JP5142240B2 - 荷電ビーム装置及び荷電ビーム加工方法 - Google Patents
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Description
2 電子光学系
3 透過電子検出器
4 二次電子検出器
5 試料保持機構
6 制御部
7 試料ステージ
8 試料ホルダ
9 マニピュレート機構
10 試料
11 電子ビームと試料とが交差する位置に存在する電子ビームの光軸に垂直な平面
12 イオンビームの光軸
13 電子ビームの光軸
14 イオンビームの光軸と電子ビームの光軸とを含む平面に対して垂直方向の回転軸
15 イオンビームの光軸と前記電子ビームの光軸とを含む平面に対して垂直方向の回転軸に垂直かつ前記試料の加工断面とほぼ平行な回転軸
16 仕上げ加工に用いるイオンビームの試料への入射角
17 電子ビームの試料の所望の観察面への入射角
18 前記イオン光学系と前記電子光学系との配置角度(あるいは前記イオンビームの光軸と前記電子ビームの光軸との配置角度)
20 真空容器
21 表示部
30 所望の表面
31 ダメージ層
32 所望の立体領域
Claims (2)
- イオンビームを発生させると共に集束させ試料上を走査させるイオン光学系と、電子ビームを発生させると共に集束させ前記試料上を走査させる電子光学系と、前記試料を透過した電子を検出する透過電子検出器と、前記試料から発生する二次電子を検出する二次電子検出器と、前記試料を配置する試料保持機構と、各ユニットを制御する制御部とを具備する荷電ビーム装置において、
仕上げ加工に用いる前記イオンビームのエネルギーは主加工に用いる前記イオンビームのエネルギーよりも低い5kV以下のエネルギーであり、かつ、前記仕上げ加工に用いる前記イオンビームの前記試料の加工断面への入射角は前記主加工に用いる前記イオンビームの前記試料の加工断面への入射角であるほぼ0度とは異なる前記試料の加工断面に対して水平入射の3度以上から垂直入射の90度以下の角度であり、前記試料保持機構により前記イオンビームの光軸と前記電子ビームの光軸とを含む平面に対して垂直方向の回転軸に対して前記試料を回転し、前記回転軸に加えて少なくとも前記イオンビームの光軸と前記電子ビームの光軸とを含む平面に対して垂直方向の回転軸に垂直で、かつ前記試料の加工断面と平行な回転軸に対して前記試料を回転させ、
少なくとも走査透過型電子顕微鏡による観察を行うことができ、前記試料に対し前記イオンビームによる加工と前記電子ビームによる観察を連続的あるいは断続的に行い、前記イオンビームによる前記試料の加工の進行度合いは前記走査透過型電子顕微鏡の像の変化を用いて検出され、前記イオンビームによる前記試料の仕上げ加工の終了は前記走査透過型電子顕微鏡の像の輝度、コントラスト、SN比または像分解能の変化の検出に基づいて行われることを特徴とする荷電ビーム装置。 - イオン光学系によりイオンビームを発生させると共に集束させ試料上を走査させ、電子光学系により電子ビームを発生させると共に集束させ前記試料上を走査させ、透過電子検出器により前記試料を透過した電子を検出し、二次電子検出器により前記試料から発生する二次電子を検出し、試料保持機構により前記試料を配置し、制御部により各ユニットを制御する荷電ビーム装置における荷電ビーム加工方法において、
仕上げ加工に用いる前記イオンビームのエネルギーは主加工に用いる前記イオンビームのエネルギーよりも低い5kV以下のエネルギーであり、かつ、前記仕上げ加工に用いる前記イオンビームの前記試料の加工断面への入射角は前記主加工に用いる前記イオンビーム前記試料の加工断面への入射角であるほぼ0度とは異なる試料の加工断面に対して水平入射の3度以上から垂直入射の90度以下の角度であり、
前記試料保持機構により前記イオンビームの光軸と前記電子ビームの光軸とを含む平面に対して垂直方向の回転軸に対して前記試料を回転するステップと、前記回転軸に加えて少なくとも前記イオンビームの光軸と前記電子ビームの光軸とを含む平面に対して垂直方向の回転軸に垂直で、かつ前記試料の加工断面と平行な回転軸に対して前記試料を回転させるステップと、
前記荷電ビーム装置は、少なくとも走査透過型電子顕微鏡による観察を行うステップと、
前記試料に対し前記イオンビームによる加工と前記電子ビームによる観察を連続的あるいは断続的に行うステップと、
前記イオンビームによる前記試料の加工の進行度合いは走査透過型電子顕微鏡の像の変化を用いて検出され、前記イオンビームによる前記試料の加工の終了は前記走査透過型電子顕微鏡の像の変化を用いて検出され、前記イオンビームによる前記試料の仕上げ加工の終了は前記走査透過型電子顕微鏡の像の輝度、コントラスト、SN比または像分解能の変化の検出に基づいて行われるステップと、を備えていることを特徴とする荷電ビーム加工方法。
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