JP5164356B2 - 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 - Google Patents
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1.003≦m≦1.030
0.5≦a≦30
0.1≦b≦31
0.5≦c≦15
0.08≦d≦0.38
の関係を満足するとともに、前記チタン酸バリウムを主成分とする結晶粒子により構成されており、前記結晶粒子は、該結晶粒子内でZr濃度が最高になる位置が、前記結晶粒子の表面から、その結晶粒子の半径の10%以内であり、前記Zr濃度が最高の場所から前記結晶粒子の中心に向けて減少する濃度勾配を有する誘電体セラミックスにより構成されていることを特徴とするものである。
1.003≦m≦1.030
0.5≦a≦30
0.1≦b≦31
0.5≦c≦15
0.08≦d≦0.38
の関係を満足する誘電体グリーンシートを調製する工程と、前記誘電体グリーンシートの表面に卑金属粉末を含む内部電極パターンを形成する工程と、前記内部電極パターンを形成した前記誘電体グリーンシートを複数積層して、対向する端面に積層方向に内部電極パターンが交互に露出したコンデンサ本体成形体を作製する工程と、前記コンデンサ本体成形体を焼成してセラミック積層体を作製する工程と、該セラミック積層体の両端面に外部電極を形成する工程と、を具備することを特徴とする。
できる。
よび酸化ジルコニウムとしてZrO2 を、それぞれ金属塩またはアルカリ塩としてチタン酸バリウム粉末の懸濁液に滴下して、チタン酸バリウム粉末の表面に沈着させることにより行った。
以上であり、抵抗変化率が100時間後においても小さい(54%以下)積層セラミックコンデンサが得られた。
2・・・誘電体セラミック層
3・・・セラミック積層体
4・・・内部電極
5・・・外部電極
6、7・・・めっき層
Claims (5)
- 複数の誘電体セラミック層と、該誘電体セラミック層間に形成された卑金属を主成分とする内部電極と、該内部電極に電気的に接続された外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサにおいて、前記誘電体セラミック層が、チタン酸バリウムと、Y、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、TmおよびYbのうちの少なくとも1種の希土類元素の酸化物と、酸化カルシウムと、酸化珪素と、酸化ジルコニウムとを有し、酸化マグネシウムを含まない誘電体セラミックスであって、前記チタン酸バリウム、前記希土類元素の酸化物、前記酸化カルシウム、前記酸化珪素および前記酸化ジルコニウムをそれぞれBamTiO3、RO3/2(ただし、Rは希土類元素)、CaO、SiO2およびZrO2と表したとき、BamTiO3100モルに対して、RO3/2をaモル、CaOをbモル、SiO2をcモルおよびZrO2をdモル含み、m、a、b、cおよびdがそれぞれ、1.003≦m≦1.030
0.5≦a≦30
0.1≦b≦31
0.5≦c≦15
0.08≦d≦0.38
の関係を満足するとともに、前記チタン酸バリウムを主成分とする結晶粒子により構成されており、前記結晶粒子は、該結晶粒子内でZr濃度が最高になる位置が、前記結晶粒子の表面から、その結晶粒子の半径の10%以内であり、前記Zr濃度が最高の場所から前記結晶粒子の中心に向けて減少する濃度勾配を有する誘電体セラミックスにより構成されていることを特徴とする積層セラミックコンデンサ。 - 前記誘電体セラミックスが、さらに、B元素およびSi元素のうち少なくとも1種類を主成分として含有する酸化物を、前記BamTiO3100質量部に対して2質量部以上15質量部以下含有することを特徴とする請求項1記載の積層セラミックコンデンサ。
- 前記誘電体セラミックスが、さらに、Mn元素を含む化合物を、MnOに換算して、前記BamTiO3100モルに対して0.1以上5.0モル以下含有することを特徴とする請求項1または2記載の積層セラミックコンデンサ。
- 前記誘電体セラミックスが、さらに、BaZrO3またはCaZrO3を、前記BamTiO3100モルに対して0.1〜0.2モル含有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。
- チタン酸バリウム粉末の表面に、Y、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、TmおよびYbのうちの少なくとも1種の希土類元素の酸化物粉末と、酸化カルシウム粉末と、酸化ジルコニウムとを被覆し、酸化珪素粉末を添加してなり、酸化マグネシウムを含まない組成が、BamTiO3、RO3/2(ただし、Rは希土類元素)、CaO、SiO2およびZrO2と表したとき、BamTiO3100モルに対して、RO3/2をaモル、CaOをbモル、SiO2をcモルおよびZrO2をdモル含み、m、a、b、cおよびdがそれぞれ、
1.003≦m≦1.030
0.5≦a≦30
0.1≦b≦31
0.5≦c≦15
0.08≦d≦0.38
の関係を満足する誘電体グリーンシートを調製する工程と、前記誘電体グリーンシートの表面に卑金属粉末を含む内部電極パターンを形成する工程と、前記内部電極パターンを形成した前記誘電体グリーンシートを複数積層して、対向する端面に積層方向に内部電極パターンが交互に露出したコンデンサ本体成形体を作製する工程と、前記コンデンサ本体成形体を焼成してセラミック積層体を作製する工程と、該セラミック積層体の両端面に外部電極を形成する工程と、を具備することを特徴とする積層セラミックコンデンサの製法。
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