JP5151735B2 - 指針盤用発光パネルの製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 70
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims description 37
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 58
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 21
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 18
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 15
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Illuminated Signs And Luminous Advertising (AREA)
Description
基板の一方の面側における、周囲端部の第一領域と、指針駆動軸が配される第二領域とを除く範囲に、第一電極が形成され、前記第一電極を被覆して有機層が形成された指針盤用発光パネルの製造方法において、
枠状の周縁部と、前記周縁部の内側において前記周縁部から離れた位置にある島部と、前記周縁部と前記島部とを連結した連結部と、を有したマスクの前記島部を、前記基板の前記一方の面側における第二領域に重ねるとともに、前記マスクの前記周縁部を、前記基板の前記一方の面側における第一領域に重ねて、前記有機層上に第二電極を成膜し、
前記マスクを外した後に、前記第二電極をエッチングマスクとして利用し、前記第一領域と前記第二領域に形成された前記有機層を除去し、
前記基板の前記第二領域にセンターシールを形成し、前記基板の前記第一領域に枠状シールを形成し、
前記センターシールの上から前記基板にカバーを被せて、前記センターシールと重なる部分において前記基板及び前記カバーに穿孔を施すことを特徴としている。
また、好ましくは、前記センターシールを形成するに際して、そのセンターシールをリング状に形成し、前記センターシールのリング穴と重なる部分において、前記基板に穿孔を施す。
また、好ましくは、前記有機層をドライエッチング法にて除去する。
また、好ましくは、前記有機層をウェットエッチング法にて除去する。
この画素電極3を形成するに際して、透明基板2の一方の面側における周囲端部の縁に沿う第一領域R1と、指針駆動軸が配される円形状の第二領域R2とを除く範囲に、これら画素電極3を二次元アレイ状に配列するように形成する。
画素電極3は、透明電極であって、例えば、錫ドープ酸化インジウム(ITO)、亜鉛ドープ酸化インジウム、酸化インジウム(In2O3)、酸化スズ(SnO2)、酸化亜鉛(ZnO)又はカドミウム−錫酸化物(CTO)からなる。なお、画素電極3が、EL素子のアノード電極になる。
トランジスタ層4は、アクティブマトリクス駆動回路を構成するものであって、アクティブマトリクス駆動回路は複数の走査線、走査線に交差する複数の信号線、走査線に沿う複数の電圧供給線、信号線と走査線の各交差部に配置された複数の薄膜トランジスタ5等を有するものである。このアクティブマトリクス駆動回路の回路構成はどのようなものであってもよく、1画素につき設けられる薄膜トランジスタ5の数は本発明を限定するものでない。
このトランジスタ層4、オーバーコート層6も、透明基板2の一方の面側における周囲端部の縁に沿う第一領域R1と、指針駆動軸が配される円形状の第二領域R2とを除く範囲に形成する。
なお、トランジスタ層4を形成した後に、複数の画素電極3をオーバーコート層6の上に形成してもよい。
この有機層10を成膜するに際して、発光層だけを成膜してその発光層を有機層10としてもよいし、正孔輸送層及び発光層を順に積層してその積層物を有機層10としてもよいし、発光層及び電子輸送層を順に積層してその積層物を有機層10としてもよいし、正孔輸送層、発光層及び電子輸送層を順に積層してその積層物を有機層10としてもよい。また、有機層10は、正孔注入層や電子注入層が含まれる積層物であってもよい。
なお、有機層10は、蒸着法などの気相成長法によって成膜してもよく、スピンコートやノズルコートなどの塗布法によって成膜してもよい。
この第一マスク30は、透明基板2の縁に沿った枠状の周縁部31と、周縁部31の内側において周縁部31から離れた位置に設けられた円形状の島部32と、島部32と周縁部31との間に連結され、周縁部31に対して島部32を保持する連結部33と、を有している。なお、第一マスク30の周縁部31は、透明基板2の第一領域R1に対応し、第一マスク30の島部32は、透明基板2の第二領域R2に対応している。
そして、第一マスク30を設置するに際して、透明基板2における第二領域R2に島部32を重ねて配置し、透明基板2における第一領域R1に周縁部31を重ねて配置する。
特に、第一マスク30の連結部33は、周縁部31に比べて極めて細く薄い形状を呈しており、透明基板2に対して設置された第一マスク30において、透明基板2の表面から連結部33までの距離は、透明基板2の表面から島部32および周縁部31までの距離よりも長くなっている。
この際、周縁部31及び島部32が重なっている部分には、バリウム層12は形成されず、周縁部31及び島部32が重なっていない部分の有機層10上にバリウム層12が積層される。また、連結部33は細く、画素電極3から離れているため、連結部33の下側にバリウム粒子が回り込むことによって、バリウム層12が形成される。
