JP2008030309A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】流路形成基板とノズルプレートとの接着性を向上して耐久性及び信頼性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０の液体流路の内面の全面と、流路形成基板１０のノズルプレート２０が接着される一方面とには、少なくとも液体流路の一方面側に開口する開口縁部を覆う耐液体性を有する保護膜２００が設けられていると共に、保護膜２００の前記一方面側に相対向する領域には開口部２０１が設けられ、且つノズルプレート２０と流路形成基板１０とを接着する接着剤２２を開口部２０１により露出された流路形成基板１０の前記一方面側に接着する。
【選択図】図２

Description

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、一方面に開口する圧力発生室と圧力発生室に連通する連通部とが形成された流路形成基板と、流路形成基板の一方面側に形成された圧電素子と、流路形成基板の圧力発生室が開口する一方面に接着剤を介して接着されて圧力発生室に連通するノズル開口が設けられたノズルプレートとを具備し、流路形成基板の圧力発生室等の内面及び流路形成基板のノズルプレートが接着される一方面に耐インク性を有する保護膜を設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。

しかしながら、特許文献１のように、流路形成基板のノズルプレートが接着される面に保護膜を設けると、保護膜と接着剤との接着性が低く、ノズルプレートが剥がれてしまったり、圧力発生室内のインクが外部に流出してしまうという問題がある。

また、特許文献１には、流路形成基板のノズルプレートが接着される面に保護膜を設けないようにする構成も記載されているが、このような構成では、流路形成基板とノズルプレートとを接着する接着剤によって流路形成基板の一方面側を完全に覆うのは困難であり、流路形成基板のノズルプレートが接着される面の一部が露出してしまうと、この露出した領域がインクにより侵食されてしまうという問題がある。

さらに、流路形成基板又はノズルプレートの互いに接着する接着面に凹部を設けた構成の液体噴射ヘッドが提案されている（例えば、特許文献２及び３参照）。しかしながら、この凹部は、接着剤が圧力発生室側に流出するのを防止するためのものであり、凹部によって流路形成基板とノズルプレートとの接着性を向上することはできず、流路形成基板とノズルプレートとの接着面を保護膜によって保護することもできない。

特開２００６−０８２５２９号公報（第４及び５頁、第１及び２図） 特開２００３−１２７３６０号公報（第３〜５頁、第１及び２図） 特開２００２−２２５２９０号公報（第４及び５頁、第１及び２図）

本発明はこのような事情に鑑み、流路形成基板とノズルプレートとの接着性を向上して耐久性及び信頼性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。

上記課題を解決する本発明の第１の態様は、圧力発生室を有する液体流路の少なくとも前記圧力発生室が一方面に開口する流路形成基板と、該流路形成基板の前記液体流路が開口する前記一方面側に接着剤を介して接着されると共に前記圧力発生室に連通して液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートと、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせて前記ノズル開口から液体を噴射させる圧力発生手段とを具備し、前記流路形成基板の前記液体流路の内面の全面と、前記流路形成基板の前記ノズルプレートが接着される前記一方面とには、少なくとも前記液体流路の前記一方面側に開口する開口縁部を覆う耐液体性を有する保護膜が設けられていると共に、該保護膜の前記一方面側に相対向する領域には開口部が設けられ、且つ前記ノズルプレートと前記流路形成基板とを接着する前記接着剤が前記開口部により露出された前記流路形成基板の前記一方面側に接着されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１の態様では、流路形成基板とノズルプレートとを接着する接着剤を保護膜を介して接着することなく、保護膜の開口部によって露出された領域に接着することができるため、接着性を向上して、ノズルプレートが剥がれたり、液体が外部に流出する等の不具合を防止することができる。また、保護膜が液体流路の開口縁部を覆うことで、接着剤によって流路形成基板の一方面側が完全に覆われていない場合でも、液体による流路形成基板の侵食を確実に防止することができる。

本発明の第２の態様は、前記流路形成基板の前記開口部に相対向する領域には、前記接着剤の前記流路形成基板との接着性よりも高い接着性を有する接合層が設けられていることを特徴とする第１の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第２の態様では、接合層を設けることで、さらに流路形成基板とノズルプレートとの接着性を向上して、耐久性を向上することができる。

本発明の第３の態様は、前記接合層が、金属又は窒化物を主成分とする材料で形成されていることを特徴とする第２の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第３の態様では、所定の材料の接合層を用いることで、接着剤との接着性を向上できる。

