JP2016027961A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
かかる態様では、樹脂部を設けると共に、樹脂部の半径rの比率を規定することで、振動板の変位の著しい低下を抑制した状態で、保護膜の角部の応力を樹脂部によって緩和して、保護膜にクラックが発生したり、保護膜が剥離するなどの不具合を抑制することができる。
かかる態様では、耐久性及び印刷品質を向上した液体噴射装置を提供することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及びそのA−A′線断面図であり、図3は、図2(b)のB−B′線断面図である。
以上、本発明の実施形態1について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。上述した実施形態1では、振動板を構成する弾性膜50が流路形成基板10の圧力発生室12の一方面を画成するようにしたが、特にこれに限定されず、隔壁11が振動板として作用するインクジェット式記録ヘッドにも本発明を適用することが可能である。
かかる態様では、樹脂部を設けると共に、樹脂部の半径rの比率を規定することで、振動板の変位の著しい低下を抑制した状態で、保護膜の角部の応力を樹脂部によって緩和して、保護膜にクラックが発生したり、保護膜が剥離したりするなどの不具合を抑制することができる。
上記課題を解決する本発明は、液体噴射ヘッドの製造方法として、流路形成基板に、液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートを接着する工程と、前記ノズル開口に連通する圧力発生室を形成する工程と、前記圧力発生室の一方面を画成し、振動することにより前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせて前記ノズル開口から液体を噴射させる振動板を形成する工程と、前記圧力発生室の一方面とは交差する面を画成し、前記振動板と接触する隔壁を形成する工程と、前記圧力発生室の内面に設けられ、前記液体に対する耐液体性を有する保護膜を形成する工程と、前記振動板と前記隔壁との境界である前記圧力発生室の角部において、前記保護膜上に形成されて前記振動板および前記隔壁とともに前記保護膜を挟み、前記ノズルプレートを前記流路形成基板に接着する際の接着剤を毛細管現象により伝わらせて設ける樹脂部を形成する工程と、を備え、 前記圧力発生室の前記振動板に画成された側の幅wと、前記樹脂部の表面の半径rとの比率r/wが、0.017以上、0.087以下であることを特徴とする。
Claims (5)
- 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、
前記圧力発生室の一方面を画成する振動板と、
前記圧力発生室の内面に設けられて耐液体性を有する保護膜と、を具備し、前記振動板が振動することにより前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせて前記ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、
前記圧力発生室内の前記振動板側の角部には、当該角部を覆うヤング率が10GPa以下の樹脂材料で形成された樹脂部が凹状の円弧状で設けられ、
前記圧力発生室の前記振動板に画成された側の幅wと、前記樹脂部の表面の半径rとの比率w/rが、0.017以上、0.087以下であることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記保護膜が、酸化タンタルで形成されていることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。
- 前記樹脂部が、前記ノズル開口が設けられたノズルプレートを前記流路形成基板に接着する際の接着剤で形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッド。
- 前記樹脂部が、エポキシ系接着剤からなることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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