JP5192790B2 - 基板の切断方法及び装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 148
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 187
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 16
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 29
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 3
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
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- Auxiliary Devices For And Details Of Packaging Control (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Dicing (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
特に、個々のパッケージを検査するものに関する。
そのボール面を上面にした状態で吸着固定すると共に、成形済基板の上面となるボール面(基板面)に形成されたアライメントマークをアライメントして切断線を設定し、この切断線をブレードにて切断して個々のパッケージに分離形成し、次に、個々のパッケージを洗浄して乾燥すると共に、個々のパッケージのボール面を外観検査していた。
しかしながら、モールド面側の樹脂部(樹脂成形体)にブレード切断による欠け等の欠損部が発生することがあり、このために、パッケージ(製品)の品質性・信頼性が低下していた。
即ち、成形済基板を切断して個々のパッケージ(製品)を形成する場合に、高品質性・高信頼性の製品を得ることができないと云う問題がある。
また、モールド面側の樹脂部に欠損部が発生するために、パッケージ(製品)の生産性が低下していた。
即ち、成形済基板を切断して個々のパッケージ(製品)を形成する場合に、パッケージ(製品)の生産性を効率良く向上させることができないと云う問題がある。
従って、高品質性・高信頼性の製品を得るために、また、製品の生産性を効率良く向上させるために、即ち、前述した基板切断上の諸問題を解決するために、パッケージのボール面とモールド面との両面を検査することができる基板の切断方法及びその装置が求められている。
また、本発明は、成形済基板を切断して製品(パッケージ)を形成する場合に、製品の生産性を効率良く向上させることを目的とする。
また、本発明は、高品質性・高信頼性の製品を得るために、また、製品の生産性を効率良く向上させるために、製品(パッケージ)のボール面とモールド面との表裏両面(第一の面と第二の面と)を検査することができる基板の切断方法及びその装置を提供することを目的とする。
また、本発明によれば、成形済基板を切断して製品(パッケージ)を形成する場合に、製品の生産性を効率良く向上させることができると云う優れた効果を奏する。
また、本発明によれば、高品質性・高信頼性の製品を得るために、また、製品の生産性を効率良く向上させるために、製品(パッケージ)のボール面とモールド面との表裏両面(第一の面と第二の面と)を検査することができる基板の切断方法及びその装置を提供することができると云う優れた効果を奏する。
図1、図2、図3は、本発明に係る基板の切断装置である。
図4(1)〜図4(3)、図5(1)〜図5(3)、図6(1)〜図6(2)、図7(1)〜図7(3)は、本発明に係る基板の切断装置を用いて、成形済基板を切断して形成された個々のパッケージにおけるボール面とモールド面とを順次に且つ連続して検査する工程を説明する図である。
図8(1)は本発明に用いられる成形済基板を示し、図8(2)は本発明に係る基板の切断装置にて切断されたパッケージを示している。
また、図8(1)に示すように、成形済基板1には、ボール面(基板面)1aとその反対側の面となるモールド面1bとが設けられて構成されている。
また、成形済基板1には、基板2と、成形済基板1(基板2)のモールド面1a側に設けられた樹脂成形体3とが設けられて構成されると共に、成形済基板1(基板2)のボール面(基板面)1a側には切断線4が設定されるように構成されている。
また、図8(2)に示すように、成形済基板1の切断線4を切断して分離形成されたパッケージ5(電子部品のパッケージ)には、成形済基板1と同様に、ボール面(基板面)5aとその反対側の面となるモールド面5bとが設けられて構成されている。
また、パッケージ5には、基板部6と、パッケージ5(基板部6)のモールド面5a側に設けられた樹脂部7とが設けられて構成されている。
また、基板部6(基板2)のボール面5a(1a)側にはボール電極8が形成されていることがある。
また、図8(1)に示すように、成形済基板1から切断分離された個々のパッケージ5の集合体(外観は成形済基板1と同様の大きさ)を5(1c)で示すものであり、複数個のパッケージ5(1c)である。
なお、本発明は、複数個のパッケージ5(1c)となる個々のパッケージの集合体5(1c)におけるボール面(基板面)5aとモールド面5bとを各別に且つ連続して検査するものである。
