JP5162861B2 - フッ素を含有した光硬化性重合体組成物 - Google Patents
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Description
また本発明の課題は、該組成物を用いて透明膜、絶縁膜および保護膜を提供すること、およびそれらの膜からなるスペーサーを含む表示素子を提供することである。
合開始剤(D)を含有することを特徴とする、[1]に記載の光硬化性重合体組成物。
本発明の光硬化性重合体組成物に含まれるフッ素を含む重合体(A)は、フッ素を有するラジカル重合性モノマー(a1)の重合体であればよいが、フッ素を有するラジカル重合性モノマー(a1)とフッ素を有しないラジカル重合性モノマー(a2)との共重合体であることが好ましい。
]で表される、フルオロシルセスキオキサンの残基であってもよい。シルセスキオキサンとは、一般的に(R’−SiO1.5)nで表される構造を有する化合物である(R’は任意の置換基である)。
−[(R-SiO1.5)(Rf-SiO1.5)n-1]におけるRは、単結合または炭素数1〜20(好ましくは炭素数1〜10)のアルキレンであり、アルキレンにおける任意のメチレンが酸素に置き換わっていてもよく、また、任意の水素がフッ素に置き換わっていてもよい。
Rfは、それぞれ異なっていてもよく、すべて同一であってもよい。
官能基Yの2)フルオロアリールの例、またはシルセスキオキサンの置換基Rfのb)フルオロアリールの例には、ペンタフルオロフェニルおよびα,α,α-トリフルオロトリルが含まれる。
官能基Yの3)フルオロアリールアルキルの例、またはシルセスキオキサン上の置換基Rのc)フルオロアリールアルキルの例には、ペンタフルオロフェニルプロピルが含まれる。
より好ましくは、Rf 1〜Rf 7は、2,2,2-トリフルオロエチル、3,3,3-トリフルオロプロピル、2,2,3,3-テトラフルオロプロピル、または3,3,4,4,5,5,6,6,6-ノナフルオロヘキシルから選ばれる同一の基である。
さらに好ましくは、Rf 1〜Rf 7は、3,3,3-トリフルオロプロピルあるいは3,3,4,4,5,5,6,6,6-ノナフルオロヘキシルから選ばれる同一の基である。
ラジカル重合性モノマー(a2)に含まれるラジカル重合性官能基の例は、ラジカル重合性モノマー(a1)に含まれるラジカル重合性官能基Xと同様である。したがって、ラジカル重合性モノマー(a2)は、(メタ)アクリル酸誘導体またはスチレン誘導体であることが好ましい。「(メタ)アクリル」とは、アクリルとメタクリルの総称である。
したがって、架橋性官能基を含むラジカル重合性モノマー(a2)の好ましい例には、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートなどのヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート;グリシジル(メタ)アクリレート;3-エチル-3-(メタ)アクリロイルオキシメチルオキセタン;2-(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート;γ-(メタクリロイルオキシプロピル)トリメトキシシラン;(メタ)アクリレート-2-アミノエチルなどの(メタ)アクリル酸誘導体:およびグリシジルビニルベンジルエーテルなどのスチレン誘導体:などが含まれる。
また、モノマー(a1)由来の構造単位(以下、構造単位(a1))と、モノマー(a2)由来の構造単位(以下、構造単位(a2))の重量比率は、(a1):(a2)=2:98〜30:70であることが好ましい。
付加重合において用いられる重合開始剤の量は、特に制限されないが、単量体の総重量に対して0.1〜10重量%とすればよい。
ベンゼン、ジエチルケトン、クロロホルム、エチルベンゼン、塩化ブチル、sec−ブチルアルコール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、塩化プロピレン、メチルクロロホルム、t−ブチルベンゼン、n−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、酢酸、酢酸エチル、アセトン、ジオキサン、四塩化エタン、クロロベンゼン、メチルシクロヘキサン、t−ブチルアルコール、ベンゼンなどが含まれる。
連鎖移動剤は、好ましくはメルカプタン類である。特にメルカプト酢酸は、重合体の分子量を下げて、分子量分布を均一にさせ得る。連鎖移動剤は単独でも、または2種以上を混合しても使用することができる。
溶液重合法による場合には、適切な溶剤中に、単量体(a)、ならびに必要に応じて単量体(b)、重合開始剤、および連鎖移動剤を溶解して、加熱または光を照射して付加重合反応させればよい。
用いられる溶媒の量は、単量体濃度を10〜50重量%とする量であればよい。
反応温度は特に制限されず、目安として0〜200℃であればよく、室温〜150℃が好ましい。重合反応は、単量体の種類や、溶剤の種類に応じて、減圧、常圧または加圧下で行うことができる。