本発明の第４の態様は、前記接合層が、ニッケル、クロム、シリコン、チタン、タンタル及びアルミニウムから選択される少なくとも１種の金属又は金属化合物を主成分とする材料で形成されていることを特徴とする第２又は３の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第４の態様では、所定の接合層を用いることで、接着剤との接着性を向上できる。

本発明の第５の態様は、前記液体流路の少なくとも前記圧力発生室が、複数の隔壁で区画されて短手方向に並設されていると共に、前記開口部が前記隔壁に相対向する領域に設けられていることを特徴とする第１〜４の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第５の態様では、流路形成基板とノズルプレートとの特に接着性の低い領域の剥がれ及び液体の流出を防止できる。

本発明の第６の態様は、前記保護膜が、酸化タンタルからなることを特徴とする第１〜５の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第６の態様では、所定の保護膜を用いることで、液体による流路形成基板の侵食を確実に防止することができる。

本発明の第７の態様は、前記流路形成基板が単結晶シリコン基板からなると共に、前記ノズルプレートがステンレス鋼からなることを特徴とする第１〜６の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第７の態様では、流路形成基板及びノズルプレートに所定の材料を用いたとしても、保護膜によって流路形成基板を保護することができると共に、両者の接着性を向上することができる。

本発明の第８の態様は、第１〜７の何れかの態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第８の態様では、耐久性及び信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略斜視図であり、図２は、図１の平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′断面図及びＢ−Ｂ′断面図である。図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって二酸化シリコンからなる厚さ０．５〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。

流路形成基板１０には、他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁１１によって区画された圧力発生室１２がその幅方向（短手方向）に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向一端部側には、インク供給路１４と連通路１５とが隔壁１１によって区画されている。また、連通路１５の一端には、各圧力発生室１２の共通のインク室（液体室）となるリザーバ１００の一部を構成する連通部１３が形成されている。すなわち、流路形成基板１０には、圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４及び連通路１５からなる液体流路が設けられている。

インク供給路１４は、圧力発生室１２の長手方向一端部側に連通し且つ圧力発生室１２より小さい断面積を有する。例えば、本実施形態では、インク供給路１４は、リザーバ１００と各圧力発生室１２との間の圧力発生室１２側の流路を幅方向に絞ることで、圧力発生室１２の幅より小さい幅で形成されている。なお、このように、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１４を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。さらに、各連通路１５は、インク供給路１４の圧力発生室１２とは反対側に連通し、インク供給路１４の幅方向（短手方向）より大きい断面積を有する。本実施形態では、連通路１５を圧力発生室１２と同じ断面積で形成した。

すなわち、流路形成基板１０には、圧力発生室１２と、圧力発生室１２の短手方向の断面積より小さい断面積を有するインク供給路１４と、このインク供給路１４に連通すると共にインク供給路１４の短手方向の断面積よりも大きい断面積を有する連通路１５とが複数の隔壁１１により区画されて設けられている。

ここで、流路形成基板１０の圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４及び連通路１５からなる液体流路の内壁表面（内面）には、耐インク性（耐液体性）を有する材料であれば限定されないが、例えば、五酸化タンタル（Ｔａ₂Ｏ₅）等の酸化タンや酸化シリコン（ＳｉＯ₂）からなる保護膜２００が、約５０ｎｍの厚さで設けられている。なお、ここで言う耐インク性とは、アルカリ性のインクに対する耐エッチング性のことである。このように、流路形成基板１０の液体流路の内面に保護膜２００を設けることにより、流路形成基板１０がインクにより侵食されるのを防止することができる。

また、保護膜２００は、流路形成基板１０の一方面側に延設され、少なくとも流路形成基板１０の圧力発生室１２、連通路１５、インク供給路１４及び連通部１３からなる液体流路が開口する開口縁部を覆うように設けられている。また、流路形成基板１０のノズルプレート２０が接着される一方面に設けられた保護膜２００には、流路形成基板１０の一方面側を露出する開口部２０１が設けられている。本実施形態では、保護膜２００を流路形成基板１０の圧力発生室１２等の液体流路が開口する開口縁部を覆うように設け、その他の領域が開口部２０１となるようにした。すなわち、本実施形態では、開口部２０１を流路形成基板１０の隔壁１１に相対向する領域と、複数の液体流路を囲う周囲とに設けるようにした。

