JP4877481B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
かかる第1の態様では、接着層を設けることにより、リザーバ部内のインクによって接着剤がリザーバ形成基板から剥離するのを防止することができ、圧力発生手段の液体による破壊や、剥離した接着剤によるノズル開口の目詰まりを防止して信頼性を向上することができる。
また、接着層として所定の材料を用いることによって、リザーバ形成基板と接着層との密着性を向上すると共に、接着層と接着剤との密着性を向上して、リザーバ形成基板と接着剤との密着性を向上することができる。
かかる第2の態様では、酸化シリコンと接着剤との密着性を向上することができ、接着剤の剥離を防止できる。
かかる第3の態様では、接着層が設けられた領域と、その他の領域との高さ合わせを行って、接合領域の接着剤の量を均一化して、余分な接着剤の流出や接合不良等を防止することができる。
かかる第4の態様では、接着層によって、エポキシ系接着剤とシリコン単結晶基板からなるリザーバ形成基板との密着性を向上して接着剤の剥離を防止できる。
かかる第5の態様では、金属層上に接着層を設けることで、金属層上の接着剤の剥離を確実に防止してさらに信頼性を向上することができる。
かかる第6の態様では、信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A’断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって二酸化シリコンからなる厚さ0.5〜2μmの弾性膜50が形成されている。
リザーバ形成基板30の表面に二酸化シリコンを設けた以外、上述した実施形態1と同様の構成のものを実施例のインクジェット式記録ヘッドとした。詳細には、リザーバ形成基板30のリザーバ部31の周囲に亘ってニッケルクロム(NiCr)からなる接着層200を約1μmの厚さで設け、リザーバ形成基板30と流路形成基板10とをエポキシ系接着剤35を介して接合した。
接着層200を設けずに、表面に二酸化シリコンが設けられたリザーバ形成基板30と流路形成基板10とを直接エポキシ系接着剤で接合した以外、実施例1と同様の構成のものを比較例のインクジェット式記録ヘッドとした。
実施例及び比較例のインクジェット式記録ヘッドを、60℃の雰囲気化でインクに浸漬した状態で6日間放置する評価実験を行った。
以上、本発明の実施形態1を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、接着層200をリザーバ形成基板30の流路形成基板10との接合領域のリザーバ部31の周囲に亘って形成するようにしたが、接合領域に亘って接着層200を形成するようにしてもよい。また、流路形成基板10の金属層190上にも接着層200を設けることによって、さらに信頼性を向上することができる。
Claims (6)
- ノズル開口に連通する複数の圧力発生室と前記複数の圧力発生室に連通する連通部とが形成された流路形成基板と、
前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、
前記流路形成基板の一方面側に接着剤を介して接合され、前記連通部と連通して前記圧力発生室の共通の液体室の一部を構成するリザーバ部が設けられたリザーバ形成基板と、を具備し、
前記リザーバ形成基板と前記接着剤との間にはニッケルクロム、チタン、チタンタングステン及び酸化タンタルから選択される少なくとも一種からなる接着層が設けられており、該接着層が、前記流路形成基板と前記リザーバ形成基板との接合領域のうち、前記リザーバ部の周囲に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記リザーバ形成基板の表面に酸化シリコンが設けられ、
前記接着層は、前記酸化シリコン上に設けられていることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。 - 前記接着層が、1μm以下の厚さで形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッド。
- 前記接着剤が、エポキシ系接着剤からなることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
- 前記流路形成基板と前記リザーバ形成基板との接合領域のうち、前記リザーバ部の周囲の前記流路形成基板と前記接着剤との間には、金属層が設けられていると共に、前記金属層と前記接着剤との間には前記接着層が設けられていることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜5の何れかに記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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