JP5176372B2 - 疵検査方法、疵検査装置、及びコンピュータプログラム - Google Patents

疵検査方法、疵検査装置、及びコンピュータプログラム Download PDF

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本発明は、疵検査方法、疵検査装置、及びコンピュータプログラムに関し、特に、疵検査対象物を画像化して疵検査を行うために用いて好適なものである。
従来から、例えば、鋼板等の圧延ラインにおいては、圧延ロールの表面に欠けや凹みが生じたり異物が付着したりしていることにより、それらが被圧延材に転写され、被圧延材の圧延方向に周期性のある有害な疵(所謂ロール疵)が被圧延材に生じてしまうことがあった。そこで、被圧延材の表面を照明して得られる反射光を検知して撮像することにより画像化して、被圧延材に生じているロール疵を検査することが行われている。特許文献1では、圧延ロールの1回転分に相当する長さの被圧延材表面の画像を連続的に複数枚格納し、格納した複数毎の画像を重ね合わせた合成画像を疵検査画像として生成して、ロール疵のS/N比を高める。そして、疵検査画像の輝度値を閾値と比較して、ロール疵を検出するようにしている。
特開平6−324005号公報
ところで、前述したような圧延ロールの表面においては、例えば圧延ロールの表面に生じている模様や肌荒れ等により小さな粗度変化が生じている場合がある。このような粗度変化があると、圧延ロールの外周長を周期とする周期性を有した粗度変化が、被圧延材に転写されることになる。このような粗度変化は無害であるので、前述したロール疵とは区別されるべきである。
しかしながら、従来の技術では、圧延ロールの1回転分に相当する画像を重ね合わせているに過ぎない。このため、圧延ロールの表面に生じている模様や肌荒れ等により生じている無害な粗度変化も、疵検査画像にS/N比が高く表れることになる。
また、圧延ロールの表面に生じている模様や肌荒れ等により生じている「周期性のある無害な粗度変化(周期性のある外乱ノイズ)」と、「ロール疵(周期性のある疵)」は、画像上その形態が非常に似ている場合があり、画像上の特徴を用いてそれらを識別することが困難であるという問題点があった。すなわち、従来の技術では、周期性のある外乱ノイズを、誤って疵と判定してしまう虞があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、周期性のある有害疵と、その有害疵と同じような周期性・形態を有する外乱ノイズとが混在している場合でも、周期性のある有害疵を従来よりも高精度に検出することができるようにすることを目的とする。
本発明の疵検査方法は、移動する疵検査対象物の表面の撮像画像を記憶媒体に記憶する画像記憶ステップと、前記撮像画像から、周期性を有する疵の周期の長さで切り出した画像を生成する画像切り出しステップと、前記画像切り出しステップにより切り出された画像であって、互いに異なる撮像画像に基づく複数の切り出し画像を記憶媒体に記憶する切り出し画像記憶ステップと、前記切り出し画像記憶ステップにより記憶された複数の切り出し画像のうちの、疵検査対象の画像を除く過去に得られた画像に同位相で含まれる成分を、周期性を有する外乱ノイズとして抽出する外乱ノイズ抽出ステップと、新たに前記画像切り出しステップにより、疵検査対象の切り出し画像が生成されるとき、前記疵検査対象の切り出し画像から前記外乱ノイズ抽出ステップによって抽出された外乱ノイズを差し引くことで、前記疵検査対象の切り出し画像に含まれている、周期性を有する外乱ノイズを低減する外乱ノイズ低減ステップと、前記外乱ノイズ低減ステップにより外乱ノイズが低減された、前記疵検査対象の切り出し画像を用いて、前記疵検査対象物の表面に形成されている疵を検出する疵検出ステップとを有することを特徴とする。
本発明の疵検査装置は、移動する疵検査対象物の表面の撮像画像を記憶媒体に記憶する画像記憶手段と、前記撮像画像から、周期性を有する疵の周期の長さで切り出した画像を生成する画像切り出し手段と、前記画像切り出し手段により切り出された画像であって、互いに異なる撮像画像に基づく複数の切り出し画像を記憶媒体に記憶する切り出し画像記憶手段と、前記切り出し画像記憶手段により記憶された複数の切り出し画像のうちの、疵検査対象の画像を除く過去に得られた画像に同位相で含まれる成分を、周期性を有する外乱ノイズとして抽出する外乱ノイズ抽出手段と、新たに前記画像切り出し手段により、疵検査対象の切り出し画像が生成されるとき、前記疵検査対象の切り出し画像から前記外乱ノイズ抽出手段によって抽出された外乱ノイズを差し引くことで、前記疵検査対象の切り出し画像に含まれている、周期性を有する外乱ノイズを低減する外乱ノイズ低減手段と、前記外乱ノイズ低減手段により外乱ノイズが低減された、前記疵検査対象の切り出し画像を用いて、前記疵検査対象物の表面に形成されている疵を検出する疵検出手段とを有することを特徴とする。
本発明のコンピュータプログラムは、移動する疵検査対象物の表面の撮像画像を記憶媒体に記憶する画像記憶ステップと、前記撮像画像から、周期性を有する疵の周期の長さで切り出した画像を生成する画像切り出しステップと、前記画像切り出しステップにより切り出された画像であって、互いに異なる撮像画像に基づく複数の切り出し画像を記憶媒体に記憶する切り出し画像記憶ステップと、前記切り出し画像記憶ステップにより記憶された複数の切り出し画像のうちの、疵検査対象の画像を除く過去に得られた画像に同位相で含まれる成分を、周期性を有する外乱ノイズとして抽出する外乱ノイズ抽出ステップと、新たに前記画像切り出しステップにより、疵検査対象の切り出し画像が生成されるとき、前記疵検査対象の切り出し画像から前記外乱ノイズ抽出ステップによって抽出された外乱ノイズを差し引くことで、前記疵検査対象の切り出し画像に含まれている、周期性を有する外乱ノイズを低減する外乱ノイズ低減ステップと、前記外乱ノイズ低減ステップにより外乱ノイズが低減された、前記疵検査対象の切り出し画像を用いて、前記疵検査対象物の表面に形成されている疵を検出する疵検出ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とする。
本発明によれば、周期性のある有害疵と、その有害疵と同じような周期性のある外乱ノイズとが混在している場合でも、周期性のある有害疵を従来よりも高精度に検出することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態を説明する。
図1は、本実施形態における表面疵検査システムの概略構成の一例を示した図である。尚、本実施形態では、図1に示すように、疵検査を行う疵検査対象物として、ワークロール7a、中間ロール7b、及びバックアップロール7cを備えた仕上圧延機7で仕上圧延された後の帯状鋼板1を例に挙げて説明する。尚、以下の説明では、帯状鋼板1を鋼板1と略称する。
