JP5182864B2 - 電子顕微鏡用試料ホルダ及び電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
(1)絞り部材31
(2)2次電子発生面32
(3)視野移動
(4)あらゆる汎用の走査型電子顕微鏡で使用することができる形状
(5)観察例
Claims (8)
- 走査型電子顕微鏡の試料台に着脱自在に取り付けられる電子顕微鏡用試料ホルダであって、
本体部と、
前記本体部において試料を支持する支持部と、
前記本体部において前記試料を透過した電子線を絞る絞り部と、
前記本体部において前記絞り部を通過した電子線が照射されることで2次電子を発生する2次電子発生部と、を備えることを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダ。 - 少なくとも前記支持部の周囲には、前記試料による散乱電子を減衰させる電子減衰部が設けられていることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。
- 少なくとも前記支持部の周囲には、前記試料を汚染するガスを吸収するガス吸収部が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。
- 少なくとも前記本体部における前記支持部の周囲部分は、カーボンからなることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。
- 前記電子減衰部は、カーボンからなることを特徴とする請求項2記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。
- 前記ガス吸収部は、カーボンからなることを特徴とする請求項3記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。
- 前記本体部が前記試料台によって傾斜及び回転させられるとき、前記試料及び前記絞り部を通り得る全ての電子線が前記2次電子発生部に照射されるように構成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載の電子顕微鏡用試料ホルダ。
- 請求項1〜7のいずれか一項記載の電子顕微鏡用試料ホルダを具備することを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008046652A JP5182864B2 (ja) | 2007-05-11 | 2008-02-27 | 電子顕微鏡用試料ホルダ及び電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007127060 | 2007-05-11 | ||
JP2007127060 | 2007-05-11 | ||
JP2008046652A JP5182864B2 (ja) | 2007-05-11 | 2008-02-27 | 電子顕微鏡用試料ホルダ及び電子顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008311214A JP2008311214A (ja) | 2008-12-25 |
JP5182864B2 true JP5182864B2 (ja) | 2013-04-17 |
Family
ID=40238614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008046652A Expired - Fee Related JP5182864B2 (ja) | 2007-05-11 | 2008-02-27 | 電子顕微鏡用試料ホルダ及び電子顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5182864B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101540721B1 (ko) * | 2014-01-08 | 2015-07-31 | 구정회 | 주사전자 현미경의 영상 구현장치 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DK2601669T3 (en) * | 2010-08-02 | 2017-07-24 | Protochips Inc | ELECTRON MICROSCOPE SAMPLES TO CREATE A GAS OR LIQUID CELL WITH TWO SEMICONDUCTOR DEVICES |
JP2016501428A (ja) | 2012-11-16 | 2016-01-18 | プロトチップス,インコーポレイテッド | 電子顕微鏡ホルダにおいて試料支持体への電気的接続を形成する方法 |
US9466459B2 (en) | 2014-06-03 | 2016-10-11 | Protochips, Inc. | Method for optimizing fluid flow across a sample within an electron microscope sample holder |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5019397Y1 (ja) * | 1970-08-06 | 1975-06-12 | ||
JPS5083091A (ja) * | 1973-11-22 | 1975-07-04 | ||
JPS5748058Y2 (ja) * | 1974-05-25 | 1982-10-21 | ||
JPS5931174B2 (ja) * | 1976-04-26 | 1984-07-31 | 株式会社日立製作所 | 透過形走査電子顕微鏡 |
JPS6020439A (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-01 | Jeol Ltd | 荷電粒子線装置における試料回転装置 |
JPH05251027A (ja) * | 1991-12-25 | 1993-09-28 | Hitachi Ltd | X線分析器を備えた電子顕微鏡 |
JPH08273573A (ja) * | 1995-04-04 | 1996-10-18 | Jeol Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP4200104B2 (ja) * | 2003-01-31 | 2008-12-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
-
2008
- 2008-02-27 JP JP2008046652A patent/JP5182864B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101540721B1 (ko) * | 2014-01-08 | 2015-07-31 | 구정회 | 주사전자 현미경의 영상 구현장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008311214A (ja) | 2008-12-25 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110222 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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