前述の通り本発明の光硬化性重合体組成物は、フッ素を含まない重合体(B)を含む。重合体(B)は、フッ素を含まない重合体である限り特に限定されないが、好ましくはカルボキシルを有するラジカル重合性モノマー(b1)と、他のラジカル重合性モノマー(
b2)との共重合体であることが好ましい。
カルボキシルを有するラジカル重合性モノマー(b1)を用いることにより、重合体(B)にカルボキシルを導入することができ;カルボキシルを導入された重合体(B)を含む本発明の光硬化性重合体組成物は、ネガレジスト材料として用いられたときに、アルカリ現像の現像性が高められ得る。
モノマー(b2)をこれらの化合物とすることにより得られる重合体(B)を含む光硬化性重合体組成物を用いて、現像性、基板との密着性、および耐熱性に優れる膜を形成することができる。
また、重合体(B)に含まれるモノマー(b1)由来の構造単位(以下、構造単位(b1))と、モノマー(b2)由来の構造単位(以下、構造単位(b2))との重量比率は、(b1):(b2)=10:90〜30:70であることが好ましい。
前述の通り、本発明の光硬化性重合体組成物は、重合性二重結合を有する化合物(C)を含むことが好ましい。重合性二重結合とは、付加重合性を有する炭素と炭素の二重結合を意味する。重合性二重結合の例には、(メタ)アクリル、スチリルが含まれるが、好ましくは(メタ)アクリルである。重合性二重結合を有する化合物(C)は、1種単独の化合物で構成されてもよく、2種以上の化合物で構成されてもよい。
本発明の重合性二重結合を有する化合物(C)は、1つ以上の重合性二重結合を有している化合物からなるが、好ましくは化合物(C)の少なくとも一部が2つ以上の二重結合を有している化合物であることが好ましい。本発明の光硬化性重合体組成物の硬化性を高めるためである。
ジ(メタ)アクリレート、メトキシ化シクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ステアリン酸変性ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、ビス[(メタ)アクリロキシネオペンチルグリコール]アジペート、ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド変性ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールSジ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド変性ビスフェノールSジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジアクリレート、エチレンオキシド変性リン酸ジ(メタ)アクリレート、カプロラクトン,エチレンオキシド変性リン酸ジ(メタ)アクリレート、エピクロルヒドリン変性フタル酸ジ(メタ)アクリレート、テトラブロモビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、トリグルセロールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレートなどが含まれる。
合物を含むことが好ましい。これらの化合物は、硬化速度を速くする効果があるからである。
本発明の光硬化性重合体組成物に含まれる重合性二重結合を有する化合物(C)は、パターンサイズにも大きく影響する。なかでも、重合性二重結合を有する化合物(C)の20重量%以上を、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレートとすることにより、パターンサイズがマスク寸法に近くなる。
前述の通り、本発明の光硬化性重合体組成物は、光重合開始剤(D)を含むことが好ましい。光重合開始剤(D)は、紫外線や可視光線の照射によりラジカルを発生する化合物であれば特に限定されない。光重合開始剤(D)の例には、ベンゾフェノン類;アルキルフェニルケトン類;キサントン類;ベンゾインアルキルエーテル類;トリアジン類;ビイミダゾール類;その他が含まれる。
アルキルフェニルケトン類の例には、アセトフェノン、2-ヒドロキシ-2-メチルプロピオフェノン、2-ヒドロキシ-2-メチル-4’-イソプロピルプロピオフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2-ジエトキシアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどが含まれる。
キサントン類の例には、キサントン、チオキサントン、イソプロピルキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-エチルアントラキノンなどが含まれる。
ベンゾインアルキルエーテル類の例には、イソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテルなどが含まれる。
