1干渉縞をカメラ22にて撮像する(工程S13)。
図4は、工程S13にて、取得される第1干渉縞の画像の一例を示す。干渉縞の各縞は、ハッチで示した。なお、画像には、便宜上、X−Y軸およびグリッド線を記載し、また、座標(XA,YA),(XB,YB)で設定された2点A,B間の距離L(傾斜ステージの傾斜方向における距離)を例示した。
図5は、工程S31にて、取得される第2干渉縞の画像の一例を示す。図4と対比すると、第2干渉縞の縞ピッチは、第1干渉縞よりも小さくなっている。これは、水平面に対するステージ15Aの傾きを大きくしたことで、例えば、対象物面31上の2点の高低差も大きくなり、これによって、同じ2点間に発生する縞の本数が増えるためである。
次に、撮像された第2干渉縞の像中の2点A,B(第2干渉縞の像中の2点A,Bと同一)における位相φ2A,φ2Bを算出し(工程S32)、これらの位相φ2A,φ2Bの差である第2位相差Δφ2を算出する(工程S33)。ここまでの工程S31〜工程S33により、第2位相差Δφ2の算出工程S3が完了する。
ΔΦ=Δφ2−Δφ1 …(2)
また、2点A,B間の距離Lおよび傾斜角度の変化量σに基づいて、傾斜前後における対象物面上の高低差の変化量ΔHを式(3)により、近似的に算出する(工程S5)。
ΔH=L・sinσ …(3)
最後に、縞感度Λを式(4)により、算出する(工程S6)。
Λ=ΔH/ΔΦ …(4)
このようにして、縞感度Λの校正が完了する。
例えば、512×512pixelの撮像素子を有するカメラを用いて第1および第2干渉縞を撮像する場合、2点A,Bの画素座標値を以下のように設定し、各位置での位相φ2A,φ2Bを算出する。
A(XA,YA)=(115,256)
B(XB,YB)=(360,256)
工程S15,S33にて、2点の各位相差Δφ1,Δφ2は、撮像された各干渉縞像上の2点A,Bを基準に算出される。干渉縞像上の2点A,Bは、画素座標を基準に決められ、この画素座標値は変化しない。よって、傾斜角度の変化前後で2点の位置は一定であり、2点の距離Lは変化しないことを前提としている。
一方、干渉縞像上の2点A,Bに対応する実際の対象物面31上の2点は、傾斜角度の変化に伴って移動し、対象物面31上の2点の距離寸法は僅かに変化する。
従って、この距離寸法の変化が、本実施形態における校正方法に影響を与えない程度に微小であることが好ましい。具体的には、傾斜ステージ15の傾斜角度の変化量σは、数ミリ度程度とするとよい。
このため、入射角度θを任意の2つの角度に変化させる際に、その変化量σの値を取得できれば縞感度Λの値を正確に取得でき、各入射角度θ1,θ2の値は不明でもよい。
光源11の設置時に設定された照射光L1の入射角度θの設定値に対して、実際に光源11から発せられる照射光L1の入射角度θに含まれる誤差が、従来の方法による縞感度Λの校正に影響を与える程度に、大きい場合であっても、入射角度θの誤差の影響を受けずに、縞感度Λを校正できる。また、校正の際、照射光L1の入射角度θを測定する必要がないので、入射角度θを測定する機器の測定誤差が大きいことによる校正への影響を受けずに済む。
さらに、縞感度Λの校正に経時変化および温度変化に基づく入射角度θの変化の影響を受けずに済む。また、特別な試料片を用いる必要もない。
従って、斜入射干渉計1において、使用者が使用環境下で簡便に縞感度Λの校正を実施することができる。
また、傾斜ステージ15を用いるだけで従来の斜入射干渉計の構成を大きく変更することなく、測定感度の校正を実施することができる。
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、位相を算出する箇所を2点A,Bとして説明したが、本発明の校正方法によれば、3点以上の位相を算出する場合にも容易に適用できる。例えば、3点A,B,Cの場合、各2点間での測定感度としての縞感度Λをそれぞれ算出し、これらの平均値を用いて測定感度を校正するという方法が採用できる。
また、前記実施形態では、対象物面を傾斜させて入射角度θを変化させる場合を説明したが、本発明の校正方法では、例えば、照射光L1の照射角度を可変とする光源を用いて、照射光L1の照射方向を変えることで、入射角度θを変化させてもよい。この校正方法によれば、照射角度可変型の光源を用いるだけで従来の斜入射干渉計の構成を大きく変更することなく、測定感度の校正を実施することができる。
30 …対象物
31 …対象物面
15 …傾斜ステージ(傾斜手段)
L …2点間の距離
ΔH …高低差の変化量
θ, θ1 ,θ2 …入射角度
Λ …縞感度(測定感度)
σ …入射角度の変化量
φ1A,φ1B …位相
Δφ1,Δφ2 …位相差
ΔΦ …位相差の差分。
Claims (3)
- 対象物面に対して照射光を入射角度で斜め方向から照射して得られる測定光と、測定の基準となる参照光とを干渉させて生じる干渉縞像に基づき、前記対象物面の形状を測定する斜入射干渉計における測定感度の校正方法であって、
前記照射光を任意の第1入射角度で照射して生じる第1干渉縞像を取得し、
前記第1干渉縞像中の2点の各位相(φ1A,φ1B)を当該第1干渉縞像に基づいて算出するとともに、これらの位相の差である第1位相差(Δφ1)を算出し、
前記入射角度を任意の第2入射角度まで変化させて、前記第1入射角度から前記第2入射角度までの入射角度の変化量(σ)を取得し、
前記照射光を前記第2入射角度で照射して生じる第2干渉縞像を取得し、
前記第1干渉縞像中の2点と一致する前記第2干渉縞像中の2点の位相(φ2A,φ2B)を当該第2干渉縞像に基づいて算出するとともに、これらの位相の差である第2位相差(Δφ2)を算出し、
前記第1位相差(Δφ1)と前記第2位相差(Δφ2)との差異である位相差の差分(ΔΦ)を算出し、
前記2点に対応する前記対象物面上の2点の高低差について、前記入射角度の変化前後の差異である高低差の変化量(ΔH)を、前記2点間の距離(L)および前記入射角度の変化量(σ)に基づいて算出し、
