JP5151735B2 - 指針盤用発光パネルの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、指針盤用発光パネルの製造方法に関する。
針式腕時計、針式壁掛け時計、針式置き時計、針式計測器等において、針の位置によって時刻や計測値などが表される。針の背面側には指針盤が設けられており、指針盤には目盛り等が設けられている。その指針盤の裏面に指針駆動部が取り付けられており、指針盤の中央側に形成された貫通孔に指針駆動部の駆動軸が通されて、指針盤の表面側において駆動軸に針が取り付けられている。
また、各種の表示機能付きの指針盤も用いられている。例えば、指針盤の前面側に液晶パネルが設けられ、その液晶パネルで各種データ等の表示が行われるものがある。
特開平１１−２０２０５９号公報
ところで、液晶パネルだけでなく、有機ＥＬ（Electro Luminescence）素子を利用したＥＬパネルも指針盤に利用したいという要望がある。ところが、ＥＬパネルの有機ＥＬ素子に外気が接触することで劣化しやすくなるという問題があるため、そのような有機ＥＬ素子の劣化を防止するべく、有機ＥＬ素子を封止する必要がある。その封止の方法としては、基板に形成された有機ＥＬ素子アレイの周辺部に枠状のシールを形成し、そのシールの上からカバーを被せて、基板とカバーの間を密封するという方法がある。
しかしながら、ＥＬパネルを指針盤に用いる場合、針の駆動軸を通すための貫通孔をＥＬパネルの中央側に形成する必要がある。そして、そのＥＬパネルに穿孔を施した際に、その孔の内壁面に有機ＥＬ素子の断面が露出してしまうことがあり、そのシール性が低下してしまうことがある。
そこで、本発明の課題は、シール性に優れた指針盤用発光パネルの製造方法を提供することである。
以上の課題を解決するため、本発明の一の態様は、指針盤用発光パネルの製造方法であって、
基板の一方の面側における、周囲端部の第一領域と、指針駆動軸が配される第二領域とを除く範囲に、第一電極が形成され、前記第一電極を被覆して有機層が形成された指針盤用発光パネルの製造方法において、
枠状の周縁部と、前記周縁部の内側において前記周縁部から離れた位置にある島部と、前記周縁部と前記島部とを連結した連結部と、を有したマスクの前記島部を、前記基板の前記一方の面側における第二領域に重ねるとともに、前記マスクの前記周縁部を、前記基板の前記一方の面側における第一領域に重ねて、前記有機層上に第二電極を成膜し、
前記マスクを外した後に、前記第二電極をエッチングマスクとして利用し、前記第一領域と前記第二領域に形成された前記有機層を除去し、
前記基板の前記第二領域にセンターシールを形成し、前記基板の前記第一領域に枠状シールを形成し、
前記センターシールの上から前記基板にカバーを被せて、前記センターシールと重なる部分において前記基板及び前記カバーに穿孔を施すことを特徴としている。
基板の一方の面側における、周囲端部の第一領域と、指針駆動軸が配される第二領域とを除く範囲に、第一電極が形成され、前記第一電極を被覆して有機層が形成された指針盤用発光パネルの製造方法において、
枠状の周縁部と、前記周縁部の内側において前記周縁部から離れた位置にある島部と、前記周縁部と前記島部とを連結した連結部と、を有したマスクの前記島部を、前記基板の前記一方の面側における第二領域に重ねるとともに、前記マスクの前記周縁部を、前記基板の前記一方の面側における第一領域に重ねて、前記有機層上に第二電極を成膜し、
前記マスクを外した後に、前記第二電極をエッチングマスクとして利用し、前記第一領域と前記第二領域に形成された前記有機層を除去し、
前記基板の前記第二領域にセンターシールを形成し、前記基板の前記第一領域に枠状シールを形成し、
前記センターシールの上から前記基板にカバーを被せて、前記センターシールと重なる部分において前記基板及び前記カバーに穿孔を施すことを特徴としている。
好ましくは、前記マスクの配置に際して、前記基板面から前記連結部までの距離を、前記基板面から前記島部および前記周縁部までの距離よりも長くする。
