JP5173610B2 - インク吐出基板ユニットおよびこれを備えたインク吐出記録ヘッド - Google Patents
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Description
(第1の実施形態)
まず、図1〜図4を参照して、本発明の第1の実施形態に係るインク吐出基板ユニットについて説明する。図1は本発明の第1の実施形態に係るインク吐出基板ユニットの斜視図である。
(第2の実施形態)
次に図5〜図7を参照して、本発明の第2の実施形態に係るインク吐出基板ユニットについて説明する。図5はインク吐出記録ヘッド本体に実装された本発明の第2の実施形態に係るインク吐出基板ユニットを表面側から見た透視図である。なお、本実施形態に係るインク吐出基板ユニットH2050は、以下に示す構成以外は、第1の実施形態に係るインク吐出基板ユニットH1050と同様に構成されている。
(第3の実施形態)
次に図8〜図10を参照して、本発明の第3の実施形態に係るインク吐出基板ユニットについて説明する。図8はインク吐出記録ヘッド本体に実装された本発明の第3の実施形態に係るインク吐出基板ユニットを表面側から見た透視図である。なお、本実施形態に係るインク吐出基板ユニットH3050は、以下に示す構成以外は、第1の実施形態に係るインク吐出基板ユニットH1050と同様に構成されている。
(第4の実施形態)
次に、図11を参照して、本発明の第4の実施形態に係るインク吐出記録ヘッドについて説明する。図11は、本発明の第4の実施形態に係るインク吐出記録ヘッドの斜視図である。
(第5の実施形態)
次に、図12を参照して、本発明の第5の実施形態に係るインク吐出記録ヘッドについて説明する。図12は、本発明の第5の実施形態に係るインク吐出記録ヘッドの斜視図である。なお、本実施形態に係るインク吐出記録ヘッドH5000は、以下に示す構成以外は、第4の実施形態に係るインク吐出記録ヘッドH4000と同様に構成されている。
H1100 インク吐出基板
H1102,H1152 インク供給口
H1103 電気熱変換素子
H1106 流路形成部材
H1107 吐出口
H1109 発泡室
H1112 表面電極端子
H1120 貫通電極
H1130 凹部
H1140 裏面配線
H1150 カバー基板
H1200 支持基板
H1206 封止材
H1212 電気配線端子
H1215 バンプ
Claims (11)
- インク供給口が形成されたインク吐出基板と、該インク吐出基板の表面に設けられ、インクを吐出するエネルギーを発生する複数の記録素子と、前記インク吐出基板を裏面から表面に貫通するように設けられた複数の貫通電極と、該各貫通電極を前記インク吐出基板の裏面で互いに電気的に接続している裏面配線と、を有するインク吐出基板ユニットにおいて、
前記インク吐出基板の前記裏面に対向して配置されたカバー基板を有しており、
前記裏面配線は前記インク吐出基板と前記カバー基板とに囲まれた空間の中に収容されていることを特徴とするインク吐出基板ユニット。 - 前記インク吐出基板の前記裏面には凹部が形成されており、前記裏面配線は前記凹部の中に収容されている、請求項1に記載のインク吐出基板ユニット。
- 前記カバー基板には凹部が形成されており、前記カバー基板は前記裏面配線を前記凹部の中に収容している、請求項1に記載のインク吐出基板ユニット。
- 前記各記録素子は前記貫通電極に電気的に接続されている、請求項1から3のいずれか1項に記載のインク吐出基板ユニット。
- 前記インク吐出基板と前記カバー基板とはウエハの状態で互いに接合された後に切断されることによって個片状態に形成されている、請求項1から4のいずれか1項に記載のインク吐出基板ユニット。
- 前記インク吐出基板と前記カバー基板とは表面活性化常温接合方式で互いに接合されている、請求項1から5のいずれか1項に記載のインク吐出基板ユニット。
- 前記インク吐出基板および前記カバー基板は同種の材料で形成されている、請求項6に記載のインク吐出基板ユニット。
- 前記インク吐出基板および前記カバー基板はともにシリコンで形成されている、請求項7に記載のインク吐出基板ユニット。
- 請求項1から8のいずれか1項に記載のインク吐出基板ユニットと、該インク吐出基板ユニットを支持している支持基板を備えたインク吐出記録ヘッド本体と、前記インク吐出基板ユニットと前記インク吐出記録ヘッド本体とを電気的に接続している電気的接続部と、を有するインク吐出記録ヘッド。
- 前記電気的接続部は前記インク吐出基板の前記表面に配置されている、請求項9に記載のインク吐出記録ヘッド。
- 前記インク供給口は前記インク吐出基板の中央領域に形成されており、前記電気的接続部は前記インク吐出基板の前記裏面の端部に配置されている、請求項9に記載のインク吐出記録ヘッド。
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