図1において、鋼板1は、搬送ロール2a〜2cによって、鋼板1の長手方向(図1の矢印の方向)に搬送(移動)される。また、搬送ロール2a〜2cの回転は、夫々ロータリーエンコーダ3により検出されるようにしている。
このような圧延鋼板製造ラインに設置される表面疵検査システムは、照明装置4と、撮像装置5と、情報処理装置6とを有している。
照明装置4は、例えばハロゲンランプ等、好ましくは高い輝度を有する光を出射する発光部と、集光レンズ等の集光部とを有する。ハロゲンランプ等から出射される光が集光部で線状に集光されることにより、鋼板1の表面がその幅方向で線状に照明される。尚、本実施形態では、鋼板1の幅方向の全てが確実に線状に照明されるように、鋼板1の幅方向の長さよりも長い線状の光束を照明装置4が照射するようにしている。
撮像装置5は、照明装置4により照明された鋼板1の疵検査範囲を撮像して画像信号を生成する機能を有している。撮像装置5は、図1に示すように照明装置4に鋼板1の疵検査範囲を挟んで対向する位置、すなわち、照明装置4から照射され、鋼板1に当たって反射される光の光路上に配置される。この撮像装置5は、画像をフレーム単位で読み取るエリアカメラ(センサ)と、画像をライン単位で読み取るラインカメラ(センサ)との何れであってもよく、又CCD撮像素子やCMOS撮像素子等のカメラでも良い。また、撮像画像は、白黒濃淡画像とカラー画像との何れであってもよい。
ここでは、撮像装置5として、白黒濃淡画像を出力するラインカメラを使用した場合を例として挙げて説明する。具体的に撮像装置5は、鋼板1の幅方向に細長い疵検査範囲の濃淡画像を撮像し、例えば白黒256階調の情報を撮像画像として出力するものとする。
移動する鋼板1の表面を、所定の空間分解能で隙間なく連続して撮像装置5が撮像できるように、ロータリーエンコーダ3は、鋼板1の搬送速度に応じた制御タイミング信号(パルス信号)を撮像装置5に出力する。撮像装置5は、このロータリーエンコーダ3から出力される制御タイミング信号に従って、撮像と撮像画像の転送とを繰り返す。
疵検査装置として設けられる情報処理装置6は、例えばPC(Personal Computer)である。情報処理装置6は、CPU、ROM、RAM、ハードディスク、キーボードやマウスからなるユーザインターフェース、及びデータ入出力制御装置等を有している。尚、CPU、ROM、RAM、ハードディスク、ユーザインターフェース、及びデータ入出力制御装置は、夫々通信バスに接続されており、互いに通信することが可能である。
また、情報処理装置6の記憶媒体の一つであるハードディスクには、後述するようにして疵検査を行うための疵検用アプリケーションプログラムや、その疵検用アプリケーションプログラムで使用されるデータが記憶されている。この他、情報処理装置6のハードディスクには、撮像装置5で撮像され、データ入出力制御装置で処理された画像データ等も記憶されている。ここで、データ入出力制御装置は、撮像装置5から出力されたライン毎の画像データを、例えば、2048(幅)×512(長さ)の画素数を有する画像データに構成する処理を行って、RAMに転送する。尚、ここでは、説明の便宜上、1画素は、鋼板1の表面の1mm×1mmの撮像画像を表すものとする。すなわち、2048(幅)×512(長さ)の画素数で構成される画像は、鋼板1の幅が2048mm、長さが512mmの範囲の撮像画像を表すものとする。
情報処理装置6のCPU等は、ユーザインターフェースのユーザによる操作等に基づいて、疵検用アプリケーションプログラムを起動する。そして、CPU等は、疵検用アプリケーションプログラムを実行して、疵検査を行うための処理を実行する。
表示装置8は、例えばLCD(Liquid Crystal Display)等を備えており、情報処理装置6により実行された疵検査の結果を示す画像を表示するためのものである。
図2は、表面疵検査システムに設けられた情報処理装置6が有する機能構成の一例を示すブロック図である。
図2において、画像入力部21は、撮像装置5で撮像されたライン毎の画像データを入力し、連続して入力した複数のライン毎の画像データ(2048×1画素)を用いて、例えば、2048(幅)×512(長さ)の画素数を有する画像データを構成する。そして、画像入力部21は、その画像データをRAMに記憶する。
画像入力部21は、例えば、画像入力ボードで構成するデータ入出力制御装置を用いることにより実現される。
シェーディング補正部22は、画像入力部21で得られた「2048(幅)×512(長さ)の画素数を有する画像データ」全体が一様な明るさになるように、その画像データに対して、シェーディング補正を行う。そして、シェーディング補正部22は、シェーディング補正を行った画像データを、RAM(記憶媒体)に記憶する。本実施形態では、予め設定された長さの画像データがRAMに記憶されるようにしている。例えば、3m分の鋼板1の画像データを保存する場合、シェーディング補正が行われる度に、記憶していた最も古い「長さ512mm分の画像データ」を破棄し、シェーディング補正が終わった長さ512mm分の画像データを追加する。このようにすることによって、常に最新の「長さ3m分のシェーディング補正後の画像データ」がRAMに記憶されることになる。
シェーディング補正部22は、例えば、情報処理装置6のCPU、ROM、RAM、及びハードディスクを用いることにより実現される。
以上のように本実施形態では、例えば、シェーディング補正部22が、RAMに記憶されている最も古い画像データを破棄し、シェーディング補正を行った画像データを追加して、所定の長さの画像データをRAMに形成することにより画像記憶手段が実現される。また、本実施形態では、例えば、RAMに記憶されている「予め設定された長さの画像データ」が、移動する検査対象物の表面の撮像画像として実現される。
加算平均画像導出部23は、シェーディング補正部22によりシェーディング補正が行われて、RAMに記憶された「長さ3m分の画像データ」を、その画像データの長手方向に分割して切り出す。そして、加算平均画像導出部23は、切り出した画像データそれぞれの互いに対応する位置の画素の値を加算(以下では「画素を加算」と記す)して加算平均画像データを生成する。更に、加算平均画像導出部23は、その加算平均画像データの輝度値の分散を演算する。
具体的には、加算平均画像導出部23は、画像切り出し部23aと、加算処理部23bと、輝度分散演算部23cとを有している。以下、図3を参照しながら、加算平均画像導出部23の処理の一例を説明する。図3は、加算平均画像導出部23、加算平均画像選択部24、及び加算平均画像バッファ部25で行われる処理の一例を概念的に示す図である。
画像切り出し部23aは、シェーディング補正部22によりシェーディング補正が行われて、RAMに記憶された「長さ3m分の画像データ」を、その画像データの長手方向に分割して切り出す。具体的に画像切り出し部23aは、ワークロール7aの外周長(すなわち、ロール疵等の「周期性を有する疵」の周期)を中心として、±数画素(例えば2画素)単位で切り出す長さ(ピッチ)Liを変えて、「長さ3m分の画像データ」を切り出す。
