JP5177387B2 - インダクタ用シールドおよびシールド付きインダクタ - Google Patents
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L インダクタ
L11、L12、L20 インダクタ配線
W1、W2、W3 周回配線
Claims (6)
- 半導体基板上の絶縁膜に形成された複数の配線層のうちの少なくとも1つの配線層に形成されたインダクタ配線を有するインダクタに用いられるインダクタ用シールドにおいて、
複数の配線層のうちの少なくとも2つの配線層の各々に半導体基板の上方から見てインダクタの周りを略一周回するように形成された周回配線を有し、
前記周回配線同士は、巻回方向が不変の一連のコイルを形成するようにビアによって直列に接続され、
当該コイルの両端は、ビアによって互いに接続されていることを特徴とするインダクタ用シールド。 - 当該コイルは、一定電位の電源配線に一点で接続されている請求項1に記載のインダクタ用シールド。
- 当該コイルは、半導体基板とインダクタとの間にインダクタに重畳するように形成された拡散層に接続されている請求項1または2に記載のインダクタ用シールド。
- 請求項1乃至3のいずれか1つに記載のインダクタ用シールドと、前記インダクタとを有するシールド付きインダクタ。
- 前記インダクタ配線は、その少なくとも一部が螺旋状に形成され、
前記インダクタの外周に位置する方の端部は、前記一定電位の電源配線に接続され、
前記インダクタは、その外周に位置する部分が追加的なシールドとして働く請求項4に記載のシールド付きインダクタ。 - 前記インダクタは、前記インダクタ配線として、複数の配線層のうちの少なくとも2つの配線層の各々に少なくとも略一周回するように形成されたインダクタ配線を有し、
前記インダクタ配線同士は、巻回方向が不変の一連のコイルを形成するようにビアによって直列に接続され、
少なくとも1つの前記インダクタ配線は、それが形成されている配線層において螺旋状に形成され、
前記インダクタは、その外周に位置する部分が追加的なシールドとして働く請求項4または5に記載のシールド付きインダクタ。
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