即ち、図1に示すように、本発明に係る基板の切断装置9は、成形済基板1を装填する基板の装填ユニットAと、基板の装填ユニットAから移送された成形済基板1を個々のパッケージ5に切断(分離)する基板の切断ユニットBと、基板の切断ユニットBで切断された個々のパッケージ5を外観検査して良品と不良品とに選別するパッケージの検査ユニットCと、パッケージの検査ユニットCで検査選別されたパッケージを良品と不良品とに各別にトレイに収容するパッケージの収容ユニットDとから構成されている。
従って、まず、基板の装填ユニットAに装填された成形済基板1を基板の切断ユニットBに移送して個々のパッケージ5に切断し、次に、切断された個々のパッケージ5をパッケージの検査ユニットCで検査して選別すると共に、パッケージの収容ユニットDでパッケージを良品と不良品とに各別に収容することができるように構成されている。
また、本発明に係る基板の切断装置9においては、前述した各ユニットA・B・C・Dがこの順で互いに着脱自在に連結して装設することができるように構成されている。
また、本発明に係る基板の切断装置9においては、例えば、連結具10にて各ユニットA・B・C・Dを着脱自在に連結することができるように構成されている。
また、図1に示す基板の切断装置9において、9aは装置前面であり、9bは装置後面である。
なお、本発明は、図1に示す基板の切断装置9におけるパッケージの検査ユニットCに関するものである。
また、基板の装填ユニットAには、例えば、成形済基板1を装填する基板の装填部38と、基板の装填部38の成形済基板1を押し出すプッシャ等の押出部材(図示なし)とが設けられて構成されている。
従って、基板の装填ユニットAにおいて、押出部材で基板の装填部38から基板の切断ユニットC側に成形済基板1を押し出して移送することができる。
また、基板の切断ユニットBには、例えば、基板の装填ユニットAから移送された成形済基板1を所要の方向に整列する基板の整列機構32と、基板の整列機構32で整列された成形済基板1を載置する切断用のテーブル(切断テーブル)33と、切断テーブル33を基板載置位置34aと基板切断位置34bとの間を移動させる切断テーブルの移動機構34と、切断テーブル33に載置された成形済基板1の切断線4をアライメントするアライメント機構35と、切断テーブル33に載置された成形済基板1の切断線4を切断する基板の切断機構(ブレード)36と、基板の切断機構36で切断された個々のパッケージ5を洗浄するパッケージの洗浄機構37と、切断テーブル33上の個々のパッケージ5をパッケージの検査ユニットC側に移送する第一パッケージ係着機構(第一トランスファ)11などが設けられて構成されている。
従って、まず、基板の装填ユニットA側からの成形済基板1を基板の整列機構32で所要の方向に整列してこの成形済基板1を切断テーブル33にその成形済基板1の樹脂成形体3側を下方向に向けた状態で移送セットすると共に、切断テーブルの移動機構34で基板載置位置34aから基板切断位置34bに移動させ、次に、切断テーブル33に成形済基板1を吸着固定した状態で、アライメント機構35でアライメントされた成形済基板1の切断線4を基板の切断機構(ブレード)36で切断して個々のパッケージ5(1c)を形成する。
更に、この状態で、個々のパッケージ5をパッケージの洗浄機構37で洗浄して基板載置位置34aに切断テーブル33を戻すことができる。
従って、基板載置位置34aにおける切断テーブル33上の個々のパッケージ5(1c)を第一パッケージ係着機構11でパッケージの検査ユニットC側に移送することができる。
なお、本発明においては、基板の切断機構36におけるブレード(回転切断刃)と切断テーブル33、及びパッケージの洗浄機構37などは、任意数、それぞれ設けて構成することができる。
また、パッケージの収容ユニットDには、検査されたパッケージ5を収容するトレイ31が設けられて構成されている。
即ち、パッケージの収容ユニットDには、例えば、良品を収容する良品トレイ31(31a)を装填した良品トレイの装填部と、不良品を収容する不良品トレイ31(31b)を装填した不良品トレイの装填部とが設けられて構成されている。
従って、パッケージの検査ユニットCで検査選別された個々のパッケージ5について、良品を良品トレイ31aに収容し、且つ、不良品を不良品トレイ31bに収容することができる。
本発明に係るパッケージの検査ユニットCには、例えば、基板の切断ユニットCにおける第一パッケージ係着機構11で係着された個々のパッケージ5(1c)をパッケージ載置面(上面)12aに移載(吸着係止)して反転する反転係止プレート(第一検査プレート)12と、反転した反転係止プレート12のパッケージ載置面(下面)12aに吸着係止した個々のパッケージ5(1c)をその下方位置から外観検査する第一検査機構(下カメラ)13とが設けられて構成されている。
また、反転係止プレート12はそのパッケージ載置面が上面側となるように停止セットされたパッケージ載置面12aに個々のパッケージ5(1c)を移送セットして吸着係止すると共に、この状態で反転させてパッケージ載置面12a側を下面側となるように停止セットすることができるように構成されている。
従って、まず、反転係止プレート(第一検査プレート)12のパッケージ載置面12aに個々のパッケージ5(1c)を吸着係止し、次に、パッケージ載置面(上面)12aに個々のパッケージ5(1c)を吸着係止した状態で反転してパッケージ載置面(上面)12aを下面とし、更に、反転係止プレート(第一検査プレート)12のパッケージ載置面(下面)12aに吸着係止された個々のパッケージ5(1c)を第一検査機構(下カメラ)13で外観検査することができるように構成されている。
なお、反転係止プレート12は後述する反転係止プレートの往復動手段にて装置前面9aに沿って水平方向に往復動自在に設けられて構成されると共に、反転係止プレート12は上下動自在に設けられて構成されている。
