JP5180555B2 - 位置決め装置、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
図1は本実施形態における位置決め装置の構成を示す図である。
次に、本発明の第2の実施形態を説明する。本実施形態における位置決め装置の構成については、図1を援用する。ただし、アクチュエータ2の可動子21はモータコイル3相をスター結線した3相モータである。
以下、本発明の位置決め装置が適用される例示的な露光装置を説明する。
2 アクチュエータ
21 可動子
22 固定子
3 ドライバ
41 第1の電線
42 第2の電線
5 制御器
6 ブレーキ回路
7 電流検知基板
8 電流検出器
Claims (4)
- 定盤上を移動可能なステージと、
前記ステージを駆動するアクチュエータと、
前記アクチュエータに電流を供給するドライバと、
前記ドライバと前記アクチュエータとの間を接続する電流供給路と、
前記電流供給路の断線を検知する検知部と、
を備え、
前記電流供給路は、複数の往路電線と、複数の復路電線とを含み、
前記検知部は、前記複数の往路電線のうちの少なくとも1つの往路電線と、前記複数の復路電線のうちの少なくとも1つの復路電線との電流合計値に基づいて前記電流供給路の断線を検知する
ことを特徴とする位置決め装置。 - 前記アクチュエータは、前記定盤に設けられる固定子と、前記ステージに設けられる可動子とを含み、前記電流供給路は、前記可動子と前記ドライバとの間を接続するものであることを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。
- レチクルステージに搭載されたレチクルのパターンをウエハステージに搭載されたウエハに投影する露光装置であって、
請求項1又は2に記載の位置決め装置を用いて、前記レチクルステージ及び前記ウエハステージの少なくともいずれか一方の位置決めを行うことを特徴とする露光装置。 - 請求項3に記載の露光装置を用いてウエハを露光する工程と、
前記ウエハを現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
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