JP5170855B2 - 蛍光表示管 - Google Patents

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Description

本発明は蛍光表示管に関し、特に陽極間スペースが100μm以下の陽極パターンを有する蛍光表示管に関する。
電卓、オーディオ、家電製品、計測器、医療機器などの表示部に所定のパターンあるいはグラフィックを表示する表示素子や、バックライト、プリンタヘッド、ファックス用光源、複写機用光源などの各種光源、平面テレビ等に自発光型の素子として蛍光表示管が多用されている。
蛍光表示管について図2により説明する。図2は蛍光表示管の断面図である。
蛍光表示管1は、陽極基板7と、この陽極基板7上方にグリット8と陰極9とを設け、フェースガラス10およびスペーサガラス11を用いて封着して真空引きして形成される。
陽極基板7は、ガラス基板2上に配線層3を形成した後、スルーホール4aを除くほぼ全面にわたって絶縁層4を形成し、スルーホール4aを介して電気的に接続された陽極層5がパターンとして形成され、この陽極層5上に、蛍光体層6を形成したのち焼成して得られる。
陽極層5は、陽極ペーストを印刷塗布するスクリーン印刷法により陽極パターンが形成されている。
従来の陽極ペーストを用いるスクリーン印刷法では、陽極ペーストの粘度、チキソトロピック性などに起因する印刷だれやニジミを生じるため、陽極間スペースが狭くなるほど陽極間タッチが発生しやすくなる。したがって、スクリーン印刷法による場合には、形成できる陽極間スペースは略130μm程度までであり、陽極間スペース100μm以下の場合における陽極間タッチの発生を防ぐことは困難である。
スクリーン印刷法に代わるパターン形成方法として、フォトリソグラフィー技術を用いる方法がある(特許文献1)。しかしながら、スクリーン印刷法用陽極材料の導電性カーボンをそのまま使用してフォトリソグラフィー法で陽極パターンを形成しようとすると、導電性カーボン自体が光を吸収してしまうため、フォトリソグラフィー法によるパターンの形成が困難であり、陽極間スペース100μm以下の陽極パターンを有する蛍光表示管が得られないという問題がある。
特開2005−194120号公報
本発明は、このような問題に対処するためになされたものであり、フォトリソグラフィー法により形成され、陽極間スペースが100μm以下の陽極パターンを有する蛍光表示管の提供を目的とする。
本発明の蛍光表示管は、フォトリソグラフィー法によりパターン形成される陽極層と、この形成された陽極層上に蛍光体層とを有する蛍光表示管であって、上記陽極層は、粒状導電性金属粉末とフリットガラス粉末との焼成体であることを特徴とする。
また、上記粒状導電性金属粉末およびフリットガラス粉末の平均粒子径がそれぞれ1〜30μmであることを特徴とする。
また、上記粒状導電性金属粉末が粒状アルミニウム金属粉末であることを特徴とする。
また、上記粒状アルミニウム金属粉末および上記フリットガラス粉末の合計量に対して、上記フリットガラス粉末が15〜40重量%配合されていることを特徴とする。
本発明に係る蛍光表示管の陽極層は、フォトリソグラフィー法によるので、パターン形成時に印刷だれやニジミが生じ難くなる。また、粒状導電性金属粉末、特に粒状アルミニウム金属粉末と、フリットガラス粉末とを用いるので、フォトリソグラフィー時にカーボン材料のように照射光を吸収することなく高精細パターンを形成することができる。
本発明に用いることができる粒状導電性金属粉末は、純金属または導電性金属酸化物の粉末含む。
純金属としては、アルミニウム、金、銀、銅、鉄、チタン、ニッケル等の金属が挙げられる。上記金属は単独でも2種以上混合してもよい。この中でアルミニウムまたは銀等蛍光表示管の配線層に用いることができる金属の粉末が好ましく、特に高精細パターンには薄膜アルミニウム配線が用いられているため、同材料であるとの理由で、アルミニウムが好ましい。
また、導電性金属酸化物としては、酸化銀、酸化銅、酸化亜鉛、酸化錫、酸化ニッケル、酸化インジウム等が挙げられる。上記金属酸化物は単独でも2種以上混合してもよい。また、アルミニウム、銀等の純金属に混合して使用することができる。
金属粉末の形状としては粒状が好ましく、より好ましくは球状である。粒状であるとフォトリソグラフィー法を用いてパターン形成するときに高精細パターンが得られやすくなる。
金属粉末の平均粒子径は1〜30μm以下であり、好ましくは1μm〜20μm、より好ましくは1μm〜15μmである。平均粒子径が30μmをこえると、粒子径自体の大きさで高精細パターンの形成が妨げられる。1μm未満であるとフォトリソグラフィー法を用いてパターン形成するには、バインダー樹脂量を増やす必要があり、結果として陽極層としての電気伝導性が低下する。
本発明に用いることができるフリットガラス粉末は、500℃〜600℃の軟化点を有するフリットガラス粉末であれば使用できる。
フリットガラス粉末は、平均粒子径として1〜30μmであることが好ましい。平均粒子径が30μmをこえると、粒子径自体の大きさで高精細パターンの形成が困難となる。また1μm未満では、バインダー樹脂量を増やす必要があり、金属粉末との焼成後、陽極層としての電気伝導性が低下する。
粒状導電性金属粉末とフリットガラス粉末との配合割合は、金属粉末とガラス粉末との合計量に対して、フリットガラス粉末が15〜60重量%、好ましくは15〜50重量%、より好ましくは15〜40重量%である。フリットガラス粉末が10重量%未満であると、焼成後の付着強度が不十分となり、金属粉末が脱落する。また、60重量%をこえると電気導電性が低下し、陽極パターン上に形成される蛍光体の発光輝度が低下する。