従って、まず、載置プレート(第二検査プレート)14を上動させて反転係止プレート12におけるパッケージ載置面(下面)12aに係止された第一検査済パッケージ5(1c)に載置プレート14のパッケージ載置面14aに当接することにより、載置プレート14のパッケージ載置面14aに第一検査済パッケージ5(1c)を受け継いで移載し、次に、第二検査機構(上カメラ)15でパッケージ載置面14aに載置された第一検査済パッケージ5(1c)を外観検査し、この第二検査済パッケージ5(1c)を第二パッケージ係着機構(第二トランスファ)16で係着して後述する載置テーブル17(パッケージ載置面17a)に移載することができるように構成されている。
また、載置テーブル17はその本体(パッケージ載置面17a)を上下動自在に設けられて構成されている。
従って、まず、パッケージ載置位置18aにある載置テーブル17のパッケージ載置面17aにパッケージ5を第二パッケージ係着機構16で移載すると共に、載置テーブルの移動手段18で載置テーブル17をパッケージ選別位置18bに移動させ、次に、第一検査機構13と第二検査機構15とによる検査結果に基づいて、パッケージ選別位置18bに移動した載置テーブル17のパッケージ載置面17aからパッケージの移載機構19にてトレイ31(31a・31b)にパッケージ5を良品と不良品とに選別移載することができるように構成されている。
また、パッケージの検査ユニットCにおいては、反転係止プレート12を第一検査位置(第一検査部)20と第二検査位置(第二検査部)21との間を往復移動させる反転係止プレートの往復動手段22が設けられて構成されると共に、反転係止プレート12の下面側となるパッケージ載置面12aに個々のパッケージ5(1c)を吸着係止した状態で〔パッケージ載置面12aに個々のパッケージ5(1c)を載置した状態で〕、第一検査位置(第一検査部)20から第二検査位置(第二検査部)21に移動することができるように構成されている。
また、パッケージの検査ユニットCにおける工程(パッケージ5の位置)は、パッケージ5の第一の面(例えば、ボール面5a)を検査する第一検査位置20、パッケージ5の第二の面(例えば、モールド面5b)を検査する第二検査位置21、パッケージ載置位置18a、パッケージ選別位置18bの順で行われることになる。
即ち、前述したように、第一検査部20には、反転係止プレート12と第一検査機構(下カメラ)13とが設けられて構成されている。
また、反転係止プレート12には、例えば、水平面上であって反転係止プレート12の移動方向とは直角となる方向に回転軸12bの軸芯方向が設けられて構成されている。
従って、この回転軸12bを軸芯として、例えば、180度の角度でもって回転することにより、反転係止プレート12を反転(して停止)させることができるように構成されている。
また、図示はしていないが、反転係止プレート12には、個々のパッケージ5を各別に吸着して固定する(係止する)適宜な吸着固定手段(係止手段)が設けられて構成されている。
従って、図4(1)に示すように、反転係止プレート12における上面側となるように停止セットされたパッケージ載置面12aにパッケージ5(1c)を吸着係止し、この状態で、反転係止プレート12を、回転軸12cを中心にして反転させてそのパッケージ載置面12aを下面側となるように停止セットすることができるように構成されている。
この場合、反転係止プレート12の下面側となるパッケージ載置面12aにパッケージ5が吸着係止されているので、パッケージ載置面12a(下面)からパッケージ5が落下することを効率良く防止することができるように構成されている。
このとき、図4(3)に示すように、第一検査機構(下カメラ)13を装置背面9b側から装置前面9a側に走査して第一検査することができるように構成されている。
即ち、第一パッケージ係着機構11にてパッケージ5のボール面5a側を係着することになるので、反転係止プレート12の上面側にセットされたパッケージ載置面12a上では、パッケージ5はボール面5a側が上面側となる。
更に、反転係止プレート12が反転した場合には、パッケージ5はボール面5a側が下面側となり、この下面側となるパッケージ5のボール面5a側を第一検査面としてその下方位置から第一検査機構(下カメラ)13で第一検査することになる。
また、前述したように、第二検査部21には、載置プレート14と第二検査機構(上カメラ)15とが設けられて構成されている。
また、載置プレート14は上下往復動することができるように構成されている。
即ち、図5(1)に示すように、反転係止プレート12が載置プレート14の上方位置に移動した場合、図5(2)に示すように、載置プレート14を上動して載置プレート14のパッケージ載置面14aを反転係止プレート12の下面側(パッケージ載置面12a)に係止された個々の第一検査済パッケージ5(1c)に当接することにより、反転係止プレート12の個々の第一検査済パッケージ5(1c)を載置プレート14のパッケージ載置面14aに受け継いて移載することができる。
このとき、載置プレート14のパッケージ載置面14aに個々の第一検査済パッケージ5(1c)を(吸着)固定することができるように構成されている。
従って、図5(3)に示すように、反転係止プレート12からの個々のパッケージ5(1c)を載置プレート14のパッケージ載置面14aに載置した状態で下動することができるように構成されている。
このとき、載置プレート14のパッケージ載置面14aに載置した第一検査済パッケージ5(1c)の上面側はモールド面5bとなるものである。
また、このとき、例えば、載置プレート14のパッケージ載置面14a(上面)と、反転係止プレート12のパッケージ載置面12a(下面)とを、所要の間隔Lで保持するように構成しても良い。
