JP5206417B2 - 信号測定装置および信号測定方法 - Google Patents
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Description
本発明は、信号測定装置および信号測定方法に係り、特に半導体集積回路装置における測定結果信号の出力タイミング同定技術に関する。
ところで、測定結果用の同定信号は、測定装置の駆動クロックに同期して変動するため、駆動クロック信号が高速化するにつれて、高速で安定に動作する同定信号の生成回路が必要となる。また、測定回数分だけカウンタ値が必要となる場合、同定信号の必要ビット数が大きくなってしまい、回路のタイミング設計が難しくなる。特に駆動クロック信号がGHzに近いような周波数となる場合、ジッタや周波数の変動が大きくなってしまい、測定時間を十分な精度で推定することが難しくなる。
12、12a、12b、12c タイミング同定部
13、13a、13b 信号合成部
14 データバス
15 記憶部
15a FIFO
16 比較器
17 出力制御部
18 論理回路
19 現象発生部
21、22、23 カウンタ
25 レジスタ
30 波形復元部
31 タイミング生成部
32 DA変換器
A 同定信号
A1、A1a、A1b 上位ビット
A2、A2a、A2b 下位ビット
A3 周期ビット
BS 基準信号
CK、CKa、CKb、CK1、CK2、CK3 駆動クロック信号
CS、CSa、CSb 合成信号
FI 測定周波数情報信号
MS、MSa、MSb 測定結果信号
OUT 出力信号
RE 基準値
ST 動作開始信号
X0、Xc 現象
図1は、本発明の第1の実施例に係る信号測定装置の構成を示すブロック図である。図1において、信号測定装置は、測定部11、タイミング同定部12、信号合成部13、データバス14、記憶部15を備える。測定部11は、測定用の駆動クロック信号CKに同期して現象X0を測定し、駆動クロック信号CKの周期毎の測定結果を測定結果信号MSとして出力する。一方、測定部11が動作したタイミングを同定するタイミング同定部12は、測定データの出力を開始するタイミングとして用いる動作開始信号STおよび一定周期ごとに信号が立ち上がる基準信号BSを入力して同定信号Aを出力する。信号合成部13は、測定結果信号MSと同定信号Aとを合成した合成信号CSを生成する。この合成信号CSを図示されない制御機能などによってデータバス14を経由して記憶部15に順次格納する。このとき、全ての周期分の測定結果信号MSを記憶部15に格納する。格納する際に、格納されたデータを読み出す場合に測定結果信号MSの発生順序が同定されるように、例えばメモリの先頭ビットから順に書き込むようにする。
(1)駆動クロック信号CKの周期変動が発生するのは、基準信号BSの立ち上がりタイミングのみに制限する。
(2)常に基準信号BSの周期Tsが駆動クロック信号CKの最小周期の整数倍になるように基準信号の周期Tsを決定する。
本発明の第2の実施例に係る信号測定装置の構成は、図1と同様である。ただし、タイミング同定部12の内部構成が異なる。第2の実施例に係る信号測定装置は、図1の中で、全周期の測定結果信号MSを記憶部15に格納するが、記憶部15への書き込み順序に関して制限を設けない場合、つまり図10に示すように発生順序とは異なる記憶部15中のアドレスに格納される場合について示す。このとき、格納された合成信号を読み込む際に、測定結果信号MSの発生順序が同定できない場合には、図5に示すような方法で先頭ビットから順にデータ発生時間を同定することができない。
図16は、本発明の第3の実施例に係る信号測定装置の構成を示すブロック図である。図16において、図1と同一の符号は、同一物を表し、その説明を省略する。比較器16は、測定結果信号MSがあらかじめ設定した基準値REの範囲を外れているかどうかを検知する。基準値REの範囲を外れている場合、すなわち、現象X0が異常状態であると認識された場合に、その旨を出力制御部17に通知する。出力制御部17は、現象X0が異常状態である場合にのみ信号合成部13が出力する合成信号CSを記憶部15に転送する。このような構成によれば、記憶部15に格納するデータの総数を低減することができ、記憶部15におけるメモリ量の削減が実現される。
