JP5170855B2 - 蛍光表示管 - Google Patents
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Description
蛍光表示管1は、陽極基板7と、この陽極基板7上方にグリット8と陰極9とを設け、フェースガラス10およびスペーサガラス11を用いて封着して真空引きして形成される。
陽極基板7は、ガラス基板2上に配線層3を形成した後、スルーホール4aを除くほぼ全面にわたって絶縁層4を形成し、スルーホール4aを介して電気的に接続された陽極層5がパターンとして形成され、この陽極層5上に、蛍光体層6を形成したのち焼成して得られる。
陽極層5は、陽極ペーストを印刷塗布するスクリーン印刷法により陽極パターンが形成されている。
また、上記粒状導電性金属粉末およびフリットガラス粉末の平均粒子径がそれぞれ1〜30μmであることを特徴とする。
また、上記粒状導電性金属粉末が粒状アルミニウム金属粉末であることを特徴とする。
また、上記粒状アルミニウム金属粉末および上記フリットガラス粉末の合計量に対して、上記フリットガラス粉末が15〜40重量%配合されていることを特徴とする。
純金属としては、アルミニウム、金、銀、銅、鉄、チタン、ニッケル等の金属が挙げられる。上記金属は単独でも2種以上混合してもよい。この中でアルミニウムまたは銀等蛍光表示管の配線層に用いることができる金属の粉末が好ましく、特に高精細パターンには薄膜アルミニウム配線が用いられているため、同材料であるとの理由で、アルミニウムが好ましい。
また、導電性金属酸化物としては、酸化銀、酸化銅、酸化亜鉛、酸化錫、酸化ニッケル、酸化インジウム等が挙げられる。上記金属酸化物は単独でも2種以上混合してもよい。また、アルミニウム、銀等の純金属に混合して使用することができる。
金属粉末の平均粒子径は1〜30μm以下であり、好ましくは1μm〜20μm、より好ましくは1μm〜15μmである。平均粒子径が30μmをこえると、粒子径自体の大きさで高精細パターンの形成が妨げられる。1μm未満であるとフォトリソグラフィー法を用いてパターン形成するには、バインダー樹脂量を増やす必要があり、結果として陽極層としての電気伝導性が低下する。
フリットガラス粉末は、平均粒子径として1〜30μmであることが好ましい。平均粒子径が30μmをこえると、粒子径自体の大きさで高精細パターンの形成が困難となる。また1μm未満では、バインダー樹脂量を増やす必要があり、金属粉末との焼成後、陽極層としての電気伝導性が低下する。
感光性ビヒクルは紫外線、電子線、可視光線などの光を照射されることにより、溶媒に対する溶解性が変化する樹脂である。光照射部分が溶解性となるポジ型、光照射部分が架橋して非溶解性となるネガ型のビヒクルのいずれも使用できる。
なお、陽極基板の製造工程におけるアルミニウム配線層形成工程、絶縁層形成工程、蛍光体層形成工程等は、周知の工程を採用できる。
感光性ビヒクルに、表1に示す粒子形状および平均粒子径の異なるアルミニウム金属粉末、フリットガラス粉末(平均粒子径 5μm、ノリタケ機材(株)製)を配合し、混練して陽極ペーストを得た。なお、鱗片状アルミニウム金属粉末は(株)レアメタリックのものを、粒状アルミニウム金属粉末は(株)高純度化学研究所のものをそれぞれ用いた。また、フリットガラス粉末の配合量は、フリットガラス粉末とアルミニウム金属粉末との合計量に対して、27重量%である。
得られた陽極ペーストをガラス基板の全面に、スクリーン印刷法により形成した。
次いで、陽極間スペース100μmの陽極パターンを備えた露光マスクを介して、露光した後、現像してパターンを形成した。なお、各比較例はパターン形成ができなかった。
パターンが形成されたガラス基板を590℃で焼成して陽極パターンを得た。この陽極パターンの電気抵抗値および膜厚さを測定した。結果を表1に示す。
なお、アルミニウム等の平均粒径については、測定装置としてレーザー回析/散乱式粒度分布測定装置を使用した。以後の実施例についても同一装置により測定した。
実施例3で用いた粒状アルミニウム金属粉末およびフリットガラス粉末を用いて、このフリットガラス粉末の配合量を変化させて、実施例3と同一の方法で陽極パターンを形成し、この陽極パターン上にZnO:Zn蛍光体を印刷後焼成することにより形成し、蛍光表示管を組み立て、管球化後の発光輝度を測定した。結果を表2に示す。なお、発光輝度はフリットガラスの配合量が18重量%のときの発光輝度を100として表した。
実施例3で用いた陽極ペーストおよび超高圧水銀灯を用いて、表3に示す陽極間スペースの条件を備えた露光マスクで、実施例3と同一の方法で陽極パターンを形成した。パターンタッチが発生しない場合をパターン形成可と評価した。結果を表3に示す。なお、比較例5は従来のスクリーン印刷法により陽極パターンを形成した例である。
また、陽極パターン断面図を図1に示す。図1(a)は本発明に係る粒状アルミニウム粉末を用いた陽極層5aの陽極パターン断面図であり、図1(b)は粒状アルミニウム粉末に代わり、従来のカーボン陽極層5bの陽極パターン断面図である。
また、図1に示すように、本発明に係る粒状アルミニウム粉末を用いた陽極層5aの陽極パターン断面に比べて、従来のカーボン陽極層5bの陽極パターン断面はパターンタッチ5cが見られる。
2 ガラス基板
3 配線層
4 絶縁層
5 陽極層
6 蛍光体層
7 陽極基板
8 グリッド
9 陰極
10 フェースガラス
11 スペーサガラス
Claims (2)
- フォトリソグラフィー法によりパターン形成される陽極層と、この形成された陽極層上に蛍光体層とを有する蛍光表示管であって、
前記陽極層は、粒状導電性金属粉末とフリットガラス粉末との焼成体であり、
前記粒状導電性金属粉末およびフリットガラス粉末の平均粒子径がそれぞれ1〜30μmであり、
前記粒状導電性金属粉末が粒状アルミニウム金属粉末であることを特徴とする蛍光表示管。 - 前記粒状アルミニウム金属粉末および前記フリットガラス粉末の合計量に対して、前記フリットガラス粉末が15〜40重量%配合されていることを特徴とする請求項1記載の蛍光表示管。
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