また、好ましくは、前記センターシールを形成するに際して、そのセンターシールをリング状に形成し、前記センターシールのリング穴と重なる部分において、前記基板に穿孔を施す。
また、好ましくは、前記有機層をドライエッチング法にて除去する。
また、好ましくは、前記有機層をウェットエッチング法にて除去する。
また、好ましくは、前記センターシールを形成するに際して、そのセンターシールをリング状に形成し、前記センターシールのリング穴と重なる部分において、前記基板に穿孔を施す。
また、好ましくは、前記有機層をドライエッチング法にて除去する。
また、好ましくは、前記有機層をウェットエッチング法にて除去する。
本発明によれば、シール性に優れた指針盤用発光パネルの製造方法を実現することができる。
以下に、本発明を実施するための好ましい形態について図面を用いて説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、発明の範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。
マトリクスディスプレイ機能を有する指針盤用発光パネル１を製造するに際して、まず、図１、図２に示すように、ガラス製またはプラスチック製の透明な基材である透明基板２を準備する。なお、透明基板２は、透明な可撓性シートであってもよい。
この透明基板２の一方の面に対し、透明な導電性膜を気相成長法（例えば、スパッタリング法、蒸着法等）によって成膜し、その導電性膜をフォトリソグラフィー法及びエッチング法によって複数の第一電極としての画素電極３に形状加工する。
この画素電極３を形成するに際して、透明基板２の一方の面側における周囲端部の縁に沿う第一領域Ｒ１と、指針駆動軸が配される円形状の第二領域Ｒ２とを除く範囲に、これら画素電極３を二次元アレイ状に配列するように形成する。
画素電極３は、透明電極であって、例えば、錫ドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）、亜鉛ドープ酸化インジウム、酸化インジウム（Ｉｎ2Ｏ3）、酸化スズ（ＳｎＯ2）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）又はカドミウム−錫酸化物（ＣＴＯ）からなる。なお、画素電極３が、ＥＬ素子のアノード電極になる。
この画素電極３を形成するに際して、透明基板２の一方の面側における周囲端部の縁に沿う第一領域Ｒ１と、指針駆動軸が配される円形状の第二領域Ｒ２とを除く範囲に、これら画素電極３を二次元アレイ状に配列するように形成する。
画素電極３は、透明電極であって、例えば、錫ドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）、亜鉛ドープ酸化インジウム、酸化インジウム（Ｉｎ2Ｏ3）、酸化スズ（ＳｎＯ2）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）又はカドミウム−錫酸化物（ＣＴＯ）からなる。なお、画素電極３が、ＥＬ素子のアノード電極になる。
次いで、透明基板２の一方の面に対して、気相成長法、フォトリソグラフィー法、エッチング法、レジスト除去工程を適宜行うことによって、透明基板２にトランジスタ層４を形成する。
トランジスタ層４は、アクティブマトリクス駆動回路を構成するものであって、アクティブマトリクス駆動回路は複数の走査線、走査線に交差する複数の信号線、走査線に沿う複数の電圧供給線、信号線と走査線の各交差部に配置された複数の薄膜トランジスタ５等を有するものである。このアクティブマトリクス駆動回路の回路構成はどのようなものであってもよく、１画素につき設けられる薄膜トランジスタ５の数は本発明を限定するものでない。