また、流路形成基板１０の保護膜２００の開口部２０１によって露出された領域には、詳しくは後述する流路形成基板１０とノズルプレート２０とを接着する接着剤２２の流路形成基板１０への接着性に比べて高い接着性を有する接合層２０２が設けられている。接合層２０２の材料は、特に限定されず、例えば、金属又は窒化物を主成分とするものが挙げられる。具体的には、接合層２０２としては、例えば、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、シリコン（Ｓｉ）、タンタル（Ｔａ）、アルミニウム（Ａｌ）を含有する金属又は金属化合物などの無機系材料を主成分とするものが挙げられる。

一方、流路形成基板１０の圧力発生室１２等の液体流路が開口する一方面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤２２を介して接着されている。このとき、流路形成基板１０の一方面側には、開口部２０１を有する保護膜２００が形成されているため、ノズルプレート２０を流路形成基板１０に接着する接着剤２２は、保護膜２００と、保護膜２００の開口部２０１により露出された流路形成基板１０の一方面（接合層２０２上）に接着される。

このように、保護膜２００として、接着剤２２との接着性が低い五酸化タンタル等の材料を用いた場合であっても、保護膜２００に開口部２０１を設けることで、流路形成基板１０の一方面側に直接接着剤２２を接着することができ、流路形成基板１０とノズルプレート２０との接着性を向上して、ノズルプレート２０の剥がれやインクが外部に流出する等の不具合が発生するのを防止することができる。これにより、耐久性及び信頼性を向上することができる。また、保護膜２００の開口部２０１により露出された領域に接合層２０２を設けることで、流路形成基板１０とノズルプレート２０との接着性をさらに向上することができる。すなわち、流路形成基板１０と接着剤２２との接着性が低くても、接合層２０２を設けることにより、流路形成基板１０とノズルプレート２０との接着性を向上することができる。

また、流路形成基板１０の液体流路の開口縁部に保護膜２００を設けることで、接着剤２２が流路形成基板１０の一方面の全面に亘って形成されない場合であっても、保護膜２００によって流路形成基板１０の一方面を露出することなく覆うことができ、流路形成基板１０がインクにより侵食されるのを確実に防止することができる。これにより耐久性及び信頼性を向上することができる。すなわち、流路形成基板１０とノズルプレート２０とを接着した際に接着剤２２は、流路形成基板１０の液体流路の開口縁部よりも内側に設けられる場合があるが、このような場合であっても保護膜２００が流路形成基板１０の一方面を露出することなく覆うことができるため、流路形成基板１０のインクによる侵食を確実に防止することができる。

なお、ノズルプレート２０は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼等からなる。また、接着剤２２としては、例えば、エポキシ系接着剤などが挙げられる。

一方、このような流路形成基板１０のノズルプレート２０とは反対側の面には、上述したように、厚さが例えば約１．０μｍの弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、厚さが例えば、約０．４μｍの絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１．０μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．０５μｍの上電極膜８０とが、積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエータ装置と称する。すなわち、本実施形態では、圧力発生室１２内のインク（液体）に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、圧電素子３００を有するアクチュエータ装置を設けるようにした。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び下電極膜６０が振動板として作用するが、弾性膜５０、絶縁体膜５５を設けずに、下電極膜６０のみを残して下電極膜６０を振動板としてもよい。

また、このような各圧電素子３００の上電極膜８０には、流路形成基板１０のインク供給路１４とは反対側の端部近傍まで延設された金（Ａｕ）等のリード電極９０がそれぞれ接続されている。このリード電極９０を介して各圧電素子３００に選択的に電圧が印加される。

このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上、すなわち、下電極膜６０、弾性膜５０及びリード電極９０上には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３１を有する保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このリザーバ部３１は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。

また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。圧電素子保持部３２は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。

このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。

また、保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。

また、保護基板３０上には、並設された圧電素子３００を駆動するための駆動回路１２０が固定されている。この駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路１２０とリード電極９０とは、ボンディングワイヤ等の導電性ワイヤからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。

また、このような保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。

このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１２０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁体膜５５、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。

以上説明したように、本実施形態では、流路形成基板１０のノズルプレート２０が接着される一方面に接合層２０２を設け、流路形成基板１０の一方面の保護膜２００に接合層２０２を露出する開口部２０１を設けるようにしたため、流路形成基板１０とノズルプレート２０とを接着する接着剤２２の流路形成基板１０（接合層２０２）との接着性を向上して、ノズルプレート２０が剥がれたり、インクが外部に流出する等の不具合を防止することができる。また、保護膜２００によって、液体流路である圧力発生室１２、インク供給路１４、連通路１５及び連通部１３の開口縁部を覆うようにしたため、接着剤２２のカバレッジが悪く、接着剤２２が流路形成基板１０の一方面側の全面を覆っていない場合にも、保護膜２００によって、流路形成基板１０がインクにより侵食されるのを確実に防止することができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態１について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。上述した実施形態１では、流路形成基板１０の保護膜２００の開口部２０１により露出された領域に接合層２０２を設けるようにしたが、流路形成基板１０として、接着剤２２との接着性のよい材料（例えば、シリコン単結晶基板等）を用いた場合には、接合層２０２を設けなくてもノズルプレート２０と流路形成基板１０との接着性を向上することができる。勿論、流路形成基板１０として何れの材料を用いた場合であっても、接合層２０２を設けることでノズルプレート２０と流路形成基板１０との接着性を確実に向上することができる。

