JP5206368B2 - 光半導体素子 - Google Patents
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第1導電型の表層部を有する半導体基板の上に形成され、一方向に長い平面形状を持ち、活性層と、その上に配置された上部クラッド層とを含み、該上部クラッド層は、前記第1導電型とは反対の第2導電型であるメサ構造体と、
前記メサ構造体の両側の前記半導体基板の上に形成された半導体埋込層と、
前記メサ構造体の側面と、前記半導体埋込層との間に配置され、半導体で形成された障壁層と
を有し、
前記障壁層は、第1の層と第2の層とを含み、前記第1の層の価電子帯上端の正孔のエネルギ準位が、前記上部クラッド層の価電子帯上端の正孔のエネルギ準位、及び前記第2の層の価電子帯上端の正孔のエネルギ準位のいずれよりも高く、前記第2の層の伝導帯下端の電子のエネルギ準位が、前記上部クラッド層の伝導帯下端の電子のエネルギ準位、及び前記第1の層の伝導帯下端の電子のエネルギ準位のいずれよりも高く、前記第1の層が単独で正孔に対するポテンシャル障壁を形成し、前記第2の層が単独で電子に対するポテンシャル障壁を形成する。
11 回折格子
12 ガイド層
15 活性層
16 上部クラッド層
17 コンタクト層
20 メサ用マスクパターン
23 メサ構造体
30 第1の層
31 第2の層
32 障壁層
35 上部電極
36 下部電極
Claims (5)
- 第1導電型の表層部を有する半導体基板の上に形成され、一方向に長い平面形状を持ち、活性層と、その上に配置された上部クラッド層とを含み、該上部クラッド層は、前記第1導電型とは反対の第2導電型であるメサ構造体と、
前記メサ構造体の両側の前記半導体基板の上に形成された半導体埋込層と、
前記メサ構造体の側面と、前記半導体埋込層との間に配置され、半導体で形成された障壁層と
を有し、
前記障壁層は、第1の層と第2の層とを含み、前記第1の層の価電子帯上端の正孔のエネルギ準位が、前記上部クラッド層の価電子帯上端の正孔のエネルギ準位、及び前記第2の層の価電子帯上端の正孔のエネルギ準位のいずれよりも高く、前記第2の層の伝導帯下端の電子のエネルギ準位が、前記上部クラッド層の伝導帯下端の電子のエネルギ準位、及び前記第1の層の伝導帯下端の電子のエネルギ準位のいずれよりも高く、前記第1の層が単独で正孔に対するポテンシャル障壁を形成し、前記第2の層が単独で電子に対するポテンシャル障壁を形成する光半導体素子。 - 前記第1の層が、前記第2の層と前記メサ構造体との間に配置され、該第2の層の価電子帯上端の正孔のエネルギ準位が、前記上部クラッド層の価電子帯上端の正孔のエネルギ準位よりも低い請求項1に記載の光半導体素子。
- 前記第1の層は、前記上部クラッド層に格子整合しておらず、該第1の層の厚さは臨界膜厚以下であり、前記第2の層は、前記上部クラッド層に格子整合している請求項1または2に記載の光半導体素子。
- 前記半導体基板の表層部、前記上部クラッド層、及び前記半導体埋込層がInPで形成されており、前記第1の層が、InGaPを含み、前記第2の層が、AlAsSbまたはAlGaAsSbを含む請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光半導体素子。
- 前記半導体基板の表層部、前記上部クラッド層、及び前記半導体埋込層がInPで形成されており、前記第1の層が、InGaPを含み、前記第2の層が、AlInAsまたはAlGaInAsを含む請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光半導体素子。
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