JP5185666B2 - 弾性波デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
である。
11 弾性波素子
12 櫛型電極
14 配線
18 絶縁層
20 Si膜
22 樹脂部
24 貫通電極
26 端子
28 空隙
30 レーザ捺印
32 レーザ光
40、50 ウエハ
52 ダイシングテープ
60 チップ
62 パッケージ
66 バンプ
68 FCBツール
70 糊残り
Claims (8)
- 圧電基板と、
前記圧電基板の上面に形成された弾性波素子と、
前記圧電基板の下面または下方に形成され、可視光の透過率が前記圧電基板より小さくレーザ捺印されたSi膜である絶縁膜と、
前記圧電基板の上面に形成され前記弾性波素子を封止する樹脂部と、
を具備することを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記圧電基板の上方から前記弾性波素子に電気的に接続する端子を具備することを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記圧電基板の側面と前記樹脂部の側面が同一平面上にあることを特徴とする請求項1または2記載の弾性波デバイス。
- 前記圧電基板と前記絶縁膜の間に設けられ、可視光の透過率が前記絶縁膜より高い絶縁層を具備することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 圧電基板の上面に弾性波素子を形成する工程と、
前記圧電基板の下面または下方に、可視光透過率が前記圧電基板より小さいSi膜である絶縁膜を形成する工程と、
前記圧電基板の上面に前記弾性波素子を封止する樹脂部を形成する工程と、
前記絶縁膜にレーザ捺印する工程と、
前記樹脂部と前記圧電基板とを個片化する工程と、
を有することを特徴とする弾性波デバイスの製造方法。 - 前記絶縁膜は前記レーザ捺印を行うレーザ光の波長における透過率が前記圧電基板より小さいことを特徴とする請求項5記載の弾性波デバイスの製造方法。
- 前記個片化する工程は、
前記圧電基板の前記絶縁膜が形成された面をダイシングテープに貼り付け、前記圧電基板を個片化する工程と、
前記個片化された圧電基板を前記ダイシングテープから剥がす工程と、を有することを特徴とする請求項5または6記載の弾性波デバイスの製造方法。 - 圧電基板の上面に弾性波素子を形成する工程と、
前記圧電基板の下面または下方にSi膜を形成する工程と、
前記Si膜が形成された面をダイシングテープに貼り付け、前記圧電基板を個片化する工程と、
前記個片化された圧電基板を前記ダイシングテープから剥がす工程と、を有することを特徴とする弾性波デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008069281A JP5185666B2 (ja) | 2008-03-18 | 2008-03-18 | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008069281A JP5185666B2 (ja) | 2008-03-18 | 2008-03-18 | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009225256A JP2009225256A (ja) | 2009-10-01 |
JP5185666B2 true JP5185666B2 (ja) | 2013-04-17 |
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ID=41241543
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008069281A Expired - Fee Related JP5185666B2 (ja) | 2008-03-18 | 2008-03-18 | 弾性波デバイスおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5185666B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5615663B2 (ja) * | 2010-03-26 | 2014-10-29 | セイコーインスツル株式会社 | パッケージマーキング方法 |
JP5733791B2 (ja) * | 2011-03-18 | 2015-06-10 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス及びその製造方法 |
JP2012217136A (ja) | 2011-03-30 | 2012-11-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイスの製造方法、およびこの方法で製造した圧電デバイス |
WO2023058713A1 (ja) * | 2021-10-07 | 2023-04-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波素子の製造方法および弾性波素子 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS548947A (en) * | 1977-06-23 | 1979-01-23 | Toshiba Corp | Elastic surfatial wave element |
JP2004248243A (ja) * | 2002-12-19 | 2004-09-02 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品およびその製造方法 |
JP2004274574A (ja) * | 2003-03-11 | 2004-09-30 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波装置とその製造方法 |
JP3774782B2 (ja) * | 2003-05-14 | 2006-05-17 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性表面波素子の製造方法 |
JP4225162B2 (ja) * | 2003-08-18 | 2009-02-18 | 日立化成工業株式会社 | 封止用フィルム |
JP2005130342A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-19 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置の製造方法 |
TWI263403B (en) * | 2004-01-22 | 2006-10-01 | Murata Manufacturing Co | Electronic component manufacturing method |
JP2006135443A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-05-25 | Seiko Epson Corp | 弾性表面波素子、弾性表面波素子の製造方法 |
JP4936953B2 (ja) * | 2006-05-23 | 2012-05-23 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波装置の製造方法 |
JP4872587B2 (ja) * | 2006-10-12 | 2012-02-08 | 日立化成工業株式会社 | 封止フィルム、及びこれを用いた半導体装置 |
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2008
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Publication number | Publication date |
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JP2009225256A (ja) | 2009-10-01 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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