トランジスタ層４は、アクティブマトリクス駆動回路を構成するものであって、アクティブマトリクス駆動回路は複数の走査線、走査線に交差する複数の信号線、走査線に沿う複数の電圧供給線、信号線と走査線の各交差部に配置された複数の薄膜トランジスタ５等を有するものである。このアクティブマトリクス駆動回路の回路構成はどのようなものであってもよく、１画素につき設けられる薄膜トランジスタ５の数は本発明を限定するものでない。
このトランジスタ層４を形成するに際しては、オーバーコート層６を成膜し、そのオーバーコート層６によって薄膜トランジスタ５を被覆する。そして、そのオーバーコート層６をパターニングすることによって、それぞれの画素電極３に対応する箇所に開口７を形成し、各画素電極３を露出させる。
このトランジスタ層４、オーバーコート層６も、透明基板２の一方の面側における周囲端部の縁に沿う第一領域Ｒ１と、指針駆動軸が配される円形状の第二領域Ｒ２とを除く範囲に形成する。
なお、トランジスタ層４を形成した後に、複数の画素電極３をオーバーコート層６の上に形成してもよい。
このトランジスタ層４、オーバーコート層６も、透明基板２の一方の面側における周囲端部の縁に沿う第一領域Ｒ１と、指針駆動軸が配される円形状の第二領域Ｒ２とを除く範囲に形成する。
なお、トランジスタ層４を形成した後に、複数の画素電極３をオーバーコート層６の上に形成してもよい。
次いで、図３に示すように、画素電極３とともに透明基板２の一方の面側の所望の部分を覆う有機層１０を形成する。
この有機層１０を成膜するに際して、発光層だけを成膜してその発光層を有機層１０としてもよいし、正孔輸送層及び発光層を順に積層してその積層物を有機層１０としてもよいし、発光層及び電子輸送層を順に積層してその積層物を有機層１０としてもよいし、正孔輸送層、発光層及び電子輸送層を順に積層してその積層物を有機層１０としてもよい。また、有機層１０は、正孔注入層や電子注入層が含まれる積層物であってもよい。
なお、有機層１０は、蒸着法などの気相成長法によって成膜してもよく、スピンコートやノズルコートなどの塗布法によって成膜してもよい。
この有機層１０を成膜するに際して、発光層だけを成膜してその発光層を有機層１０としてもよいし、正孔輸送層及び発光層を順に積層してその積層物を有機層１０としてもよいし、発光層及び電子輸送層を順に積層してその積層物を有機層１０としてもよいし、正孔輸送層、発光層及び電子輸送層を順に積層してその積層物を有機層１０としてもよい。また、有機層１０は、正孔注入層や電子注入層が含まれる積層物であってもよい。
なお、有機層１０は、蒸着法などの気相成長法によって成膜してもよく、スピンコートやノズルコートなどの塗布法によって成膜してもよい。
次いで、図４、図５に示すように、透明基板２における有機層１０が形成された面に、第一マスク３０を設置する。
この第一マスク３０は、透明基板２の縁に沿った枠状の周縁部３１と、周縁部３１の内側において周縁部３１から離れた位置に設けられた円形状の島部３２と、島部３２と周縁部３１との間に連結され、周縁部３１に対して島部３２を保持する連結部３３と、を有している。なお、第一マスク３０の周縁部３１は、透明基板２の第一領域Ｒ１に対応し、第一マスク３０の島部３２は、透明基板２の第二領域Ｒ２に対応している。
そして、第一マスク３０を設置するに際して、透明基板２における第二領域Ｒ２に島部３２を重ねて配置し、透明基板２における第一領域Ｒ１に周縁部３１を重ねて配置する。
特に、第一マスク３０の連結部３３は、周縁部３１に比べて極めて細く薄い形状を呈しており、透明基板２に対して設置された第一マスク３０において、透明基板２の表面から連結部３３までの距離は、透明基板２の表面から島部３２および周縁部３１までの距離よりも長くなっている。
この第一マスク３０は、透明基板２の縁に沿った枠状の周縁部３１と、周縁部３１の内側において周縁部３１から離れた位置に設けられた円形状の島部３２と、島部３２と周縁部３１との間に連結され、周縁部３１に対して島部３２を保持する連結部３３と、を有している。なお、第一マスク３０の周縁部３１は、透明基板２の第一領域Ｒ１に対応し、第一マスク３０の島部３２は、透明基板２の第二領域Ｒ２に対応している。