図20は、本発明の第4の実施例に係る信号測定装置の構成を示すブロック図である。図20において、測定部11a、11bは、図1の測定部11と同一物である。また、タイミング同定部12a、12bは、図1のタイミング同定部12と同一物である。さらに、信号合成部13a、13bは、図1の信号合成部13と同一物である。
図26は、本発明の第5の実施例に係る信号測定装置の構成を示すブロック図である。図26において、図1と同一の符号は、同一物を表す。タイミング同定部12a、12bは、図1のタイミング同定部12と同一物である。また、信号合成部13a、13bは、図1の信号合成部13と同一物である。論理回路18は、動作クロック信号CK2で動作する論理回路であって、測定結果信号MSを出力する。タイミング同定部12bは、駆動クロック信号CK2の一方のエッジ、例えば立ち上がりに同期する構成とされ、動作クロック信号CK2の立ち上がりごとに同定信号Aを出力する。
図27は、本発明の第6の実施例に係る信号測定装置の構成を示すブロック図である。図27において、図1と同一の符号は、同一物を表す。タイミング同定部12a、12cは、図1のタイミング同定部12と同一物である。さらに、本実施例では、ある現象を現象発生部19で発生させ、発生した現象によって誘起される別の現象Xcを測定部11で測定して、現象間の因果関係を特定する。たとえば、現象発生部19の状態を同定信号Aによって決定することで、現象発生部19で発生させた現象と、この現象で誘起され測定部11で測定された現象Xcとの時間関係を特定することができる。
図28は、本発明の第7の実施例に係る信号測定装置の構成を示すブロック図である。図28において、図1と同一の符号は、同一物を表す。信号測定装置は、波形復元部30を備える。波形復元部30は、入力された測定結果信号を一時的に格納するFIFO15aと、同定信号の値から出力タイミングに変換するタイミング生成部31と、ディジタルデータをアナログ値に変換するDA変換器32とを備える。合成信号CSは、波形復元部30内のFIFO15aに順次格納される。タイミング生成部31は、FIFO15aに格納された合成信号のうち、最も古い合成信号を取り出し、DA変換器32によってアナログ信号に変換し、変換されたアナログ信号を出力信号OUTとして出力する。DA変換器32を動作させる同期信号(クロック)は、タイミング生成部31で生成される。
本発明の全開示(請求の範囲を含む)の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素の多様な組み合わせないし選択が可能である。
Claims (17)
- 測定用の駆動クロック信号に同期して測定対象を測定し、測定結果を第1のデータとして出力する測定部と、
測定の開始指示に従って、前記駆動クロック信号よりも低速で所定の周期を有する基準信号に同期して周期毎に異なる値を第2のデータとして出力するタイミング同定部と、
を一組として1または複数組備え、
前記駆動クロック信号に同期し、前記第1のデータと前記第2のデータとを一組として纏めて順次記憶する記憶部と、
を備え、
前記タイミング同定部は、
測定の開始指示に従ってリセットされ、前記基準信号の一周期ごとに値が1ずつ増加または減少して前記第2のデータ中の一構成要素を出力する第1のリセットつきカウンタと、
前記測定の開始指示が入力された時あるいは前記基準信号の一方のエッジが入力された時に、リセットされ、前記駆動クロック信号の一周期ごとに1増加または減少して前記第2のデータ中の他の構成要素を出力する第2のリセットつきカウンタと、
を備えることを特徴とする信号測定装置。 - 前記基準信号は、前記駆動クロック信号の整数倍の周期を有することを特徴とする請求項1に記載の信号測定装置。
- 前記第2のリセットつきカウンタは、前記駆動クロック信号の周期が最も短いときの周期に対して何倍であるかを示す測定周波数情報信号を入力し、1増加または減少する代わりに前記測定周波数情報信号に基づいてカウントの増分を切り替えることを特徴とする請求項1記載の信号測定装置。
- 前記タイミング同定部は、
前記基準クロック信号の一方のエッジが入力される直前の前記第2のリセットつきカウンタの出力を保持するレジスタをさらに備え、