フォトリソグラフィー法により陽極層を形成するために用いられる陽極ペーストは、粒状導電性金属粉末とフリットガラス粉末とを感光性ビヒクルに加えて、ロールミル、ボールミルなど公知の方法を用いて混練することにより得られる。
感光性ビヒクルは紫外線、電子線、可視光線などの光を照射されることにより、溶媒に対する溶解性が変化する樹脂である。光照射部分が溶解性となるポジ型、光照射部分が架橋して非溶解性となるネガ型のビヒクルのいずれも使用できる。
蛍光表示管の陽極基板に形成される陽極層は、配線層および絶縁層が形成された基板上にほぼ全面にわたって上記陽極ペーストを用いて厚膜を形成し、この厚膜をマスクパターンを介して露光・現像することによりパターニングした後、さらに500〜600℃で焼成することによりバインダー樹脂が揮散して陽極層が形成される。500℃未満であると、アルミニウム配線層と導電性粒子との相互作用が十分に行なわれず、また600℃をこえると相互作用が過剰となり、アルミニウム金属層が破断するおそれがある。
なお、陽極基板の製造工程におけるアルミニウム配線層形成工程、絶縁層形成工程、蛍光体層形成工程等は、周知の工程を採用できる。
実施例1〜実施例3、比較例1および比較例2
感光性ビヒクルに、表1に示す粒子形状および平均粒子径の異なるアルミニウム金属粉末、フリットガラス粉末(平均粒子径 5μm、ノリタケ機材(株)製)を配合し、混練して陽極ペーストを得た。なお、鱗片状アルミニウム金属粉末は(株)レアメタリックのものを、粒状アルミニウム金属粉末は(株)高純度化学研究所のものをそれぞれ用いた。また、フリットガラス粉末の配合量は、フリットガラス粉末とアルミニウム金属粉末との合計量に対して、27重量%である。
得られた陽極ペーストをガラス基板の全面に、スクリーン印刷法により形成した。
次いで、陽極間スペース100μmの陽極パターンを備えた露光マスクを介して、露光した後、現像してパターンを形成した。なお、各比較例はパターン形成ができなかった。
パターンが形成されたガラス基板を590℃で焼成して陽極パターンを得た。この陽極パターンの電気抵抗値および膜厚さを測定した。結果を表1に示す。
Figure 0005170855
表1に示すように、アルミニウム金属粉末が粒状で、平均粒子径が30μm以下の場合に陽極パターンが形成できた。
なお、アルミニウム等の平均粒径については、測定装置としてレーザー回析/散乱式粒度分布測定装置を使用した。以後の実施例についても同一装置により測定した。
実施例4〜実施例8、比較例3および比較例4
実施例3で用いた粒状アルミニウム金属粉末およびフリットガラス粉末を用いて、このフリットガラス粉末の配合量を変化させて、実施例3と同一の方法で陽極パターンを形成し、この陽極パターン上にZnO:Zn蛍光体を印刷後焼成することにより形成し、蛍光表示管を組み立て、管球化後の発光輝度を測定した。結果を表2に示す。なお、発光輝度はフリットガラスの配合量が18重量%のときの発光輝度を100として表した。
Figure 0005170855
表2に示すように、フリットガラスの配合量を39重量%とした場合であっても発光輝度への影響は殆どなかった。
実施例9〜実施例12、比較例5
実施例3で用いた陽極ペーストおよび超高圧水銀灯を用いて、表3に示す陽極間スペースの条件を備えた露光マスクで、実施例3と同一の方法で陽極パターンを形成した。パターンタッチが発生しない場合をパターン形成可と評価した。結果を表3に示す。なお、比較例5は従来のスクリーン印刷法により陽極パターンを形成した例である。
また、陽極パターン断面図を図1に示す。図1(a)は本発明に係る粒状アルミニウム粉末を用いた陽極層5aの陽極パターン断面図であり、図1(b)は粒状アルミニウム粉末に代わり、従来のカーボン陽極層5bの陽極パターン断面図である。
Figure 0005170855
表3に示すように、印刷法では形成困難な陽極間スペース100μm以下の陽極パターンが各実施例では容易に形成できた。
また、図1に示すように、本発明に係る粒状アルミニウム粉末を用いた陽極層5aの陽極パターン断面に比べて、従来のカーボン陽極層5bの陽極パターン断面はパターンタッチ5cが見られる。
本発明の蛍光表示管は、陽極層がフォトリソグラフィー法によるので、パターン形成時に印刷だれやニジミが生じ難くなり、高精細パターンを形成することができるので、今後より表示品位の向上が求められる蛍光表示管として利用できる。
陽極パターン断面図である。 蛍光表示管の断面図である。
符号の説明
1 蛍光表示管
2 ガラス基板
3 配線層
4 絶縁層
5 陽極層
6 蛍光体層
7 陽極基板
8 グリッド
9 陰極
10 フェースガラス
11 スペーサガラス

Claims (2)

  1. フォトリソグラフィー法によりパターン形成される陽極層と、この形成された陽極層上に蛍光体層とを有する蛍光表示管であって、
    前記陽極層は、粒状導電性金属粉末とフリットガラス粉末との焼成体であり、
    前記粒状導電性金属粉末およびフリットガラス粉末の平均粒子径がそれぞれ1〜30μmであり、
    前記粒状導電性金属粉末が粒状アルミニウム金属粉末であることを特徴とする蛍光表示管。
  2. 前記粒状アルミニウム金属粉末および前記フリットガラス粉末の合計量に対して、前記フリットガラス粉末が15〜40重量%配合されていることを特徴とする請求項1記載の蛍光表示管。
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