従って、この所要の間隔L内において、第二検査機構(上カメラ)15が、載置プレート14のパッケージ載置面14a(上面)に載置された個々のパッケージ5(1c)のモールド面5bを第二検査面として、その上方位置から検査することができるように構成されている。
このとき、前述したように、第二検査機構(上カメラ)にて載置プレート14のパッケージ載置面14a(上面)をその上方位置から検査することができる。
また、このとき、図6(2)に示すように、第二検査機構(上カメラ)を装置背面9b側から装置前面9a側に走査することにより、第一検査済パッケージ5のモールド面5b側を検査することができるように構成されている。
即ち、第二検査部21において、まず、反転系プレート12のパッケージ載置面(下面)12から第一検査済パッケージ5(1c)を載置プレート14のパッケージ載置面14aに受け継いで移載すると共に、この状態で、載置プレート14を下動させ、次に、第二検査機構(上カメラ)15で載置プレート14のパッケージ載置面14a(上面)に載置した第一検査済パッケージ5(1c)のモールド面5b側を検査することができる。
従って、このとき、個々の検査前パッケージ5(1c)のボール面5aとモールド面5bとを連続して検査して第二検査済パッケージ5(1c)を得ることができる。
また、次に、パッケージ載置面14a(上面)の第二検査済パッケージ5(1c)を第二パッケージ係着機構16にて載置テーブル17(インデックステーブル)側に移送セットすることができる。
なお、第二検査機構と第二パッケージ係着機構(第二トランスファ)とは一体にて構成しても良い。
また、個々のパッケージ5を第二検査機構15にて第二検査した後、個々の第二検査済パッケージ5のうち、所要数個を第二パッケージ係着機構16にて載置テーブル(インデックステーブル)17のパッケージ載置面17aに移送セットして吸着固定することができるように構成されている。
また、載置テーブル(インデックステーブル)17のパッケージ載置面17aに、パッケージ5を市松模様状に載置する構成を採用することができる。
この場合、例えば、第二検査済パッケージ5を5個、係着して載置テーブル17に移送セットするとき、3個、2個の順でパッケージ1個の幅Mの間隔を空けて第二検査済パッケージ5を置くことができる。
また、第一検査と第二検査との両方の検査に合格した第二検査済パッケージ(第一第二検査済パッケージ)5が良品となるものである。
なお、載置テーブル17はパッケージ載置位置18aで上動することによって、そのパッケージ載置面17aに、反転係止プレート12のパッケージ載置面12aに係止されたパッケージ5(1c)を受け継いで移載することができるように構成されている。
即ち、まず、パッケージの検査ユニットCにおける第一検査部20において、第一パッケージ係着機構(第一トランスファ)11で係着された個々のパッケージ5(1c)を反転係止プレート12の上面側となるパッケージ載置面12aに移送セットして吸着係止する。
このとき、反転係止プレート12に係止されたパッケージ5の上面側はボール面5aである。
次に、図4(1)に示すように、反転係止プレート12を、回転軸12bを中心にして反転させてパッケージ載置面12aを下面側とすると共に、図4(2)に示すように、第一検査機構(下カメラ)13にて下方位置から走査して(第一)検査する。
次に、反転係止プレート12を反転させた状態で、反転係止プレートの往復動手段22にて第二検査部21側に移動させると共に、載置プレート14を上動して第一検査済パッケージ5(1c)を載置プレート14の上面側となるパッケージ載置面14aに受け継いで移載すると共に、この状態で、所要位置に載置プレート14を下動させる。
このとき、載置プレート14のパッケージ載置面14aでパッケージ5(1c)を吸着係止しても良い。
次に、第二検査機構(上カメラ)15で載置プレート14のパッケージ載置面(上面)14aに載置された第一検査済パッケージ5(1c)を上方位置から走査して(第二)検査する。
そして、次に、パッケージ載置位置18aにおける載置テーブル(インデックステーブル)17に第二パッケージ係着機構(第二トランスファ)16にて第二検査済パッケージ5(1c)を移送セットする。
従って、次に、第二検査済パッケージ5(1c)を載置した載置テーブル17をパッケージ選別位置18bに移動させると共に、第二検査済パッケージ5(1c)をパッケージの移載機構19にて良品は良品トレイ31aに不良品は不良品トレイ31bに各別に移載して選別することができる。
即ち、第一検査部20において、第一パッケージ係着機構11にて個々のパッケージ5(1c)のボール面5a側を係着して反転係止プレート(第一検査プレート)12に載置することにより、反転係止プレート12に個々のパッケージ5のボール面5a側を上面とすることができる。
この状態で、反転係止プレート12を反転することにより、個々のパッケージ5のボール面5a側を下面とし、この下面側のボール面5aを第一検査面とすることができる。
このとき、反転係止プレート12のパッケージ載置面12側に個々のパッケージ5の上面側となるモールド面5bが接触することになる。
従って、反転係止プレート12に載置された個々のパッケージ5の下面となるボール面5aをその下方位置から第一検査機構(下カメラ)13で検査することができる。
また、第二検査部21において、第一検査部20から反転係止プレートの往復動手段22にて第二検査部(第二検査位置)21に移動した反転係止プレート12に対して、載置プレート(第二検査プレート)14を上動することにより、反転係止プレート12の下面側(パッケージ載置面12a側)に係止した個々の第一検査済パッケージ5のボール面5aに対して、載置プレート14のパッケージ載置面14aを当接し、反転係止プレート12に載置(係止)された個々のパッケージ5(1c)を載置プレート14に受け継いで移載することができる。