前記高低差の変化量(ΔH)を前記位相差の差分(ΔΦ)で除して得られる算出値により前記測定感度を校正することを特徴とする斜入射干渉計における測定感度の校正方法。 - 請求項1に記載の斜入射干渉計における測定感度の校正方法において、
前記対象物面を傾斜させる傾斜手段を用いて、前記入射角度を変化させるとともに、前記入射角度の変化量として前記対象物面の傾斜角度の変化量を取得することを特徴とする斜入射干渉計における測定感度の校正方法。 - 請求項1に記載の斜入射干渉計における測定感度の校正方法において、
前記照射光の照射角度を可変とする光源を用いて、前記入射角度を変化させるとともに、前記入射角度の変化量として前記照射角度の変化量を取得することを特徴とする斜入射干渉計における測定感度の校正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008285283A JP5208681B2 (ja) | 2008-11-06 | 2008-11-06 | 斜入射干渉計における測定感度の校正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008285283A JP5208681B2 (ja) | 2008-11-06 | 2008-11-06 | 斜入射干渉計における測定感度の校正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010112819A JP2010112819A (ja) | 2010-05-20 |
JP5208681B2 true JP5208681B2 (ja) | 2013-06-12 |
Family
ID=42301482
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008285283A Expired - Fee Related JP5208681B2 (ja) | 2008-11-06 | 2008-11-06 | 斜入射干渉計における測定感度の校正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5208681B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5333919B2 (ja) * | 2009-04-08 | 2013-11-06 | 株式会社ニコン | 平面形状測定装置および平面形状測定方法 |
CN112097677B (zh) * | 2020-08-26 | 2022-03-18 | 南京理工大学 | 用于抗振动干涉测量的快速高精度相位复原方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3436407B2 (ja) * | 1994-03-24 | 2003-08-11 | 富士写真光機株式会社 | 斜入射干渉計装置 |
JP3939028B2 (ja) * | 1998-06-30 | 2007-06-27 | 株式会社ニデック | 斜入射干渉計 |
JP4425449B2 (ja) * | 2000-09-28 | 2010-03-03 | フジノン株式会社 | 斜入射干渉計装置 |
JP4610117B2 (ja) * | 2001-03-29 | 2011-01-12 | 富士フイルム株式会社 | フーリエ変換縞解析方法および装置 |
JP4230896B2 (ja) * | 2003-06-09 | 2009-02-25 | 株式会社神戸製鋼所 | 形状測定装置及びその校正方法 |
JP2006010412A (ja) * | 2004-06-23 | 2006-01-12 | Nikon Corp | 干渉測定方法及び干渉計 |
US7110122B2 (en) * | 2004-07-21 | 2006-09-19 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Interferometer calibration methods and apparatus |
JP4786923B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2011-10-05 | 富士フイルム株式会社 | 縞計測装置の変換係数較正方法および装置ならびに該変換係数較正装置を備えた縞計測装置 |
WO2006107322A2 (en) * | 2005-04-01 | 2006-10-12 | Zygo Corporation | Method for compensating errors in interferometric surface metrology |
JP4897572B2 (ja) * | 2006-06-30 | 2012-03-14 | 株式会社ミツトヨ | 斜入射干渉計 |
JP2008102051A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Fujinon Corp | 干渉計角度感度較正方法 |
JP2009069075A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Ricoh Co Ltd | 斜入射干渉計及び斜入射干渉計の較正方法 |
-
2008
- 2008-11-06 JP JP2008285283A patent/JP5208681B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010112819A (ja) | 2010-05-20 |
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A621 | Written request for application examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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