前記第2のデータは、前記レジスタの出力データをさらに構成要素として含むことを特徴とする請求項1または3記載の信号測定装置。 - 前記第1のデータが所定の範囲内にあるか否かを判定する比較器と、
前記第1のデータが所定の範囲内にない場合に、所定の範囲内にない前記第1のデータと所定の範囲内にない前記第1のデータに対応する前記第2のデータとを一組として前記記憶部に順次記憶するように制御する出力制御部と、
を、前記測定部と前記タイミング同定部との1または複数組み中の少なくとも一組に対して備えることを特徴とする請求項1記載の信号測定装置。 - 前記複数組におけるそれぞれの前記基準信号は、共通とされることを特徴とした請求項1記載の信号測定装置。
- 前記共通とされる基準信号は、前記複数組におけるそれぞれの前記駆動クロック信号の周期の最小公倍数の整数倍の周期を有することを特徴とした請求項6記載の信号測定装置。
- 前記記憶部に記憶された時間的に古い順に前記第1のデータを順次読み出してアナログ値に変換するディジタルアナログ変換器と、
前記ディジタルアナログ変換器を所定の周期で動作させるタイミング生成部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の信号測定装置。 - 前記所定の周期は、前記記憶部から前記第1のデータと共に読み出した前記第2のデータに対応して変化することを特徴とする請求項8記載の信号測定装置。
- 請求項1〜9のいずれか一に記載の信号測定装置を含む半導体集積回路装置。
- 測定用の駆動クロック信号に同期して測定対象を測定し、測定結果を第1のデータとして出力するステップと、
測定の開始指示に従って、前記駆動クロック信号よりも低速で所定の周期を有する基準信号に同期して周期毎に異なる値を第2のデータとして出力するステップと、
前記駆動クロック信号に同期し、前記第1のデータと前記第2のデータとを一組のデータとして纏めて順次記憶するステップと、
を含み、
前記第2のデータとして出力するステップにおいて、
測定の開始指示に従ってリセットされ、前記基準信号の一周期ごとに値が1ずつ増加または減少して前記第2のデータ中の一構成要素を出力するステップと、
前記測定の開始指示が入力された時あるいは前記基準信号の一方のエッジが入力された時に、リセットされ、前記駆動クロック信号の一周期ごとに1増加または減少して前記第2のデータ中の他の構成要素を出力するステップと、
を含むことを特徴とする信号測定方法。 - 前記基準信号は、前記駆動クロック信号の整数倍の周期を有することを特徴とする請求項11に記載の信号測定方法。
- 前記第2のデータ中の他の構成要素を出力するステップにおいて、
前記駆動クロック信号の周期が最も短いときの周期に対して何倍であるかを示す測定周波数情報信号を入力し、1増加または減少する代わりに前記測定周波数情報信号に基づいてカウントの増分を切り替えることを特徴とする請求項11記載の信号測定方法。 - 前記第2のデータとして出力するステップにおいて、
前記基準クロック信号の一方のエッジが入力される直前の前記第2のデータ中の他の構成要素を保持するステップをさらに含み、
前記第2のデータは、前記保持された他の構成要素をさらに構成要素として含むことを特徴とする請求項11または13記載の信号測定方法。 - 前記順次記憶するステップにおいて、
前記第1のデータが所定の範囲内にあるか否かを判定するステップと、
前記第1のデータが所定の範囲内にない場合に、所定の範囲内にない前記第1のデータと所定の範囲内にない前記第1のデータに対応する前記第2のデータとを一組として順次記憶するステップと、
を、含むことを特徴とする請求項11記載の信号測定方法。 - 前記記憶された時間的に古い順に前記第1のデータを順次読み出すステップと、
読み出した前記第1のデータをアナログ値に変換して出力するステップと、
をさらに含むことを特徴とする請求項11記載の信号測定方法。 - 前記アナログ値に変換して出力するステップにおいて、前記第1のデータと共に読み出した前記第2のデータに対応してアナログ値に変換する周期を変化させることを特徴とする請求項16記載の信号測定方法。
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