このとき、載置プレート14のパッケージ載置面14aに移載した個々のパッケージ5のモールド面5bが上面となって第二検査面となるものである。
従って、次に、載置プレート14に載置された個々のパッケージ5の上面となるモールド面5a(第二検査面)をその上方位置から第二検査機構(上カメラ)15で検査することができる。
即ち、本発明によれば、成形済基板1を切断してパッケージ(製品)5を形成する場合に、パッケージ(製品)5のボール面5aとモールド面5bとの両面を連続して検査することができるので、高品質性・高信頼性の製品5を得ることができる。
また、本発明によれば、成形済基板1を切断してパッケージ(製品)5を形成する場合に、パッケージ(製品)5のボール面5aとモールド面5bとの両面を連続して検査することができるので、製品5の生産性を効率良く向上させることができる。
従って、成形済基板を切断してパッケージ(製品)5を形成する場合に、高品質性・高信頼性の製品5を得るために、また、製品5の生産性を効率良く向上させるために、製品5のボール面5aとモールド面5bとの表裏両面(第一の面と第二の面と)を検査することができる基板の切断方法及びその装置を提供することができる。
即ち、他の検査方法に用いられる検査ユニットの構成は、第二検査部(位置)21と載置テーブル17のパッケージ載置位置18aとが(平面的に)同じ位置にある構成であって、第一検査部20の構成は前述した実施例と同様である。
また、他の検査方法に用いられる検査ユニットの構成においては、例えば、載置プレート(第二検査プレート)14と、載置テーブル17とを(概ね)同じ高さ位置にて構成することができると共に、通常、パッケージ載置位置18aにて載置プレート14と載置テーブル17とが衝突しないように構成されている。
この場合、載置テーブル17は、パッケージ載置位置18aと、載置プレート14と衝突しないパッケージ選別位置18bと往復移動し、且つ、パッケージ載置位置18aではパッケージ載置面17aに所要数個のパッケージ5が移載されると共に、パッケージ選別位置18bではパッケージ移載機構19にてトレイ31(31a・31b)にパッケージ5が良品と不良品とに選別移載することになる。
また、この場合、載置プレート14は、例えば、載置テーブル17の高さ位置と載置テーブル17の下方位置となる載置テーブル17と衝突しない位置とを上下往復動することになる。
或いは、載置プレート14は、例えば、載置テーブル17の下方位置となる載置テーブル17と衝突しない位置に停止した状態でも良い。
次に、反転係止プレート12を、回転軸12bを中心にして反転させてパッケージ載置面12aを下面側とすると共に、第一検査機構(下カメラ)13にて下方位置から走査してパッケージ5のボール面5aを(第一)検査する。
次に、第二検査について、反転係止プレート12を反転させた状態で、反転係止プレートの往復動手段22にてパッケージ載置位置18a側に移動させると共に、載置プレート14を上動して第一検査済パッケージ5(1c)を載置プレート14の上面側となるパッケージ載置面14aに受け継いで移載し、この状態で、所要位置に載置プレート14を下動させ、パッケージ載置面14aに載置したパッケージ5のモールド面5aを第二検査機構15にて走査して(第二)検査することができる。
このとき、即ち、第二検査のとき、載置テーブル17(17a)をパッケージ選別位置に位置させることができるので、載置テーブル17と、パッケージ載置位置18aに存在する載置プレート14(及び第二検査機構15)とが互いに衝突しないように構成されている。
なお、第二検査のとき、載置テーブル17がパッケージ載置位置18aに位置した場合に、載置プレート14と第二検査機構15とを、載置テーブル17に衝突しない載置テーブル17の下方位置に位置させることができるように構成されている。
この場合、パッケージ5を所要数個ずつ載置プレート14(14a)から載置テーブル17(17a)に移載することができる。
また、この場合、前述したように、パッケージ載置位置18aにおける載置プレート14のパッケージ載置面14aと、パッケージ選別位置18bにおける載置テーブル17のパッケージ載置面17aとを同じ高さ位置にて構成しても良い。
なお、この場合、前述したように、載置プレート14を載置テーブル17と衝突しない載置テーブル17の下方位置に位置させても良い。
このとき、パッケージ載置位置18aにおいて、載置プレート14を載置テーブル17の高さに上動して載置プレート14のパッケージ載置面14aに載置したパッケージ5の所要数個を第二パッケージ係着機構16で係着すると共に、載置プレート14を所要位置に下動する。
次に、パッケージ選別位置18bからパッケージ載置位置18aに載置テーブル17を移動させることにより、第二パッケージ係着機構16に係着したパッケージ5の所要数個を載置テーブル17のパッケージ載置面17aの所要位置に移載する。
次に、パッケージ選別位置18bに載置テーブル17を移動させて、載置テーブル17(17a)の検査済パッケージ5の所要数個をパッケージの移載機構19でトレイ31(31a・31b)に選別・移載する。
即ち、前述したパッケージ5を載置プレート14から載置テーブル17に移載することを繰り返して行うことができる。
従って、本実施例において、前記した実施例と同様の作用効果を得ることができる。
即ち、本発明によれば、成形済基板1を切断して製品(パッケージ5)を形成する場合に、高品質性・高信頼性の製品を得ることができる。