図3(a)に示すように、画像切り出し部23aは、シェーディング補正部22によりシェーディング補正が行われた「長さ3m分の画像データ41」を、長さL1、L2、・・・、Lp(pは2以上の自然数)毎に分割して切り出す。これにより、図3(b)に示すように、Q(Qは2以上の自然数)枚の画像データからなるp個の画像データ群が生成される。本実施形態では、ワークロール7aの外周長の設計値と、ワークロール7aの外周長の設計値を±数画素ずつ増減させた長さで、シェーディング補正が行われた「長さ3m分の画像データ41」から切り出すようにしている。
鋼板1をワークロール7aで圧延するときにワークロール7aの表面の粗度や凹凸の状態が、鋼板1の表面に転写されるので、「長さ3m分の画像データ」に含まれている「周期性を有する疵」の周期は、ワークロール7aの外周長の設計値に対応した長さを有している。したがって、ワークロール7aの外周長の設計値毎に「長さ3m分の画像データ」を切り出せば、周期性を有する疵の周期の単位で「長さ3m分の画像データ」を切り出すことができる。しかしながら、ワークロール7aが磨り減ってしまうこと等により、ワークロール7aの外周長の設計値と、長さ3m分の画像データに含まれている「周期性を有する疵」の周期との間には、誤差が生じる。したがって、ワークロール7aの外周長の設計値と、長さ3m分の画像データに含まれている「周期性を有する疵」の周期とが正確に一致することは稀である。
そこで、本実施形態では、ワークロール7aの外周長の設計値だけでなく、ワークロール7aの外周長の設計値を±数画素ずつ増減させた長さで「長さ3m分の画像データ」を切り出すようにしている。これにより、切り出したp個の画像データ群42a〜42cの中から、長さ3m分の画像データに含まれている「周期性を有する疵」の周期に最も合う画像データを選択できるようにしている。
以上のように本実施形態では、例えば、画像切り出し部23aが、ワークロール7aの外周長の設計値と、ワークロール7aの外周長の設計値を±数画素ずつ増減させた長さで、「長さ3m分の画像データ」をその長手方向に分割して切り出して、p個の画像データ群42a〜42cを撮像画像群として生成することにより、画像切り出し手段が実現される。
このように、本実施形態では、ワークロール7aの外周長の設計値を、長さ3m分の画像データに含まれている「周期性を有する疵」の周期の中心値と見立てて処理を行うようにしている。ただし、必ずしもこのようにする必要はない。例えば、シェーディング補正が行われた「長さ3m分の画像データ」に対してパターンマッチングを行って、長さ3m分の画像データに含まれている「周期性を有する疵」の周期を求め、求めたものを、ワークロール7aの外周長の設計値の代わりに使用することができる。
図2に説明を戻し、加算処理部23bは、画像切り出し部23aにより切り出されたp個の画像データ群42a〜42cの夫々について、対応する画素を加算して加算平均画像データを生成する。具体的に加算処理部23bは、以下の(1)式の計算を、画像切り出し部23aにより切り出されたp個の画像データ群42a〜42cの夫々について行う。
Figure 0005176372
ここで、G(k,l)は、加算平均画像データである。Qは、画像データの切り出し枚数である。Fu(k,l)は、切り出した画像データを表す。(k,l)は、画像データの各画素の位置を表す。
以上のようにして、図3(c)に示すように、p個の加算平均画像データ43a〜43cが得られる。
輝度分散演算部23cは、加算処理部23bにより得られたp個の加算平均画像データ43a〜43cの夫々について、以下の(2)式の計算を行って、輝度値の分散σ2を演算する。
Figure 0005176372
ここで、Xは、鋼板1の幅方向の画素数を表す。Yは、鋼板1の長手方向の画素数(すなわち、画像データの切り出し長さ)を表す。(k,l)は、加算平均画像データ43の各画素の位置を表す。
尚、加算平均画像導出部23は、例えば、情報処理装置6のCPU、ROM、RAM、及びハードディスクを用いることにより実現される。
加算平均画像選択部24は、加算処理部23bにより得られたp個の加算平均画像データ43a〜43cのうち、輝度分散演算部23cで演算された分散σ2が最も大きいものを選択する。このようにするのは、次の理由による。
画像切り出し部23aによる画像データの切り出し長さが、その画像データに含まれている「周期性を有する疵」の周期とかけ離れる程、ランダムな輝度値をもつ画素同士を、加算処理部23bで加算することになる。このような場合、加算処理部23bで得られる加算平均画像データ43は、一様な輝度値を有する画像データとなり、その分散σ2は小さくなる。言い換えると、画像データに含まれている「周期性を有する疵」の周期に近い長さを有する加算平均画像データ43である程、その分散σ2は大きくなる。
よって、最大の分散σ2を与える加算平均画像データ43を選択すれば、画像データに含まれている「周期性を有する疵」の周期に最も近い加算平均画像データ43を選択できる。図3(d)では、長さL2で切り出された画像データに基づく加算平均画像データ43bが選択された場合を例に挙げて示している。
加算平均画像選択部24は、例えば、情報処理装置6のCPU、ROM、RAM、及びハードディスクを用いることにより実現される。
尚、加算平均画像選択部24で選択された加算平均画像データ43の長さ方向の画素数に、その加算平均画像データ43の分解能を乗じて長さに変換した値が、周期性のある疵や、周期性のある外乱ノイズの実際の周期に対応するものになる。ただし、本実施形態では、1画素が、鋼板1の表面の1mm×1mmの撮像画像を表すものとしている。したがって、このような変換を行わなくても、周期性のある疵や、周期性のある外乱ノイズの実際の周期を得ることができる。
また、以下の説明では、画像入力部21が、n(nは2以上の自然数)個のコイル(鋼板1)の画像データを入力し、シェーディング補正部22、加算平均画像導出部23、及び加算平均画像選択部24が、それらn個のコイルの画像データに対して前述した処理を行い、n個の加算平均画像データ43が、加算平均画像選択部24で選択されるものとする。
加算平均画像バッファ部25は、図3(e)に示すように、加算平均画像選択部24で選択されたn個の加算平均画像データ43を一時的に記憶するバッファ(記憶媒体)である。
加算平均画像バッファ部25は、例えば、情報処理装置6のバッファ(例えばRAM)を用いることにより実現される。
起点合わせ部26は、加算平均画像バッファ部25に、n個の加算平均画像データ43が記憶されているか否かを判定し、記憶されている場合に、それらn個の加算平均画像データ43の起点を合わせる。以下、図4を参照しながら、起点合わせ部26により行われる処理の一例を説明する。図4は、起点合わせ部26により行われる処理の一例を概念的に示す図である。