ビイミダゾール類の例には、2-(o-クロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾール、2,2’-ビス(2-クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’-ビス(2,4-ジブロモフェニル)-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾール、2,2’-ビス(2,4,6-トリクロロフェニル)-4,4’,5,5’-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾールが含まれる。
本発明の光硬化性重合体組成物に含まれる光重合開始剤(D)は、これらの化合物の単独であってもよく、2つ以上の組み合わせであってもよい。
(t-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,4'-ジ(メトキシカルボニル)-4,3'-ジ(t-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、4,4'-ジ(メトキシカルボニル)-3,3'-ジ(t-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノンなどである。これらの化合物は単独で使用してもよく、2つ以上を混合して使用することも有効である。
上記化合物の合成方法は、特開2000−159827に記載されている。この合成方法にしたがい、上記3種類の化合物の混合物が得られる。このようにして得られた3種類の化合物の混合物は、後述の実施例において使用されており、BT2と称される。
前述の通り本発明の光硬化性重合体組成物は、任意の添加剤を含有していてもよい。適切な添加剤を添加することにより、本発明の光硬化性重合体組成物の解像度、塗布均一性、現像性、または接着性が向上され得る。
添加剤の例には、アクリル系、スチレン系、ポリエチレンイミン系もしくはウレタン系の高分子分散剤;アニオン系、カチオン系、ノニオン系もしくはフッ素系の界面活性剤;シリコン系樹脂等の塗布性向上剤;シランカップリング剤等の密着性向上剤;アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤;エポキ
シ化合物、メラミン化合物もしくはビスアジド化合物等の熱架橋剤;有機カルボン酸等のアルカリ溶解性促進剤などが含まれる。
本発明の光硬化性重合体組成物は溶媒を含み、かつ各成分が溶媒中に溶解していることが好ましい。溶媒の20重量%以上は、100℃〜200℃の沸点を有する化合物であることが好ましい。溶媒に含まれる、100℃〜200℃の沸点を有する化合物は、一種類であっても、二種以上の組み合わせでもよい。
チル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチルなどの脂肪族エステル;ジオキサンなどの環状エーテル;シクロヘキサノン、シクロペンタノンなどのケトン;トルエン、キシレンなどの芳香族;γ−ブチロラクトンなどの環状エステル;N,N-ジメチルアセトアミドなどが含まれる。
グリコール誘導体の例には、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、などのグリコールモノエーテル;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、などのグリコールモノエーテルアセテート;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテルなどのジエチレングリコールジアルキルエーテル;などが含まれる。
また、本発明の光硬化性重合体組成物を、スリットコーター(大型基板へ塗布するために好ましく使用される)で基板などに塗布する場合には、その塗布均一性を高めるという点で、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとジエチレングリコールメチルエチルエーテルの混合溶媒;3−メトキシプロピオン酸メチルとジエチレングリコールメチルエチルエーテルの混合溶媒;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと3−メトキシプロピオン酸メチルとジエチレングリコールメチルエチルエーテルの混合溶媒を用いることが好ましい。
前述の通り、本発明の光硬化性重合体組成物は、フッ素を含む重合体(A)とフッ素を含まない重合体(B)を含むが、(A)と(B)の含有比率は、フッ素を含まない重合体(B)100重量部に対して、フッ素を含む重合体(A)が1〜200重量部であることが好ましく、5〜50重量部であることがより好ましく、10〜30重量部であることがさらに好ましい。本発明の光硬化性重合体組成物を用いて形成される膜に、撥水性および撥油性などの好ましい特性を付与するためには、ある程度以上のフッ素を含む重合体(A)の含有率が必要であるが、一方、溶媒への溶解性を得るためには、重合体(A)の含有率を上記範囲とすることが好ましい。
本発明の光硬化性重合体組成物は、種々の用途に適用され得るが、好ましくはネガレジスト材料として用いられることが好ましい。