また、上述した実施形態１では、保護膜２００が液体流路である圧力発生室１２、インク供給路１４、連通路１５及び連通部１３の開口縁部を覆い、その他の領域が開口部２０１となるようにしたが、特にこれに限定されず、保護膜２００の開口部２０１は、特に接着性の低い隔壁１１に相対向する領域に少なくとも設けるようにすればよい。

さらに、例えば、上述した実施形態１では、ノズル開口２１からインク滴を吐出する圧力発生手段として、薄膜型の圧電素子３００を用いて説明したが、特にこれに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のインクジェット式記録ヘッドや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のインクジェット式記録ヘッドにも本発明を採用することができる。

また、上述した実施形態１では、ノズル開口２１からインク滴を吐出する圧力発生手段として圧電素子３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエータなどを使用することができる。

また、上述した実施形態１では、流路形成基板１０として、結晶面方位が（１１０）面のシリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、結晶面方位が（１００）面のシリコン単結晶基板を用いるようにしてもよく、また、ＳＯＩ基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。何れの材料の流路形成基板１０を用いた場合であっても、液体流路の内面には保護膜２００が必要となると共に、保護膜２００に開口部２０１を設けることで、流路形成基板１０とノズルプレート２０との接着性を向上することができると共に、流路形成基板１０のインクによる侵食を防止することができる。

また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図４は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

図４に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。

そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。

また、上述した実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。

実施形態１に係る記録ヘッドの概略斜視図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。

符号の説明

１０ 流路形成基板、 １２ 圧力発生室、 １３ 連通部、 １４ インク供給路、 １５ 連通路、 ２０ ノズルプレート、 ２１ ノズル開口、 ２２ 接着剤、 ３０ リザーバ形成基板、 ４０ コンプライアンス基板、 ５０ 弾性膜、 ５５ 絶縁体膜、 ６０ 下電極膜、 ７０ 圧電体層、 ８０ 上電極膜、 ９０ リード電極、 １００ リザーバ、 １２０ 駆動回路、 ２００ 保護膜、 ２０１ 開口部、 ２０２ 接合層、 ３００ 圧電素子

Claims (8)

1. 圧力発生室を有する液体流路の少なくとも前記圧力発生室が一方面に開口する流路形成基板と、該流路形成基板の前記液体流路が開口する前記一方面側に接着剤を介して接着されると共に前記圧力発生室に連通して液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートと、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせて前記ノズル開口から液体を噴射させる圧力発生手段とを具備し、
   前記流路形成基板の前記液体流路の内面の全面と、前記流路形成基板の前記ノズルプレートが接着される前記一方面とには、少なくとも前記液体流路の前記一方面側に開口する開口縁部を覆う耐液体性を有する保護膜が設けられていると共に、該保護膜の前記一方面側に相対向する領域には開口部が設けられ、且つ前記ノズルプレートと前記流路形成基板とを接着する前記接着剤が前記開口部により露出された前記流路形成基板の前記一方面側に接着されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記流路形成基板の前記開口部に相対向する領域には、前記接着剤の前記流路形成基板との接着性よりも高い接着性を有する接合層が設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記接合層が、金属又は窒化物を主成分とする材料で形成されていることを特徴とする請求項２記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記接合層が、ニッケル、クロム、シリコン、チタン、タンタル及びアルミニウムから選択される少なくとも１種の金属又は金属化合物を主成分とする材料で形成されていることを特徴とする請求項２又は３記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記液体流路の少なくとも前記圧力発生室が、複数の隔壁で区画されて短手方向に並設されていると共に、前記開口部が前記隔壁に相対向する領域に設けられていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記保護膜が、酸化タンタルからなることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記流路形成基板が単結晶シリコン基板からなると共に、前記ノズルプレートがステンレス鋼からなることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
8. 請求項１〜７の何れかに記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
   

Images