また、本発明によれば、成形済基板を切断して製品(パッケージ5)を形成する場合に、製品の生産性を効率良く向上させることができる。
また、本発明は、高品質性・高信頼性の製品を得るために、また、製品5の生産性を効率良く向上させるために、製品(パッケージ5)のボール面5aとモールド面5bとの表裏両面(第一の面と第二の面と)を検査することができる基板の切断方法及びその装置を提供することができる。
なお、前述したように、載置プレート14のパッケージ載置面14aからパッケージ5を第二パッケージ係着機構16で係着する場合において、載置プレート14を載置テーブル17の下方位置に位置(停止)させた状態で、パッケージ載置面14aからパッケージ5を第二パッケージ係着機構16で係着させても良い。
前記した実施例では、前述した第一検査部(位置)20と第二検査部(位置)21との夫々において、個々のパッケージ5(5a・5b)を検査する構成を例示したが、第一検査位置20と第二検査位置21とが、パッケージの検査ユニットCにおいて、(平面的に)同じ位置にあっても良い。
即ち、まず、反転した反転係止プレート(第一検査プレート)12のパッケージ載置面12aに係止した個々のパッケージ5(1c)のボール面5aを第一検査機構(下カメラ)で走査して検査する。
次に、反転係止プレート12の下方位置に設けた載置プレート(第二検査プレート)14を上動してパッケージ載置面14aに個々のパッケージ5(1c)を受け継いで移載すると共に、載置プレート14を下動して所要位置に戻すことにより、パッケージ載置面14aに載置した個々のパッケージ5(1c)のモールド面5aを第二検査機構(上カメラ)で走査して検査することができる。
また、次に、第二パッケージ係着機構16にて第二検査済パッケージ5を載置テーブル17のパッケージ載置面17aに移載することができる。
従って、第一検査と第二検査とを同じ位置で実施することによって、前記した実施例と同様の作用効果を得ることができる。
なお、この場合、第一検査機構(下カメラ)と第二検査機構(上カメラ)とを一体にして構成しても良い。
前記した各実施例において、パッケージにおける第一の面となるボール面と第二の面となるモールド面とを順次に或いは逆次に検査することができる。
即ち、前記した各実施例では、まず、パッケージ5のボール面5aを第一の面として検査し、次に、パッケージ5のモールド面5bを第二の面として検査する構成を例示したが、パッケージ5のモールド面5bを第一の面として検査し、次に、パッケージ5のボール面5aを第二の面として検査する構成を採用することができる。
この場合、例えば、成形済基板1をその樹脂成形体3側を上面として切断テーブルに移送セットすると共に、樹脂成形体5の周囲の基板面(縁部)に形成されたアセイメントマークをアライメントして切断線4を切断し、次に、前述したように、パッケージ5のモールド面5bとボール面5aとを順次に且つ連続して検査することができる。
また、パッケージの検査ユニットCにおいて、パッケージ5のいずれか片面のみ(いずれか一方の面のみ)を検査する場合は、第二検査部21による検査を省略することができる。
この場合、例えば、載置テーブル17を上動させても良いし、また、反転係止プレート12を下動させても良い。
即ち、前述したように構成したため、反転係止プレート12(12a)から載置テーブル17(17a)にパッケージ5(1c)を一括して移載することができるので、製品(パッケージ)の生産性を効率良く向上させることができる。
従って、パッケージ5のいずれか一方の面のみを効率良く検査し得て、製品(パッケージ)の生産性を効率良く向上させることができる。
例えば、第一検査機構13による第一検査後、まず、反転係止テーブル12を更に反転させてパッケージ載置面12aを上面とし、次に、パッケージ載置面12aに載置したパッケージ5を第二パッケージ係着機構16で載置テーブル17のパッケージ載置面17aに移載することができる。
この場合、例えば、載置テーブル17を上動させることにより、また、反転係止プレート12を下動させることができる。
また、この場合、載置テーブル17のパッケージ載置面17aと反転係止プレート12のパッケージ載置面12aとを同じ高さ(水平面上に)に設定することができる。
従って、パッケージ5のいずれか一方の面のみを効率良く検査し得て、製品(パッケージ)の生産性を効率良く向上させることができる。
例えば、まず、反転した反転係止プレート12におけるパッケージ載置面12aにパッケージ5(1c)の第一の面(ボール面5a或いはモールド面5b)を第一検査機構(下カメラ)15で検査し、次に、パッケージ載置面12aにパッケージ5(1c)を係止載置した状態で、載置プレート14のパッケージ載置面14aにパッケージ5(1c)を受け継いで移載し、次に、載置プレート14のパッケージ載置面14aのパッケージ5(1c)を第二パッケージ係着機構16で載置テーブル17のパッケージ載置面17aに移載することができる。
従って、パッケージ5のいずれか一方の面のみを効率良く検査し得て、製品(パッケージ)の生産性を効率良く向上させることができる。
また、本発明に係る基板の切断装置9における基板の切断ユニットCは、基板の切断手段として、後述するブレード(回転切断刃)を用いるものであるが、本発明に係る基板の切断装置9において、切断手段として、レーザー光、ワイヤソー、バンドソー、高圧切断水などを有する基板の切断ユニットを用いても良い。
1a ボール面(基板面)
1b モールド面
2 基板
3 樹脂成形体
4 切断線
5 パッケージ
5a ボール面
5b モールド面
5(1c) パッケージ集合体
6 基板部
7 樹脂部
8 ボール電極
9 基板の切断装置