ネガレジスト材料とは、基板上に塗布されるフォトレジスト材料の一種である。フォトレジスト材料を基板上に塗布し;形成された塗布膜を必要に応じて乾燥し;パターン形状のマスクを介して露光することにより、被露光部を硬化させ;露光されない部分を、現像液で溶解除去することにより、パターンに応じた膜を形成することができる。
本発明の光硬化性重合体組成物をレジスト材料として用いて形成される膜は、好ましくは透明膜であり、絶縁膜、保護膜としても用いられる。また当該膜を、液晶表示素子におけるフォトスペーサーとして用いることもできる。
この撥水性および撥油性は、フッ素を含む重合体(A)に由来するものであると推察され、膜の表面にフッ素が局在することにより奏されるものと推察される。
ンレス板などの金属基板;その他セラミック板、光電変換素子を有する半導体基板などが含まれる。
これらの基板には、所望により、前処理を施されていてもよい。前処理の例には、シランカップリング剤などの薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着などの前処理が含まれる。
本発明の光硬化性重合体組成物の塗布膜の乾燥は、例えば、通常60〜120℃のホットプレートまたはオーブンで、1〜5分間乾燥することにより行われる。
さらに現像液には、現像残渣の低減やパターン形状の適性化を目的として、界面活性剤が含まれていてもよい。界面活性剤はアニオン系、カチオン系、ノニオン系から選択して使用することができる。特にノニオン系のポリオキシエチレンアルキルエーテルを添加すると、パターン形状が良好になるので好ましい。
現像方法は特に限定されず、ディップ現像、パドル現像、シャワー現像のいずれも用いることができる。
現像により得られた膜は、さらにポストベークされてもよい。
本発明の第3の態様は、本発明の膜からなるフォトスペーサーを含む表示素子に関する。本発明の膜は、透明膜であって、かつ絶縁性を有し、硬度が高いので保護膜としての機能を有する。したがって、本発明の膜は、小さなパターンを形成した場合でも圧力による変形が小さく、表示素子におけるフォトスペーサーとして好ましい。表示素子におけるスペーサーの形状は、真上から見た場合、正方形、長方形、円形、楕円形であることが好ましい。
以下、実施例などにより本発明をさらに詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらによって限定されない。
還流装置を組み、130gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(以後“PGMEA”と略す)を仕込み、さらに以下の試薬を加えて4時間還流した。
室温まで冷却後に、サンプリングした溶液(A−1)を、220℃で30分乾燥して減量を測定して、固形分濃度を求めた。溶液(A−1)の固形分濃度は37.5重量%であった。また得られた重合体の、GPC分析により求めた重量平均分子量Mwは6000であった。
還流装置を組み、150gのPGMEAを仕込み、さらに以下の試薬を加えて4時間還流した。
(A−2)を得た。
サンプル溶液(A−2)の固形分濃度を、仕込み量から計算したところ、33.3重量%であった。また得られた重合体の、GPC分析により求めた重量平均分子量Mwは4400であった。
還流装置を組み、以下の試薬を加えて4時間還流した。
室温まで冷却した後、サンプル溶液(A−3)の一部をサンプリングし、220℃で30分間乾燥して減量を測定して固形分濃度を求めた。サンプル溶液(A−3)の固形分濃度は37.9重量%であった。また、得られた重合体の、GPC分析により求めた重量平均分子量は5700であった。
攪拌機付4つ口フラスコにPGMEAを140g仕込み、窒素をバブリングしながら80℃に加熱した。
以下の表に示される混合物を均一に溶解して得られた滴下液を、3時間かけて、80℃のPGMEA中に滴下した。滴下終了後、PGMEAを20g加えた後、80℃で2時間攪拌を続け、さらに100℃に昇温して1時間攪拌し、反応を終了した。得られた溶液をサンプル溶液(B−1)とした。
また得られた重合体のGPC分析により求めた重量平均分子量は3000であった。
攪拌機付4つ口フラスコにPGMEAを120g仕込み、窒素をバブリングしながら80℃に加熱した。
以下の表に示される混合物を均一に溶解して得られた滴下液を、3時間かけて、80℃のPGMEA中に滴下した。滴下終了後、PGMEAを20g加えた後、80℃で2時間攪拌を続け、さらに100℃に昇温して1時間攪拌し、反応を終了した。得られた溶液をサンプル溶液(B−2)とした。
下記の表に示す処方で、サンプル溶液(A−1)、サンプル溶液(B−1)、重合性二重結合を有する化合物(C)であるペンタエリスリトールテトラアクリレート(東亜合成株式会社製アロニックス(商標)M450、以下M450と略す)、およびペンタエリスリトールヘキサアクリレート(東亜合成株式会社製アロニックス(商標)M402、以下M402と略す)、光重合開始剤(D)であるBT2(28重量%のアニソール溶液:チッソ株式会社製)、重合禁止剤である4-メトキシフェノール(以下MQと略す)、フッ素系界面活性剤である、ネオス株式会社製フタージェント(商標)DFX-18(以下DFX-18と略す)、増感剤である、保土谷化学工業株式会社製EAB-F(以下EAB-Fと略す)、ならびに、溶媒としてPGMEA、およびジエチレングリコールメチルエチルエーテル(以後EDMと略す)を、混合溶解させて光硬化性重合体組成物を得た。