図4(a)及び図4(b)に示すように、ワークロール7aの外周上の位置Aが、鋼板1の表面1aに位置してから、位置Aが次に鋼板1の表面1aに位置するまで(すなわち、ワークロール7aが、位置Aを起点として1周したとき)に、加算平均画像データ43xが得られたとする。この場合、加算平均画像データ43xの起点は、ワークロール7aの外周上の位置Aに対応する位置となる。
一方、図4(c)及び図4(d)に示すように、ワークロール7aの外周上の位置Bが、鋼板1の表面1aに位置してから、位置Bが次に鋼板1の表面1aに位置するまで(すなわち、ワークロール7aが、位置Bを起点として1周したとき)に、加算平均画像データ43yが得られたとする。この場合、加算平均画像データ43yの起点は、ワークロール7aの外周上の位置Bに対応する位置となる。
前述したように本実施形態では、n個のコイルに対するn個の加算平均画像データ43が、加算平均画像バッファ部25により記憶されている。したがって、それらn個の加算平均画像データ43の起点は、図4(b)及び図4(d)に示したようにずれている(可能性が極めて高い)。そこで、起点合わせ部26は、例えば図4(b)に示した加算平均画像データ43xと、図4(d)に示した加算平均画像データ43yとでパターンマッチングを行い、加算平均画像データ43x、43yの起点を合わせる。
具体的に起点合わせ部26は、起点合わせの対象となる加算平均画像データ43について、基準となる加算平均画像データ43との間における正規化相関係数が最も大きくなるパターンを見つけ出す。そして、起点合わせ部26は、見つけ出したパターンになるように、起点合わせの対象となる加算平均画像データ43を再構成することにより、基準となる加算平均画像データ43と起点合わせの対象となる加算平均画像データ43との起点を合わせるようにする。
図4(e)では、加算平均画像データ43yが、起点合わせの対象となる加算平均画像データ43であり、加算平均画像データ43xが、基準となる加算平均画像データ43である場合を例に挙げて示している。すなわち、図4(e)では、加算平均画像データ43yの起点を、加算平均画像データ43xの起点に合わせて、加算平均画像データ43y´が生成された場合を例に挙げて示している。
起点合わせ部26は、例えば、情報処理装置6のCPU、ROM、RAM、及びハードディスクを用いることにより実現される。
尚、加算平均画像バッファ部25に記憶されているn個の加算平均画像データ43の起点を合わせる方法は、前述したものに限定されない。例えば、基準となる加算平均画像データ43の画素の値と、起点合わせの対象となる加算平均画像データ43の画素の値との差の絶対値を、加算平均画像データ43の全ての画素について算出する。そして、算出した画素の値の差の絶対値の和が最も小さくなるパターンになるように、起点合わせの対象となる加算平均画像データ43を再構成するようにしてもよい。
以上のように本実施形態では、例えば、起点合わせ部26が、加算平均画像データ43yの起点を、加算平均画像データ43xの起点に合わせて、加算平均画像データ43y´を生成することにより、起点合わせ手段が実現される。
図2に説明を戻し、周期性外乱成分抽出部27は、起点あわせ部26により起点が合わせられたn個の加算平均画像データ43に共通して存在する「周期性のある無害な粗度変化(周期性のある外乱ノイズ)」を抽出する。
具体的に周期性外乱成分抽出部27は、まず、疵検査対象であるn番目に(最新に)得られた第nの加算平均画像データ43を除く、1番目〜(n−1)番目に(過去に)得られた第1〜第(n−1)の加算平均画像データ43の平均画像データI0を算出する。すなわち、周期性外乱成分抽出部27は、以下の(3)式の計算を行う。
Figure 0005176372
ここで、I1〜In-1は、夫々第1〜第(n−1)の加算平均画像データ43を示す。
次に、周期性外乱成分抽出部27は、第1〜第(n−1)の加算平均画像データ43(I1〜In-1)と、それらの平均画像データI0との差を示す差分画像データIi´を算出する。すなわち、周期性外乱成分抽出部27は、以下の(4)式の計算を行う。
i´=Ii−I0 (i=1,2,・・・,(n−1)) ・・・(4)
次に、周期性外乱成分抽出部27は、差分画像データIi´(i=0〜n-1)を列ベクトルに変形し、それら列ベクトルを横に並べて行列Pを生成する。そして、周期性外乱成分抽出部27は、主成分分析により、以下の(5)式のように、行列Pを特異値分解によって対角化する。
Figure 0005176372
ここで、行列Pと、行列M、Nとの関係は、以下の(6)式、(7)式のように表される。
M=PPT ・・・(6)
N=PTP ・・・(7)
また、rは、M、Nのランクである。
更に、σiは、Mの0でない固有値λi(i=1,2,・・・,r)の平方根である。
また、行列U、Vは、以下の(8)式、(9)式のようにして表すことができる。
U=(u1,u2,・・・,ur) ・・・(8)
V=(v1,v2,・・・,vr) ・・・(9)
ここで、uiは、λiに対応するMの固有ベクトルであり、viは、λiに対応するNの固有ベクトルである。
そして、周期性外乱成分抽出部27は、(5)式により得られた行列U((u1,u2,・・・,ur))の各列(各列ベクトル)を、加算平均画像データ43と同じ画素数の大きさに再構成して、固有画像Jiを生成する。この固有画像Jiは、正規直交系の基底となっている。よって、疵検査対象である第nの加算平均画像データ43(In)は、この固有画像Jiを用いると、以下の(10)式に示すような線形結合によって表される。
Figure 0005176372
ここで、係数α0は、以下の(11)式のように、1である。αi(i=1,2,・・・,r)は、以下の(12)式のように、第nの加算平均画像データ43(In)と、固有画像Jiとの内積で表される。
α0=1 ・・・(11)
αi=(In,Ji) ・・・(12)
尚、(10)式において、係数αi、固有画像Jiは、対応する固有値λiが大きいものから順に並んでいるものとする。すなわち、固有値λiは、λ1、λ2、・・・、λrの順に大きいものとする。
また、(10)式において、第1〜第(n−1)の加算平均画像データ43(I1〜In-1)に共通して存在する「周期性のある外乱ノイズ」は、過去に得られた第1〜第(n−1)の加算平均画像データ43の平均画像データI0と、相対的に大きな固有値λiに対応する固有画像Jiに抽出される。すなわち、本実施形態では、周期性外乱成分抽出部27は、(10)式を求めることにより、第1〜第n−1の加算平均画像データ43(I1〜In-1)に共通して存在する「周期性のある外乱ノイズ」を抽出するようにしている。
以上のように本実施形態では、例えば、周期性外乱成分抽出部27が、(10)式を求めることにより、外乱ノイズ抽出手段が実現される。
周期性外乱成分抽出部27は、例えば、情報処理装置6のCPU、ROM、RAM、及びハードディスクを用いることにより実現される。