9a 装置前面
9b 装置背面
10 連結具
11 第一パッケージ係着機構(第一トランスファ)
12 反転係止プレート(第一検査プレート)
12a パッケージ載置面(反転係止プレート)
12b 回転軸(反転係止プレート)
13 第一検査機構(下カメラ)
14 載置プレート(第二検査プレート)
14a パッケージ載置面(載置プレート)
15 第二検査機構(上カメラ)
16 第二パッケージ係着機構(第二トランスファ)
17 載置テーブル
17a パッケージ載置面(載置テーブル)
18 載置テーブルの移動手段
18a パッケージ載置位置
18b パッケージ選別位置
19 パッケージの移載機構
20 第一検査部(第一検査位置)
21 第二検査部(第二検査位置)
22 反転係止プレートの往復動手段
31 トレイ
31a 良品トレイ
31b 不良品トレイ
32 基板の整列機構
33 切断用のテーブル(切断テーブル)
34 切断テーブルの移動機構
34a 基板載置位置
34b 基板切断位置
35 アライメント機構
36 基板の切断機構
37 パッケージの洗浄機構
38 基板の装填部
A 基板の装填ユニット
B 基板の切断ユニット
C パッケージの検査ユニット
D パッケージの収容ユニット
Claims (4)
- 基板に装着した所要複数個の電子部品を樹脂材料にて一括して封止成形した成形済基板を用意する工程と、
前記成形済基板を切断して複数個の電子部品のパッケージを形成する電子部品パッケージの形成工程と、
前記した複数個の電子部品のパッケージを検査する電子部品のパッケージの検査工程とを含む基板の切断方法であって、
前記切断された複数個の電子部品のパッケージを第一検査プレートに載置する工程と、
前記第一検査プレートに載置した複数個の電子部品のパッケージを反転させて前記複数個の電子部品のパッケージの第一の面を検査面とする工程と、
前記反転した第一検査プレートに載置した複数個の電子部品のパッケージの第一の面を第一カメラにて検査する工程と、
前記第一カメラにて検査した複数個の電子部品のパッケージを第二検査プレートに載置して前記複数個の電子部品のパッケージの第二の面を検査面とする工程と、
前記第二検査プレートに載置した複数個の電子部品のパッケージの第二の面を第二カメラにて検査する工程とを含むことを特徴とする基板の切断方法。 - 複数個の電子部品のパッケージの検査工程において、前記複数個の電子部品のパッケージにおける第一の面となるボール面と第二の面となるモールド面とを順次に或いは逆次に検査することを特徴とする請求項1に記載の基板の切断方法。
- 基板に装着した所要複数個の電子部品を樹脂材料にて一括して封止成形した成形済基板を切断して形成された複数個の電子部品のパッケージを検査する電子部品のパッケージの検査ユニットを含む基板の切断装置であって、前記複数個の電子部品のパッケージの検査ユニットに、前記複数個の電子部品のパッケージを載置して反転する第一検査プレートと、前記した第一検査プレートに載置された複数個の電子部品のパッケージの第一の面を検査する第一カメラと、前記した第一検査プレートに載置された複数個の電子部品のパッケージを移載する第二検査プレートと、前記した第二検査プレートに載置された複数個の電子部品のパッケージの第二の面を検査する第二カメラとを備えたことを特徴とする基板の切断装置。
- 複数個の電子部品のパッケージにおける第一の面と第二の面とについて、前記複数個の電子部品のパッケージにおけるボール面とモールド面とから任意に選択することを特徴とする請求項3に記載の基板の切断装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007307391A JP5192790B2 (ja) | 2007-11-28 | 2007-11-28 | 基板の切断方法及び装置 |
MYPI2010002472A MY169601A (en) | 2007-11-28 | 2008-11-20 | Method and apparatus for cutting substrate |
PCT/JP2008/003403 WO2009069269A1 (ja) | 2007-11-28 | 2008-11-20 | 基板の切断方法及び装置 |
KR1020107010584A KR101504790B1 (ko) | 2007-11-28 | 2008-11-20 | 기판의 절단방법 및 장치 |
CN2008801184607A CN101878523B (zh) | 2007-11-28 | 2008-11-20 | 基板的切断方法及装置 |
TW097145410A TWI455195B (zh) | 2007-11-28 | 2008-11-25 | A method and a device for cutting a substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007307391A JP5192790B2 (ja) | 2007-11-28 | 2007-11-28 | 基板の切断方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009130342A JP2009130342A (ja) | 2009-06-11 |
JP5192790B2 true JP5192790B2 (ja) | 2013-05-08 |
Family
ID=40678181
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007307391A Active JP5192790B2 (ja) | 2007-11-28 | 2007-11-28 | 基板の切断方法及び装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5192790B2 (ja) |