露光後のガラス基板を、0.04%重量水酸化カリウム水溶液で90秒間ディップ現像し、非露光部を除去した。現像後の基板を純水で20秒間洗ってから乾燥した。
社製)を使用して測定した3箇所の膜厚の平均値とした。
下記表に示すように、サンプル溶液(A−1)に代えて、サンプル溶液(A−2)を使用した以外は、実施例1と同様にして光硬化性重合体組成物を得た。
下記表に示すように、サンプル溶液(A−1)に代えて、サンプル溶液(A−3)を使用した以外は、実施例1と同様にして、光硬化性重合体組成物を得た。
を5μmにしたこと以外は、実施例1と同様にしてサンプル基板を得た。現像後の残膜率は91%であった。得られたサンプル基板について、実施例1と同様の評価を行った。結果を表10に示す。
下記表に示すように、サンプル溶液(A−1)に代えて、サンプル溶液(B−2)を使用した以外は、実施例1と同様にして光硬化性重合体組成物を得た。
Claims (24)
- フッ素を含む重合体(A)、およびフッ素を含まない重合体(B)を含有することを特徴とする、光硬化性重合体組成物であって、
フッ素を含む重合体(A)が、一般式X−Y(X:ラジカル重合性官能基、Y:フッ素含有官能基)で示される、フッ素を有するラジカル重合性モノマー(a1)と、他のラジカル重合性モノマー(a2)の共重合体であり、ここで、フッ素含有官能基Yが、−[(R-SiO1.5)(Rf-SiO1.5)n-1]で表され、
Rfは、任意のメチレンが酸素で置換されていてもよい、炭素数1〜20の、直鎖状もしくは分岐鎖状のフルオロアルキル;1つ以上の水素がフッ素もしくは−CF3で置換された、炭素数6〜20のフルオロアリール;アリール中の1つ以上の水素がフッ素もしくは−CF3で置換された、炭素数7〜20のフルオロアリールアルキル;任意のメチレンが酸素で置換されていてもよい、炭素数1〜20の、直鎖状または分岐鎖状のフッ素を含まないアルキル;炭素数6〜20のフッ素を含まないアリール;または炭素数7〜20のフッ素を含まないアリールアルキルであり、かつRfの1つ以上はフルオロアルキル、フルオロアリールまたはフルオロアリールアルキルであり、
Rは、単結合、または任意のメチレンが酸素に置換されていてもよい、炭素数1〜20のアルキレンであり、
nは、4〜24の整数であり、
フッ素を含まない重合体(B)が、カルボキシルを有するラジカル重合性モノマー(b1)と、他のラジカル重合性モノマー(b2)との共重合体である、
光硬化性重合体組成物。 - フッ素含有官能基Yが下記式(I)で表される、請求項1に記載の光硬化性重合体組成物。
Rf 1〜Rf 7はそれぞれ独立して、
任意のメチレンが酸素で置換されていてもよい、炭素数1〜20の、直鎖状もしくは分岐鎖状のフルオロアルキル;
1つ以上の水素がフッ素もしくは−CF3で置換された、炭素数6〜20のフルオロアリール;
アリール中の1つ以上の水素がフッ素もしくは−CF3で置換された、炭素数7〜20のフルオロアリールアルキル;
任意のメチレンが酸素で置換されていてもよい、炭素数1〜20の、直鎖状または分岐鎖状のフッ素を含まないアルキル;
炭素数6〜20のフッ素を含まないアリール;または
炭素数7〜20のフッ素を含まないアリールアルキルを示し、
Rf 1〜Rf 7の少なくとも1つは、フルオロアルキル、フルオロアリールまたはフルオロアリールアルキルであり、
R2は、単結合、または任意のメチレンが酸素に置換されていてもよい、炭素数1〜20のアルキレンを示す。) - Rf 1〜Rf 7はそれぞれ独立して、フルオロアルキルから選択される、請求項2に記載の光硬化性重合体組成物。
- Rf 1〜Rf 7がそれぞれ独立して、2,2,2-トリフルオロエチル、3,3,3-トリフルオロプロピル、2,2,3,3-テトラフルオロプロピル、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロピル、3,3,4,4,4-ペンタフルオロブチル、または3,3,4,4,5,5,6,6,6-ノナフルオロヘキシルである、請求項3に記載の光硬化性重合体組成物。
- Rf 1〜Rf 7がそれぞれ独立して、2,2,2-トリフルオロエチル、3,3,3-トリフルオロプロピル、または3,3,4,4,5,5,6,6,6-ノナフルオロヘキシルである、請求項4に記載の光硬化性重合体組成物。
- R2がエチレン、プロピレン、またはブチレンである、請求項2〜5のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物。
- R2がプロピレンである、請求項6に記載の光硬化性重合体組成物。
- ラジカル重合性モノマー(a2)が架橋性官能基を有する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物。
- 架橋性官能基が、エポキシおよび/またはオキセタニルである、請求項8に記載の光硬化