周期性外乱成分低減部28は、疵検査対象である第nの加算平均画像データ43(In)から、周期性外乱成分抽出部27により抽出された「周期性のある外乱ノイズ」を低減した加算平均画像データ43(In´)を求める。
具体的に周期性外乱成分低減部28は、(10)式において、係数α0を0(ゼロ)にした後、係数αiを係数α1から順に、対応する固有値λiとハードディスク等に予め記憶されている閾値λTと比較する。周期性外乱成分低減部28は、その比較の結果、固有値λiが、閾値λT以上である場合には、その係数αiを0(ゼロ)に設定する。一方、固有値λiが、閾値λT未満である場合、周期性外乱成分低減部28は、その係数αiの値として、周期性外乱成分抽出部27で求められられた値を採用する。
尚、閾値λTは、例えば、「疵検査対象物の材質・形状」と、「周期性のある無害な粗度変化を発生するロールの材質・大きさ・形状・圧下」と、「どの程度の粗度変化であれば無害と見なせるかを示す情報」等に基づいて、実験的に(経験的に)求められる。
前述したように、第1〜第(n−1)の加算平均画像データ43(I1〜In-1)に共通して存在する「周期性のある外乱ノイズ」は、第1〜第(n−1)の加算平均画像データ43の平均画像データI0と、相対的に大きな固有値λiに対応する固有画像Jiに抽出される。したがって、(10)式において、α0を0(ゼロ)にすることによって、第1〜第(n−1)の加算平均画像データ43の平均画像データI0の寄与を除去でき、周期性のある外乱ノイズを低減できる。
更に、前述したように、固有値λiは、λ1、λ2、・・・、λrの順に大きいものとしている。従って、固有値λiが、閾値λT以上である場合に、その係数αiを0(ゼロ)にすることで、相対的に大きい固有値λiに対応する固有画像Jiの寄与を除去でき、周期性のある外乱ノイズを低減できる。
周期性外乱成分低減部28は、以上のようにして設定した係数αiと、その係数αiに対応する固有画像Jiとを、以下の(13)式の右辺に代入する。これにより、疵検査対象である第nの加算平均画像データ43(In)から、周期性のある無害な粗度変化を低減した加算平均画像データ43(In´)が算出される。
Figure 0005176372
以上のように本実施形態では、周期性外乱成分低減部28が、(13)式を用いて、周期性のある無害な粗度変化を低減した加算平均画像データ43(In´)を算出することにより、外乱ノイズ低減手段が実現される。
周期性外乱成分低減部28は、例えば、情報処理装置6のCPU、ROM、RAM、及びハードディスクを用いることにより実現される。尚、以下の説明では、疵検査対象である第nの加算平均画像データ43(In)から、周期性のある無害な粗度変化を低減した加算平均画像データ43(In´)を、必要に応じて、周期性のある無害な粗度変化を低減した加算平均画像データ43(In´)と称する。
二値化処理部29は、周期性のある無害な粗度変化を低減した加算平均画像データ43(In´)に対して、二値化処理を行う。具体的に説明すると、二値化処理部29は、例えば、周期性のある無害な粗度変化を低減した加算平均画像データ43(In´)の各画素の値が、ハードディスク等に予め設定された閾値よりも大きいか否かを判定する。そして、閾値よりも大きい画素の値を「1」、そうでない画素の値を「0」にして、画素の値(輝度値)として「0」か「1」しか持たない2値画像を生成する。
二値化処理部29は、例えば、情報処理装置6のCPU、ROM、RAM、及びハードディスクを用いることにより実現される。
ラベリング/特徴量計算部30は、二値化処理部29により得られた2値画像に対してラベリング処理及び特徴量計算を行い、疵候補を抽出する。ここで、ラベリング処理とは、特徴量計算の前に行う処理であり、2値画像中において幾何的に連結して一つの塊となっている図形(連結図形)毎に、異なった番号(ラベル)を割り当てる処理である。
また、特徴量計算(特徴抽出)とは、図形の形状に関する特徴量を求める処理である。この特徴量計算で求める特徴量は、例えば、「疵候補の位置」と、「疵候補に外接する長方形の幅・長さ・長さと幅の比・最大長・周囲長」と、「疵候補の輝度分布」等の中から選択される1又は2以上の組み合わせである。
ラベリング/特徴量計算部30は、例えば、情報処理装置6のCPU、ROM、RAM、及びハードディスクを用いることにより実現される。
疵判定部31は、抽出した疵候補に対して最終的な疵判定を行う。例えば、製品の品質に影響を与えるロール疵であれば有害疵と判定する。そして、有害疵については、疵の種類、及び疵のグレードも判定する。一方、油、水滴、軽い汚れ等が鋼板表面に付着したものであり、製品の品質に影響を与えないものであれば無害疵と判定する。尚、疵判定は、疵候補の位置、大きさ、形状、輝度等の特徴量、又は、周期性のある無害な粗度変化を低減した加算平均画像データ43(In´)そのものに基づいて行うことができる。
以上のように本実施形態では、例えば、ラベリング/特徴量計算部30による「ラベリング処理及び特徴量計算」と、疵判定部31による「疵判定」とにより、疵検出手段が実現される。
疵判定部31は、例えば、情報処理装置6のCPU、ROM、RAM、及びハードディスクを用いることにより実現される。
疵判定結果表示部32は、疵判定部31による疵判定の結果(有害疵か無害疵かの判定結果、疵の種類の判定結果、及び疵のグレードの判定結果)と、ラベリング/特徴量計算部30で求められた特徴量とを示す疵検出画像データを生成し、表示装置8に表示する。本実施形態では、疵判定結果表示部32は、鋼板1を模した画像の上に、疵を模した画像を重ね合わせた疵検出画像データ(マップ)を生成する。これにより、鋼板1のどの場所にどのような疵が生じているのかを視覚的にユーザに認識させることができる。
疵判定結果表示部32は、例えば、情報処理装置6のCPU、ROM、RAM、及びハードディスクを用いることにより実現される。
次に、図5のフローチャートを参照しながら、画像入力部21が画像データを入力してから、加算平均画像バッファ部25が加算平均画像データ43を一時的に記憶するまでの情報処理装置6における動作の一例を説明する。
まず、ステップS1において、画像入力部21は、撮像装置5で撮像された所定数のラインの画像データを入力するまで待機する。そして、撮像装置5で撮像された所定数(例えば512)のラインの画像データを入力すると、ステップS2に進む。ステップS2に進むと、画像入力部21は、入力した所定数のラインの画像データを用いて、所定の画素数(例えば、2048(幅)×512(長さ))の画像データを構成する。
次に、ステップS3において、シェーディング補正部22は、ステップS2で得られた画像データに対して、シェーディング補正を行う。そして、シェーディング補正部22は、シェーディング補正を行った画像データを、RAMに追加(記憶)する。これにより、予め設定された長さ(例えば3m)分の最新の画像データが、RAMに記憶される。
次に、ステップS4において、画像切り出し部23aは、変数Sを「1」に設定する。