KR (1) | KR101504790B1 (ja) |
CN (1) | CN101878523B (ja) |
MY (1) | MY169601A (ja) |
TW (1) | TWI455195B (ja) |
WO (1) | WO2009069269A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5544585B2 (ja) * | 2010-07-13 | 2014-07-09 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂モールド装置及びワーク板厚測定装置 |
CN102881610A (zh) * | 2012-10-08 | 2013-01-16 | 如皋市易达电子有限责任公司 | 一种贴片二极管快速质检组合工装 |
JP6218511B2 (ja) * | 2013-09-02 | 2017-10-25 | Towa株式会社 | 切断装置及び切断方法 |
JP6235391B2 (ja) * | 2014-03-27 | 2017-11-22 | Towa株式会社 | 検査用治具、切断装置及び切断方法 |
JP6218686B2 (ja) * | 2014-07-17 | 2017-10-25 | Towa株式会社 | 基板切断装置および基板切断方法 |
JP6482454B2 (ja) * | 2015-12-18 | 2019-03-13 | Towa株式会社 | 電子部品の製造方法ならびに電子部品製造装置 |
JP2023102048A (ja) * | 2022-01-11 | 2023-07-24 | Towa株式会社 | 加工装置、及び、加工品の製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0590365A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-09 | Hitachi Ltd | 検査装置 |
JPH1019789A (ja) * | 1996-06-28 | 1998-01-23 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP3190897B2 (ja) * | 1998-10-28 | 2001-07-23 | 大分日本電気株式会社 | 欠陥検査装置、及び欠陥検査方法 |
JP4025490B2 (ja) * | 2000-07-14 | 2007-12-19 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置の製造方法 |
JP4137471B2 (ja) * | 2002-03-04 | 2008-08-20 | 東京エレクトロン株式会社 | ダイシング方法、集積回路チップの検査方法及び基板保持装置 |
JP4796271B2 (ja) * | 2003-07-10 | 2011-10-19 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4454608B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2010-04-21 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体集積回路装置の製造方法 |
-
2007
- 2007-11-28 JP JP2007307391A patent/JP5192790B2/ja active Active
-
2008
- 2008-11-20 WO PCT/JP2008/003403 patent/WO2009069269A1/ja active Application Filing
- 2008-11-20 MY MYPI2010002472A patent/MY169601A/en unknown
- 2008-11-20 KR KR1020107010584A patent/KR101504790B1/ko active IP Right Review Request
- 2008-11-20 CN CN2008801184607A patent/CN101878523B/zh active Active
- 2008-11-25 TW TW097145410A patent/TWI455195B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100099117A (ko) | 2010-09-10 |
CN101878523A (zh) | 2010-11-03 |
TW200939334A (en) | 2009-09-16 |
MY169601A (en) | 2019-04-22 |
TWI455195B (zh) | 2014-10-01 |
KR101504790B1 (ko) | 2015-03-20 |
WO2009069269A1 (ja) | 2009-06-04 |
CN101878523B (zh) | 2012-07-25 |
JP2009130342A (ja) | 2009-06-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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