性重合体組成物。 - カルボキシルを有するラジカル重合性モノマー(b1)が(メタ)アクリル酸である、請求項1〜9のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物。
- カルボキシルを有するラジカル重合性モノマー(b1)がメタクリル酸であって、かつ
他のラジカル重合性モノマー(b2)が、ベンジル(メタ)アクリレート、N-フェニルマレイミド、(メタ)アクリル酸-2-ヒドロキシエチル、スチレン、グリシジル(メタ)アクリレート、3-エチル-3-オキセタニルメチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、または以下の式(II)で表されるラジカル重合性モノマーの少なくとも一つを含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物。
- ラジカル重合性官能基Xが、CH2=C(CH3)−COO−、またはCH2=CH−COO−である、請求項1〜11のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物。
- さらに、重合性二重結合を含む化合物(C)、および光重合開始剤(D)を含有することを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物。
- 重合性二重結合を有する化合物(C)の50重量%以上が、2以上の重合性二重結合を有する化合物である、請求項13に記載の光硬化性重合体組成物。
- 重合性二重結合を有する化合物(C)の50重量%以上が、4以上の重合性二重結合を有する化合物である、請求項13に記載の光硬化性重合体組成物。
- 光重合開始剤(D)が、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルホリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリフェニル)-ブタノン-1,3,3,4,4-テトラ-(t-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3′-ジ(メトキシカルボニル)-4,4′-ジ(t-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,4′-ジ(メトキシカルボニル)-4,3′-ジ(t-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、および4,4′-ジ(メトキシカルボニル)-3,3′-ジ(t-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノンから選ばれる少なくとも一つを含有する、請求項13〜15のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物。
- 光重合開始剤(D)が、3,3′-ジ(メトキシカルボニル)-4,4′-ジ(t-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,4′-ジ(メトキシカルボニル)-4,3′-ジ(t-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、および4,4′-ジ(メトキシカルボニル)-3,3′-ジ(t-ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノンから選ばれる少なくとも一つを含有する、請求項13〜15のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物。
- フッ素を含まない重合体(B)100重量部に対して、1〜200重量部のフッ素を含む重合体(A)が含有されている、請求項1〜17のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物。
- フッ素を含まない重合体(B)100重量部に対して、5〜50重量部のフッ素を含む重合体(A)が含有されている、請求項1〜17のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物。
- フッ素を含まない重合体(B)100重量部に対して、10〜30重量部のフッ素を含む重合体(A)が含有されている、請求項1〜17のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物。
- 請求項1〜20のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物を用いて得られる透明膜。
- 請求項1〜20のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物を用いて得られる絶縁膜。
- 請求項1〜20のいずれか一項に記載の光硬化性重合体組成物を用いて得られる保護膜。
- 請求項21〜23のいずれか一項に記載の膜からなるフォトスペーサーを含む、表示素子。
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