次に、ステップS5において、画像切り出し部23aは、RAMに記憶されている画像データを、第Sの長さ(ピッチ)毎に切り出して、画像データ群42を生成する。前述したように、本実施形態において、第Sの長さ(ピッチ)は、例えば、ワークロール7aの外周長の設計値、又はワークロール7aの外周長の設計値を±数画素ずつ増減させた長さである。
次に、ステップS6において、加算処理部23bは、ステップS5で得られた画像データ群42について、対応する画素の値(輝度値)を加算して((1)式の計算を行って)、加算平均画像データ43を生成する。
次に、ステップS7において、輝度分散演算部23cは、ステップS6で得られた加算平均画像データ43について、(2)式の計算を行って、輝度値の分散σ2を演算する。
次に、ステップS8において、画像切り出し部23aは、変数Sが、pであるか否かを判定する。尚、pは、図3(c)に示すように、画像切り出し部23aにより生成する画像データ群42の数に対応するものであり、ハードディスク等に予め設定されている。
この判定の結果、変数Sが、pでない場合には、ステップS9に進む。ステップS9に進むと、画像切り出し部23aは、変数Sに「1」を加算する。そして、ステップS5に戻る。そして、RAMに記憶されている画像データを、第(S+1)のピッチ毎に切り出して得られた画像データ群42を用いて、加算平均画像データ43の生成と、その加算平均画像データ43における輝度値の分散σ2の演算とを行う。
そして、変数Sがpとなり、p個の加算平均画像データ43における輝度値の分散σ2が得られると、ステップS10に進む。ステップS10に進むと、加算平均画像選択部24は、p個の加算平均画像データ43a〜43cのうち、分散σ2が最も大きいものを選択する。
次に、ステップS11において、加算平均画像選択部24は、ステップS10で選択した加算平均画像データ43を、加算平均画像バッファ部25に記憶する。前述したように、本実施形態では、n個の加算平均画像データ43が選択され、加算平均画像バッファ部25に記憶されるまで、図5のフローチャートを繰り返し行う。
次に、図6のフローチャートを参照しながら、起点合わせ部26が、加算平均画像バッファ部25に記憶された加算平均画像データ43を読み出してから、疵判定結果表示部32が疵検出画像データを表示装置8に表示するまでの情報処理装置6における動作の一例を説明する。
まず、ステップS21において、起点合わせ部26は、加算平均画像バッファ部25に、第1〜第n(n個)の加算平均画像データ43が記憶されるまで待機する。そして、加算平均画像バッファ部25に、第1〜第n(n個)の加算平均画像データ43が記憶されると、ステップS22に進む。
ステップS22に進むと、起点合わせ部26は、前述したようにして第1〜第n(n個)の加算平均画像データ43の起点を合わせる(図4を参照)。
次に、ステップS23において、周期性外乱成分抽出部27は、疵検査対象であるn番目に得られた第nの加算平均画像データ43を除く、第1〜第(n−1)の加算平均画像データ43の各画素を加算して平均画像データI0を求める。すなわち、周期性外乱成分抽出部27は、(3)式の計算を行う。
次に、ステップS24において、周期性外乱成分抽出部27は、第1〜第(n−1)の加算平均画像データ43(I1〜In-1)と、それらの平均画像データI0との差を示す差分画像データIi´を算出する((4)式を参照)。そして、周期性外乱成分抽出部27は、差分画像データIi´を列ベクトルに変形し、それら列ベクトルを横に並べて行列Pを生成し、特異値分解により対角化する((5)式を参照)。そして、周期性外乱成分抽出部27は、(5)式により得られた行列U((u1,u2,・・・,ur))の各列(各列ベクトル)を、加算平均画像データ43と同じ画素数の大きさに再構成して、固有画像Jiを求める。
次に、ステップS25において、周期性外乱成分抽出部27は、ステップS23で求めた平均画像データI0と、ステップS24で求めた固有画像Jiとを用いて、疵検査対象である第nの加算平均画像データ43(In)を線形分解する((10)式を参照)。
次に、ステップS26において、周期性外乱成分低減部28は、線形分解した加算平均画像データ43(In)を用いて、周期性のある無害な粗度変化(周期性のある外乱ノイズ)を低減した加算平均画像データ43(In´)を求める((13)式を参照)。このステップS26の詳細については、図7を用いて後述する。
次に、ステップS27において、二値化処理部29は、ステップS26で求めた「周期性のある無害な粗度変化(周期性のある外乱ノイズ)を低減した加算平均画像データ43(In´)」に対して2値化処理を行い、2値画像を求める。
次に、ステップS28において、ラベリング/特徴量計算部30は、ステップS27で得られた2値画像に対してラベリング処理及び特徴量計算を行い、疵候補を抽出する。
次に、ステップS29において、疵判定部31は、ステップS28で得られた特徴量等に基づく疵判定を行う。
次に、ステップS30において、疵判定結果表示部32は、その疵判定の結果に基づく検出画像データを生成して表示装置8に表示させる。
次に図7のフローチャートを参照しながら、図6のステップS26の詳細を説明する。
まず、ステップS41において、周期性外乱成分低減部28は、周期性外乱成分抽出部27により求められた(10)式における係数α0を0(ゼロ)に設定する。
次に、ステップS42において、周期性外乱成分低減部28は、変数iを「1」に設定する。
次に、ステップS43において、周期性外乱成分低減部28は、固有値λiが、閾値λTよりも小さいか否かを判定する。この判定の結果、固有値λiが、閾値λTよりも小さい場合、係数αiに係る固有画像Jiには、周期性のある無害な粗度変化(周期性のある外乱ノイズ)が抽出されていないと判定し、ステップS44〜S46を省略して、後述するステップS47に進む。
一方、固有値λiが、閾値λT以上である場合、係数αiに係る固有画像Jiには、周期性のある無害な粗度変化(周期性のある外乱ノイズ)が抽出されていると判定し、ステップS44に進む。ステップS44に進むと、周期性外乱成分低減部28は、その係数αiを「0」に設定する。これにより、その係数αiに係る固有画像Jiの、疵検査対象となる加算平均画像データ43への寄与を除去することができる。
次に、ステップS45において、周期性外乱成分低減部28は、変数iに「1」を加算する。
次に、ステップS46において、周期性外乱成分低減部28は、変数iが、ランクrよりも大きいか否かを判定する。この判定の結果、変数iが、ランクr以下である場合には、ステップS43に戻り、次の係数αiに対して、ステップS43以降の処理を行う。そして、変数iが、ランクrよりも大きくなると、ステップS47に進み、周期性外乱成分低減部28は、ステップS41〜S46における処理の結果に基づいて、係数α0〜αrの値を決定する。