そして、第一マスク３０を設置するに際して、透明基板２における第二領域Ｒ２に島部３２を重ねて配置し、透明基板２における第一領域Ｒ１に周縁部３１を重ねて配置する。
特に、第一マスク３０の連結部３３は、周縁部３１に比べて極めて細く薄い形状を呈しており、透明基板２に対して設置された第一マスク３０において、透明基板２の表面から連結部３３までの距離は、透明基板２の表面から島部３２および周縁部３１までの距離よりも長くなっている。
次いで、図６に示すように、第一マスク３０を介して透明基板２における画素電極３上の有機層１０上に、蒸着法によりバリウム（Ｂａ）を成膜し、第二電極としての対向電極の一部を成すバリウム層１２を形成する。
この際、周縁部３１及び島部３２が重なっている部分には、バリウム層１２は形成されず、周縁部３１及び島部３２が重なっていない部分の有機層１０上にバリウム層１２が積層される。また、連結部３３は細く、画素電極３から離れているため、連結部３３の下側にバリウム粒子が回り込むことによって、バリウム層１２が形成される。
なお、第一マスク３０の上には、バリウム層１２と同材料の層１１が形成される。
この際、周縁部３１及び島部３２が重なっている部分には、バリウム層１２は形成されず、周縁部３１及び島部３２が重なっていない部分の有機層１０上にバリウム層１２が積層される。また、連結部３３は細く、画素電極３から離れているため、連結部３３の下側にバリウム粒子が回り込むことによって、バリウム層１２が形成される。
なお、第一マスク３０の上には、バリウム層１２と同材料の層１１が形成される。
次いで、図７に示すように、第一マスク３０を外し、透明基板２における有機層１０およびバリウム層１２が形成された面に、第二マスク３０ａを設置する。
この第二マスク３０ａは、第一マスク３０と同様に、透明基板２の縁に沿った枠状の周縁部３１ａと、周縁部３１ａから離れた位置に設けられた円形状の島部３２ａと、島部３２ａと周縁部３１ａとを連結する細くて薄い連結部３３ａと、を有している。特に、この第二マスク３０ａにおける周縁部３１ａと島部３２ａは、第一マスク３０における周縁部３１と島部３２より僅かに小さなサイズとなっている。
そして、第二マスク３０ａの島部３２ａを透明基板２の第二領域Ｒ２に重ねて配置し、第二マスク３０ａの周縁部３１ａを透明基板２の第一領域Ｒ１に重ねて配置した状態で、第二マスク３０ａを介して透明基板２における画素電極３上に、蒸着法によりアルミニウム（Ａｌ）を成膜し、第二電極としての対向電極の一部を成すアルミニウム層１４を形成する。
この際、第二マスク３０ａにおける周縁部３１ａと島部３２ａは、第一マスク３０のものより小さいため、アルミニウム層１４はバリウム層１２よりも大きく形成されて、アルミニウム層１４がバリウム層１２を被覆するようになっている。
なお、第二マスク３０ａの上には、アルミニウム層１４と同材料の層１３が形成される。
この第二マスク３０ａは、第一マスク３０と同様に、透明基板２の縁に沿った枠状の周縁部３１ａと、周縁部３１ａから離れた位置に設けられた円形状の島部３２ａと、島部３２ａと周縁部３１ａとを連結する細くて薄い連結部３３ａと、を有している。特に、この第二マスク３０ａにおける周縁部３１ａと島部３２ａは、第一マスク３０における周縁部３１と島部３２より僅かに小さなサイズとなっている。
そして、第二マスク３０ａの島部３２ａを透明基板２の第二領域Ｒ２に重ねて配置し、第二マスク３０ａの周縁部３１ａを透明基板２の第一領域Ｒ１に重ねて配置した状態で、第二マスク３０ａを介して透明基板２における画素電極３上に、蒸着法によりアルミニウム（Ａｌ）を成膜し、第二電極としての対向電極の一部を成すアルミニウム層１４を形成する。
この際、第二マスク３０ａにおける周縁部３１ａと島部３２ａは、第一マスク３０のものより小さいため、アルミニウム層１４はバリウム層１２よりも大きく形成されて、アルミニウム層１４がバリウム層１２を被覆するようになっている。
なお、第二マスク３０ａの上には、アルミニウム層１４と同材料の層１３が形成される。