なお、第一マスク30の上には、バリウム層12と同材料の層11が形成される。
この第二マスク30aは、第一マスク30と同様に、透明基板2の縁に沿った枠状の周縁部31aと、周縁部31aから離れた位置に設けられた円形状の島部32aと、島部32aと周縁部31aとを連結する細くて薄い連結部33aと、を有している。特に、この第二マスク30aにおける周縁部31aと島部32aは、第一マスク30における周縁部31と島部32より僅かに小さなサイズとなっている。
そして、第二マスク30aの島部32aを透明基板2の第二領域R2に重ねて配置し、第二マスク30aの周縁部31aを透明基板2の第一領域R1に重ねて配置した状態で、第二マスク30aを介して透明基板2における画素電極3上に、蒸着法によりアルミニウム(Al)を成膜し、第二電極としての対向電極の一部を成すアルミニウム層14を形成する。
この際、第二マスク30aにおける周縁部31aと島部32aは、第一マスク30のものより小さいため、アルミニウム層14はバリウム層12よりも大きく形成されて、アルミニウム層14がバリウム層12を被覆するようになっている。
なお、第二マスク30aの上には、アルミニウム層14と同材料の層13が形成される。
なお、バリウム層12は、比較的仕事関数の低い材料であって、電子注入性はよいものの、劣化しやすいため、アルミニウム層14に覆われることによって、安定したカソード電極として機能するようになる。
この有機層10を除去するに際して、酸素プラズマ処理によるアッシングなどのドライエッチング法にて除去してもよいし、有機層10を構成する材料に応じたエッチャントや溶媒(例えば、トルエン、キシレン、水など)を用いたウェットエッチング法にて除去してもよい。
なお、画素電極3と、有機層10と、バリウム層12およびアルミニウム層14の対向電極とによって、EL素子が構成される。
このセンターシール15と枠状シール16は、例えば、粘着性を有するシール材であって、基板などの平坦面に密着し、対向する基板や基材同士を接合させる接着性を有している。
なお、透明基板2とカバー17の間の空間は窒素置換されていることが好ましい。
なお、センターシール15がリング状であって、予めセンターホール18に相当するリング穴が形成されている場合には、そのリング穴と重なる部分において、透明基板2やカバー17に穿孔を施す。
また、カバー17において指針駆動軸が配される領域に予め孔が形成されていてもよく、その場合、透明基板2やセンターシール15に形成されたセンターホール18にカバー17の孔を位置合わせして取り付ければよい。
以上により、指針盤用発光パネル1が完成する。
このように、指針盤用発光パネル1に、駆動軸22を備える指針駆動部21や指針23を取り付けることによって、この指針盤用発光パネル1を、マトリクスディスプレイ機能を有する指針盤として、時計や計測器などの機器100に用いることができる。
そして、その枠状シール16とセンターシール15の上からカバー17を被せることで、枠状シール16とセンターシール15にカバー17を直接貼付することができるので、透明基板2とカバー17の間を枠状シール16とセンターシール15によって密封することが可能になる。
このように、シール材である枠状シール16やセンターシール15を透明基板2の面に直接形成することによれば、有機層10を介して透明基板2に枠状シール16やセンターシール15を形成することに比べて、枠状シール16及びセンターシール15の透明基板2に対する密着性をより強固なものにすることができるので、指針盤用発光パネル1のシール性をより優れたものにすることができる。
そして、その画素電極3、有機層10、バリウム層12およびアルミニウム層14の対向電極などの断面から指針盤用発光パネル1の内部に劣化が進行してしまうことはないので、内部劣化に伴い指針盤用発光パネル1のシール性が低下してしまうことはない。
2 透明基板(基板)
3 画素電極
10 有機層
12 バリウム層(対向電極)
14 アルミニウム層(対向電極)
15 センターシール
16 枠状シール
17 カバー
18 センターホール
30 第一マスク
31 周縁部
32 島部
33 連結部
30a 第二マスク
31a 周縁部
32a 島部
33a 連結部
100 機器
R1 第一領域
R2 第二領域
Claims (5)
- 基板の一方の面側における、周囲端部の第一領域と、指針駆動軸が配される第二領域とを除く範囲に、第一電極が形成され、前記第一電極を被覆して有機層が形成された指針盤用発光パネルの製造方法において、
枠状の周縁部と、前記周縁部の内側において前記周縁部から離れた位置にある島部と、前記周縁部と前記島部とを連結した連結部と、を有したマスクの前記島部を、前記基板の前記一方の面側における第二領域に重ねるとともに、前記マスクの前記周縁部を、前記基板の前記一方の面側における第一領域に重ねて、前記有機層上に第二電極を成膜し、
前記マスクを外した後に、前記第二電極をエッチングマスクとして利用し、前記第一領域と前記第二領域に形成された前記有機層を除去し、
前記基板の前記第二領域にセンターシールを形成し、前記基板の前記第一領域に枠状シールを形成し、
前記センターシールの上から前記基板にカバーを被せて、前記センターシールと重なる部分において前記基板及び前記カバーに穿孔を施すことを特徴とする指針盤用発光パネルの製造方法。 - 前記マスクの配置に際して、前記基板面から前記連結部までの距離を、前記基板面から前記島部および前記周縁部までの距離よりも長くすることを特徴とする請求項1に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。