次に、ステップS48において、周期性外乱成分低減部28は、ステップS46で決定した係数αi(α0〜αr)と、その係数αiに対応する固有画像Jiとを、(13)式の右辺に代入する。これにより、周期性外乱成分低減部28は、疵検査対象である第nの加算平均画像データ43(In)から、周期性のある無害な粗度変化を低減した加算平均画像データ43(In´)を算出する。
以上のように本実施形態では、周期性のある「無害な粗度変化やロール疵」の発生要因となるワークロール7aの外周長の設計値を、鋼板1の撮像画像データに含まれている「周期性を有する疵」の周期と見立てる。そして、そのワークロール7aの外周長の設計値を基にしたp個の長さ(ピッチ)で、鋼板1の撮像画像データをQ枚ずつ切り出して、p個の画像データ群42a〜42cを得る。その後、p個の画像データ群42の夫々について、各画像データの、互いに対応する画素の値(輝度値)を加算して、p個の加算平均画像データ43a〜43cを得る。このようにして得られたp個の加算平均画像データ43a〜43cのうち、分散σ2が最も大きいものを選択する。
このように、ワークロール7aの外周長の設計値を基にしたp個の長さ(ピッチ)で、鋼板1の画像を切り出すようにし、それらp個の長さ(ピッチ)毎に加算平均画像データ43a〜43cを求め、求めた加算平均画像データ43a〜43cの中から、分散σ2が最も大きいものを選択する。したがって、例えば、ワークロール7aの磨耗等により周期性のある有害疵の周期が変化しても、複雑且つ面倒な設定や調整を行うことなく、周期性のある有害疵(特に周期性のある軽微な有害疵)を高精度に且つ迅速に検出できる。
また、本実施形態では、以上のようにして切り出されたp個の画像データを加算して得られた加算平均画像データ43a〜43cの中から、分散σ2が最も大きい加算平均画像データ43を選択することを、複数のコイルについて行い記憶しておく。その後、疵検査対象の加算平均画像データ43が求められると、過去に求めておいた複数のコイルにおける加算平均画像データ43(I1〜In-1)と、疵検出対象の加算平均画像データ43(In)との全ての起点を合わせる。そして、過去に求めておいた複数のコイルにおける加算平均画像データ43(I1〜In-1)の平均画像データI0と、それら加算平均画像データ43(I1〜In-1)の固有値λiに対応する固有画像Jiとを用いて、疵検査対象である加算平均画像データ43(In)を線形結合して、周期性のある外乱ノイズを抽出する。そして、線形結合した平均画像データI0と、固有画像Jiとのうち、周期性のある外乱ノイズを含むものを除去して、周期性のある無害な粗度変化を低減した加算平均画像データ43(In´)を求める。
したがって、周期性のある外乱ノイズの影響が低減された加算平均画像データ43を、疵検査を行うための画像として用いることができる。よって、ロール疵等の周期性のある有害疵と、その有害疵と同じような周期性のある外乱ノイズとが混在している場合であっても、周期性のある有害疵(特に周期性のある軽微な有害疵)を高精度に且つ迅速に検出することができる。
尚、本実施形態では、ワークロール7aにより生じる「周期性のある外乱ノイズ」が鋼板1の画像データに含まれている場合を例に挙げて説明した。しかしながら、画像データに含まれる「周期性のある外乱ノイズ」は、ワークロール7aにより生じるものでなくてもよい。例えば、搬送ロール2により生じたものであってもよいし、「周期性のある外乱ノイズ」が鋼板1の画像に与えるものであれば、ロール以外のものにより生じたものであってもよい。
また、疵検査対象物は、本実施形態で説明した鋼板1でなくてもよい。疵検査対象物の形状は、例えば、本実施形態のように帯状であってもよいし、その他柱状であってもよい。また、疵検査対象物の材質は、鋼材以外の種々の金属材料を用いることができる。
更に本実施形態では、主成分分析(固有画像法)を使った成分抽出を行って、疵検査対象である加算平均画像データ43(In)から、周期性のある外乱ノイズを抽出して低減する場合を例に挙げて説明した。しかしながら、周期性のある外乱ノイズを抽出して低減する方法は、このような方法に限定されるものではない。
また、本実施形態では、図1に示すように、鋼板1の一方の面のみの疵を検出する場合を例に挙げて説明したが、鋼板1の両面の疵を検出するようにしてもよい。このようにする場合には、図1において、鋼板1の他方の面にも、照明装置4と撮像装置5とを設定するようにする。図1に示した例では、鋼板1の他方の面は、搬送ロール2とワークロール7aとが接するので、周期性を有する外乱ノイズには、これら搬送ロール2とワークロール7aの双方によるものが存在することになる。すなわち、「周期性を有する疵」として、搬送ロール2によるものと、ワークロール7aによるものとの双方が存在することになる。よって、例えば、搬送ロール2に起因する「周期性を有する疵」の周期を基に切り出した画像データと、ワークロール7aに起因する「周期性を有する疵」の周期を基に切り出した画像データとの夫々に対して、図5〜図7の処理を行うことになる。
また、本実施形態では、複数のコイルにおける加算平均画像データ43(I1〜In-1)の平均画像データI0と、それら加算平均画像データ43(I1〜In-1)の固有値λiに対応する固有画像Jiとを用いて、疵検査対象である加算平均画像データ43(In)を線形結合するようにした((10)式を参照)。しかしながら、必ずしも、複数のコイルにおける加算平均画像データ43を用いなくてもよい。例えば、同一のコイルにおける、互いに異なる撮像画像データに基づく複数の加算平均画像データを用いるようにしてもよい。このようにした場合、撮像画像データを連続して取得することが可能であれば、それら連続して取得した撮像画像データに基づく加算平均画像データの起点は元々合っているので、加算平均画像データの起点を合わせる処理を別途行う必要がなくなる。
尚、以上説明した本発明の実施形態は、コンピュータがプログラムを実行することによって実現することができる。また、プログラムをコンピュータに供給するための手段、例えばかかるプログラムを記録したCD−ROM等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体、又はかかるプログラムを伝送する伝送媒体も本発明の実施の形態として適用することができる。また、前記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体などのプログラムプロダクトも本発明の実施の形態として適用することができる。前記のプログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体、伝送媒体及びプログラムプロダクトは、本発明の範疇に含まれる。
また、前述した実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、またはその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