このバリウム層１２とアルミニウム層１４とが積層された金属層が対向電極となり、ＥＬ素子のカソード電極になる。
なお、バリウム層１２は、比較的仕事関数の低い材料であって、電子注入性はよいものの、劣化しやすいため、アルミニウム層１４に覆われることによって、安定したカソード電極として機能するようになる。
なお、バリウム層１２は、比較的仕事関数の低い材料であって、電子注入性はよいものの、劣化しやすいため、アルミニウム層１４に覆われることによって、安定したカソード電極として機能するようになる。
次いで、図８に示すように、第二マスク３０ａを外した後、バリウム層１２がアルミニウム層１４で覆われてなる対向電極をエッチングマスクとして利用し、透明基板２の第一領域Ｒ１と第二領域Ｒ２に形成された有機層１０を除去する。この有機層１０が除去された第一領域Ｒ１と第二領域Ｒ２には、透明基板２の一方の面が露出する。
この有機層１０を除去するに際して、酸素プラズマ処理によるアッシングなどのドライエッチング法にて除去してもよいし、有機層１０を構成する材料に応じたエッチャントや溶媒（例えば、トルエン、キシレン、水など）を用いたウェットエッチング法にて除去してもよい。
なお、画素電極３と、有機層１０と、バリウム層１２およびアルミニウム層１４の対向電極とによって、ＥＬ素子が構成される。
この有機層１０を除去するに際して、酸素プラズマ処理によるアッシングなどのドライエッチング法にて除去してもよいし、有機層１０を構成する材料に応じたエッチャントや溶媒（例えば、トルエン、キシレン、水など）を用いたウェットエッチング法にて除去してもよい。
なお、画素電極３と、有機層１０と、バリウム層１２およびアルミニウム層１４の対向電極とによって、ＥＬ素子が構成される。
次いで、図９、図１０に示すように、透明基板２の第二領域Ｒ２に、円柱状のセンターシール１５を形成し、透明基板２の第一領域Ｒ１に、矩形状の枠状シール１６を形成する。
このセンターシール１５と枠状シール１６は、例えば、粘着性を有するシール材であって、基板などの平坦面に密着し、対向する基板や基材同士を接合させる接着性を有している。
このセンターシール１５と枠状シール１６は、例えば、粘着性を有するシール材であって、基板などの平坦面に密着し、対向する基板や基材同士を接合させる接着性を有している。
次いで、図１１に示すように、センターシール１５および枠状シール１６の上からカバー１７を被せて、センターシール１５および枠状シール１６にカバー１７を接合し、透明基板２とカバー１７の間を密封する。
なお、透明基板２とカバー１７の間の空間は窒素置換されていることが好ましい。
なお、透明基板２とカバー１７の間の空間は窒素置換されていることが好ましい。
次いで、図１２に示すように、ドリルによって透明基板２とセンターシール１５とカバー１７に穿孔を施して、センターシール１５の直径よりも小さい直径のセンターホール１８を形成する。ここで、穿孔する箇所は、センターシール１５の中央部と重なる部分である。このセンターホール１８の直径がセンターシール１５の直径よりも小さいため、センターホール１８の内壁面には、透明基板２とセンターシール１５とカバー１７の断面のみが現れ、画素電極３や有機層１０や対向電極（バリウム層１２、アルミニウム層１４）の断面が露出しないようになっている。
なお、センターシール１５がリング状であって、予めセンターホール１８に相当するリング穴が形成されている場合には、そのリング穴と重なる部分において、透明基板２やカバー１７に穿孔を施す。
また、カバー１７において指針駆動軸が配される領域に予め孔が形成されていてもよく、その場合、透明基板２やセンターシール１５に形成されたセンターホール１８にカバー１７の孔を位置合わせして取り付ければよい。
以上により、指針盤用発光パネル１が完成する。
なお、センターシール１５がリング状であって、予めセンターホール１８に相当するリング穴が形成されている場合には、そのリング穴と重なる部分において、透明基板２やカバー１７に穿孔を施す。