- 前記センターシールを形成するに際して、そのセンターシールをリング状に形成し、
前記センターシールのリング穴と重なる部分において、前記基板に穿孔を施すことを特徴とする請求項1又は2に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。 - 前記有機層をドライエッチング法にて除去することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。
- 前記有機層をウェットエッチング法にて除去することを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の指針盤用発光パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008170291A JP5151735B2 (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 指針盤用発光パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008170291A JP5151735B2 (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 指針盤用発光パネルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010008317A JP2010008317A (ja) | 2010-01-14 |
JP5151735B2 true JP5151735B2 (ja) | 2013-02-27 |
Family
ID=41588996
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008170291A Expired - Fee Related JP5151735B2 (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 指針盤用発光パネルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5151735B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2731138B1 (fr) * | 2012-11-09 | 2020-06-17 | EM Microelectronic-Marin SA | Procédé de fabrication d'un affichage OLED, affichage OLED résultant et pièce d'horlogerie comprenant un tel affichage |
WO2019030858A1 (ja) * | 2017-08-09 | 2019-02-14 | シャープ株式会社 | 表示デバイス、表示デバイスの製造方法、表示デバイスの製造装置 |
JPWO2022123382A1 (ja) * | 2020-12-07 | 2022-06-16 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50120977A (ja) * | 1974-03-12 | 1975-09-22 | ||
TWI238449B (en) * | 2003-06-06 | 2005-08-21 | Pioneer Corp | Organic semiconductor device and method of manufacture of same |
JP4784809B2 (ja) * | 2005-01-31 | 2011-10-05 | 日本精機株式会社 | 有機elパネルの製造方法。 |
JP4379394B2 (ja) * | 2005-07-27 | 2009-12-09 | セイコーエプソン株式会社 | マスク及び有機el素子の製造方法 |
JP2007121691A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Epson Imaging Devices Corp | 液晶パネルの製造方法 |
JP2007220360A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Tokyo Electron Ltd | 発光素子、発光素子の製造方法および基板処理装置 |
JP4957175B2 (ja) * | 2006-10-20 | 2012-06-20 | 大日本印刷株式会社 | エリア発光型有機el部材とエリア発光型有機el部材付設物品、およびエリア発光型有機el部材の作製方法 |
-
2008
- 2008-06-30 JP JP2008170291A patent/JP5151735B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010008317A (ja) | 2010-01-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110323 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5151735 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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