本発明の実施形態を示し、表面疵検査システムの概略構成の一例を示した図である。 本発明の実施形態を示し、表面疵検査システムに設けられた情報処理装置が有する機能構成の一例を示すブロック図である。 本発明の実施形態を示し、加算平均画像導出部、加算平均画像選択部、及び加算平均画像バッファ部で行われる処理の一例を概念的に示す図である。 本発明の実施形態を示し、起点合わせ部により行われる処理の一例を概念的に示す図である。 本発明の実施形態を示し、画像入力部が画像データを入力してから、加算平均画像バッファが加算平均画像データを一時的に記憶するまでの情報処理装置における動作の一例を説明するフローチャートである。 本発明の実施形態を示し、起点合わせ部が、加算平均画像バッファに記憶された加算平均画像データを読み出してから、疵判定結果表示部が疵検出画像データを表示装置に表示するまでの情報処理装置6における動作の一例を説明するフローチャートである。 本発明の実施形態を示し、図6のステップS26の詳細を説明するフローチャートである。
符号の説明
1 鋼板
2 搬送ロール
3 ロータリーエンコーダ
4 照明装置
5 撮像装置
6 情報処理装置
7 仕上圧延機
7a ワークロール
7b 中間ロール
7c バックアップロール
8 表示装置

Claims (7)

  1. 移動する疵検査対象物の表面の撮像画像を記憶媒体に記憶する画像記憶ステップと、
    前記撮像画像から、周期性を有する疵の周期の長さで切り出した画像を生成する画像切り出しステップと、
    前記画像切り出しステップにより切り出された画像であって、互いに異なる撮像画像に基づく複数の切り出し画像を記憶媒体に記憶する切り出し画像記憶ステップと、
    前記切り出し画像記憶ステップにより記憶された複数の切り出し画像のうちの、疵検査対象の画像を除く過去に得られた画像に同位相で含まれる成分を、周期性を有する外乱ノイズとして抽出する外乱ノイズ抽出ステップと、
    新たに前記画像切り出しステップにより、疵検査対象の切り出し画像が生成されるとき、前記疵検査対象の切り出し画像から前記外乱ノイズ抽出ステップによって抽出された外乱ノイズを差し引くことで、前記疵検査対象の切り出し画像に含まれている、周期性を有する外乱ノイズを低減する外乱ノイズ低減ステップと、
    前記外乱ノイズ低減ステップにより外乱ノイズが低減された、前記疵検査対象の切り出し画像を用いて、前記疵検査対象物の表面に形成されている疵を検出する疵検出ステップとを有することを特徴とする疵検査方法。
  2. 新たに前記画像切り出しステップにより、疵検査対象の切り出し画像が生成されるとき、前記切り出し画像記憶ステップによりそれまでに記憶された複数切り出し画像のうち、少なくとも2つの切り出し画像の起点を、それら少なくとも2つの切り出し画像の輝度値に基づいて合わせる起点合わせステップを有し、
    前記外乱ノイズ抽出ステップは、前記起点合わせステップにより起点が合わせられた少なくとも2つの切り出し画像のうちの、疵検査対象の画像を除く過去に得られた画像に同位相で含まれる成分を、前記疵検査対象の切り出し画像に含まれている、周期性を有する外乱ノイズとして抽出することを特徴とする請求項1に記載の疵検査方法。
  3. 前記疵検査対象物は、鋼材であり、
    前記周期性を有する疵の周期と、前記周期性を有する外乱ノイズの周期は、前記鋼材を搬送するロール、又は前記鋼材を圧延するロールの外周長に対応した長さを有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の疵検査方法。
  4. 移動する疵検査対象物の表面の撮像画像を記憶媒体に記憶する画像記憶手段と、
    前記撮像画像から、周期性を有する疵の周期の長さで切り出した画像を生成する画像切り出し手段と、
    前記画像切り出し手段により切り出された画像であって、互いに異なる撮像画像に基づく複数の切り出し画像を記憶媒体に記憶する切り出し画像記憶手段と、
    前記切り出し画像記憶手段により記憶された複数の切り出し画像のうちの、疵検査対象の画像を除く過去に得られた画像に同位相で含まれる成分を、周期性を有する外乱ノイズとして抽出する外乱ノイズ抽出手段と、
    新たに前記画像切り出し手段により、疵検査対象の切り出し画像が生成されるとき、前記疵検査対象の切り出し画像から前記外乱ノイズ抽出手段によって抽出された外乱ノイズを差し引くことで、前記疵検査対象の切り出し画像に含まれている、周期性を有する外乱ノイズを低減する外乱ノイズ低減手段と、
    前記外乱ノイズ低減手段により外乱ノイズが低減された、前記疵検査対象の切り出し画像を用いて、前記疵検査対象物の表面に形成されている疵を検出する疵検出手段とを有することを特徴とする疵検査装置。
  5. 新たに前記画像切り出し手段により、疵検査対象の切り出し画像が生成されるとき、前記切り出し画像記憶手段によりそれまでに記憶された複数切り出し画像のうち、少なくとも2つの切り出し画像の起点を、それら少なくとも2つの切り出し画像の輝度値に基づいて合わせる起点合わせ手段を有し、
    前記外乱ノイズ抽出手段は、前記起点合わせ手段により起点が合わせられた少なくとも2つの切り出し画像のうちの、疵検査対象の画像を除く過去に得られた画像に同位相で含まれる成分を、前記疵検査対象の切り出し画像に含まれている、周期性を有する外乱ノイズとして抽出することを特徴とする請求項4に記載の疵検査装置。
  6. 前記疵検査対象物は、鋼材であり、
    前記周期性を有する疵の周期と、前記周期性を有する外乱ノイズの周期は、前記鋼材を搬送するロール、又は前記鋼材を圧延するロールの外周長に対応した長さを有していることを特徴とする請求項4又は5に記載の疵検査装置。
  7. 移動する疵検査対象物の表面の撮像画像を記憶媒体に記憶する画像記憶ステップと、
    前記撮像画像から、周期性を有する疵の周期の長さで切り出した画像を生成する画像切り出しステップと、
    前記画像切り出しステップにより切り出された画像であって、互いに異なる撮像画像に基づく複数の切り出し画像を記憶媒体に記憶する切り出し画像記憶ステップと、
    前記切り出し画像記憶ステップにより記憶された複数の切り出し画像のうちの、疵検査対象の画像を除く過去に得られた画像に同位相で含まれる成分を、周期性を有する外乱ノイズとして抽出する外乱ノイズ抽出ステップと、
    新たに前記画像切り出しステップにより、疵検査対象の切り出し画像が生成されるとき、前記疵検査対象の切り出し画像から前記外乱ノイズ抽出ステップによって抽出された外乱ノイズを差し引くことで、前記疵検査対象の切り出し画像に含まれている、周期性を有する外乱ノイズを低減する外乱ノイズ低減ステップと、
    前記外乱ノイズ低減ステップにより外乱ノイズが低減された、前記疵検査対象の切り出し画像を用いて、前記疵検査対象物の表面に形成されている疵を検出する疵検出ステップとをコンピュータに実行させることを特徴とするコンピュータプログラム。
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