また、カバー１７において指針駆動軸が配される領域に予め孔が形成されていてもよく、その場合、透明基板２やセンターシール１５に形成されたセンターホール１８にカバー１７の孔を位置合わせして取り付ければよい。
以上により、指針盤用発光パネル１が完成する。
そして、図１３、図１４に示すように、指針駆動部２１の駆動軸２２をセンターホール１８に通して、指針駆動部２１をカバー１７に取り付ける。さらに、駆動軸２２の先端側に指針２３を取り付ける。指針駆動部２１は指針２３を回転させるものである。
このように、指針盤用発光パネル１に、駆動軸２２を備える指針駆動部２１や指針２３を取り付けることによって、この指針盤用発光パネル１を、マトリクスディスプレイ機能を有する指針盤として、時計や計測器などの機器１００に用いることができる。
このように、指針盤用発光パネル１に、駆動軸２２を備える指針駆動部２１や指針２３を取り付けることによって、この指針盤用発光パネル１を、マトリクスディスプレイ機能を有する指針盤として、時計や計測器などの機器１００に用いることができる。
なお、指針２３の数、指針駆動部２１の動作等は、指針盤用発光パネル１の用途（例えば、時計、計測器など）に応じたものである。また、その用途に応じて、指針２３の背面側となる透明基板２などに、指針２３が指す値を示す時字指標や目盛などを設けることが好ましい。
以上のように、指針盤用発光パネル１の製造過程において、有機層１０上に形成したバリウム層１２をアルミニウム層１４で被覆した対向電極をエッチングマスクとして利用して、透明基板２における第一領域Ｒ１と第二領域Ｒ２に形成された有機層１０部分を除去することで、透明基板２の一方の面を露出させることができるので、その露出した透明基板２の第一領域Ｒ１と第二領域Ｒ２にそれぞれ直接、枠状シール１６とセンターシール１５を形成することができる。
そして、その枠状シール１６とセンターシール１５の上からカバー１７を被せることで、枠状シール１６とセンターシール１５にカバー１７を直接貼付することができるので、透明基板２とカバー１７の間を枠状シール１６とセンターシール１５によって密封することが可能になる。
このように、シール材である枠状シール１６やセンターシール１５を透明基板２の面に直接形成することによれば、有機層１０を介して透明基板２に枠状シール１６やセンターシール１５を形成することに比べて、枠状シール１６及びセンターシール１５の透明基板２に対する密着性をより強固なものにすることができるので、指針盤用発光パネル１のシール性をより優れたものにすることができる。
そして、その枠状シール１６とセンターシール１５の上からカバー１７を被せることで、枠状シール１６とセンターシール１５にカバー１７を直接貼付することができるので、透明基板２とカバー１７の間を枠状シール１６とセンターシール１５によって密封することが可能になる。
このように、シール材である枠状シール１６やセンターシール１５を透明基板２の面に直接形成することによれば、有機層１０を介して透明基板２に枠状シール１６やセンターシール１５を形成することに比べて、枠状シール１６及びセンターシール１５の透明基板２に対する密着性をより強固なものにすることができるので、指針盤用発光パネル１のシール性をより優れたものにすることができる。
また、この指針盤用発光パネル１におけるセンターシール１５と重なる部分に穿孔を施して、駆動軸２２を挿通可能とするセンターホール１８を形成することによれば、センターホール１８の内壁面にＥＬ素子を構成する、画素電極３、有機層１０、バリウム層１２およびアルミニウム層１４の対向電極などが露出してしまうことがないので、ＥＬ素子が外気に触れないように透明基板２とカバー１７の間に密封することができる。
そして、その画素電極３、有機層１０、バリウム層１２およびアルミニウム層１４の対向電極などの断面から指針盤用発光パネル１の内部に劣化が進行してしまうことはないので、内部劣化に伴い指針盤用発光パネル１のシール性が低下してしまうことはない。
