JP5184808B2 - 露光方法及び露光装置 - Google Patents
露光方法及び露光装置Info
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- JP5184808B2 JP5184808B2 JP2007097015A JP2007097015A JP5184808B2 JP 5184808 B2 JP5184808 B2 JP 5184808B2 JP 2007097015 A JP2007097015 A JP 2007097015A JP 2007097015 A JP2007097015 A JP 2007097015A JP 5184808 B2 JP5184808 B2 JP 5184808B2
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
前記マスクは、前記基板の搬送方向に対して交差するラインを挟んで千鳥状に配置されており、
前記マスクのパターンが露光される露光領域の端部を、それに隣接する露光領域の端部と重ね合わせ、
前記光源と前記マスクとの間の光路内に配置したアパーチャ部材により、前記マスクの一方の端部側と他方の端部側とで露光時間に差を与えるようになっており、これにより重ね合わせる露光領域の端部の露光量を調節することを特徴とする。
前記マスクは、前記基板の搬送方向に対して交差するラインを挟んで千鳥状に配置されており、
前記マスクのパターンが露光される露光領域の端部を、それに隣接する露光領域の端部と重ね合わす際に、少なくとも前記端部の露光量を調整する露光量調整手段と、
少なくとも前記端部の露光量を検出する検出手段を有し、
前記露光量調整手段は、前記光源と前記マスクとの間の光路内に配置したアパーチャ部材であり、前記検出手段の検出結果に応じて、前記アパーチャ部材により、前記マスクの一方の端部側と他方の端部側とで露光時間に差を与えるようになっていることを特徴とする。
1a 搬送路
2 基板チャック
2a レール
3 吐出吸引ユニット
4 ユニット本体
5 吐出孔
6 凹溝
7 吸引孔
10 保持装置
11 アーム
12 保持部
12a 矩形開口
12b 下部
13 Z軸移動装置
14 θ軸移動装置
15 Y軸移動装置
30 搬送装置
AM アーム
AP アパーチャ部材
EL 露光用光
H1 配管群
H2 配管群
L 搬送ライン
M、M1〜M4 マスク
MS1 マスクストッカ
MS2 マスクストッカ
OPU 露光ユニット
P1 吐出用ポンプ
P2 吸引用ポンプ
RBT ロボット
S1〜S8 照度センサ
W 基板
Claims (10)
- 基板より面積の小さなマスクを前記基板に近接させた状態で、光源から照射された露光光を用いて、前記マスクのパターンをつなげて前記基板に露光する露光方法において、
前記マスクは、前記基板の搬送方向に対して交差するラインを挟んで千鳥状に配置されており、
前記マスクのパターンが露光される露光領域の端部を、それに隣接する露光領域の端部と重ね合わせ、
前記光源と前記マスクとの間の光路内に配置したアパーチャ部材により、前記マスクの一方の端部側と他方の端部側とで露光時間に差を与えるようになっており、これにより重ね合わせる露光領域の端部の露光量を調節することを特徴とする露光方法。 - 前記マスクの端部は、テーパ形状であることを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記マスクの端部は、円弧形状であることを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記マスクの端部は、三角形状であることを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 前記マスクは、端部に向かうに連れて漸次透過率を減少させるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の露光方法。
- 基板より面積の小さなマスクを前記基板に近接させた状態で、光源から照射された露光光を用いて、前記マスクのパターンをつなげて前記基板に露光する露光装置において、
前記マスクは、前記基板の搬送方向に対して交差するラインを挟んで千鳥状に配置されており、
前記マスクのパターンが露光される露光領域の端部を、それに隣接する露光領域の端部と重ね合わす際に、少なくとも前記端部の露光量を調整する露光量調整手段と、
少なくとも前記端部の露光量を検出する検出手段を有し、
前記露光量調整手段は、前記光源と前記マスクとの間の光路内に配置したアパーチャ部材であり、前記検出手段の検出結果に応じて、前記アパーチャ部材により、前記マスクの一方の端部側と他方の端部側とで露光時間に差を与えるようになっていることを特徴とする露光装置。 - 前記マスクの端部は、テーパ形状であることを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 前記マスクの端部は、円弧形状であることを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 前記マスクの端部は、三角形状であることを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 前記マスクは、端部に向かうに連れて漸次透過率を減少させるようになっていることを請求項6に記載の露光装置。
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