そして、その画素電極３、有機層１０、バリウム層１２およびアルミニウム層１４の対向電極などの断面から指針盤用発光パネル１の内部に劣化が進行してしまうことはないので、内部劣化に伴い指針盤用発光パネル１のシール性が低下してしまうことはない。
従って、本発明に係る指針盤用発光パネルの製造方法によれば、シール性に優れた指針盤用発光パネル１を製造することができる。
なお、以上の実施の形態においては、センターホール１８の形成前にカバー１７を重ねて接合したが、カバー１７を重ねずに透明基板２やセンターシール１５にセンターホール１８をドリルにより形成してもよい。そして、センターホール１８の形成後にカバー１７を重ねるようにすればよい。その場合、センターホール１８の形成後に重ねるカバー１７の中央部に予め孔を形成しておき、そのカバー１７を重ねて接合する際には、カバー１７の孔をセンターホール１８に位置合わせするようにする。
また、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
１ 指針盤用発光パネル
２ 透明基板（基板）
３ 画素電極
１０ 有機層
１２ バリウム層（対向電極）
１４ アルミニウム層（対向電極）
１５ センターシール
１６ 枠状シール
１７ カバー
１８ センターホール
３０ 第一マスク
３１ 周縁部
３２ 島部
３３ 連結部
３０ａ 第二マスク
３１ａ 周縁部
３２ａ 島部
３３ａ 連結部
１００ 機器
Ｒ１ 第一領域
Ｒ２ 第二領域
２ 透明基板（基板）
３ 画素電極
１０ 有機層
１２ バリウム層（対向電極）
１４ アルミニウム層（対向電極）
１５ センターシール
１６ 枠状シール
１７ カバー
１８ センターホール
３０ 第一マスク
３１ 周縁部
３２ 島部
３３ 連結部
３０ａ 第二マスク
３１ａ 周縁部
３２ａ 島部
３３ａ 連結部
１００ 機器
Ｒ１ 第一領域
Ｒ２ 第二領域
Claims (5)
- 基板の一方の面側における、周囲端部の第一領域と、指針駆動軸が配される第二領域とを除く範囲に、第一電極が形成され、前記第一電極を被覆して有機層が形成された指針盤用発光パネルの製造方法において、
枠状の周縁部と、前記周縁部の内側において前記周縁部から離れた位置にある島部と、前記周縁部と前記島部とを連結した連結部と、を有したマスクの前記島部を、前記基板の前記一方の面側における第二領域に重ねるとともに、前記マスクの前記周縁部を、前記基板の前記一方の面側における第一領域に重ねて、前記有機層上に第二電極を成膜し、
前記マスクを外した後に、前記第二電極をエッチングマスクとして利用し、前記第一領域と前記第二領域に形成された前記有機層を除去し、
前記基板の前記第二領域にセンターシールを形成し、前記基板の前記第一領域に枠状シールを形成し、
前記センターシールの上から前記基板にカバーを被せて、前記センターシールと重なる部分において前記基板及び前記カバーに穿孔を施すことを特徴とする指針盤用発光パネルの製造方法。 - 前記マスクの配置に際して、前記基板面から前記連結部までの距離を、前記基板面から前記島部および前記周縁部までの距離よりも長くすることを特徴とする請求項１に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。
- 前記センターシールを形成するに際して、そのセンターシールをリング状に形成し、
前記センターシールのリング穴と重なる部分において、前記基板に穿孔を施すことを特徴とする請求項１又は２に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。 - 前記有機層をドライエッチング法にて除去することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。
- 前記有機層をウェットエッチング法にて除去することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。
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